專(zhuān)利名稱(chēng)：真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)、包括該機(jī)構(gòu)的接合裝置、真空室及接合裝置的真空度控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如利用熱壓接將板狀或箔狀的貼合用基材進(jìn)行接合時(shí)所使用的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)、包括該真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)的接合裝置、真空室的真空度控制方法、以及接合裝置的真空度控制方法。
背景技術(shù)：
以往，已提出有涉及即使簡(jiǎn)易、低成本，也能在保護(hù)真空泵的情況下以節(jié)電的方式對(duì)真空室內(nèi)的真空度進(jìn)行控制的控制機(jī)構(gòu)和控制方法的技術(shù)。該控制機(jī)構(gòu)是對(duì)實(shí)施層疊成形的真空室內(nèi)的真空度進(jìn)行控制的控制機(jī)構(gòu)，該控制 機(jī)構(gòu)包括控制裝置，該控制裝置根據(jù)對(duì)測(cè)量真空室內(nèi)的真空度的真空傳感器的檢測(cè)值所設(shè)定的規(guī)定幅值的滯后，使與真空室相連接的真空泵起動(dòng)、停止，從而對(duì)真空室內(nèi)的真空度進(jìn)行控制(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)I)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)I :日本專(zhuān)利特開(kāi)2009 — 298007號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
然而，上述控制機(jī)構(gòu)是通過(guò)開(kāi)啟/關(guān)閉對(duì)真空泵、氣體供給裝置進(jìn)行控制的閥來(lái)進(jìn)行動(dòng)作的類(lèi)型，因而，在開(kāi)啟/關(guān)閉閥時(shí)真空壓力發(fā)生較大的變動(dòng)，因此，存在真空壓力控制的精度較差的問(wèn)題。為此，本發(fā)明的目的在于提供能以簡(jiǎn)易的結(jié)構(gòu)提高真空壓力控制精度的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)、包括該真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)的接合裝置、真空室的真空度控制方法、以及接合裝置的真空度控制方法。第一發(fā)明是用于控制真空室的真空壓力值的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括用于對(duì)所述真空室抽真空的真空路徑；將氣體導(dǎo)入所述真空室的流量調(diào)節(jié)閥；以及對(duì)所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率進(jìn)行控制的控制部，所述控制部根據(jù)所述真空室的真空壓力值對(duì)所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率進(jìn)行控制，將所述真空室的真空壓力值調(diào)整為目標(biāo)真空壓力值。在此情況下，優(yōu)選所述流量調(diào)節(jié)閥將惰性氣體導(dǎo)入所述真空室。在此情況下，優(yōu)選所述流量調(diào)節(jié)閥是質(zhì)量流量控制器，所述控制部是PID控制器。第二發(fā)明是接合裝置，該接合裝置具有加壓機(jī)構(gòu)、以及被所述加壓機(jī)構(gòu)施加加壓力的熱盤(pán)部，所述熱盤(pán)部在所述加壓力的作用方向上配置有多個(gè)，使在所述加壓力的作用方向上相鄰的所述熱盤(pán)部彼此相互層疊，從而在所述熱盤(pán)部之間形成真空室，在所述真空室內(nèi)將貼合用基材彼此熱壓接以使其進(jìn)行接合，所述接合裝置的特征在于，包括用于對(duì)所述真空室抽真空的真空路徑；將氣體導(dǎo)入所述真空室的流量調(diào)節(jié)閥；以及對(duì)所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率進(jìn)行控制的控制部，所述控制部根據(jù)所述真空室的真空壓力值對(duì)所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率進(jìn)行控制，將所述真空室的真空壓力值調(diào)整為目標(biāo)真空壓力值。在此情況下，優(yōu)選所述流量調(diào)節(jié)閥將惰性氣體導(dǎo)入所述真空室。在此情況下，優(yōu)選形成有多個(gè)所述真空室，形成有將所述真空室彼此之間進(jìn)行連通的連通路，多個(gè)所述真空室同時(shí)抽真空。在此情況下，優(yōu)選所述流量調(diào)節(jié)閥是質(zhì)量流量控制器，所述控制部是PID控制器。第三發(fā)明是用于控制真空室的真空壓力值的真空室的真空度控制方法，使用真空路徑及流量調(diào)節(jié)閥，所述真空路徑用于對(duì)所述真空室抽真空，所述流量調(diào)節(jié)閥將氣體導(dǎo)入所述真空室，在對(duì)所述真空室抽真空的狀態(tài)下，通過(guò)增大所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率，使導(dǎo)入所述真空室的氣體流量增加，或通過(guò)減小所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率，使導(dǎo)入所述真空室的氣體流量減少，通過(guò)改變所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率來(lái)控制真空室的真空壓力值。
在此情況下，優(yōu)選所述流量調(diào)節(jié)閥將惰性氣體導(dǎo)入所述真空室。第四發(fā)明是接合裝置的真空度控制方法，所述接合裝置具有加壓機(jī)構(gòu)、以及被所述加壓機(jī)構(gòu)施加加壓力的熱盤(pán)部，所述熱盤(pán)部在所述加壓力的作用方向上配置有多個(gè)，使在所述加壓力的作用方向上相鄰的所述熱盤(pán)部彼此相互層疊，從而在所述熱盤(pán)部之間形成真空室，在所述真空室內(nèi)將貼合用基材彼此熱壓接以使其進(jìn)行接合，所述接合裝置的真空度控制方法的特征在于，使用真空路徑、流量調(diào)節(jié)閥、及控制部，所述真空路徑用于對(duì)所述真空室抽真空，所述流量調(diào)節(jié)閥將氣體導(dǎo)入所述真空室，所述控制部對(duì)所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率進(jìn)行控制，所述控制部根據(jù)所述真空室的真空壓力值對(duì)所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率進(jìn)行控制，將所述真空室的真空壓力值調(diào)整為目標(biāo)真空壓力值。在此情況下，優(yōu)選所述流量調(diào)節(jié)閥將惰性氣體導(dǎo)入所述真空室。根據(jù)本發(fā)明，能以簡(jiǎn)易的結(jié)構(gòu)提高真空室的真空壓力控制的精度。


圖I是包括本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)的接合裝置在熱盤(pán)部重疊的狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)圖。圖2是包括本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)的接合裝置在熱盤(pán)部沒(méi)有重疊的狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)圖。圖3是表示本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的真空室的周邊部的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖4是表示包括本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)的接合裝置的真空度控制的曲線圖。圖5是表示包括本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)的接合裝置的真空度控制范圍的曲線圖。圖6是比較對(duì)象的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。圖7是將比較對(duì)象的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)進(jìn)行的真空度的控制結(jié)果與控制設(shè)備的動(dòng)作狀況一起進(jìn)行表示的曲線圖。圖8是表示包括比較對(duì)象的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)的多級(jí)層疊貼合裝置的開(kāi)啟/關(guān)閉控制的曲線圖。
具體實(shí)施例方式參照附圖對(duì)本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)、包括該真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)的接合裝置、真空室的真空度控制方法、以及接合裝置的真空度控制方法進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式中，將真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)應(yīng)用于接合裝置的結(jié)構(gòu)作為一個(gè)示例進(jìn)行說(shuō)明。另外，真空室的真空度控制結(jié)構(gòu)并不限于應(yīng)用于接合裝置的結(jié)構(gòu)，能廣泛適用于需要真空室的真空度控制的裝置。(接合裝置) 首先，對(duì)接合裝置進(jìn)行說(shuō)明。接合裝置是利用熱壓接使貼合用基材彼此進(jìn)行接合的裝置。另外，貼合用基材是貼合之前的基板，除了晶片、集合基板以外，還包含進(jìn)行了單片化的子基板。利用本實(shí)施方式的接合裝置將多個(gè)貼合用基板進(jìn)行貼合，從而制作復(fù)合基板。用于制作復(fù)合基板的貼合用基板可以是不同種類(lèi)，也可以是相同種類(lèi)。制作出的復(fù)合基板用作電子設(shè)備的元器件。圖I是表示將真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)應(yīng)用于接合裝置的狀態(tài)的結(jié)構(gòu)圖。圖I的實(shí)線表示作為真空路徑的配管的連接狀態(tài)，粗虛線表示電連接狀態(tài)。如圖I所示，接合裝置10包括殼體12。在殼體12的底部配置有加壓機(jī)構(gòu)14。作為一個(gè)示例，加壓機(jī)構(gòu)14使用在上下方向上可以伸縮的液壓式活塞桿16。另外，加壓機(jī)構(gòu)14由未圖示的控制部進(jìn)行驅(qū)動(dòng)和控制。加壓機(jī)構(gòu)14的活塞桿16的前端部與下側(cè)臺(tái)座部18相連接。因此，若作為加壓機(jī)構(gòu)14的一部分的活塞桿16在上下方向上進(jìn)行伸縮，則下側(cè)臺(tái)座部18在上下方向上進(jìn)行移動(dòng)。此外，在殼體12的上部固定有上側(cè)臺(tái)座部20。另外，成為以規(guī)定的加壓力將上下方向?qū)盈B的多個(gè)熱盤(pán)部24夾持在下側(cè)臺(tái)座部18和上側(cè)臺(tái)座部20之間的結(jié)構(gòu)。在殼體12的內(nèi)部，沿上下方向排列配置有多個(gè)熱盤(pán)部24。本實(shí)施方式的接合裝置10中，多個(gè)熱盤(pán)部24設(shè)置在殼體12的內(nèi)部，起到多級(jí)層疊貼合裝置的作用。當(dāng)沿上下方向相鄰的熱盤(pán)部24彼此以規(guī)定的加壓力對(duì)貼合用基材C進(jìn)行壓接時(shí)，由上方的熱盤(pán)部和下方的熱盤(pán)部圍住的區(qū)域被框體22密閉而形成真空室D。這樣，在包括多個(gè)熱盤(pán)部24的接合裝置10中，形成有多個(gè)真空室D，成為多個(gè)熱盤(pán)部24將所有貼合用基材C進(jìn)行壓接的狀態(tài)，從而在各真空室D內(nèi)實(shí)施貼合用基材C的接合處理。如圖3所示，在熱盤(pán)部主體24A的下表面形成有筒狀空間。當(dāng)各熱盤(pán)部24相互重疊而被加壓時(shí)，能對(duì)放入熱盤(pán)部主體24A的筒狀空間與熱盤(pán)部主體24A的上表面之間的貼合用基材C (參照?qǐng)DI)進(jìn)行壓接。該筒狀空間構(gòu)成真空室D的一部分。在熱盤(pán)部主體24A的側(cè)面配置有能滑動(dòng)的框體22。在框體22與熱盤(pán)部主體24A之間配置有壓縮彈簧29?？蝮w22被該壓縮彈簧29朝下側(cè)施力，對(duì)處于下方的熱盤(pán)部24上的O型環(huán)31進(jìn)行按壓，從而與處于熱盤(pán)部主體24A的側(cè)面的O型環(huán)33 —起形成密閉狀態(tài)。此外，對(duì)各熱盤(pán)部24形成有由通孔構(gòu)成的連通路25。因此，成為由各熱盤(pán)部24分別劃分形成的多個(gè)真空室D經(jīng)由連通路25而相互連通的結(jié)構(gòu)。由此，所有的真空室D整體構(gòu)成一個(gè)真空空間。連通路25通過(guò)真空路徑39與切換閥27和真空泵26相連接，通過(guò)切換閥27的動(dòng)作對(duì)各真空室D抽真空。在后述的真空度控制時(shí)，真空室D內(nèi)始終成為抽真空的狀態(tài)。另夕卜，切換閥27由未圖示的控制部驅(qū)動(dòng)。(真空室的真空度控制機(jī)構(gòu))此處，對(duì)真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。如圖I所示，真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)由對(duì)真空室D內(nèi)部的真空度進(jìn)行測(cè)量的真空計(jì)28、將氣體導(dǎo)入真空室D內(nèi)的流量調(diào)節(jié)閥30、對(duì)流量調(diào)節(jié)閥30的開(kāi)閉率進(jìn)行控制的控制部32所構(gòu)成。流量調(diào)節(jié)閥30將空氣、其他氣體類(lèi)(例如包含氮的惰性氣體)導(dǎo)入真空室D的內(nèi)部。例如，在利用真空泵26始終對(duì)真空室D抽真空的狀態(tài)下，較大地打開(kāi)流量調(diào)節(jié)閥30，當(dāng) 大量空氣、氣體被導(dǎo)入真空室D的內(nèi)部時(shí)，真空室D內(nèi)部的真空度下降。另一方面，在利用真空泵26始終對(duì)真空室D抽真空的狀態(tài)下，關(guān)小流量調(diào)節(jié)閥30，只將少量空氣、氣體導(dǎo)入真空室D的內(nèi)部，或完全不導(dǎo)入空氣、氣體時(shí)，真空室D內(nèi)部的真空度上升。真空計(jì)28對(duì)真空室D的真空壓力值進(jìn)行測(cè)量。此處所測(cè)量的真空壓力值是所有的真空室由連通路25連通的狀態(tài)下的真空壓力值。真空計(jì)28將測(cè)量結(jié)果即真空壓力值作為數(shù)據(jù)信號(hào)輸出到控制部32。控制部32根據(jù)表示真空室D的真空壓力值的真空計(jì)28的測(cè)量結(jié)果對(duì)流量調(diào)節(jié)閥30的開(kāi)閉率進(jìn)行控制，從而調(diào)整來(lái)自流量調(diào)節(jié)閥30的氣體導(dǎo)入量。然后，將真空室D的真空壓力值調(diào)整至目標(biāo)真空壓力值。具體而言，控制部32將從真空計(jì)28得到的真空室D的真空壓力值作為換算后的電壓值進(jìn)行接收?？刂撇?2具有ROM等存儲(chǔ)單元。而且，在ROM內(nèi)存儲(chǔ)有表示真空壓力值與電壓值之間的關(guān)系的數(shù)據(jù)表。此外，在ROM中，存儲(chǔ)有用于實(shí)現(xiàn)真空室D的目標(biāo)真空壓力值的電壓值。此外，在ROM中，存儲(chǔ)有表示流量調(diào)節(jié)閥30的開(kāi)閉率與電壓值之間的關(guān)系的數(shù)據(jù)表。控制部32具有CPU。CPU將由從真空計(jì)28得到的真空壓力值換算得到的電壓值與目標(biāo)真空壓力值的電壓值進(jìn)行比較，計(jì)算出電壓值之差(電壓差)。CPU進(jìn)一步根據(jù)表示流量調(diào)節(jié)閥30的開(kāi)閉率與電壓值之間的關(guān)系的數(shù)據(jù)表、以及上述電壓差，生成用于操作流量調(diào)節(jié)閥30的電壓值的信號(hào)(閥控制信號(hào))。然后，控制部32將閥控制信號(hào)輸出到流量調(diào)節(jié)閥30。由此，根據(jù)來(lái)自控制部32的閥控制信號(hào)來(lái)控制流量調(diào)節(jié)閥30的開(kāi)閉率。作為控制部32的一個(gè)示例，使用PID控制器(比例積分微分操作裝置)。 基于來(lái)自控制部32的閥控制信號(hào)對(duì)流量調(diào)節(jié)閥30的開(kāi)閉率進(jìn)行控制。其結(jié)果是，對(duì)流量調(diào)節(jié)閥30的開(kāi)閉率進(jìn)行調(diào)整，以使真空室D的真空壓力值成為目標(biāo)真空壓力值。作為導(dǎo)入的流體，優(yōu)選僅將包含氮、氬的惰性氣體導(dǎo)入真空室D的內(nèi)部。由此，能防止通過(guò)熱壓接貼合用基材而制作出的復(fù)合基板發(fā)生氧化。作為流量調(diào)節(jié)閥30的一個(gè)示例，使用質(zhì)量流量控制器。質(zhì)量流量控制器通過(guò)測(cè)量流體的質(zhì)量流量來(lái)對(duì)流量進(jìn)行控制，不需要根據(jù)環(huán)境溫度、使用壓力等的變化進(jìn)行修正，是能高精度、穩(wěn)定地進(jìn)行流體測(cè)量、控制的設(shè)備。另外，作為變形例，存儲(chǔ)有表示流量調(diào)節(jié)閥30的開(kāi)閉率與電壓值之間關(guān)系的數(shù)據(jù)表的ROM可以不安裝在控制部32內(nèi)，而是安裝在流量調(diào)節(jié)閥30內(nèi)。由此，控制部32只要將表示上述電壓差的信號(hào)輸出到流量調(diào)節(jié)閥30即可，由流量調(diào)節(jié)閥30來(lái)控制、調(diào)整開(kāi)閉率。
(加熱、加壓處理)接下來(lái)，利用各熱盤(pán)部24執(zhí)行加熱處理。各熱盤(pán)部24內(nèi)置有加熱器，因此，由控制部驅(qū)動(dòng)加熱器來(lái)進(jìn)行加熱處理。與此同時(shí)，在上下方向上相鄰的熱盤(pán)部24相互層疊。由此，利用規(guī)定的加壓力對(duì)貼合用基材彼此進(jìn)行壓接。此外，貼合用基材的壓接處理是在真空室D的內(nèi)部執(zhí)行的，因此，能在沒(méi)有垃圾、粉塵進(jìn)入的清潔環(huán)境下執(zhí)行。其結(jié)果是，能將利用貼合用基材制作出的復(fù)合基板的電氣特性維持在高品質(zhì)。另外，對(duì)于貼合用基材彼此的壓接處理，是在各真空室D內(nèi)進(jìn)行的。由于利用單一的真空泵26使各真空室D內(nèi)連通來(lái)抽真空，因此，各真空室D中的真空度是一定(均勻)的。其結(jié)果是，能使各真空室D內(nèi)的壓接處理穩(wěn)定，因此，能降低復(fù)合基板的電氣特性的偏差。(解除真空) 接下來(lái)，為了解除真空室D的真空狀態(tài)而導(dǎo)入大氣，使所有的真空室D同時(shí)向大氣開(kāi)放。(下降下側(cè)臺(tái)座部)當(dāng)上述各工序結(jié)束后，使下側(cè)臺(tái)座部18以一定速度下降，從而成為如圖2那樣的未對(duì)熱盤(pán)部24進(jìn)行層疊的狀態(tài)。接下來(lái)，對(duì)應(yīng)用了本發(fā)明的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)的接合裝置的作用進(jìn)行說(shuō)明。(本實(shí)施方式的效果的目標(biāo))如現(xiàn)有技術(shù)那樣，在相鄰的熱盤(pán)部之間形成真空室、在真空室內(nèi)對(duì)貼合用基材彼此進(jìn)行熱壓接以使其接合的接合裝置中，最終所達(dá)到的真空室的真空度是取決于真空泵的能力、真空室的大小、及作為真空路徑的配管部的泄漏量等因素，因此，難以控制為所需的
真空度。在此情況下，雖然也會(huì)受到真空泵本身的真空到達(dá)能力等的影響，但可以設(shè)想真空室D的真空度穩(wěn)定在數(shù)10 IOOPa之間。為此，本實(shí)施方式中，如上所述，將真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)應(yīng)用于需要高精度的真空度控制的接合裝置。根據(jù)應(yīng)用了本發(fā)明的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)的接合裝置10，利用開(kāi)閉率受到控制部控制的流量調(diào)節(jié)閥30，對(duì)導(dǎo)入真空室D的氣體(空氣、其他惰性氣體等)的流量進(jìn)行調(diào)整，能實(shí)現(xiàn)高精度的真空度控制。能將真空室D的真空壓力值調(diào)整至目標(biāo)真空壓力值。圖4是表示包括本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)的接合裝置的真空度控制的曲線圖，縱軸為真空度(Pa)，橫軸為時(shí)間(秒)。如圖4所示，能將真空室D的真空度以平均值±2%以下的精度進(jìn)行控制。此外，通過(guò)使用PID控制器，不會(huì)出現(xiàn)過(guò)調(diào)和欠調(diào)，使真空室D的真空度成為一定的調(diào)整時(shí)間也會(huì)縮短為40秒以下。此外，圖5是表示包括本發(fā)明一實(shí)施方式所涉及的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)的接合裝置的真空度控制范圍的曲線圖，縱軸為測(cè)量真空度(Pa)，橫軸為設(shè)定真空度(Pa)。如圖5所示，作為可進(jìn)行真空控制的真空度的范圍，能在數(shù)IOPa 2000Pa的較寬范圍內(nèi)進(jìn)行控制。此外，在測(cè)量值相對(duì)于設(shè)定真空度的關(guān)系方面，直線性也得到確保，可以說(shuō)本發(fā)明是穩(wěn)定且可靠性高的控制方法。
此外，不必頻繁開(kāi)啟/關(guān)閉閥，能延長(zhǎng)配管部件的壽命。此外，不會(huì)像以往那樣產(chǎn)生開(kāi)閉閥時(shí)的噪聲。而且，與以往相比配管結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)易，因此能降低裝置價(jià)格。(比較例)接下來(lái)，與將專(zhuān)利文獻(xiàn)I記載的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)應(yīng)用于接合裝置的情況進(jìn)行比較分析。圖6是專(zhuān)利文獻(xiàn)I記載的控制室的真空度控制機(jī)構(gòu)。100是使真空室向大氣開(kāi)放(清洗)用的閥，102是真空度控制用的閥，104是防止真空泵的油倒流用的閥。圖6的各閥中，與真空度控制有關(guān)的閥僅有閥102。通過(guò)開(kāi)閉閥102，能控制真空室106的真空度。作為控制方式，是開(kāi)啟/關(guān)閉控制。
圖7是將專(zhuān)利文獻(xiàn)I記載的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)進(jìn)行的真空度的控制結(jié)果與控制設(shè)備的動(dòng)作狀況一起進(jìn)行表示的曲線圖。根據(jù)專(zhuān)利文獻(xiàn)I記載的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)，能將真空度調(diào)整在圖7的扎和Hh之間。圖8是將專(zhuān)利文獻(xiàn)I記載的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)應(yīng)用于多級(jí)層疊貼合裝置的結(jié)果。如圖8所示，在將真空室的真空度控制在600 700Pa的情況下，存在真空室的真空度發(fā)生振動(dòng)的問(wèn)題。此外，存在隨機(jī)地過(guò)調(diào)至400Pa左右，無(wú)法實(shí)現(xiàn)良好控制的問(wèn)題。而且，若要使扎和^^之間的寬度變窄，則閥開(kāi)閉速度上升，存在產(chǎn)生噪聲、閥的壽命下降等問(wèn)題。與之不同的是，圖4示出了將本發(fā)明的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)應(yīng)用于多級(jí)層疊貼合裝置的情況。在本發(fā)明的情況下，真空室的真空度不會(huì)發(fā)生振動(dòng)，處于穩(wěn)定的狀態(tài)。其結(jié)果是，在將本發(fā)明的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)應(yīng)用于多級(jí)層疊貼合裝置的情況下，能將真空室的真空度調(diào)整為目標(biāo)真空壓力值，且能穩(wěn)定地維持目標(biāo)真空壓力值。標(biāo)號(hào)說(shuō)明10接合裝置14加壓機(jī)構(gòu)22 框體24熱盤(pán)部26真空泵(真空源)28真空計(jì)30流量調(diào)節(jié)閥32控制部39真空路徑C 貼合用基材D 真空室
權(quán)利要求
1.一種真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)，所述真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)用于控制真空室的真空壓力值，其特征在于，包括 用于對(duì)所述真空室抽真空的真空路徑； 將氣體導(dǎo)入所述真空室的流量調(diào)節(jié)閥；以及 對(duì)所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率進(jìn)行控制的控制部， 所述控制部根據(jù)所述真空室的真空壓力值對(duì)所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率進(jìn)行控制，將所述真空室的真空壓力值調(diào)整為目標(biāo)真空壓力值。
2.如權(quán)利要求I所述的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述流量調(diào)節(jié)閥將惰性氣體導(dǎo)入所述真空室。
3.如權(quán)利要求I或2所述的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述流量調(diào)節(jié)閥是質(zhì)量流量控制器， 所述控制部是PID控制器。
4.一種接合裝置，具有加壓機(jī)構(gòu)、以及被所述加壓機(jī)構(gòu)施加加壓力的熱盤(pán)部， 所述熱盤(pán)部在所述加壓力的作用方向上配置有多個(gè)， 使在所述加壓力的作用方向上相鄰的所述熱盤(pán)部彼此相互層疊，從而在所述熱盤(pán)部之間形成真空室，在所述真空室內(nèi)對(duì)貼合用基材彼此進(jìn)行熱壓接以使其接合，所述接合裝置的特征在于，包括 用于對(duì)所述真空室抽真空的真空路徑； 將氣體導(dǎo)入所述真空室的流量調(diào)節(jié)閥；以及 對(duì)所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率進(jìn)行控制的控制部， 所述控制部根據(jù)所述真空室的真空壓力值對(duì)所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率進(jìn)行控制，將所述真空室的真空壓力值調(diào)整為目標(biāo)真空壓力值。
5.如權(quán)利要求4所述的接合裝置，其特征在于，所述流量調(diào)節(jié)閥將惰性氣體導(dǎo)入所述 真空室。
6.如權(quán)利要求4或5所述的接合裝置，其特征在于，形成有多個(gè)所述真空室， 形成有將所述真空室彼此之間進(jìn)行連通的連通路， 多個(gè)所述真空室同時(shí)抽真空。
7.如權(quán)利要求4至6的任一項(xiàng)所述的接合裝置，其特征在于，所述流量調(diào)節(jié)閥是質(zhì)量流量控制器， 所述控制部是PID控制器。
8.一種真空室的真空度控制方法，所述真空室的真空度控制方法用于控制真空室的真空壓力值，其特征在于， 使用真空路徑以及流量調(diào)節(jié)閥，所述真空路徑用于對(duì)所述真空室抽真空，所述流量調(diào)整閥將氣體導(dǎo)入所述真空室， 在對(duì)所述真空室抽真空的狀態(tài)下，通過(guò)增大所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率，使導(dǎo)入所述真空室的氣體流量增加，或通過(guò)減小所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率，使導(dǎo)入所述真空室的氣體流 量減少，通過(guò)改變所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率來(lái)控制真空室的真空壓力值。
9.如權(quán)利要求8所述的真空室的真空度控制方法，其特征在于，所述流量調(diào)節(jié)閥將惰性氣體導(dǎo)入所述真空室。
10.一種接合裝置的真空度控制方法，所述接合裝置具有加壓機(jī)構(gòu)、以及被所述加壓機(jī)構(gòu)施加加壓力的熱盤(pán)部， 所述熱盤(pán)部在所述加壓力的作用方向上配置有多個(gè)， 使在所述加壓力的作用方向上相鄰的所述熱盤(pán)部彼此相互層疊，從而在所述熱盤(pán)部之間形成真空室，在所述真空室內(nèi)將貼合用基材彼此進(jìn)行熱壓接以使其接合，所述接合裝置的真空度控制方法的特征在于， 使用真空路徑、流量調(diào)節(jié)閥、及控制部，所述真空路徑用于對(duì)所述真空室抽真空，所述流量調(diào)節(jié)閥將氣體導(dǎo)入所述真空室，所述控制部對(duì)所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率進(jìn)行控制， 所述控制部根據(jù)所述真空室的真空壓力值對(duì)所述流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)閉率進(jìn)行控制，將所述真空室的真空壓力值調(diào)整為目標(biāo)真空壓力值。
11.如權(quán)利要求10所述的接合裝置的真空度控制方法，其特征在于，所述流量調(diào)節(jié)閥將惰性氣體導(dǎo)入所述真空室。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能以簡(jiǎn)易的結(jié)構(gòu)提高真空壓力控制精度的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)、包括該真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)的接合裝置、真空室的真空度控制方法、以及接合裝置的真空度控制方法。用于控制真空室(D)的真空壓力值的真空室的真空度控制機(jī)構(gòu)包括用于對(duì)真空室(D)抽真空的真空路徑；將氣體導(dǎo)入真空室(D)的流量調(diào)節(jié)閥(30)；以及對(duì)流量調(diào)節(jié)閥(30)的開(kāi)閉率進(jìn)行控制的控制部(32)，控制部(32)根據(jù)真空室(D)的真空壓力值對(duì)流量調(diào)節(jié)閥(30)的開(kāi)閉率進(jìn)行控制，將真空室(D)的真空壓力值調(diào)整為目標(biāo)真空壓力值。
文檔編號(hào)B32B41/00GK102848695SQ201210147508
公開(kāi)日2013年1月2日 申請(qǐng)日期2012年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月14日
發(fā)明者和田周平 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所