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制備感光層壓體的裝置和方法

文檔序號(hào):2432282閱讀:292來源:國知局
專利名稱:制備感光層壓體的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及通過如下方式制備感光層壓體的裝置和方法提供具有相 繼層壓在載體層上的感光材料層和保護(hù)膜的細(xì)長感光料片;剝離預(yù)定長度 的保護(hù)層;以及將暴露長度的感光材料層敷貼到襯底上,其中從所述感光 材料層上已經(jīng)將所述長度的保護(hù)層剝離。
背景技術(shù)
例如,液晶面板用襯底、印刷布線板用襯底和PDP面板用襯底包含具 有感光材料(感光樹脂)層并且被敷貼到襯底表面上的感光片材(感光體)。感 光片材通常被構(gòu)造成為層壓在撓性塑料載體層上的感光材料層和保護(hù)膜 的層壓組件。用于敷貼這種感光片材的敷貼裝置通常工作,以將襯底如玻璃襯底、 樹脂襯底等以給定的分隔間隔進(jìn)料,并且從感光片材上剝離出相應(yīng)于被敷 貼到相應(yīng)襯底上的感光材料層長度的保護(hù)膜長度。根據(jù)在日本公開專利出版物11-34280中公開的膜敷貼方法和裝置,例 如如在附圖的

圖16中所示,從膜巻1上退巻的層壓膜la被巻繞在導(dǎo)輥2a, 2b上,并且沿著水平膜進(jìn)料平面延伸。將沿著水平膜進(jìn)料平面延伸的層壓膜la繞著吸輥4巻繞。部分切割器 5和覆蓋膜剝離器6被設(shè)置在導(dǎo)輥2b和吸輥4之間。部分切割器5包括一對盤式切割器5a, 5b。通過操作部分切割器5,盤 式切割器5a, 5b橫向移動(dòng)穿過層壓膜la,以切割覆蓋膜(未顯示)和在覆蓋 膜的相反側(cè)上的感光樹脂層(未顯示),所述覆蓋膜和感光樹脂層在層壓膜 la上。覆蓋膜剝離器6包括膠帶輥7、兩對壓力輥8a, 8b和收緊輥9。在處于 工作中時(shí),通過壓力輥8a, 8b將從膠帶輥7上退巻的膠帶7a壓在覆蓋膜上。然后,通過收緊輥9將其上粘附有覆蓋膜的膠帶7a巻繞。因此,將 覆蓋膜從感光樹脂層上剝離,留下其由盤式切割器5a,5b確定的長度,并 且將覆蓋膜與膠帶7a —起巻繞在收緊輥9上。吸輥4之后,是一對在其下游的層壓輥12a, 12b,用于將層壓膜la壓 在多個(gè)襯底11的上表面上,所述多個(gè)襯底11由襯底進(jìn)料機(jī)10以分隔的 間隔相繼進(jìn)料。載體膜收緊輥13放置在層壓輥12a, 12b的下游,用于將 來自相應(yīng)襯底11之間的能透光的載體膜(未顯示)巻繞。當(dāng)在層壓膜la上的覆蓋膜和感光樹脂層以下列方式橫向移動(dòng)穿過層 壓膜la時(shí),它們通過盤式切割器5a和5b切割在將層壓膜la連續(xù)供應(yīng)到層壓輥12a, 12b的同時(shí),將層壓膜la敷貼 到襯底11上,然后將部分切割器5與層壓膜la放齊,同時(shí)切割覆蓋膜和 感光樹脂層。備選地,可以將膜儲(chǔ)存器設(shè)置在部分切割器5和層壓輥12a, 12b之間,而將層壓膜la連續(xù)第供應(yīng)給在膜儲(chǔ)存器下游的層壓輥12a, 12b, 當(dāng)層壓膜la在膜儲(chǔ)存器的上游保持靜止時(shí),部分切割器5切割覆蓋膜和 感光樹脂層。根據(jù)另一種切割方法,當(dāng)將層壓膜la間歇供應(yīng)給層壓輥12a, 12b的同 時(shí),將層壓膜la敷貼至后續(xù)的襯底11時(shí),部分切割器5在沒有進(jìn)料層壓 膜la的過程中開動(dòng),以切割覆蓋膜和感光樹脂層。備選地,類似于當(dāng)將 層壓膜la連續(xù)地進(jìn)料給層壓輥12a, 12b時(shí)的情況,可以使用膜儲(chǔ)存器, 以使層壓膜la敷貼到后續(xù)的襯底11上,同時(shí)允許部分切割器5彼此獨(dú)立 地切割覆蓋膜和感光樹脂層。如果在層壓膜la被連續(xù)地供應(yīng)給層壓輥12a, 12b的同時(shí)將層壓膜la 敷貼到后續(xù)的襯底11上,則難于調(diào)節(jié)將其上殘留有覆蓋膜的層壓膜la和 襯底11進(jìn)料給層壓輥12a, 12b的時(shí)機(jī),可能導(dǎo)致缺陷產(chǎn)品。由于需要用 于使部分切割器5與層壓膜la或膜儲(chǔ)存器一致地移動(dòng)的機(jī)構(gòu),因此整個(gè) 裝置具有復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。由于需要使部分切割器5與層壓膜la—致地移動(dòng) 的空間以及用于安裝膜儲(chǔ)存器的空間,因此該裝置的尺寸也大。當(dāng)將層壓 膜la被部分切割器5切割而引起的張力變化傳遞給層壓膜敷貼器時(shí),層 壓膜la趨向于在不同條件下被敷貼到襯底11上,導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量降低。如果層壓膜la被間歇地進(jìn)料給層壓輥12a, 12b的同時(shí)將層壓膜la敷貼到后續(xù)的襯底11上,則其上殘留覆蓋膜的層壓膜la和襯底11可以相 對于彼此相對較高精確性地定位,并且不需要用于移動(dòng)部分切割器5和膜 儲(chǔ)存器的機(jī)構(gòu)。因此,缺陷產(chǎn)生的比率較低,并且與層壓膜la被連續(xù)供 應(yīng)給層壓輥12a, 12b的情況相比,該裝置更簡單和更小。
然而,在間歇進(jìn)料循環(huán)之間,層壓膜la被靜止保持與層壓輥12a, 12b 長時(shí)間周期接觸。從層壓輥12a, I2b施加給保持靜止的層壓膜la的熱量 導(dǎo)致層壓膜la的在保持與層壓輥12a, 12b接觸的區(qū)域與層壓膜la的不接 觸層壓輥12a, 12b的區(qū)域之間產(chǎn)生條狀不規(guī)則性。此外,在熱敏樹脂層中 的熱誘導(dǎo)變色可能在層壓膜la保持與層壓輥12a, 12b接觸的區(qū)域中出現(xiàn)。 結(jié)果,層壓膜la的質(zhì)量被降低。
上述問題可以通過縮短層壓膜la與層壓輥12a, 12b靜止接觸的時(shí)間 周期加以解決。然而,由于部分切割器5橫向切割覆蓋膜需要一定的時(shí)間 周期,并且如果為了制備更大尺寸產(chǎn)品而產(chǎn)生具有更大寬度的層壓膜la, 則切割覆蓋膜需要更長的時(shí)間周期,因此難于降低層壓膜la與層壓輥12a, 12b靜止接觸的時(shí)間周期。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一般目的是提供用于通過如下方式有效率地制備高質(zhì)量感光 層壓體的裝置和方法使用更簡單的工藝和配置將細(xì)長感光料片精確地敷 貼到襯底上。
本發(fā)明的一個(gè)主要目的是提供用于通過如下方式制備感光層壓體的裝 置和方法在不受張力變化影響的情況下,將細(xì)長感光料片整齊地敷貼到 襯底上。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供用于通過如下方式制備感光層壓體的裝置
和方法在不受熱量影響的情況下,將細(xì)長感光料片整齊地敷貼到襯底上。 本發(fā)明的再一個(gè)目的是提供一種在縮短的時(shí)間周期內(nèi)快速制備感光層
壓體的裝置和方法。
根據(jù)本發(fā)明,在以第一低速度進(jìn)料細(xì)長感光料片的同時(shí),高度精確地
布置襯底和感光材料層。在還沒有通過敷貼器將感光材料層敷貼到襯底上
的這個(gè)時(shí)間過程中,加工單元在加工單元沿著進(jìn)料細(xì)長感光料片的方向上移動(dòng)所需的最小距離之內(nèi)在細(xì)長感光料片上形成加工區(qū)。當(dāng)將感光材料層 敷貼到襯底時(shí),沒有進(jìn)行在細(xì)長感光料片上形成加工區(qū)的加工,并且細(xì)長 感光料片和襯底以比第一速度高的第二速度進(jìn)料。因此,在不受在細(xì)長感 光料片上形成加工區(qū)時(shí)產(chǎn)生的張力變化的不利影響的情況下,有效率并且 高精確度地制備出敷貼襯底,所述敷貼襯底指的是將給定長度的感光材料 層敷貼其上的襯底。
在細(xì)長感光料片和襯底以第一低速度進(jìn)料的同時(shí),敷貼襯底被被設(shè)置 在敷貼器的下游的切割器切斷。
在細(xì)長感光料片和襯底以第一低速度進(jìn)料的同時(shí),將粘性標(biāo)簽敷貼到 細(xì)長感光料片中已經(jīng)形成加工區(qū)的剝離部。
根據(jù)被設(shè)置在敷貼器上游的檢測器檢測到的加工區(qū)的檢測信息,速度 控制器基于在敷貼器和加工區(qū)之間的位置關(guān)系控制第一和第二速度。
如果使細(xì)長感光料片停止敷貼器上長于預(yù)定的時(shí)間周期,則在保持與 敷貼器接觸的細(xì)長感光料片的區(qū)域和沒有保持與敷貼器接觸的細(xì)長感光 料片的其它區(qū)域內(nèi)之間,由于熱量而趨向于在細(xì)長感光料片內(nèi)顯現(xiàn)條紋不 規(guī)則性。此外,如果細(xì)長感光料片需要確定的時(shí)間周期在直到過敷貼器, 則感光材料層易受熱誘導(dǎo)變色。第一低速度是鑒于這些時(shí)間周期建立的。
在既沒有發(fā)展條紋不規(guī)則性也沒有發(fā)展熱誘導(dǎo)變色的時(shí)間周期的過程 中,所述第一速度被設(shè)定為停止速度和低速度的組合,在所述的停止速度, 將所述細(xì)長感光料片的進(jìn)料停止預(yù)定的時(shí)間周期,并且在所述的低速度, 將所述細(xì)長感光料片進(jìn)料。
為了能夠使加工單元能夠形成加工區(qū),在敷貼器內(nèi)放置形成于細(xì)長感 光料片的加工區(qū)以及定位襯底的同時(shí),將細(xì)長感光料片從加工單元到敷貼 器的進(jìn)料距離大致設(shè)置為在位于剝離部的相應(yīng)相對側(cè)上的殘留部之間的 距離的整數(shù)倍。
從下面結(jié)合附圖的描述中,本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將 變得更明顯,在所述附圖中,通過示例性的實(shí)例顯示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施
附圖簡述圖1是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方案的制備裝置的示意性側(cè)視圖2是在制備裝置所使用的細(xì)長感光料片的放大局部橫截面圖; 圖3是其上粘合有粘性標(biāo)簽的細(xì)長感光料片的放大局部平面圖; 圖4是制備裝置的敷貼機(jī)構(gòu)的正視圖; 圖5是制備裝置的控制系統(tǒng)的方塊圖6是顯示在制備裝置中安置感光料片的過程中的初始狀態(tài)的示意性 側(cè)視圖。
圖7是關(guān)于制備裝置的各種部件工作的計(jì)時(shí)圖8是制備裝置的局部的示意性側(cè)視圖,顯示使制備裝置初始工作的 方式;
圖9是制備裝置的局部的示意性側(cè)視圖,顯示其在第一玻璃襯底進(jìn)行 的層壓處理開始時(shí)的工作;
圖IO是制備裝置的局部的示意性側(cè)視圖,顯示其在第一襯底上進(jìn)行的 層壓處理開始之后,切斷感光料片的前端的工作;
圖11是制備裝置的局部的示意性側(cè)視圖,顯示其在第一玻璃襯底上進(jìn) 行的層壓處理完成時(shí)的工作;
圖12是制備裝置的局部的示意性側(cè)視圖,顯示其在第二玻璃襯底上進(jìn) 行的層壓處理開始時(shí)的工作;
圖13是玻璃襯底的局部橫截面圖,其中感光樹脂層被轉(zhuǎn)移到玻璃襯底
上;
圖14是制備裝置的一部分的示意性側(cè)視圖,顯示其在第二玻璃襯底上 進(jìn)行的層壓處理完成時(shí)的操作;
圖15是制備裝置的一部分的示意性側(cè)視圖,顯示在其上已經(jīng)敷貼細(xì)長 感光料片的襯底之間切斷細(xì)長感光料片的方式;以及
圖16是如在日本公開專利出版物11-34280中公開的常規(guī)膜敷貼裝置 的示意性橫截面圖。
實(shí)施本發(fā)明的最佳方式
圖1是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方案的用于制備感光層壓體的裝置20的示 意性側(cè)視圖。在制備用于液晶面板或有機(jī)EL面板的濾色器的工藝中,制備裝置20工作,以將細(xì)長感光料片22的感光樹脂層28(下面描述)熱轉(zhuǎn)移 到玻璃襯底24上。
圖2以橫截面顯示在制備裝置20中使用的感光料片22。感光料片22 包括由撓性基底膜(載體)26、設(shè)置在撓性基底膜26上的感光樹脂層(感光 材料層)28和設(shè)置在感光樹脂層28上的保護(hù)膜30構(gòu)成的層壓組件。
如圖1所示,制備裝置20包括料片放出機(jī)構(gòu)32,其中容納有成巻 感光料片22形式的感光料片巻22a并且能夠?qū)⒏泄饬掀?2從感光料片輥 22a上放出;部分切割機(jī)構(gòu)36(加工單元),用于在已經(jīng)放出的感光料片22 的保護(hù)膜30中形成橫向可切斷的部分切割區(qū)34(加工區(qū));以及,標(biāo)簽粘 合機(jī)構(gòu)40(標(biāo)簽粘合單元),用于將粘性標(biāo)簽38粘合到保護(hù)膜30上(見圖 3),所述每一個(gè)粘性標(biāo)簽38都具有非粘合區(qū)38a。
標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40的下游設(shè)置有剝離機(jī)構(gòu)44(剝離器),用于將確定長 度的保護(hù)膜30從感光料片22上剝離;襯底進(jìn)料機(jī)構(gòu)45(襯底進(jìn)料器),用 于將玻璃襯底24加熱到預(yù)定溫度并且將該加熱的玻璃襯底24進(jìn)料給敷貼 位置;以及,敷貼機(jī)構(gòu)46(敷貼器),用于將通過剝離保護(hù)膜30而暴露的 感光樹脂層28敷貼到玻璃襯底24上。
在敷貼機(jī)構(gòu)46中的敷貼位置上游和附近,設(shè)置有檢測機(jī)構(gòu)47(檢測 器),用于直接檢測位于感光料片22的邊界上的部分切割區(qū)34。在敷貼機(jī) 構(gòu)46的下游,設(shè)置有襯底間料片切割機(jī)構(gòu)48(切割器),其切割在兩個(gè)相 鄰襯底24之間的感光料片22。在襯底間料片切割機(jī)構(gòu)48的上游,設(shè)置有 料片前端切割機(jī)構(gòu)48a,當(dāng)制備裝置20本身處于工作時(shí),所述料片前端切 割機(jī)構(gòu)48a工作。
在料片放出機(jī)構(gòu)32的下游和靠近處,設(shè)置有接合基底49,其將基本 上被用完的感光料片22的尾端和將要使用的感光料片22的前端連接。接 合基底49的下游跟隨有膜末端位置檢測器51,用于控制由于感光料片輥 22a的巻繞不規(guī)則性導(dǎo)致的感光料片22的橫向移動(dòng)。膜末端位置通過橫向 移動(dòng)料片放出機(jī)構(gòu)32進(jìn)行調(diào)節(jié)i。然而,膜末端位置還可以通過包含輥組 合的位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)進(jìn)行調(diào)節(jié)。料片放出機(jī)構(gòu)32可以包括多個(gè)以橫向陣列 加載的感光料片輥22a,用于將相應(yīng)感光料片22從感光料片巻22a中同 時(shí)退巻。部分切割機(jī)構(gòu)36被設(shè)置在一對輥50的下游,其計(jì)算巻繞在料片放出 機(jī)構(gòu)32中的感光料片巻22a的直徑。部分切割機(jī)構(gòu)36具有一對圓形刀片 52a, 52b和吸板53,所述一對圓形刀片52a, 52b沿著進(jìn)料感光料片22的 方向(由箭頭A所示)彼此分隔一定距離,所述吸板53布置在相對于圓形 刀片52a,52b的下面并且與它們面對,用于向下吸住感光料片22。圓形刀 片52a, 52b橫向移動(dòng)穿過感光料片22,以在感光料片22的給定位置上形 成部分切割區(qū)34。設(shè)置部分切割機(jī)構(gòu)36,設(shè)置的位置使得感光料片22從 部分切割機(jī)構(gòu)36進(jìn)料到敷貼機(jī)構(gòu)46的進(jìn)料途徑的長度大致等于在玻璃襯 底24的相反末端處的部分切割區(qū)34之間距離的整數(shù)倍。
如圖2所示,部分切割區(qū)34需要被形成為至少橫跨保護(hù)膜30。實(shí)際 上,為了可靠地切割保護(hù)膜30,將圓形刀片52a,52b設(shè)計(jì)成切割進(jìn)入到感 光樹脂層28以及基底膜26內(nèi)。圓形刀片52a,52b可以被固定并且橫向移 動(dòng)越過感光料片22,以形成部分切割區(qū)34,或者可以旋轉(zhuǎn)而不是滑動(dòng)越 過感光料片22并且橫向移動(dòng)越過感光料片22,由此形成部分切割區(qū)34。 通過使用激光束或超聲能量的切割工藝,或使用刮刀片、條形擠壓刀片 (Thompson刀片)等而不是使用圓形刀片52a, 52b的切割工藝,也可以形成 部分切割區(qū)34。
部分切割區(qū)34用來設(shè)置在兩個(gè)相鄰玻璃襯底24之間的分隔間隔。例 如,部分切割區(qū)34在與玻璃襯底24的各個(gè)邊緣向內(nèi)分隔10 mm的位置上 的保護(hù)膜30中形成。在下面描述,當(dāng)感光樹脂層28在敷貼機(jī)構(gòu)46中被 作為玻璃襯底24的框架敷貼時(shí),安插在部分切割區(qū)34之間的保護(hù)膜30 的部分起著掩模的作用。
為了留下介于玻璃襯底24之間的保護(hù)膜30的殘留部30b,標(biāo)簽粘合 機(jī)構(gòu)40供應(yīng)粘性標(biāo)簽38,所述的粘性標(biāo)簽38將前剝離部30aa和后剝離 部30ab相互連接。如圖2所示,最初被剝離的前剝離部30aa和后來被剝 離的后剝離部30ab位于殘留部30b的相應(yīng)兩側(cè)上。
如圖3所示,每一個(gè)粘性標(biāo)簽38都是矩形條狀,并且由與保護(hù)膜30 同樣的樹脂材料制成。每一個(gè)粘性標(biāo)簽38都具有位于中心的沒有粘合劑 的非-粘合(或微粘性)區(qū)38a和分別布置在非-粘合區(qū)38a的縱向相對末端 上,即在粘性標(biāo)簽38的縱向相對端部上的第一粘合區(qū)38b和第二粘合區(qū)38c,所述第一粘合區(qū)38b和第二粘合區(qū)38c分別粘合到前剝離部30aa和 后剝離部30ab上。
如圖1所示,標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40可以與部分切割機(jī)構(gòu)36 —起沿著進(jìn)料 感光料片22的方向(由箭頭A所示)移動(dòng)。標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40包括吸墊54a到 54e,用于以高達(dá)約250 mm的分隔間隔敷貼多個(gè)粘性標(biāo)簽38;以及設(shè)置 在吸墊54a至l」54e下面的吸板55,以向下吸住感光料片22。
剝離機(jī)構(gòu)44包含吸鼓62,用于降低感光料片22位于吸鼓62上游的 部分的張力變化,以在感光料片22被層壓時(shí)使其張力穩(wěn)定。剝離輥63設(shè) 置在吸鼓62的附近。通過剝離輥63,以銳剝離角從感光料片22上剝離的 保護(hù)膜30除其殘留部30b外都被保護(hù)膜收緊單元64巻繞。
在剝離機(jī)構(gòu)44的下游,設(shè)置張力控制機(jī)構(gòu)66,用于賦予感光料片22 張力。張力控制機(jī)構(gòu)66具有圓筒68,圓筒78能夠受激勵(lì)而成角度放置張 力浮動(dòng)輥(dancer)70,使得張力浮動(dòng)輥70保持與感光料片22滾動(dòng)接觸,以 調(diào)節(jié)其張力。只有在必要時(shí),可以使用張力控制機(jī)構(gòu)66,并且可以完全地 省卻。
檢測機(jī)構(gòu)47具有光電傳感器72,如激光傳感器、光傳感器等,用于 直接檢測由于在部分切割區(qū)34的楔形凹槽所引起的感光料片22的變化; 由于保護(hù)膜30的不同厚度產(chǎn)生的臺(tái)階(step)或這兩者的任意組合。來自光 電傳感器72的檢測信號(hào)用作代表保護(hù)膜30中邊界位置的邊界位置信號(hào)。 光電傳感器72以面對墊輥73的關(guān)系放置。備選地,可以使用非-接觸位移 計(jì)或圖像檢査裝置,如CCD相機(jī)等代替光電傳感器72。
由檢測機(jī)構(gòu)47檢測到的部分切割區(qū)34的位置數(shù)據(jù)可以進(jìn)行統(tǒng)計(jì)處理, 并且轉(zhuǎn)變成實(shí)時(shí)圖形數(shù)據(jù)。當(dāng)檢測機(jī)構(gòu)47檢測到的這種位置數(shù)據(jù)顯示不 合適變化或偏移時(shí),制備裝置20可以產(chǎn)生警報(bào)。
制備裝置20可以使用產(chǎn)生邊界位置信號(hào)的不同系統(tǒng)。在這種不同的系 統(tǒng)中,雖然部分切割區(qū)34沒有被直接檢測,但是將標(biāo)記應(yīng)用于感光料片 22上。例如,可以靠近部分切割區(qū)34的感光料片22中形成孔或凹部,或 者可以通過激光束或水噴射(aquajet)將感光料片22切口 ,或者可以通過噴 墨或印刷機(jī)進(jìn)行標(biāo)記。檢測在感光料片22的這些標(biāo)記,并且將檢測的信 號(hào)用作邊界位置信號(hào)。襯底進(jìn)料機(jī)構(gòu)45包括多個(gè)襯底加熱單元(例如,加熱器)74和進(jìn)料機(jī) 76,所述多個(gè)襯底加熱單元(例如,加熱器)74被設(shè)置成將玻璃襯底24夾 在中間并且加熱玻璃襯底24,所述進(jìn)料機(jī)76用于在箭頭C所示的方向上 進(jìn)料玻璃襯底24。在襯底加熱單元74中,玻璃襯底24的溫度全程受到控 制。當(dāng)玻璃襯底24的監(jiān)測溫度變成異常時(shí),進(jìn)料機(jī)76停止活動(dòng),并且發(fā) 出警報(bào),由此送出表示異常的信息,以使異常的玻璃襯底24在隨后工序 中被拒絕并且排出。監(jiān)測到的溫度還用于質(zhì)量控制和生產(chǎn)管理的目的。進(jìn) 料機(jī)76包括氣浮板(未顯示),以使玻璃襯底24在箭頭C所示方向漂浮并 進(jìn)料。備選地,進(jìn)料機(jī)76可以包含用于進(jìn)料玻璃襯底24的輥式傳輸器。
根據(jù)接觸工藝(例如,使用熱電偶)或通過非接觸工藝,玻璃襯底24的 溫度應(yīng)當(dāng)優(yōu)選在襯底加熱單元74內(nèi)測量,或緊鄰敷貼位置之前測量。
在襯底加熱單元74的上游設(shè)置襯底存儲(chǔ)框架71,以存儲(chǔ)多個(gè)玻璃襯 底24。存儲(chǔ)在襯底存儲(chǔ)框架71內(nèi)的玻璃襯底24被安裝在機(jī)器人75的手 75a上的吸墊79逐一吸住,從襯底存儲(chǔ)框架71取出,并且插入到襯底加 熱單元74內(nèi)。
襯底加熱單元74的下游設(shè)置制動(dòng)器77和位置傳感器78,制動(dòng)器緊靠 著玻璃襯底24的前端,用于固定玻璃襯底24,而所述位置傳感器78檢測 玻璃襯底24的前端位置。玻璃襯底24在朝敷貼位置的路途上時(shí),位置傳 感器78檢測玻璃襯底24的前端位置。在位置傳感器78檢測到玻璃襯底 24的前端之后,將玻璃襯底24進(jìn)料到預(yù)定距離并且位于敷貼機(jī)構(gòu)46的橡 膠輥80a,80b之間。優(yōu)選地,沿進(jìn)料途徑以分隔的間隔布置多個(gè)位置傳感 器78,以監(jiān)測玻璃襯底24達(dá)到位置傳感器78的相應(yīng)位置時(shí)的時(shí)間,由此 檢査當(dāng)玻璃襯底24開始進(jìn)料時(shí)因玻璃襯底24的滑動(dòng)而引起的延遲。如圖 1所示,在進(jìn)料玻璃襯底24的同時(shí),由襯底加熱單元74加熱玻璃襯底24。 然后,還可以將玻璃襯底24在間歇加熱爐中加熱并且通過機(jī)器人進(jìn)料。
敷貼機(jī)構(gòu)46包括一對垂直分隔的層壓橡膠輥80a, 80b,該橡膠輥80a, 80b可以被加熱到預(yù)定溫度。敷貼機(jī)構(gòu)46還具有一對分別保持與橡膠輥 80a, 80b滾動(dòng)接觸的墊輥82a, 82b。通過輥夾具單元83將墊輥82b壓在橡 膠輥80b上。
如圖4所示,輥夾具單元83具有驅(qū)動(dòng)馬達(dá)93,驅(qū)動(dòng)馬達(dá)93包含連接至減速器93a的驅(qū)動(dòng)軸,減速器93a具有共軸連接至滾珠螺桿94上的驅(qū) 動(dòng)軸93b。螺母95螺紋套在滾珠螺桿94上面,并且固定到滑動(dòng)基底96 上。在箭頭B所示的感光料片22的橫向方向上,錐形凸輪97a, 97b被固 定安裝在滑動(dòng)基底96的相應(yīng)相反末端上。錐形凸輪97a, 97b在箭頭Bl 所示的方向上越來越高。輥98a, 98b與相應(yīng)錐形凸輪97a, 97b滾動(dòng)接觸放 置,并且被旋轉(zhuǎn)保持在按壓圓筒84a, 84b的相應(yīng)下端。如圖1所示,接觸防止輥86可移動(dòng)地設(shè)置在橡膠輥80a的附近,用于 防止感光料片22接觸橡膠輥80a。在敷貼機(jī)構(gòu)46的上游和附近,設(shè)置有 預(yù)熱單元87,用于將感光料片22預(yù)熱到預(yù)定溫度。預(yù)熱單元87包括加熱 裝置,如紅外棒加熱器等。玻璃襯底24從敷貼機(jī)構(gòu)46進(jìn)料,并且沿著在箭頭C所示方向上延伸 的進(jìn)料途徑88通過襯底間料片切割機(jī)構(gòu)48。進(jìn)料途徑88包括輥陣列, 所述輥陣列包含膜進(jìn)料輥90和襯底進(jìn)料輥92,其中在它們之間安置料片 前端切割機(jī)構(gòu)48a。橡膠輥80a, 80b和襯底進(jìn)料輥92之間的距離等于或小 于1個(gè)玻璃襯底24的長度。襯底間料片切割機(jī)構(gòu)48和料片前端切割機(jī)構(gòu)48a可沿著感光料片22 和玻璃襯底24進(jìn)料的方向(即,由箭頭C所示的方向)移動(dòng)。襯底間料片切 割機(jī)構(gòu)48和料片前端切割機(jī)構(gòu)48a包括相應(yīng)的切割刀片89, 89a和相應(yīng)的 吸板91,91a,所述切割刀片89,89a可以橫行移動(dòng)跨過感光料片22,而所 述吸板91, 91a分別與切割刀片89, 89a面對的關(guān)系布置,以向上吸住感光 料片22。在制備裝置20中,在敷貼機(jī)構(gòu)46的上方,設(shè)置料片放出機(jī)構(gòu)32、部 分切割機(jī)構(gòu)36、標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40、剝離機(jī)構(gòu)44、張力控制機(jī)構(gòu)66和檢測 機(jī)構(gòu)47。相反地,在敷貼機(jī)構(gòu)46的下面,可以設(shè)置料片放出機(jī)構(gòu)32、部 分切割機(jī)構(gòu)36、標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40、剝離機(jī)構(gòu)44、張力控制機(jī)構(gòu)66和檢測 機(jī)構(gòu)47,以使感光料片22垂直反轉(zhuǎn),并且將感光樹脂層28連接至玻璃襯 底24的下表面上。備選地,可以線性排列制備裝置20的所有機(jī)構(gòu)。如圖5所示,制備裝置20通過過程控制器IOO(速度控制器)控制其全 部。為了控制制備裝置20的不同功能部件,制備裝置20還包括襯底加熱 控制器102、部分切割控制器104、標(biāo)簽粘合控制器106、層壓控制器108和膜切割控制器110等。這樣的控制器通過內(nèi)部過程網(wǎng)絡(luò)112連接至過程 控制器100上。過程控制器100連接至其內(nèi)并入制備裝置20的工廠網(wǎng)絡(luò), 并且基于通過網(wǎng)絡(luò)接收自管理計(jì)算機(jī)的指示信息(條件設(shè)定和生產(chǎn)信息), 進(jìn)行用于生產(chǎn)的信息處理,例如,生產(chǎn)管理和機(jī)構(gòu)工作管理。襯底加熱控制器102控制襯底加熱單元74,以接收來自上游工序的玻 璃襯底24,并且將所接收的玻璃襯底24加熱到所需溫度,此外控制襯底 進(jìn)料機(jī)構(gòu)45,以將加熱的玻璃襯底24進(jìn)料到敷貼機(jī)構(gòu)46,并且還控制涉 及玻璃襯底24的信息的處理。為了在感光料片22中形成部分切割區(qū)34,部分切割控制器104在預(yù) 定時(shí)機(jī)控制操作部分切割機(jī)構(gòu)36的過程。為了將粘性標(biāo)簽38粘合到感光 料片22上,標(biāo)簽粘合控制器106在預(yù)定時(shí)機(jī)控制操作標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40的 過程?;诒粰z測機(jī)構(gòu)47檢測到的感光料片22的部分切割區(qū)34的位置信 息,層壓控制器108控制敷貼機(jī)構(gòu)46。為了切割在玻璃襯底24之間的感光料片22,或?yàn)榱藢⒏泄饬掀?2的 不必要的前端部分切割掉,膜切割控制器110在預(yù)定時(shí)機(jī)控制操作襯底間 料片切割機(jī)構(gòu)48和料片前端切割機(jī)構(gòu)48a的過程。通過分隔墻111將用于制備裝置20的安裝空間分隔成第一清潔室 112a和第二清潔室112b。在第一清潔室112a內(nèi),放置有料片放出機(jī)構(gòu)32、 部分切割機(jī)構(gòu)36、標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40、剝離機(jī)構(gòu)44和張力控制機(jī)構(gòu)66。在 第二清潔室112b內(nèi),放置有檢測機(jī)構(gòu)47以及檢測機(jī)構(gòu)47之后的其它部 件。第一清潔室112a和第二清潔室112b通過傳遞區(qū)114而彼此連接。在制備裝置20中,分隔墻111防止來自敷貼機(jī)構(gòu)46的熱空氣上升并 且熱影響感光料片22,例如,防止感光料片22的起皺、變形、熱收縮或 拉伸。分隔墻111進(jìn)一步將制備裝置20的灰塵粒子容易產(chǎn)生和降落的上 部區(qū)域即第一清潔室112a與制備裝置20的下部區(qū)即第二清潔室112b分 開,由此保持敷貼機(jī)構(gòu)46清潔。理想的是,保持第二清潔室112b內(nèi)的壓 力高于第一清潔室112a內(nèi)的壓力,以防止灰塵粒子從第一清潔室112a流 入第二清潔室112b。下面將描述用于實(shí)施本發(fā)明制備方法的制備裝置20的操作。首先,為了將感光料片22的前端放置在適當(dāng)位置,將感光料片22從 容納在料片放出機(jī)構(gòu)32中的感光料片巻22a中放出。將感光料片22輸送 通過部分切割機(jī)構(gòu)36、標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40、剝離機(jī)構(gòu)44和敷貼機(jī)構(gòu)46,以 到達(dá)膜進(jìn)料輥90,膜進(jìn)料輥90抓住感光料片22的前端(參見圖6)。此時(shí), 為了防止感光料片22接觸加熱的橡膠輥80a, 80b,接觸防止輥86在箭頭 所示的方向上移動(dòng)。由此,防止了感光料片22在被敷貼到玻璃襯底24上 之前,被過度加熱以及使其質(zhì)量降低。下面將參考圖7所示的計(jì)時(shí)圖描述當(dāng)以層壓模式工作時(shí),制備裝置20 的功能部件的工作。如圖8所示,接觸防止輥86在箭頭所示方向上升高,由此膜進(jìn)料輥 90和橡膠輥80a旋轉(zhuǎn),以使感光料片22以速度VI沿著在箭頭C所示方 向的橡膠輥80a進(jìn)料。此時(shí),受部分切割控制器104控制的部分切割機(jī)構(gòu)36的吸板53在箭 頭所示方向上被舉起,以吸住感光料片22,并且部分切割機(jī)構(gòu)36以速度 VI與感光料片22 —致地在箭頭A所示方向上移動(dòng)。圓形刀片52a, 52b以 速度V3橫向移動(dòng)越過感光料片22,切割入保護(hù)膜30和感光樹脂層28或 基底膜26中,由此在兩個(gè)位置上形成部分切割區(qū)34,所述兩個(gè)位置彼此 分隔相應(yīng)于殘留部30b的距離?,F(xiàn)在,感光料片22具有形成在其上的前 剝離部Maa和后剝離部30ab,其中殘留部30b安插在它們之間(見圖2)。 在部分切割區(qū)34形成之后,將吸板53降低,并且移動(dòng)離開感光料片22, 以使部分切割機(jī)構(gòu)36返回其初始位置。設(shè)置圓形刀片52a, 52b橫向移動(dòng)越過感光料片22的速度V3,設(shè)置的 值使得感光料片22以等于或低于速度VI的速度在箭頭A所示的方向上 移動(dòng)的同時(shí),可以完成部分切割區(qū)34。在部分切割區(qū)34形成時(shí),橡膠輥 80b在較低的位置,并且感光料片22沒有通過敷貼機(jī)構(gòu)46敷貼到玻璃襯 底24上。在其中形成部分切割區(qū)34的感光料片22以速度VI連續(xù)進(jìn)料到標(biāo)簽 粘合機(jī)構(gòu)40。當(dāng)部分切割區(qū)34到達(dá)標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40時(shí),標(biāo)簽粘合控制 器106控制標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40,以在圖8的箭頭所示方向上升高吸板55。 吸板55吸住在感光料片22上的殘留部30b附近內(nèi)的基底膜26,并且以速度VI在箭頭A所示方向上與感光料片22 —致地移動(dòng)。將被吸墊54a到 54e吸住的粘性標(biāo)簽38橫跨保護(hù)膜30的殘留部30b粘合到前剝離部30aa 上和粘附到后剝離部30ab上(參見圖3)。在粘性標(biāo)簽38被粘合之后,將 吸板55降低,并且移動(dòng)離開感光料片22,以使標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40返回其初始位置。在感光料片22以等于或低于速度V1的速度在箭頭A所示方向上移動(dòng) 的同時(shí),標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40完成粘合過程。在粘合過程期間,敷貼機(jī)構(gòu)46 沒有敷貼感光料片22。如圖1所示,將其上粘合有粘性標(biāo)簽38的感光料片22連續(xù)進(jìn)料到剝 離機(jī)構(gòu)44。在剝離機(jī)構(gòu)44中,感光料片22的基底膜26被吸鼓62吸住, 由此通過粘性標(biāo)簽38連接的保護(hù)膜30被從感光料片22上剝離,由此留 下殘留部30b。保護(hù)膜30通過剝離輥63以銳剝離角被剝離掉,并且通過 保護(hù)膜收緊單元64巻繞。此時(shí),由于感光料片22被吸鼓62牢固地固定,因此當(dāng)保護(hù)膜30從感 光料片22上剝離時(shí)產(chǎn)生的震動(dòng)沒有被傳遞給在吸鼓62的下游的感光料片 22。因此,這樣的震動(dòng)沒有傳遞給敷貼機(jī)構(gòu)46,因而有效地防止了玻璃襯 底24的層壓部分在其內(nèi)發(fā)展條紋缺陷區(qū)。在由剝離機(jī)構(gòu)44將保護(hù)膜30從基底膜26上剝離,留下殘留部30b 之后,張力控制機(jī)構(gòu)66調(diào)節(jié)感光料片22的張力,然后通過檢測機(jī)構(gòu)47 的光電傳感器72檢測感光料片22的部分切割區(qū)34?;诓糠智懈顓^(qū)34的檢測信息,膜進(jìn)料輥90旋轉(zhuǎn),以使預(yù)定長度的 感光料片22進(jìn)料到敷貼機(jī)構(gòu)46。在襯底加熱控制器102的控制下,玻璃襯底24通過襯底加熱單元74 被加熱到預(yù)定溫度。在基于來自檢測機(jī)構(gòu)47的光電傳感器72的檢測信息 的預(yù)定時(shí)機(jī),玻璃襯底24通過襯底進(jìn)料機(jī)構(gòu)45進(jìn)料,并且被引入和放置 在介于橡膠輥80a, 80b之間的給定位置上。然后,如圖4所示,在層壓控制器108的控制下,通過連接至驅(qū)動(dòng)馬 達(dá)93上的減速器93a使?jié)L珠螺桿94在給定方向上旋轉(zhuǎn),由此使滑動(dòng)基底 96在箭頭B2所示的方向上與螺紋套在滾珠螺桿94的螺母95 —致地移動(dòng)。 因此,與輥98a, 98b接觸的錐形凸輪97a, 97b的凸輪表面升高,由此輥98a, 98b向上移動(dòng)。按壓圓筒84a, 84b升高,舉起墊輥82b和橡膠輥80b, 以使玻璃襯底24在預(yù)定壓力下被夾在橡膠輥80a, 80b之間(見圖9)。此時(shí), 通過供應(yīng)給按壓圓筒84a, 84b的氣壓量調(diào)節(jié)所述壓力。在通過橡膠輥80a, 80b將感光料片22和襯底24夾在之間之后,使上 輥80a和膜進(jìn)料輥90以速度V2(V2 〉 VI )旋轉(zhuǎn),目的在于使感光料片22 和襯底24在箭頭C所示方向上進(jìn)料。感光樹脂層28被加熱熔融并且轉(zhuǎn)移 到(即,層壓到)玻璃襯底24上。在層壓處理過程中,部分切割機(jī)構(gòu)36和 標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40步進(jìn)行部分切割過程和標(biāo)簽粘合過程。因此,由于層壓 過程不受張力變化的不利影響,否則張力變化將由這些過程產(chǎn)生,所以整 齊并且有效地進(jìn)行層壓過程。將感光樹脂層28在下列條件下被層壓到玻璃襯底24上感光樹脂層 28以在1.0 m/min.到10.0 m/min.范圍內(nèi)的速度進(jìn)料,橡膠輥80a, 80b的溫 度在100° C至150。 C的范圍內(nèi),硬度在40至80的范圍內(nèi),并且輥80a, 80b 的施加壓力(線性壓力)在50 N/cm至400 N/cm的范圍內(nèi)。如圖10所示,當(dāng)玻璃襯底24的前端達(dá)到靠近膜進(jìn)料輥90的位置時(shí), 膜進(jìn)料輥90移動(dòng)離開玻璃襯底24。當(dāng)感光料片22的前端(所述前端在箭 頭C所示的方向上向前突出在玻璃襯底24的前面)到達(dá)相對于料片前端切 割機(jī)構(gòu)48a的預(yù)定位置時(shí),為了吸住感光料片22并且橫向移動(dòng)切割刀片 89a越過感光料片22,由此將感光料片22的不必要前端切割掉,通過膜 切割控制器110控制料片前端切割機(jī)構(gòu)48a,以降低吸板91a。此時(shí),料 片前端切割機(jī)構(gòu)48a以速度V2與感光料片22 —致地在箭頭C所示的方向 上移動(dòng),由此切割感光料片22。在將感光料片22的前端切割掉之后,料 片前端切割機(jī)構(gòu)48a返回到其備用位置,并且當(dāng)制備裝置20處于正常操 作時(shí)不使用。如圖11所示,在通過橡膠輥80a, 80b將感光料片22向上層壓到玻璃 襯底24的尾端之后,橡膠輥80a停止旋轉(zhuǎn)(參見圖7中的間隔)。在感光料 片22被橡膠輥80a停止之后,玻璃襯底24連同層壓在其上的感光料片 22(也稱作"敷貼襯底24a")被襯底進(jìn)料輥92夾持。橡膠輥80b縮回離開橡膠輥80a,由此松開敷貼襯底24a。具體地,如 圖4所示,連接至驅(qū)動(dòng)馬達(dá)93的減速器93a反轉(zhuǎn),導(dǎo)致滾珠螺桿94和螺母95使滑動(dòng)基底96在箭頭B1所示的方向上移動(dòng)。因此,與輥98a, 98b 接觸的錐形凸輪97a, 97b的凸輪表面降低,由此使按壓圓筒84a, 84b向下 移動(dòng)。墊輥82b和橡膠輥80b也降低,以松開敷貼襯底24a。在橡膠輥80a停止旋轉(zhuǎn)之前的預(yù)定時(shí)間,玻璃襯底24從制動(dòng)器77上 放出,并且通過襯底進(jìn)料機(jī)構(gòu)45的進(jìn)料機(jī)76以速度V4進(jìn)料。玻璃襯底 24被引導(dǎo)擴(kuò)過位置傳感器78到介于松開的橡膠輥80a, 80b之間的給定位 置,并且在該位置等待。在橡膠輥80a停止后經(jīng)過預(yù)定時(shí)間周期(例如,l秒)之后,橡膠輥80a 和襯底進(jìn)料輥92開始旋轉(zhuǎn),以使感光料片22和敷貼襯底24a以速度VI 在箭頭C所示的方向上進(jìn)料預(yù)定的時(shí)間周期(例如,3秒,參見圖7中的間 隔a2),所述V1低于在層壓處理過程中使用的速度V2。然后,橡膠輥80a 和襯底進(jìn)料輥92停止旋轉(zhuǎn)預(yù)定的時(shí)間周期(例如,1秒;參見圖7中的間 隔a3)。此時(shí),在感光料片22上的襯底間位置22b移動(dòng)到橡膠輥80a的下 面和附近的位置。在制備出敷貼襯底24a之后以及直到下一個(gè)敷貼襯底24a開始制備的 時(shí)間周期(間隔al - a3 )期間,感光料片22的進(jìn)料停止或感光料片22以低 速(速度V1)進(jìn)料,同時(shí)接觸橡膠輥80a。由于感光料片22停止進(jìn)料只有短時(shí)間周期(例如,l秒),因此感光樹 脂層28沒有受到來自橡膠輥80a的熱量的不利影響,因此防止在邊界區(qū) 內(nèi)的條紋不規(guī)則性發(fā)展,所述邊界區(qū)介于保持與橡膠輥80a接觸的區(qū)域和 保持不與橡膠輥80a接觸的區(qū)域之間。還證實(shí),即使感光料片22以低速 度連續(xù)進(jìn)料,感光料片22也沒有發(fā)展可能導(dǎo)致質(zhì)量問題的條紋不規(guī)則性。此外,如果將間隔al - a3表示的時(shí)間周期限制為5秒或更短,則感光 料片22的感光樹脂層28沒有遭受因加熱所致的熱誘導(dǎo)變色,因此感光樹 脂層28可以保持純(neat)的狀態(tài)。在通過橡膠輥80a, 80b在第一敷貼襯底24a上進(jìn)行的層壓處理完成之 后,感光料片22停止,同時(shí)保持部分接觸橡膠輥80a,然后以速度V1移 動(dòng),并且再次停止(在圖7中的間隔al -a3)。在此時(shí)間期間,部分切割機(jī) 構(gòu)36的吸板53升高,并且吸住感光料片22。之后,吸板53以速度VI 在圖1中箭頭A所示的方向上與感光料片22—致地移動(dòng)。同時(shí),圓形刀片52a, 52b橫向移動(dòng)越過感光料片22,從而在感光料片22內(nèi)形成部分切 割區(qū)34。感光料片22從部分切割機(jī)構(gòu)36到敷貼機(jī)構(gòu)46的進(jìn)料途徑的長度被大 致設(shè)定為相鄰殘留部30b之間的距離的整數(shù)倍(見圖3)。當(dāng)部分切割區(qū)34 通過部分切割機(jī)構(gòu)36形成時(shí),可以將沒有進(jìn)行層壓處理的殘留部30b放 置在敷貼機(jī)構(gòu)46內(nèi)。類似地,在標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40的吸板55被舉起以吸住感光料片22之后, 吸板55以速度VI在圖1中箭頭A所示的方向上與感光料片22 —致地移 動(dòng)。同時(shí),將被吸墊54a到54e吸住的粘性標(biāo)簽38粘合到通過部分切割 機(jī)構(gòu)36形成的部分切割區(qū)34(見圖4)。標(biāo)簽粘合過程通過標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu). 40進(jìn)行,同時(shí)進(jìn)行的是通過部分切割機(jī)構(gòu)36進(jìn)行的形成部分切割區(qū)34 的過程。在間隔al - a3中,由于感光料片22停止或以比在層壓過程中使用的 速度低有速度VI進(jìn)料,因此部分切割機(jī)構(gòu)36和標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40在箭頭 A所示的方向上移動(dòng)小的距離。因此,即使這些機(jī)構(gòu)也沿著感光料片22 進(jìn)料的方向移動(dòng),制備裝置20在尺寸上也不大。由于在部分切割機(jī)構(gòu)36和標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40在與感光料片22的進(jìn)料動(dòng) 作同步移動(dòng)的同時(shí),形成部分切割區(qū)34并且粘合粘性標(biāo)簽38,因此感光 料片22沒有張力變化。因此,不需要介于標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40和剝離機(jī)構(gòu)44 之間的膜儲(chǔ)存器(reservoir),并且制備裝置20在結(jié)構(gòu)上較簡單。在部分切割機(jī)構(gòu)36和標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40進(jìn)行它們相應(yīng)的處理時(shí),感光 料片22的殘留部30b被放置在敷貼機(jī)構(gòu)46k ,盡管層壓處理實(shí)際上不通 過敷貼機(jī)構(gòu)46進(jìn)行。因此,即使敷貼機(jī)構(gòu)46上游進(jìn)行的處理引起張力變 化,但是這些張力變化也沒有不利地影響在敷貼機(jī)構(gòu)46內(nèi)的感光料片22。當(dāng)部分切割機(jī)構(gòu)36和標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40分別進(jìn)行的處理完成時(shí),感光 料片22從吸板53, 55上放出,同時(shí)部分切割機(jī)構(gòu)36和標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40 停止在箭頭A所示方向上的移動(dòng),并返回它們的初始位置。橡膠輥80b被舉起,由此在橡膠輥80a, 80b之間夾持下一個(gè)玻璃襯底 24和感光料片22。當(dāng)感光料片22和玻璃襯底24以速度V2進(jìn)料時(shí),橡膠 輥80a, 80b和襯底進(jìn)料輥92旋轉(zhuǎn),開始將感光料片22層壓到玻璃襯底24上,并且還將敷貼襯底24a在箭頭C所示方向上進(jìn)料(見圖12)。此時(shí),如 圖13所示,敷貼襯底24a具有被殘留部30b覆蓋的相對末端。因此,當(dāng) 感光樹脂層28被轉(zhuǎn)移到玻璃襯底24上時(shí),感光樹脂層28被轉(zhuǎn)移形成類 似圖案框架的排列。在感光料片22被層壓到玻璃襯底24上時(shí),部分切割機(jī)構(gòu)36沒有形 成部分切割區(qū)34,并且標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40也沒有粘合粘性標(biāo)簽38。因此, 感光料片22可以被高精度地層壓到玻璃襯底24上,而不受張力變化的不 利影響。不需要考慮時(shí)間周期,否則這將是形成部分切割區(qū)34和粘合粘 性標(biāo)簽38的過程所需要的。由于感光料片22和玻璃襯底24可以以高速 度V2進(jìn)行,同時(shí)允許進(jìn)行層壓處理,因此可以更有效率地制備敷貼襯底 24a。當(dāng)?shù)谝环筚N襯底24a的尾端到達(dá)襯底進(jìn)料輥92時(shí),上襯底進(jìn)料輥92 被舉起以松開第一敷貼襯底24a,而下襯底進(jìn)料輥92連同進(jìn)料途徑88中 的其它輥一起連續(xù)旋轉(zhuǎn),以使敷貼襯底24a進(jìn)料。如圖14所示,當(dāng)下一 個(gè)(即,第二個(gè))敷貼襯底24a的尾端到達(dá)靠近橡膠輥80a,80b的位置時(shí), 橡膠輥80a, 80b和襯底進(jìn)料輥92再次停止旋轉(zhuǎn)(見在圖7中的間隔al)。如 圖15所示,上襯底進(jìn)料輥92降低,以夾持第二敷貼襯底24a,同時(shí)橡膠 輥80b降低以松開第二敷貼襯底24a。然后,橡膠輥80a和襯底進(jìn)料輥92 旋轉(zhuǎn),以使第二敷貼襯底24a和感光料片22以比在層壓過程中的速度V2 低的速度V1進(jìn)料。此時(shí),存在于已經(jīng)超過襯底進(jìn)料輥92的第一敷貼襯底24a和第二敷貼 襯底24a之間和感光料片22的襯底間位置22b到達(dá)襯底間料片切割機(jī)構(gòu) 48,由此在該襯底間位置22b上的感光料片22被襯底間料片切割機(jī)構(gòu)48 的吸板91吸住。襯底間料片切割機(jī)構(gòu)48使吸板91以速度VI在箭頭C 所示方向上與感光料片22—致地移動(dòng),同時(shí)還使切割刀片89橫向地移動(dòng) 越過感光料片22,由此切割在敷貼襯底24a之間的感光料片22。在感光 料片22被切割之后,襯底間料片切割機(jī)構(gòu)48返回其初始位置。感光料片22從敷貼機(jī)構(gòu)46到襯底間料片切割機(jī)構(gòu)48的進(jìn)料途徑的長 度在沿敷貼襯底24a進(jìn)料的方向上被大致設(shè)置為敷貼襯底24a長度的整數(shù) 倍。在沒有進(jìn)行層壓處理的殘留部30b被放置在敷貼機(jī)構(gòu)46內(nèi)的同時(shí),襯底間料片切割機(jī)構(gòu)48切割感光料片22。因此,當(dāng)襯底間料片切割機(jī)構(gòu)48切割感光料片22時(shí)所引起的張力變化沒有不利地影響敷貼襯底24a的生產(chǎn)。在襯底間料片切割機(jī)構(gòu)48切割感光料片22的同時(shí),位于襯底間料片 切割機(jī)構(gòu)48上游的部分切割機(jī)構(gòu)36和標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)40彼此同時(shí)在感光 料片22中形成部分切割區(qū)34,并且還將粘性標(biāo)簽38粘合到感光料片22 上。上述處理操作在第三和隨后的敷貼襯底24a上類似地進(jìn)行。在敷貼襯 底24a之間的感光料片22被切割之后,基底膜26和殘留部30b從敷貼襯 底24a上剝離,由此制備出感光層壓體116(見圖1)。在上述實(shí)施方案中,在由襯底間料片切割機(jī)構(gòu)48將介于敷貼襯底24a 之間的感光料片22切割之后,將基底膜26和殘留部30b從每一個(gè)敷貼襯 底24a上剝離,由此制備出感光層壓體116。然而,還可以在不切割介于 敷貼襯底24a之間的感光料片22的情況下制備感光層壓體116,由此將 基底膜26連續(xù)巻起,并且將殘留部30b剝離。在這種情況下,可以省卻 襯底間料片切割機(jī)構(gòu)48。盡管本發(fā)明的確定的優(yōu)選實(shí)施方案己經(jīng)在上述詳細(xì)顯示并描述,但是 應(yīng)當(dāng)理解,在不背離本發(fā)明的如后附權(quán)利要求所述的范圍的情況下,可以 對所公開的實(shí)施方案進(jìn)行各種改變和修改。
權(quán)利要求
1.一種制備感光層壓體的裝置,包括加工單元(36),用于在細(xì)長感光料片(22)的至少保護(hù)膜(30)部分中,在剝離部(30aa,30ab)和殘留部(30b)之間的邊界位置形成橫向可分離加工區(qū)(34),所述感光料片(22)包含載體(26)、設(shè)置在所述載體(26)上的感光材料層(28)以及設(shè)置在所述感光材料層(28)上的保護(hù)膜(30);剝離器(44),用于從所述細(xì)長感光料片(22)上剝離所述剝離部(30aa,30ab),由此留下所述殘留部(30b);襯底進(jìn)料器(45),用于將襯底(24)以預(yù)定間隔進(jìn)料到敷貼位置;敷貼器(46),用于將所述殘留部(30b)放置在所述襯底(24)之間,將已經(jīng)從其上剝離所述剝離部(30aa,30ab)的所述感光材料層(28)的暴露部分加熱到預(yù)定溫度,以及將感光材料層(28)的加熱部分敷貼到在所述敷貼位置的所述襯底(24)中的一個(gè),由此制備出敷貼襯底(24a);以及速度控制器(100),用于控制所述殘留部(30b)的移動(dòng),使得以第一速度移動(dòng)通過所述敷貼器(46),并且控制所述感光材料層(28)的所述暴露部分的移動(dòng),使得以第二速度移動(dòng)通過所述敷貼器(46),所述第二速度比所述第一速度高;其中,在控制所述殘留部(30b)的移動(dòng),使得以所述第一速度移動(dòng)通過所述敷貼器(46)的同時(shí),所述襯底(24)和所述感光材料層(28)的所述暴露部分位于所述敷貼器(46)內(nèi),并且通過所述加工單元(36)至少形成所述加工區(qū)(34),并且,在控制所述感光材料層(28)的所述暴露部分的移動(dòng),使得以所述第二速度移動(dòng)通過所述敷貼器(46)的同時(shí),所述感光材料層(28)被敷貼至所述襯底(24)上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的裝置,還包括切割器(48),設(shè)置在所述敷貼器(46)下游,用于切割在敷貼襯底(24a) 之間的所述殘留部(30b)和所述載體(26),同時(shí)控制所述殘留部(30b)的移 動(dòng),使得以所述第一速度移動(dòng)通過所述敷貼器(46)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,還包括標(biāo)簽粘合單元(40),設(shè)置在所述加工單元(36)的下游,用于將粘性標(biāo)簽 (38)粘合到所述剝離部(30aa, 30ab),所述剝離部(30aa, 30ab)分別位于所述 殘留部(30b)的兩側(cè),由此將所述剝離部(30aa,30ab)相互連接,同時(shí)控制所 述殘留部(30b)的移動(dòng),使得以所述第一速度移動(dòng)通過所述敷貼器(46)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,還包括檢測器(47),設(shè)置在所述敷貼器(46)的上游,用于檢測所述加工區(qū)(34), 其中所述速度控制器(100)根據(jù)所述加工區(qū)(34)的被所述檢測器(47)檢測到的信息控制所述第一速度和所述第二速度。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其中控制所述殘留部(30b)的移動(dòng), 使得以所述第一速度在所述加工單元(36)形成所述加工區(qū)(34)需要的時(shí)間 周期內(nèi)移動(dòng)通過所述敷貼器(46),并且所述時(shí)間周期足夠短,以防止所述 感光材料層(28)受到來自所述敷貼器(46)的熱的不利影響。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置,其中所述第一速度被設(shè)定為停止速度 和低速度的組合,在所述的停止速度,將所述細(xì)長感光料片(22)的進(jìn)料停 止預(yù)定的時(shí)間周期,并且在所述的低速度,將所述細(xì)長感光料片(22)進(jìn)料。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其中所述細(xì)長感光料片(22)從所述加 工單元(36)進(jìn)料到所述敷貼器(46)的距離被基本上設(shè)定為殘留部(30b)之間 的距離的整數(shù)倍,所述殘留部(30b)分別位于所述剝離部(30aa, 30ab)各自的
8. —種制備感光層壓體的方法,所述方法包括如下步驟 放出細(xì)長感光料片(22),所述細(xì)長感光料片(22)包含載體(26)、設(shè)置在所述載體(26)上的感光材料層(28)和設(shè)置在所述感光材料層(28)上的保護(hù) 膜(30);在己經(jīng)放出的細(xì)長感光料片(22)的至少所述保護(hù)膜(30)中,在剝離部 (30aa,30ab)和殘留部(30b)之間的邊界位置形成橫向可分離的加工區(qū)(34);將所述剝離部(30aa, 30ab)從所述細(xì)長感光料片(22)上剝離,由此留下 所述殘留部(30b)并且暴露所述感光材料層(28)的一部分;將襯底(24)以預(yù)定間隔進(jìn)料到敷貼位置;使所述殘留部(30b)以第一速度移動(dòng)通過所述敷貼位置,以及布置每一 個(gè)所述襯底(24)和所述感光材料層(28)的暴露部分,同時(shí)形成所述加工區(qū)(34);以及在所述殘留部(30b)通過所述敷貼位置之后,以比所述第一速度高的第 二速度移動(dòng)所述細(xì)長感光料片(22),將所述感光材料層(28)的暴露部分加熱 到預(yù)定溫度,以及將所述感光材料層(28)的加熱部分敷貼到所述襯底(24) 中的一個(gè),由此制備出敷貼襯底(24a)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法,還包括如下步驟 在使所述細(xì)長感光料片(22)以所述第一速度移動(dòng)的同時(shí),切割在敷貼襯底(24a)之間的所述殘留部(30b)和所述載體(26)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法,還包括如下步驟 在使所述細(xì)長感光料片(22)以所述第一速度移動(dòng)的同時(shí),將粘性標(biāo)簽(38)粘合到所述剝離部(30aa, 30ab)上,所述剝離部(30aa, 30ab)分別位于所 述殘留部(30b)的兩側(cè),由此相互連接所述剝離部(30aa, 30ab)。
11. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法,其中使所述殘留部(30b)以所述第一 速度在所述加工單元(36)形成所述加工區(qū)(34)所需要的時(shí)間周期內(nèi)移動(dòng),并 且所述時(shí)間周期足夠短,以防止所述感光材料層(28)受來自所述敷貼器(46) 的熱的不利影響。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中所述第一速度被設(shè)定為停止速 度和低速度的組合,在所述的停止速度,將所述細(xì)長感光料片(22)的進(jìn)料 停止預(yù)定的時(shí)間周期,并且在所述的低速度,將所述細(xì)長感光料片(22)進(jìn)料。
全文摘要
當(dāng)感光料片(22)以低速度(V1)進(jìn)料時(shí),部分切割機(jī)構(gòu)(36)在感光料片(22)內(nèi)形成部分切割區(qū)(34),而標(biāo)簽粘合機(jī)構(gòu)(40)將粘性標(biāo)簽(38)敷貼到感光料片(22)上。在襯底間料片切割機(jī)構(gòu)(48)切割在兩個(gè)相鄰襯底(24)之間的感光料片(22)之后,敷貼機(jī)構(gòu)(46)利用熱和壓力將感光料片(22)敷貼至玻璃襯底(24)上的同時(shí),感光料片(22)和玻璃襯底(24)以高速度(V2)進(jìn)料,由此制備出敷貼襯底(24a)。
文檔編號(hào)B32B38/18GK101272911SQ20068003528
公開日2008年9月24日 申請日期2006年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月26日
發(fā)明者伊本賢一, 亮 森 申請人:富士膠片株式會(huì)社
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