1.一種負(fù)壓吸附夾具裝置，其特征是由夾具放置槽、負(fù)壓發(fā)生器和導(dǎo)管組成,其中夾具放置槽中放置成膜后的夾具，夾具通過(guò)導(dǎo)管與負(fù)壓發(fā)生器相接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種負(fù)壓吸附夾具裝置，其特征是水晶片在水晶片的托盤中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種負(fù)壓吸附夾具裝置，其特征是夾具放置槽的四邊及底部是不銹鋼塊，該不銹鋼塊的尺寸大于夾具的尺寸。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種負(fù)壓吸附夾具裝置，其特征是所述不銹鋼塊的上層留有與夾具尺寸匹配的夾具放置槽。