專利名稱：薄膜及粘合粘接片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過加熱而變形為筒狀并保持該變形的形狀的薄膜以及使用該薄膜的粘合粘接片。
背景技術(shù)：
本發(fā)明人等至今為止開發(fā)了一種以熱收縮薄膜層/粘接性樹脂層(粘合粘接劑層)/剛性樹脂薄膜層的層疊體為基材的易剝離性粘合片(日本特愿2009-041200號和專利文獻1)。該帶材的特征在于，能夠?qū)⑼ㄟ^加熱基材而產(chǎn)生的收縮應(yīng)力在層疊體上變換為扭矩，就好像用手剝離(peel剝離)一樣能夠?qū)⒄澈掀瑥恼掣襟w剝離。另外，剝離后的帶材形狀形成筒狀。為了使該帶材作為實際應(yīng)用是有用的，需要簡便地回收筒狀物，更具體而言，需要在剝離之后維持形成筒狀的狀態(tài)。其原因是，為了用實際應(yīng)用上有用的方法回收變形為筒狀的帶材，除了使用剝離帶的回收以外，還考慮了用機械手臂等抓取、用風(fēng)吹掉等(日本特愿2009-200231號)，但在所有方法中，筒狀形狀容易由于這些回收操作中的應(yīng)力而變形、 粘合片再附著于粘附體等，從而均有可能出現(xiàn)回收變得困難。現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1 日本特許第4151850號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題本發(fā)明的課題是，在將通過粘合等手段固著于粘附體表面且通過加熱形成筒狀物的薄膜從粘附體表面除去時，形成該筒狀物的薄膜通過夾持裝置夾持或使之附著于載體時，該夾持裝置、載體在將形成筒狀物的該薄膜向著粘附體表面推壓的方向上施加力。在這種情況下，形成筒狀物的薄膜被該力壓塌時，該薄膜與粘附體的接觸面積會增加，兩者之間的粘接強度必然增高。這樣的結(jié)果是，為了從粘附體剝離形成筒狀物的薄膜，需要再次進行夾持、向載體的附著，或者為了剝離需要更大的力。因此，結(jié)果在從粘附體表面除去粘附體表面的形成筒狀物的薄膜時需要很大的力。為了消除這種現(xiàn)象，需要的是，通過加大形成筒狀物的薄膜的強度，使其在用夾持裝置夾持、使之附著于載體時，即使在向著粘附體推壓的方向上對形成筒狀物的薄膜施加力，該筒狀體的結(jié)構(gòu)不會變化到與粘附體的粘接面積影響剝離除去工序的程度。用于解決問題的方案本發(fā)明人對上述課題進行了深入研究，結(jié)果發(fā)明了下述的薄膜和粘合粘接片。一種薄膜，其是介由粘接性樹脂層，使非熱收縮性基材層疊于熱收縮基材而形成的，具有通過加熱變形為筒狀形狀物、且在形成筒狀形狀之后不會自動復(fù)原的性質(zhì)(技術(shù)方案1)。根據(jù)技術(shù)方案1所述的薄膜，其中，熱收縮基材選自拉伸處理過的聚酯類、聚烯烴類、聚酰胺類，且非熱收縮基材選自通過拉伸取向保持處理等提高了加熱時的尺寸穩(wěn)定性的、聚酯類、聚烯烴類、聚酰亞胺類、聚酰胺類(技術(shù)方案2)。根據(jù)技術(shù)方案1或2所述的薄膜，其中，熱收縮基材是室溫下的楊氏模量與厚度的乘積為42000N/m以上的材料(技術(shù)方案3)。根據(jù)技術(shù)方案2所述的薄膜，其中熱收縮基材是拉伸處理過的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜或聚鄰苯二甲酸丁二醇酯薄膜，且非熱收縮基材是進行過加熱時的尺寸穩(wěn)定化處理的聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂薄膜(技術(shù)方案4)。根據(jù)技術(shù)方案1 4中的任一方案所述的薄膜，其中粘接性樹脂層是使用由丙烯酸系單體類聚合而成的聚合物的粘合劑或使用聚酯多元醇的粘接劑(技術(shù)方案5)。一種粘合粘接片，其是在技術(shù)方案1 5中的任一方案所述的薄膜的非熱收縮基材側(cè)表面設(shè)置用于與任意的粘附體接合的粘合粘接劑層而形成的(技術(shù)方案6)。一種薄膜，其特征在于，作為來自外部的力，使技術(shù)方案1 5中的任一方案所述的薄膜切斷為50X20mm之后加熱而得到的筒狀物返回到初始的形狀所需的力為0. OlN以上(技術(shù)方案7)。一種粘合粘接片，其特征在于，作為來自外部的力，使技術(shù)方案6所述的粘合粘接片切斷為50X 20mm之后加熱而得到的筒狀物返回到初始的形狀所需的力為0. OlN以上(技術(shù)方案8)。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，在薄膜上設(shè)置粘合粘接劑層來形成粘合粘接片，以此作為例如晶片等的切割時的表面保護帶時，通過切割而切斷了的粘合粘接片此后被加熱，由端部從晶片等剝離，呈現(xiàn)筒狀形狀。而且，接著剝離和除去時，通過剝離·除去用的夾具或用于此的粘合片等，將該筒狀形狀的物質(zhì)朝向該晶片等按壓。即使在這種情況下，該筒狀形狀的物質(zhì)不會被過度壓塌，也不會出現(xiàn)暫且剝離的粘合粘接片再次粘接于該晶片等而使剝離和除去變得困難。另外，即使將暫且剝離的粘合粘接片再次粘接于該晶片等，由于薄膜自身也具有一定程度的剛性，因此可以立即返回到初始的按壓前的筒狀形狀，可以接著順利地進行剝離和除去該筒狀形狀的物質(zhì)的工序。




圖1為本發(fā)明的薄膜的截面圖。
圖2為本發(fā)明的粘合粘接片的截面圖。
圖3為本發(fā)明的薄膜以及粘合粘接片卷繞形態(tài)的圖。
圖4為本發(fā)明的粘合粘接片作為切割用表面保護片使用時的卷繞圖。
圖5為筒狀形狀物退卷時的示意圖。
圖6為示出試驗1中測定所需負荷的方法的圖。
圖7為示出試驗2和3中測定所需負荷的方法的圖。
圖8為示出試驗4中回收筒狀形狀物的工序的圖。
附圖標記說明
1 · · ·薄膜
1，· 卷繞了的薄膜
2· · 熱收縮基材
4
3 · 粘接性樹脂層
4 · 非熱收縮基材
5 · 粘合粘接片
6 · 粘合粘接劑層
7 · 粘附體
具體實施例方式以下參照附圖來說明本發(fā)明。圖1為示出本發(fā)明的薄膜的截面圖。圖2為示出本發(fā)明的粘合粘接片的截面圖。圖1所示的薄膜1是介由粘接性樹脂層3使具有熱收縮性的熱收縮基材2和約束該熱收縮基材2的收縮的非熱收縮基材4層疊而形成的薄膜。另外， 圖2所示的粘合粘接片5是在圖1所示的薄膜的非熱收縮基材4側(cè)層疊粘合粘接劑層6而得到的薄膜。在該情況下，薄膜1起到作為粘合粘接片5的支撐基材的作用。作為熱收縮基材2，只要是至少在單軸方向上具有收縮性的薄膜層即可，可以由熱收縮性薄膜、光致顯示收縮性的薄膜、電刺激引起收縮的薄膜等任何薄膜構(gòu)成。其中，從操作效率等觀點考慮，優(yōu)選用熱收縮性薄膜構(gòu)成。熱收縮基材2可以僅僅在單軸方向上具有收縮性，也可以在某個方向(單軸方向)上具有主要的收縮性而在與該方向不同的方向 (例如與該方向正交的方向)上具有次要的收縮性。熱收縮基材2可以是單層，也可以是兩個以上的層構(gòu)成的多層。構(gòu)成熱收縮基材2的收縮性薄膜的主收縮方向的收縮率優(yōu)選為30 90%。在熱收縮基材2由熱收縮性薄膜構(gòu)成時，該熱收縮性薄膜的主收縮方向的收縮率在70 180°C 范圍的規(guī)定溫度(例如95°C、140°C等)下優(yōu)選為30 90%。構(gòu)成熱收縮基材2的收縮性薄膜的主收縮方向以外的方向的收縮率優(yōu)選為10%以下，進一步優(yōu)選為5%以下，特別優(yōu)選為3%以下。熱收縮性薄膜的熱收縮性可以通過對例如通過擠出機擠出的薄膜實施拉伸處理來賦予。作為所述熱收縮性薄膜，例如可列舉出由選自聚對苯二甲酸乙二醇酯等聚酯，聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴、聚降冰片烯，聚酰亞胺、聚酰胺、聚氨酯、聚苯乙烯、聚偏二氯乙烯、 聚氯乙烯等中的一種或兩種以上的樹脂構(gòu)成的單軸拉伸薄膜。其中，從粘合粘接劑的涂布操作性等優(yōu)異的觀點考慮，由選自聚酯系樹脂、聚乙烯、聚丙烯、聚降冰片烯等聚烯烴系樹脂(包括環(huán)狀聚烯烴系樹脂)、聚氨酯系樹脂中的一種或兩種以上的樹脂構(gòu)成的單軸拉伸薄膜是優(yōu)選的。作為這種熱收縮性薄膜，可利用東洋紡公司制造的“Space clean”、GUNZE公司制造的 “Fancy wrap”、TORAY INDUSTRIES, INC.制造的 “Torayfan”、TORMINDUSTRIES， INC.制造的“Lumirror ”、JSR 公司制造的“ARTON”、ZEON CORPORATION 制造的“ZEONOR，，、旭化成公司制造的“SUNTEC”等市售產(chǎn)品。另外，在使用薄膜1作為粘合粘接片5為能量射線固化型時的支撐基材的情況下， 在使能量射線固化型粘合劑層固化時，通過熱收縮基材2進行能量射線照射時，熱收縮基材2需要用可透過規(guī)定量以上的能量射線的材料(例如具有透明性的樹脂等)構(gòu)成。
熱收縮基材2的厚度一般為5 300 μ m,優(yōu)選為10 100 μ m。熱收縮基材2的厚度過大時，剛性增高，不會變形為筒狀形狀，在熱收縮基材2與非熱收縮基材4之間分離，容易導(dǎo)致薄膜破壞。另外，已知的是，剛性大的薄膜在帶材貼合時產(chǎn)生應(yīng)力殘留，彈性變形力大，在將晶片變薄時，翹曲容易變大。為了提高熱收縮基材2的表面與鄰接的層的密合性、 保持性等，可以實施慣用的表面處理，例如鉻酸處理、臭氧暴露、火焰暴露、高壓電擊暴露、 離子化放射線處理等化學(xué)或物理處理，用底涂劑(例如粘合物質(zhì)等)的涂布處理等非收縮基材4約束熱收縮基材2的收縮，產(chǎn)生反作用力，從而作為薄膜整體產(chǎn)生了力偶，形成了引起卷繞的驅(qū)動力。另外，認為通過該非熱收縮基材4，會抑制與熱收縮基材2 的主收縮方向不同方向的次要收縮，還具有使雖為單軸收縮性但未必?zé)o差別的熱收縮基材 2的收縮方向向一個方向收斂的作用。因此認為，在對薄膜1給予促進熱收縮基材2的收縮的熱等刺激時，非熱收縮基材4中的對熱收縮基材2的收縮力的推斥力成為驅(qū)動力，薄膜1 的外緣部(一個端部或?qū)χ玫膬蓚€端部)浮起，以熱收縮基材2側(cè)為內(nèi)，從端部向一個方向或中心方向(通常為熱收縮性薄膜的主收縮軸方向)自發(fā)地卷繞，變形為筒狀形狀。另外， 通過該非熱收縮基材4，可以防止由熱收縮基材2的收縮變形產(chǎn)生的剪切力傳遞到粘合粘接劑層6、粘附體，因此可以防止再剝離時的粘合力降低的粘合粘接劑層6 (例如固化的粘合劑層)的破損、粘附體的破損、由上述破損時的粘合粘接劑層6導(dǎo)致的粘附體的污染等。非熱收縮基材4由于顯示了約束熱收縮基材2的收縮的功能，因此具有彈性粘接性(包括粘合性)。另外，為了使非熱收縮基材4順利地形成筒狀卷繞體，優(yōu)選具備一定程度的韌性或剛性。非熱收縮基材4可以由單層構(gòu)成，也可以由使功能分擔(dān)于多個層的多層構(gòu)成。在圖1、圖2的例子中，粘接性樹脂層3和非熱收縮基材4都具有非熱收縮性。優(yōu)選的是，粘接性樹脂層3在熱收縮基材2的收縮時的溫度下(在使用薄膜1作為自發(fā)卷繞性粘合粘接片的支撐基材時，粘合粘接片剝離時的溫度下)容易變形，即為橡膠狀態(tài)。然而，在具有流動性的材料中不會產(chǎn)生充分的反作用力，最終收縮性薄膜單獨收縮無法產(chǎn)生變形(自發(fā)卷繞)。因此，粘接性樹脂層3優(yōu)選通過三維交聯(lián)等來抑制流動性。另夕卜，粘接性樹脂層3根據(jù)其厚度抵抗熱收縮基材2的不一樣的收縮力中的弱小力成分，防止由該弱小力成分引起收縮變形，從而具有向一致的收縮方向轉(zhuǎn)換的作用。認為由晶片磨削后產(chǎn)生的翹曲是由于將粘合粘接片貼合于晶片時的應(yīng)力殘留，且由該殘留應(yīng)力引起收縮性薄膜彈性形變而產(chǎn)生的，而粘接性樹脂層也具有緩和該殘留應(yīng)力、使翹曲降低的作用。因此，理想的是，粘接性樹脂層3是由具有粘合性、玻璃化轉(zhuǎn)變溫度例如為50°C以下，優(yōu)選室溫(25°C)以下，更優(yōu)選0°C以下的樹脂形成的。粘接性樹脂層3的熱收縮基材 2側(cè)的表面的粘合力按180°剝離試驗(依據(jù)JIS Z0237，拉伸速度300mm/分鐘，50°C )的值計優(yōu)選為0. 5N/10mm以上的范圍。該粘合力過低時，熱收縮基材2與粘接性樹脂層3之間容易產(chǎn)生剝離。另外，粘接性樹脂層3的剪切彈性模量G在從室溫到剝離時溫度(例如80°C )下優(yōu)選為 1 X IO4Pa 5 X IO6Pa (特別是 0. 05 X IO6Pa 3 X IO6Pa)。剪切彈性模量過小時，缺乏將熱收縮基材2的收縮應(yīng)力轉(zhuǎn)換為卷繞所需應(yīng)力的作用，相反過大時，由于增強了剛性而缺乏卷繞性，此外通常彈性高者缺乏粘合性，薄膜制作易變得困難、也缺乏緩和殘留應(yīng)力的作用。作為粘接性樹脂層3的厚度，優(yōu)選為15 150 μ m 左右。上述厚度過薄時，難以獲得對熱收縮基材2的收縮的約束性，應(yīng)力緩和的效果也變小。相反過厚時，變形為筒狀形狀的變形性降低，另外，處理性、經(jīng)濟性低劣，因此不優(yōu)選。因此，粘接性樹脂層3的剪切彈性模量G(例如80°C下的值)與厚度的乘積(剪切彈性模量GX厚度)優(yōu)選為1 1000N/m(更優(yōu)選為1 150N/m，進一步優(yōu)選為1. 2 ΙΟΟΝ/m)。另外，作為粘接性樹脂層3，在粘合粘接劑層6為能量射線固化型粘合劑層時，用容易透過能量射線的材料形成，從制造上、操作性等觀點考慮能適當(dāng)選擇厚度，容易形成薄膜形狀的成型加工性優(yōu)異的層的物質(zhì)是優(yōu)選的。作為粘接性樹脂層3，例如，可以使用在表面(至少熱收縮基材2側(cè)的表面)上實施過粘合處理的聚氨酯泡沫、丙烯酸泡沫等泡沫材料(發(fā)泡薄膜)、以橡膠、熱塑性彈性體等為原材料的非發(fā)泡樹脂薄膜等樹脂薄膜(包括片材)等。對用于粘合處理的粘合劑沒有特別限制，例如可以使用丙烯酸系粘合劑、橡膠系粘合劑、乙烯基烷基醚系粘合劑、硅酮系粘合劑、聚酯系粘合劑、聚酰胺系粘合劑、聚氨酯系粘合劑、苯乙烯_ 二烯嵌段共聚物系粘合劑等公知的粘合劑中的一種或兩種以上的組合。特別是，從調(diào)整粘合力等的觀點考慮，優(yōu)選使用丙烯酸系粘合劑。此外，用于粘合處理的粘合劑的樹脂與發(fā)泡薄膜、非發(fā)泡樹脂薄膜的樹脂為了獲得高親和性優(yōu)選是同種的樹脂。例如，在粘合處理中使用丙烯酸系粘合劑時， 作為樹脂薄膜，丙烯酸泡沫等是優(yōu)選的。另外，作為粘接性樹脂層3，例如可以用交聯(lián)型丙烯酸系粘合劑等具有自粘性的樹脂組合物形成。通過這種交聯(lián)型丙烯酸系粘合劑等形成的層(粘合劑層)不需要另外實施粘合處理，可以用比較簡便的方法來制造，生產(chǎn)率、經(jīng)濟性優(yōu)異，因此優(yōu)選使用。 上述交聯(lián)型丙烯酸系粘合劑具有在以丙烯酸系聚合物為基礎(chǔ)聚合物的丙烯酸系粘合劑中添加交聯(lián)劑而成的構(gòu)成。作為丙烯酸系聚合物，例如可列舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸辛酯等(甲基)丙烯酸C1-C2tl烷基酯等(甲基)丙烯酸烷基酯的均聚物或共聚物；上述 (甲基)丙烯酸烷基酯與其他共聚性單體[例如，丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、富馬酸、馬來酸酐等含羧基或酸酐基團的單體；(甲基)丙烯酸-2-羥乙酯等含羥基的單體；(甲基)丙烯酸嗎啉等含氨基的單體；(甲基)丙烯酰胺等含酰胺基的單體；(甲基)丙烯腈等含氰基的單體；(甲基)丙烯酸異冰片酯等具有脂環(huán)式烴基的(甲基)丙烯酸酯等]的共聚物等。作為丙烯酸系聚合物，特別優(yōu)選下述共聚物丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸-2-乙基己酯等(甲基)丙烯酸C1-C12烷基酯中的一種或兩種以上、和選自丙烯酸-2-羥乙酯等含羥基的單體和丙烯酸等含羧基或酸酐基團的單體中的至少一種共聚性單體的共聚物；或者(甲基)丙烯酸C1-C12烷基酯的一種或兩種以上、和具有脂環(huán)族烴基的(甲基) 丙烯酸酯、和選自含羥基的單體和含羧基或酸酐基團的單體中的至少一種的共聚性單體的共聚物。丙烯酸系聚合物例如通過在無溶劑的情況下將上述例示的單體成分(和聚合引發(fā)劑)進行光(紫外線等)聚合，制備作為高粘度的液狀預(yù)聚物。接著，通過在該預(yù)聚物中添加交聯(lián)劑，可以得到交聯(lián)型丙烯酸系粘合劑組合物。此外，交聯(lián)劑可以在預(yù)聚物的制造時添加。另外，通過在使上述例示的單體成分聚合而得到的丙烯酸系聚合物或其溶液中添加交聯(lián)劑和溶劑(在使用丙烯酸系聚合物的溶液時不一定是必要的)，也可以得到交聯(lián)型丙烯酸系粘合劑組合物。作為交聯(lián)劑，沒有特別限制，例如可以使用異氰酸酯系交聯(lián)劑、三聚氰胺系交聯(lián)齊U、環(huán)氧系交聯(lián)劑、丙烯酸酯系交聯(lián)劑(多官能丙烯酸酯)、具有異氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯等。作為丙烯酸酯系交聯(lián)劑，例如可列舉出己二醇二丙烯酸酯、1，4-丁二醇二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯等。作為具有異氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯，例如，可列舉出丙烯酸-2-異氰酸根合乙酯、甲基丙烯酸-2-異氰酸根合乙酯等。其中，作為交聯(lián)劑，丙烯酸酯系交聯(lián)劑(多官能丙烯酸酯)、具有異氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯等紫外線(UV)反應(yīng)性交聯(lián)劑是優(yōu)選的。交聯(lián)劑的添加量相對于100重量份上述基礎(chǔ)聚合物通常為0. 01 15重量份左右，優(yōu)選為0. 05 12重量份左右。交聯(lián)型丙烯酸系粘合劑除了基礎(chǔ)聚合物和交聯(lián)劑以外還可以含有交聯(lián)促進劑、增粘劑(例如松香衍生物樹脂、聚萜烯樹脂、石油樹脂、油溶性酚醛樹脂等)、增稠劑、增塑劑、 填充劑、抗老化劑、抗氧化劑等適當(dāng)?shù)奶砑觿┳鳛檎辰有詷渲瑢?的交聯(lián)型丙烯酸系粘合劑層，例如，通過澆鑄法等公知的方法，將在上述預(yù)聚物中添加交聯(lián)劑而得到的交聯(lián)型丙烯酸系粘合劑組合物形成具有期望的厚度、面積的薄膜狀，再次光照射，使其進行交聯(lián)反應(yīng)(以及未反應(yīng)的單體的聚合)，從而可以簡便地得到符合目標的粘接性樹脂層3。這樣得到的粘接性樹脂層(交聯(lián)型丙烯酸系粘合劑層)由于具有自粘合性，因此可以直接在熱收縮基材2與非熱收縮基材4的層間進行貼合和使用。作為交聯(lián)型丙烯酸系粘合劑層，可以利用日東電工株式會社制造的商品名 “HJ-9150W”等市售的雙面粘接膠帶。此外，可以在將薄膜狀的粘合劑貼合在熱收縮基材2 與非熱收縮基材4的層間之后再次光照射，由此進行交聯(lián)反應(yīng)。另外，作為粘接性樹脂層3的交聯(lián)型丙烯酸系粘合劑層也可以通過如下而得將上述丙烯酸系聚合物和交聯(lián)劑溶解在溶劑中而得的交聯(lián)型丙烯酸系粘合劑組合物涂布于非熱收縮基材4的表面，在其上貼合熱收縮基材2之后進行光照射而得。此外，在粘合粘接劑層6為能量射線固化型粘合劑層的情況下，可以在再剝離時通過使粘合粘接劑層6固化時的能量射線照射(光照射)使上述交聯(lián)型丙烯酸系粘合劑固化(交聯(lián))。本發(fā)明的粘接性樹脂層3的構(gòu)成成分中可以進一步添加玻璃珠、樹脂珠等珠粒。 從容易控制粘合特性、剪切彈性模量的觀點來看，在粘接性樹脂層3中添加玻璃珠、樹脂珠是有利的。珠粒的平均粒徑例如為1 100 μ m，優(yōu)選為1 20 μ m左右。珠粒的添加量相對于100重量份粘接性樹脂層3的總體例如為0. 1 10重量份，優(yōu)選為1 4重量份。如果在上述添加量的范圍內(nèi)，則粘合特性不會降低，可以充分發(fā)揮上述效果。通過賦予非熱收縮基材4以剛性或韌性，具有對熱收縮基材2的收縮力產(chǎn)生反作用力，進而產(chǎn)生卷繞所需的力偶的作用。通過設(shè)置非熱收縮基材4，在對熱收縮基材2給予熱等成為收縮原因的刺激時，層疊片或粘合粘接片可以順利地自發(fā)卷繞，不會在途中停止或發(fā)生方向偏移，形成形狀整齊的筒狀卷繞體。作為構(gòu)成非熱收縮基材4的薄膜，例如可列舉出由選自聚對苯二甲酸乙二醇酯、 聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯；聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴；聚酰亞胺；聚酰胺；聚氨酯；聚苯乙烯等苯乙烯系樹脂；聚偏二氯乙烯；聚氯乙烯等中的一種或兩種以上的樹脂構(gòu)成的薄膜。其中，從粘合粘接劑的涂布操作性等優(yōu)異的觀點考慮，聚酯系樹脂薄膜、聚丙烯薄膜、聚酰胺薄膜等是優(yōu)選的。非熱收縮基材4可以是單層，也可以是兩個以上的層層疊而得到的多層。構(gòu)成非熱收縮基材4的薄膜是非收縮性的，收縮率例如為5% 以下，優(yōu)選為3%以下，進一步優(yōu)選為以下。非熱收縮基材4的楊氏模量與厚度的乘積(楊氏模量X厚度)在剝離時溫度(例如80°C )下優(yōu)選為3. OX 105N/m以下(例如1. OXlO2- 3. 0X 105N/m)，進一步優(yōu)選為 2. 8 X 105N/m以下(例如1. OX IO3 2. 8X 105N/m)。如果非熱收縮基材4的楊氏模量與厚度的乘積在上述范圍內(nèi)，則可以將熱收縮基材的收縮應(yīng)力轉(zhuǎn)換為卷繞應(yīng)力，還具有方向性收斂作用，卷繞不會被剛性抑制。非熱收縮基材4的楊氏模量在剝離時溫度(例如80°C) 下優(yōu)選為3 X IO6 2 X 101QN/m2，進一步優(yōu)選為1 X IO8 1 X 1010N/m2。如果楊氏模量在該范圍內(nèi)，則可得到形狀整齊的筒狀卷繞體，且向該筒形形狀的變形是容易發(fā)生的。非熱收縮基材4的厚度例如為20 150 μ m,優(yōu)選為25 95 μ m,進一步優(yōu)選為30 90 μ m,特別優(yōu)選為30 80 μ m左右。在上述厚度為上述范圍時，容易得到形狀整齊的卷繞的筒狀卷繞體， 而且自卷繞性不會降低，另外處理性、經(jīng)濟性變得優(yōu)異。作為粘合粘接劑層6，可以使用原本粘合力小的粘合劑層、粘接力小的粘接劑層， 但具有可貼合于粘附體的粘合性、在規(guī)定的作用完成之后用某方法(粘合性降低處理)可使粘合性降低或消失的再剝離性的粘合劑層是優(yōu)選的。這種再剝離性粘合劑層可具有與公知的再剝離性粘合粘接片的粘合劑層同樣的構(gòu)成。從自卷繞性的觀點考慮，理想的是， 粘合劑層或粘合性降低處理后的粘合劑層的粘合力(180°剝離，對硅鏡面晶片，拉伸速度 300mm/分鐘)例如在常溫(25°C )下為6. 5N/10mm以下(特別是6. ON/IOmm以下)。 作為粘合粘接劑層6，能量射線固化型粘合劑層是特別優(yōu)選的。能量射線固化型粘合劑層可以由初始具有粘合粘接性，通過照射紅外線、可見光、紫外線、X射線、電子束等能量射線而形成三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，從而高彈性化的這樣的材料構(gòu)成，作為這種材料，可以利用能量射線固化型粘合劑等。能量射線固化型粘合劑含有以用于賦予能量射線固化性的能量射線反應(yīng)性官能團進行過化學(xué)修飾化合物，或能量射線固化性化合物(或能量射線固化性樹脂)。因此，能量射線固化型粘合劑優(yōu)選使用由用能量射線反應(yīng)性官能團進行過化學(xué)修飾的母劑或在母劑中配合了能量射線固化性化合物(或能量射線固化性樹脂)的組合物構(gòu)成的粘合劑。作為所述母劑，例如可以使用現(xiàn)有公知的壓敏性粘接劑(粘合劑)等粘合物質(zhì)。 作為粘合劑，例如，可列舉出使用天然橡膠、以聚異丁烯橡膠、丁苯橡膠、苯乙烯-異戊二烯_苯乙烯嵌段共聚物橡膠、再生橡膠、丁基橡膠、聚異丁烯橡膠、NBR等橡膠系聚合物作為基礎(chǔ)聚合物的橡膠系粘合劑；有機硅系粘合劑；丙烯酸系粘合劑等。其中，丙烯酸系粘合劑是優(yōu)選的。母劑可以由一種或兩種以上的成分構(gòu)成。作為丙烯酸系粘合劑，例如可列舉出使用(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸辛酯等(甲基)丙烯酸C1-C2tl烷基酯等(甲基)丙烯酸烷基酯的均聚物或共聚物；該(甲基)丙烯酸烷基酯與其他共聚性單體[例如，丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、富馬酸、馬來酸酐等含羧基或酸酐基團的單體；(甲基)丙烯酸-2-羥乙酯等含羥基的單體；(甲基)丙烯酸嗎啉等含氨基的單體；(甲基)丙烯酰胺等含酰胺基的單體等]的共聚物等丙烯酸系聚合物作為基礎(chǔ)聚合物的丙烯酸系粘合劑等。這些可以使用單獨一種，或?qū)煞N以上組合使用。作為用于使能量射線固化型粘合劑進行能量射線固化的化學(xué)修飾中使用的能量射線反應(yīng)性官能團和能量射線固化性化合物，只要可通過紅外線、可見光、紫外線、X射線、 電子束等能量射線固化，對此就沒有特別限制，可有效進行能量射線照射后的能量射線固化型粘合劑的三維網(wǎng)狀化(網(wǎng)絡(luò)化)的物質(zhì)是優(yōu)選的。這些可以使用單獨一種或者可以將兩種以上組合使用。作為用于化學(xué)修飾的能量射線反應(yīng)性官能團，例如可列舉出丙烯酰基、 甲基丙烯?；?、乙烯基、烯丙基、乙炔基等具有碳-碳多鍵的官能團等。這些官能團通過能量射線的照射使碳-碳多鍵開裂生成自由基，該自由基形成交聯(lián)點從而可以形成三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)。其中，從可對能量射線顯示較高的反應(yīng)性，另外可以從豐富種類的丙烯酸系粘合劑中選擇和組合使用等反應(yīng)性、操作性的觀點考慮，(甲基)丙烯?；莾?yōu)選的。作為用能量射線反應(yīng)性官能團進行了化學(xué)修飾的母劑的代表性例子，可列舉出使含有羥基、羧基等反應(yīng)性官能團的單體[例如(甲基)丙烯酸-2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸等]與(甲基)丙烯酸烷基酯共聚而得到的含反應(yīng)性官能團的丙烯酸系聚合物，與分子內(nèi)具有與上述反應(yīng)性官能團反應(yīng)的基團(異氰酸酯基、環(huán)氧基等)和能量射線反應(yīng)性官能團 (丙烯?；?、甲基丙烯?；?的化合物[例如(甲基)丙烯酰氧乙基異氰酸酯等]反應(yīng)而得到的聚合物。上述含反應(yīng)性官能團的丙烯酸系聚合物中的含反應(yīng)性官能團的單體的比例相對于全部單體例如為5 40重量％，優(yōu)選為10 30重量％。與上述含反應(yīng)性官能團的丙烯酸系聚合物反應(yīng)時，分子內(nèi)具有與上述反應(yīng)性官能團反應(yīng)的基團和能量射線反應(yīng)性官能團的化合物的用量，相對于含反應(yīng)性官能團的丙烯酸系聚合物中的反應(yīng)性官能團(羥基、羧基等)例如為50 100摩爾％，優(yōu)選為60 95摩爾％。作為能量射線固化性化合物，例如，可列舉出三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、四羥甲基甲烷四丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇單羥基五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、1，4_ 丁二醇二丙烯酸酯、1，6_己二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯等含多元(甲基)丙烯酰基的化合物等具有兩個以上碳-碳雙鍵的化合物等。這些化合物可以單獨使用，或者可以將兩種以上組合使用。 其中，含多元(甲基)丙烯?；幕衔锸莾?yōu)選的，例如在日本特開2003-292916號公報中給出了例示。以下，有時將含多元 (甲基)丙烯酰基的化合物稱為“丙烯酸酯系交聯(lián)劑”。作為能量射線固化性化合物，另外，還可以使用鐺鹽等有機鹽類與分子內(nèi)具有多個雜環(huán)的化合物的混合物等。所述混合物可以通過照射能量射線使有機鹽裂解生成離子， 其成為引發(fā)種子，引起雜環(huán)的開環(huán)反應(yīng)，形成三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)。上述有機鹽類包括碘鐺鹽、鱗鹽、銻鹽、锍鹽、硼酸鹽等，上述分子內(nèi)具有多個雜環(huán)的化合物中的雜環(huán)包括氧雜環(huán)丙烷、氧雜環(huán)丁烷、氧雜環(huán)戊烷、硫雜環(huán)丙烷、氮丙啶等。具體而言，可以利用技術(shù)情報協(xié)會編的《光固化技術(shù)》(2000)中記載的化合物等。作為能量射線固化性樹脂，例如，可列舉出分子末端具有(甲基)丙烯?；孽?(甲基)丙烯酸酯、聚氨酯(甲基)丙烯酸酯、環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯、三聚氰胺(甲基)丙烯酸酯、丙烯酸類樹脂(甲基)丙烯酸酯、分子末端具有烯丙基的硫醇-烯加成型樹脂、光陽離子聚合型樹脂、聚乙烯醇肉桂酸酯等含肉桂?；木酆衔铩⒅氐被尤┣迤針渲?、 丙烯酰胺型聚合物等含有感光性反應(yīng)基團的聚合物或低聚物等。進而，作為在高能量射線下反應(yīng)的聚合物，可列舉出環(huán)氧化聚丁二烯、不飽和聚酯、聚甲基丙烯酸縮水甘油酯、聚丙烯酰胺、聚乙烯基硅氧烷(polyvinyl siloxane)等。此外，在使用能量射線固化性樹脂時， 上述母劑不一定是必要的。作為能量射線固化性粘合劑，由上述丙烯酸系聚合物或用能量射線反應(yīng)性官能團進行過化學(xué)修飾的丙烯酸系聚合物(側(cè)鏈上引入能量射線反應(yīng)性官能團的丙烯酸系聚合物)和上述能量射線固化性組合物(具有兩個以上的碳-碳雙鍵的化合物等)的組合構(gòu)成的物質(zhì)是優(yōu)選的。上述組合由于含有對于能量射線顯示了較高反應(yīng)性的丙烯酸酯基，而且可以從多種丙烯酸系粘合劑中選擇，因此從反應(yīng)性、操作性的觀點來看是優(yōu)選的。作為這種組合的具體例子，可列舉出側(cè)鏈上引入了丙烯酸酯基的丙烯酸系聚合物與具有兩個以上的具有碳-碳雙鍵的官能團(特別是丙烯酸酯基)的化合物的組合等。作為這種組合，可以利用日本特開2003-292916號公報等中公開的組合。作為在上述側(cè)鏈中引入了丙烯酸酯基的丙烯酸系聚合物的制備法，例如可以使用將丙烯酰氧乙基異氰酸酯、甲基丙烯酰氧乙基異氰酸酯等異氰酸酯化合物通過氨基甲酸酯鍵與側(cè)鏈上包含羥基的丙烯酸系聚合物鍵合的方法等。能量射線固化性化合物的配合量例如相對于100重量份母劑(例如上述丙烯酸系聚合物或用能量射線反應(yīng)性官能團進行過化學(xué)修飾的丙烯酸系聚合物)為0. 5 200重量份左右，優(yōu)選為5 180重量份，進一步優(yōu)選為20 130重量份左右的范圍。在能量射線固化型粘合劑中，以提高形成三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)的反應(yīng)速度為目標，可以配合用于使賦予能量射線固化性的化合物固化的能量射線聚合引發(fā)劑。能量射線聚合引發(fā)劑可以根據(jù)使用的能量射線的種類(例如紅外線、可見光、紫外線、X射線、電 子束等)適宜選擇公知或者慣用的聚合引發(fā)劑。從操作效率的方面考慮， 可用紫外線引發(fā)光聚合的化合物是優(yōu)選的。作為代表性的能量射線聚合引發(fā)劑，可列舉出二苯甲酮、苯乙酮、醌、萘醌、蒽醌、芴酮等酮系引發(fā)劑；偶氮二異丁腈等偶氮系引發(fā)劑；過氧化苯甲酰、過苯甲酸等過氧化物系引發(fā)劑等，但不限于這些。作為市售產(chǎn)品，例如有Ciba Geigy 公司制造的商品名 “IRGACURE 184”、“IRGACURE 651” 等。能量射線聚合引發(fā)劑可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用。作為能量射線聚合引發(fā)劑的配合量，通常，相對于100重量份上述母劑為0.01 10重量份左右，優(yōu)選為1 8 重量份左右。此外，根據(jù)需要，可以將上述能量射線聚合弓I發(fā)劑與能量射線聚合促進劑組合使用。在能量射線固化型粘合劑中，除了上述成分以外，根據(jù)需要，為了在能量射線固化前后獲得適合的粘合性，還可以配合交聯(lián)劑、固化(交聯(lián))促進劑、增粘劑、硫化劑、增稠劑等，為了提高耐久性，可以配合抗老化劑、抗氧化劑等適當(dāng)?shù)奶砑觿?。作為?yōu)選的能量射線固化型粘合劑，例如可以使用在母劑(粘合劑)中配合了能量射線固化性化合物的組合物，優(yōu)選為在丙烯酸系粘合劑中配合了 UV固化性化合物的UV 固化型粘合劑。特別是，作為能量射線固化型粘合劑的優(yōu)選實施方式，可以使用含有含側(cè)鏈丙烯酸酯的丙烯酸粘合劑、丙烯酸酯系交聯(lián)劑(含多元(甲基)丙烯?；幕衔铮欢喙倌鼙┧狨?和紫外線光聚合引發(fā)劑的UV固化型粘合劑。含側(cè)鏈丙烯酸酯的丙烯酸類粘合劑是指側(cè)鏈上引入了丙烯酸酯基的丙烯酸系聚合物?？梢杂门c上述同樣的方法制備與上述相同的物質(zhì)后使用。丙烯酸酯系交聯(lián)劑是作為含多元(甲基)丙烯?；幕衔锏纳鲜隼镜牡头肿踊衔?。作為紫外線光聚合引發(fā)劑，可以利用作為代表性的能量射線聚合引發(fā)劑的上述例示的化合物。另外，作為構(gòu)成粘合粘接劑層6的粘合劑，還可以使用以上述丙烯酸系粘合劑為母劑的非能量射線固化型粘合劑。在該情況下，具有比形成筒狀卷繞體時的剝離應(yīng)力小的粘合力的粘合劑是可適用的，例如可以使用在使用硅鏡面晶片作為粘附體的180°剝離試驗(室溫(25°C ))中為 6. 5N/10mm 以下(例如 0.05 6. 5N/10mm，優(yōu)選 0. 2 6. 5N/10mm), 特別是6. ON/IOmm以下(例如0. 05 6. 0N/10mm，優(yōu)選0. 2 6. ON/IOmm)的物質(zhì)。作為這種以粘合力小的丙烯酸系粘合劑為母劑的非能量射線固化型粘合劑，優(yōu)選使用在(甲基)丙烯酸烷基酯[例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基) 丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸辛酯等(甲基)丙烯酸C1-C20 烷基酯]、和具有反應(yīng)性官能團的單體[例如丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、富馬酸、馬來酸酐等含羧基或酸酐基團的單體；(甲基)丙烯酸-2-羥乙酯等含羥基的單體；(甲基)丙烯酸嗎啉等含氨基的單體；(甲基)丙烯酰胺等含酰胺基的單體等]、以及根據(jù)需要使用的其他共聚性單體[例如，(甲基)丙烯酸異冰片酯等具有脂環(huán)式烴基的(甲基)丙烯酸酯、丙烯腈等]的共聚物中添加能與上述反應(yīng)性官能團反應(yīng)的交聯(lián)劑[例如異氰酸酯系交聯(lián)劑、 三聚氰胺系交聯(lián)劑、環(huán)氧系交聯(lián)劑等]，使之交聯(lián)而得到的丙烯酸系粘合劑等。粘合粘接劑層6例如可以通過如下方法形成將添加粘合劑、能量射線固化性化合物、根據(jù)需要的溶劑來制備的涂布液涂布于非熱收縮基材4的表面的方法、將上述涂布液涂布于適宜的剝離襯墊(隔離膜)上形成粘合劑層，將其轉(zhuǎn)印(轉(zhuǎn)移)到非熱收縮基材4 上的方法等慣用的方法。利用轉(zhuǎn)印時，與非熱收縮基材4的界面有時留下空隙(void)。在該情況下，通過高壓釜處理等實施加熱加壓處理，可以使空隙擴散和消除。粘合粘接劑層6 可以是單層和多層中的任意一種。本發(fā)明的粘合粘接劑層6的構(gòu)成成分中，可以進一步添加玻璃珠、樹脂珠等珠粒。 在粘合粘接劑層6中 添加玻璃珠、樹脂珠時，提高了剪切彈性模量，容易使粘合力降低。珠粒的平均粒徑例如為1 100 μ m,優(yōu)選為1 20 μ m左右。珠粒的添加量相對于100重量份整個粘合粘接劑層6例如為25 200重量份，優(yōu)選為50 100重量份。如果上述添加量在該范圍內(nèi)，則不會產(chǎn)生分散不良，且粘合粘接劑的涂布不會困難。粘合粘接劑層6的厚度一般為10 200 μ m,優(yōu)選為20 100 μ m,進一步優(yōu)選為 30 60 μ m。上述厚度過薄時，由于粘合力不足，易于變得難以保持、暫時固定粘附體；過厚時不經(jīng)濟且處理性也差，因而不優(yōu)選。本發(fā)明的自卷繞性層疊片可以通過如下制造介由粘接性樹脂層3將熱收縮基材 2與非熱收縮基材4重疊，根據(jù)目的適當(dāng)選擇使用手壓輥、層壓機等層疊手段、高壓釜等大氣壓壓縮手段使其層疊來制造。另外，本發(fā)明的粘合粘接片可以通過在上述自卷繞性層疊片的非熱收縮基材4的表面設(shè)置粘合粘接劑層6，或者用粘接劑樹脂層3使預(yù)先在單面設(shè)有粘合粘接劑層6的非熱收縮基材4與熱收縮基材2重合和層疊，由此制造。本發(fā)明的粘合粘接片5例如可以用作半導(dǎo)體等的保護用粘合片、半導(dǎo)體晶片等的固定用粘合片，更具體而言，例如，可以用作硅半導(dǎo)體背面研磨用粘合片、化合物半導(dǎo)體背面研磨用粘合片、硅半導(dǎo)體切割用粘合片、化合物半導(dǎo)體切割用粘合片、半導(dǎo)體封裝切割用粘合片、玻璃切割用粘合片、陶瓷切割用粘合片等使用。特別是可用作半導(dǎo)體保護用粘合片、半導(dǎo)體晶片固定用粘合片等半導(dǎo)體用粘合片。接著，對使用本發(fā)明的粘合粘接片的粘附體的加工方法進行說明。將本發(fā)明的粘合粘接片貼合于粘附體并暫時固定，對粘附體(被加工物)進行所需的加工，然后使粘合粘接片的粘合粘接劑層的粘合力降低，并賦予成為熱收縮基材的收縮原因的熱等刺激，從粘合粘接片的一個端部向一個方向(通常為主收縮軸方向)或從對置的兩個端部向中心(通常向主收縮軸方向)自發(fā)地卷繞，形成一個或兩個筒狀形狀，由此從粘附體剝離可得加工品。此外，從粘合粘接片的一個端部向一個方向變形時，會形成一個筒狀形狀(單向卷繞剝離)，從粘合粘接片的對置的兩個端部向中心自發(fā)地卷繞時，會形成平行排列的兩個筒狀形狀(雙向卷繞剝離)。作為被加工物的代表性例子，可列舉出半導(dǎo)體晶片等。加工的種類包括例如磨削、 切斷、研磨、蝕刻、車床加工、加熱(然而，在為熱收縮基材的情況下，限于熱收縮引發(fā)溫度以下的溫度)等，只要是可使用該粘合粘接片而實施的加工，對此就沒有特別限制。被加工物的加工后，例如，粘合粘接劑層為能量射線固化型粘合劑層時，如果對該粘合劑層進行能量射線照射，并且通過所需的加熱手段加熱熱收縮基材，則粘合劑層固化而失去粘合力，熱收縮基材將要收縮變形，因此粘合粘接片外緣部浮起，粘合粘接片一邊從其外緣部(或?qū)χ玫膬蓚€外緣部)卷繞，一邊向一個方向(或方向互為相反的兩個方向(中心方向))自行移動，形成一個(或兩個)筒狀形狀。此時，由于通過非熱收縮基材會調(diào)整粘合粘接片的收縮方向，因此一邊向單軸方向卷繞，一邊快速地形成筒狀形狀。因而，可以從粘附體(加工物)上極其容易且漂亮地剝離粘合粘接片。加熱溫度可根據(jù)熱收縮基材的收縮性來適當(dāng)選擇，例如為70 180°C，優(yōu)選為70 140°C。能量射線照射、加熱處理可以同時進行，可以分階段進行。另外，加熱不僅可以在粘附體整個表面均勻地加熱，也可以在整個表面分階段加熱，進而還可以僅為了制作剝離起點而局部加熱，應(yīng)該以有效利用易剝離性為目標適當(dāng)選擇。圖3為示出本發(fā)明的薄膜或粘合粘接片變形為筒狀形狀的情況的圖(立體圖)， (A)為示出賦予成為收縮性薄膜的收縮原因的刺激之前的薄膜或粘合粘接片的圖，(B)為示出賦予了成為熱收縮基材的收縮原因的刺激的薄膜或粘合粘接片(粘合劑層的粘合力降低或消失后的粘合粘接片)從片材外緣部(一個端部)向一個方向(通常為收縮性薄膜的主收縮軸方向)開始卷繞時的狀態(tài)的圖，(C)為示出片材卷繞結(jié)束， 形成一個筒狀形狀時的狀態(tài)(單向卷繞)的圖。另外，(D)為示出從片材的對置的兩個端部向中心(通常向收縮性薄膜的主收縮軸方向)自發(fā)變形而形成兩個筒狀形狀時的狀態(tài)(雙向卷繞)的圖。此夕卜，薄膜與在該薄膜上設(shè)置粘合粘接劑層而得的粘合粘接片在向筒狀形狀的變形性上基本上幾乎沒有差別。薄膜、粘合粘接片是發(fā)生單向卷繞還是發(fā)生雙向卷繞根據(jù)非熱收縮基材對熱收縮基材的粘合力、非熱收縮基材(特別是粘接性樹脂層)的剪切彈性模量等而改變。在圖3中，L表示薄膜或粘合粘接片5的卷繞方向(通常熱收縮基材的主收縮軸方向)的長度(在片材為圓形的情況下為直徑)(圖3的(A))，r表示所形成的筒狀形狀的直徑(如片材為圓形等的情況那樣，筒狀形狀的直徑在筒的長度方向不固定的情況下，為最大直徑)(圖3的(C)、(D))。在本發(fā)明的薄膜或粘合粘接片中，r/L的值優(yōu)選為在0.001 0. 333的范圍，更優(yōu)選在0. 01 0. 2的范圍。此外，L例如為10 2000mm，優(yōu)選為300 IOOOmm0薄膜或粘合粘接片中的與L正交的方向的長度例如為10 2000mm，優(yōu)選為300 IOOOmm左右。r/L的值可以通過對熱收縮基材2、非熱收縮基材4和粘接性樹脂層3、粘合粘接劑層6的各層的材料的種類、組成和厚度等，特別是粘接性樹脂層3的剪切彈性模量和厚度以及非熱收縮基材4的楊氏模量和厚度進行調(diào)整而設(shè)定在上述范圍內(nèi)。在該例中，薄膜或粘合粘接片的形狀是四邊形的，但不限于此，根據(jù)目的可以適當(dāng)選擇，可以是圓形、橢圓形、多邊形等中的任意形狀。
在粘附體(被加工物)的加工中使用本發(fā)明的粘合粘接片時，可以避免由剝離時的應(yīng)力導(dǎo)致的被加工物的破損，例如，即使在加工厚度薄的半導(dǎo)體晶片等脆弱的粘附體時， 也不發(fā)生粘附體破損、污染，可以簡易地從該粘附體剝離粘合粘接片。本發(fā)明是由上述的材料和層構(gòu)成的、介由粘接性樹脂層使非熱收縮基材層疊于熱收縮基材而形成的薄膜和粘合粘接片，進而要求具有在加熱而形成筒狀形狀之后不會自動復(fù)原的性質(zhì)。為了確認該性質(zhì)，如圖5所示，例如，將薄膜切斷為長度50mm寬度20mm的尺寸，將其在A工序中加熱而形成筒狀形狀物，如果在B工序中將該筒狀形狀物退卷到加熱前的初始長度50mm所需的力F超過0. 01N,則可確切地判斷出形成為筒狀形狀的薄膜不會自動復(fù)原。其原因是，由于筒狀形狀物象彈簧那樣起作用，因此需要用于退卷的力，但該所需的力取決于筒狀形狀物的剛性。即退卷所需的力超過0. OlN時，構(gòu)成筒狀形狀物的薄膜具有高剛性，例如，在粘接于粘附體之后形成筒狀形狀物，即使由在將其剝離·除去操作中的應(yīng)力導(dǎo)致該筒狀物被壓塌那樣的情況下，也不會被壓塌至容易再附著那樣的變形程度?；蛘撸词乖俑街?，也會由高剛性(彈性)引起變形回復(fù)發(fā)生，從而再附著部分剝離，因此回收操作變得簡便。進而，如果該力為0.05N以上，則可以形成更硬的筒狀形狀。 此外，雖然在上述中，薄膜的尺寸設(shè)定為長度50mm寬度20mm，但這并非是對薄膜的尺寸的限定，始終不過僅作為一個例子示出。當(dāng)然，如果薄膜的尺寸不同，自然所需的力根據(jù)該尺寸會變化，因此退卷到加熱前的初始長度所需的力成為不同于0. OlN的力。作為在這種具有在形成筒狀形狀之后不會自動復(fù)原的性質(zhì)的本發(fā)明的薄膜所需的物性，熱收縮基材的楊氏模量與厚度的乘積可以為42000N/m以上，進一步優(yōu)選為 80000N/m以上。其原因是，為了具有作為彈簧的強度，需要構(gòu)成層疊樹脂層的材料的剛性
尚ο此外，關(guān)于收縮基材的楊氏模量，由于熱收縮基材一般是通過雙軸拉伸來制作，因此在薄膜面內(nèi)具有各向異性(薄膜的縱向、橫向上形成不同的值)，在本發(fā)明中，可以采用兩個方向的楊氏模量中的較高的值。另外，對于將薄膜切斷為IOX IOmm且加熱而形成筒狀形狀的物質(zhì)，施加負荷，如果施加負荷之前的初始的直徑(L)在施加負荷之后變成1/2所需的負荷為IN以上，則表現(xiàn)了耐受外部應(yīng)力、對剝離 除去呈現(xiàn)充分的硬度的筒狀形狀，進一步如果為1. 2N以上，則可以具有對剝離·除去更充分的硬度。以下基于實施例來進一步說明本發(fā)明的效果。實施例1如表1所示，作為熱收縮基材，使用東洋紡公司制造的Spaceclean S7200 (厚度 30 μ m)(楊氏模量與厚度的乘積為102000N/m)，介由粘接性樹脂層即聚酯多元醇系粘合齊U，將非熱收縮基材即TORAY INDUSTRIES, INC.制造的Lumirror S105(厚度38μπι)層疊于該熱收縮基材，得到薄膜。實施例2除了非熱收縮基材為 TORAY INDUSTRIES, INC.制造的 Lumirror ElO (厚度 12 μ m)以外，與實施例1同樣地得到薄膜。實施例3除了粘接性樹脂層是由丙烯酸系粘合劑形成以外，與實施例1同樣地得到薄膜。實施例4作為熱收縮基材，使用TORAY INDUSTRIES, INC.制造的 Torayfan 8D_YK51(厚度 Sym)(楊氏模量與厚度的乘積為28000N/m)，介由粘接性樹脂層即聚酯多元醇系粘合劑， 將非熱收縮基材即TORAY INDUSTRIES, INC.制造的Lumirror E55 (厚度25 μ m)層疊于該熱收縮基材，得到薄膜。試驗1將實施例1 4的薄膜切斷為寬度20mmX長度70mm。

如圖6所示，使用雙面膠帶將相當(dāng)于長度70mm的一端的20mm的部分貼附于試樣支撐板(Imm的SUS板)，沒有與支撐板接合的部分在C工序中加熱，形成筒狀。接著，在D工序中，將砝碼安裝在筒狀物的一個端部，測定成為加熱前的形狀的負荷。其結(jié)果，在實施例1 3中，所需負荷F為0. 07N以上，與此相反，在實施例4中為0. 01N。試驗2將實施例1 4的薄膜切斷為IOX 10mm，加熱，形成筒狀形狀。對該筒狀形狀的物質(zhì)施加負荷進行壓縮，測定用于使筒狀形狀的高度(L’ )為初始直徑(L)的1/2所需的負荷。其結(jié)果，在實施例1 3中該負荷均需要IN以上，與此相反，在實施例4中，為測定范圍以下的0. 05N。由此可知，退卷時需要0. OlN以上的力的筒狀形狀的物質(zhì)，能夠耐受在外部應(yīng)力下的變形。試驗3將丙烯酸系粘合劑涂布于實施例1 4的薄膜的非熱收縮基材側(cè)，制作粘合片。將該粘合片切斷為 οX 10mm，然后加熱，形成筒狀形狀。將該筒狀形狀的物質(zhì)貼附到玻璃板， 然后用試驗2中使用的測定裝置，施加10 15N的力，盡可能地壓塌筒狀物，使粘合劑層密合(粘合)于玻璃板。此后，通過層疊基材的剛性(彈性)回復(fù)，在密合部分消失的同時測定復(fù)原成壓塌前的筒狀時的時間。而且，復(fù)原為圖8的X所示的形狀那樣所需的時間為1分鐘以內(nèi)的為 〇，如果經(jīng)過1分鐘以上沒有復(fù)原成圖8的Y所示的那樣，則為X。其結(jié)果，使用實施例1 3的層疊基材的粘合片在解除負荷的同時回復(fù)了形狀， 在1分鐘以內(nèi)復(fù)原為初始的形狀，由實施例4的薄膜得到的粘合片中保持密合，形狀沒有回復(fù)。由此可知，退卷時需要0. OlN以上的力的筒狀物即使在剝離操作應(yīng)力下再附著于粘附體，只要除去該力，就不會損害剝離的簡便性。試驗4假定使用本發(fā)明的粘合片用于切割時的表面保護用途，通過進行下述試驗判斷有用性。對于以試驗3中制作的實施例1 4的薄膜為基礎(chǔ)的四種粘合片，分別準備25個切斷為 ο X IOmm之后加熱而形成筒狀形狀的物質(zhì)，均等地配置于5 X 5cm的玻璃板。
如圖8所示，為了回收玻璃板上的25個筒狀物，在筒狀形狀之上設(shè)置50mm寬度的日東電工株式會社制造的BT315(背面研磨膠帶回收帶)，從BT315上方抵壓金屬制的壓印墊板(baren)(直徑8cm)，使得BT315可靠地粘合于筒狀形狀的物質(zhì)。充分壓入后除去壓印墊板，剝離BT315。其結(jié)果，以實施例1 3的薄膜為基礎(chǔ)的粘合片均能回收25個筒狀物。 另一方面，在實施例4中充分壓入時，BT315的一部分粘合于玻璃板，因此不能剝離。另外， 減弱按壓以使其不粘接于玻璃板時，筒狀物與BT315的粘合變得不完全，在該情況下，也只能回收最多20個筒狀物。因此判斷，以實施例4的薄膜為基礎(chǔ)的粘合片不適合于實際應(yīng)用。綜合這些試驗1 4的結(jié)果，本發(fā)明的薄膜和粘合粘接片由于具備呈現(xiàn)出加熱后不會自動復(fù)原的筒狀形狀的性質(zhì)，因此與不具有這種性質(zhì)的粘合粘接片比較，產(chǎn)生了在粘附體表面粘合粘接形成筒狀形狀之后，能可靠地剝離除去該筒狀形狀的物質(zhì)的效果。表權(quán)利要求
1.一種薄膜，其是介由粘接性樹脂層使非熱收縮性基材層疊于熱收縮基材上而形成的，具有通過加熱變形為筒狀形狀物、且在形成筒狀形狀之后不會自動復(fù)原的性質(zhì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜，其中，熱收縮基材選自拉伸處理過的聚酯類、聚烯烴類、聚酰胺類，且非熱收縮基材選自通過拉伸取向保持處理提高了加熱時的尺寸穩(wěn)定性的、 聚酯類、聚烯烴類、聚酰亞胺類、聚酰胺類。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的薄膜，其中，熱收縮基材是室溫下的楊氏模量與厚度的乘積為42000N/m以上的材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄膜，其中熱收縮基材是拉伸處理過的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜或聚鄰苯二甲酸丁二醇酯薄膜，且非熱收縮基材是進行過加熱時的尺寸穩(wěn)定化處理的聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂薄膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中的任一項所述的薄膜，其中粘接性樹脂層是使用由丙烯酸系單體類聚合而成的聚合物的粘合劑或使用聚酯多元醇的粘接劑。
6.一種粘合粘接片，其是在權(quán)利要求1 5中的任一項所述的薄膜的非熱收縮基材側(cè)表面設(shè)置用于與任意的粘附體接合的粘合粘接劑層而形成的。
7.一種薄膜，其特征在于，作為來自外部的力，使權(quán)利要求1 5中的任一項所述的薄膜切斷為50X20mm之后加熱而得到的筒狀物返回到初始的形狀所需的力為0. OlN以上。
8.一種粘合粘接片，其特征在于，作為來自外部的力，使權(quán)利要求6所述的粘合粘接片切斷為50X20mm之后加熱而得到的筒狀物返回到初始的形狀所需的力為0. OlN以上。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種薄膜及粘合粘接片。在將通過粘合等手段固著于粘附體表面的、通過加熱形成筒狀物的薄膜從粘附體表面除去時，形成該筒狀物的薄膜通過夾持裝置夾持或使之附著于載體時，該夾持裝置、載體在將形成筒狀物的該薄膜向著粘附體表面推壓的方向上施加力。此時，形成筒狀物的薄膜被該力壓塌時，該薄膜與粘附體的接觸面積增加，兩者之間的粘接強度增高。結(jié)果，為了從粘附體剝離形成筒狀物的薄膜，需要再次進行夾持、向載體的附著，或者用于剝離需要更大的力。一種薄膜，其是介由粘接性樹脂層使非熱收縮性基材層疊于熱收縮基材而形成的，具有通過加熱變形為筒狀形狀物、且在形成筒狀形狀后不會自動復(fù)原的性質(zhì)。
文檔編號B32B27/00GK102218865SQ201110099909
公開日2011年10月19日 申請日期2011年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月19日
發(fā)明者西尾昭德 申請人:日東電工株式會社