手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手及其晶圓搬運(yùn)裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及機(jī)械手【技術(shù)領(lǐng)域】，提供了一種手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手及其晶圓搬運(yùn)裝置。其中機(jī)械手包括：設(shè)有機(jī)械手指（11）的手指單元（10）；固定設(shè)置有軸承的連桿（20）；其中一個(gè)軸承與一個(gè)手指單元（10）固定連接，其余的手指單元（10）的后端一側(cè)開設(shè)有沿機(jī)械手指方向的槽（40），軸承嵌入槽（40）內(nèi)并可移動(dòng)組成曲柄滑塊機(jī)構(gòu)；手指單元（10）的后端另一側(cè)設(shè)有導(dǎo)軌（60），導(dǎo)軌（60）沿豎直方向設(shè)置，手指單元（10）通過(guò)滑塊（50）沿導(dǎo)軌（60）運(yùn)動(dòng)；其中一個(gè)手指單元（10）沿豎直方向運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)連桿（20）繞與一個(gè)手指單元（10）固定連接的軸承轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)其他手指單元（10）沿導(dǎo)軌（60）做上下運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了對(duì)機(jī)械手指間距的有效調(diào)節(jié)。
【專利說(shuō)明】手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手及其晶圓搬運(yùn)裝置
【【技術(shù)領(lǐng)域】】
[0001]本發(fā)明涉及機(jī)械手【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手及其晶圓搬運(yùn)裝置。
【【背景技術(shù)】】
[0002]在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過(guò)程中，目前現(xiàn)有的晶圓搬運(yùn)機(jī)械手機(jī)構(gòu)，一般只能運(yùn)輸一個(gè)晶圓。在同時(shí)運(yùn)送多個(gè)晶圓時(shí)，無(wú)法對(duì)機(jī)械手的手指間距進(jìn)行調(diào)整，因此其適應(yīng)性和應(yīng)用范圍受到了一定的限制，這種機(jī)械手只能在特定環(huán)境下對(duì)多個(gè)晶圓完成同時(shí)搬運(yùn)，從而也限制了機(jī)械手的工作效率。
[0003]鑒于此，克服該現(xiàn)有技術(shù)所存在的缺陷是本【技術(shù)領(lǐng)域】亟待解決的問(wèn)題。
【
【發(fā)明內(nèi)容】
】
[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種可以對(duì)手指間距進(jìn)行調(diào)整的搬運(yùn)機(jī)械手及其晶圓搬運(yùn)裝置。
[0005]本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
[0006]一種手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手，所述機(jī)械手包括:
[0007]至少2個(gè)手指單元(10)，每一手指單元(10)設(shè)有一機(jī)械手指(11)；
[0008]一連桿(20)，所述連桿(20)上固定設(shè)置有與手指單元(10)——對(duì)應(yīng)的軸承；
[0009]其中一個(gè)軸承與一個(gè)手指單元(10)固定連接，其余的手指單元(10)的后端一側(cè)開設(shè)有沿機(jī)械手指方向的槽(40)，其余軸承嵌入槽(40)內(nèi)并可在槽(40)內(nèi)沿機(jī)械手指
(11)方向移動(dòng)，連桿(20 )、軸承和槽(40 )組成曲柄滑塊機(jī)構(gòu)；
[0010]所述手指單元(10)的后端另一側(cè)設(shè)有導(dǎo)軌(60)，導(dǎo)軌(60)沿豎直方向設(shè)置且與機(jī)械手指(11)方向垂直，手指單元(10)的后端另一側(cè)固定有滑塊(50)，手指單元(10)通過(guò)滑塊(50)沿導(dǎo)軌(60)運(yùn)動(dòng)；
[0011]其中一個(gè)手指單元(10)沿豎直方向運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)連桿(20)繞所述與一個(gè)手指單元
(10)固定連接的軸承轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)帶動(dòng)其他手指單元(10)沿導(dǎo)軌(60)做上下運(yùn)動(dòng)。
[0012]進(jìn)一步地，所述軸承為外螺紋軸承(30)。
[0013]進(jìn)一步地，所述機(jī)械手還包括一外殼，所述與軸承固定連接的手指單元(10)固定于夕卜殼上。
[0014]進(jìn)一步地，所述導(dǎo)軌(60)設(shè)置于外殼上。
[0015]進(jìn)一步地，所述每一手指單元(10)還設(shè)有托塊(12)和蓋板(13)，所述機(jī)械手指
(11)固定于托塊(12)和蓋板(13)之間；所述槽(40)開設(shè)于托塊(12)上。
[0016]在本發(fā)明一實(shí)施例中，所述手指單元(10)設(shè)有5個(gè)，在豎直方向上從上往下分別為:第一手指單元(101 )、第二手指單元(102)、第三手指單元(103)、第四手指單元(104)和第五手指單元(105)；
[0017]其中，第三手指單元(103)固定于外殼上，其中一個(gè)軸承與第三手指單元(103)固定連接；
[0018]第五手指單元(105)沿豎直方向運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)連桿(20)繞與第三手指單元(103)固定連接的軸承轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)曲柄滑塊機(jī)構(gòu)帶動(dòng)其他手指單元(10)沿導(dǎo)軌(60)做上下運(yùn)動(dòng)。
[0019]進(jìn)一步地，其中一個(gè)軸承固定于第三手指單元(103)的托塊(12)上。
[0020]進(jìn)一步地，所述機(jī)械手用于晶圓搬運(yùn)。
[0021]本發(fā)明還提供了一種晶圓搬運(yùn)裝置，在所述晶圓搬運(yùn)裝置中設(shè)有如上所述的手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手。
[0022]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果在于:在手指結(jié)構(gòu)中加入曲柄滑塊機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)械手指間距的有效調(diào)節(jié)，提高了機(jī)械手的工作效率，增加了機(jī)械手指的適應(yīng)性和通用性，使得機(jī)械手指在不同工作環(huán)境下都能實(shí)現(xiàn)對(duì)多個(gè)待搬運(yùn)物品的同時(shí)運(yùn)輸。
【【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】】
[0023]圖1是本發(fā)明實(shí)施例中手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2是圖1中隱藏部分連桿后的局部結(jié)構(gòu)圖。
[0025]附圖標(biāo)記如下:
[0026]10-手指單元，101-第一手指單元，
[0027]102-第二手指單元，103-第三手指單元，
[0028]104-第四手指單元，105-第五手指單元，
[0029]11-機(jī)械手指，12-托塊，
[0030]13-蓋板，20-連桿，
[0031]30-外螺紋軸承，40-槽，
[0032]50-滑塊，60-導(dǎo)軌。
【【具體實(shí)施方式】】
[0033]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0034]此外，下面所描述的本發(fā)明各個(gè)實(shí)施方式中所涉及到的技術(shù)特征只要彼此之間未構(gòu)成沖突就可以相互組合。
[0035]本發(fā)明提供了一種手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手，包括如下部件:
[0036]至少2個(gè)手指單元，每一手指單元設(shè)有一機(jī)械手指；一連桿，連桿上固定設(shè)置有與手指單元一一對(duì)應(yīng)的軸承；其中一個(gè)軸承與一個(gè)手指單元固定連接，其余的手指單元的后端一側(cè)開設(shè)有沿機(jī)械手指方向的槽，其余軸承嵌入槽內(nèi)并可在槽內(nèi)沿機(jī)械手指方向移動(dòng)，連桿、軸承和槽組成曲柄滑塊機(jī)構(gòu)；手指單元的后端另一側(cè)設(shè)有導(dǎo)軌，導(dǎo)軌沿豎直方向設(shè)置且與機(jī)械手指方向垂直，手指單元的后端另一側(cè)固定有滑塊，手指單元通過(guò)滑塊沿導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；其中一個(gè)手指單元沿豎直方向運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)連桿繞與一個(gè)手指單元固定連接的軸承轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)曲柄滑塊機(jī)構(gòu)帶動(dòng)其他手指單元沿導(dǎo)軌做上下運(yùn)動(dòng)。
[0037]本發(fā)明在手指結(jié)構(gòu)中加入曲柄滑塊機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)械手指間距的有效調(diào)節(jié)，提高了機(jī)械手的工作效率，增加了機(jī)械手指的適應(yīng)性和通用性，使得機(jī)械手指在不同工作環(huán)境下都能實(shí)現(xiàn)對(duì)多個(gè)待搬運(yùn)物品的同時(shí)運(yùn)輸。
[0038]其中，手指單元的個(gè)數(shù)優(yōu)選為奇數(shù)，比如3個(gè)，5個(gè)，等等。下面以5個(gè)手指單元為例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0039]如圖1和圖2所示，本實(shí)施例中，手指單元10設(shè)有5個(gè)，在豎直方向上從上往下分別為:第一手指單元101、第二手指單元102、第三手指單元103、第四手指單元104和第五手指單元105。手指單元10的長(zhǎng)度各不相同，本實(shí)施例中，手指單元按照長(zhǎng)度從長(zhǎng)到短依次為第一手指單元101、第二手指單元102、第三手指單元103、第四手指單元104和第五手指單元105。除機(jī)械手指11外，每一手指單元10還設(shè)有托塊12和蓋板13，機(jī)械手指11通過(guò)螺釘固定于托塊12和蓋板13之間。
[0040]本實(shí)施例中，軸承采用外螺紋軸承30，在第一手指單元101、第二手指單元102、第四手指單元104和第五手指單元105這四個(gè)手指單元后端托塊12上開有槽40，槽40與固定在連桿20上的外螺紋軸承30相配合，外螺紋軸承30分別嵌入到上述四個(gè)托塊12后端的槽40內(nèi)，并具有一定的橫向移動(dòng)空間，也即沿著機(jī)械手指方向上的移動(dòng)空間。
[0041]位于中間的第三手指單元103區(qū)別于其余四個(gè)手指單元，第三手指單元103與其相對(duì)應(yīng)的外螺紋軸承30固定連接，該外螺紋軸承30嵌入到連桿20幾何中心處開設(shè)的槽體內(nèi)。該機(jī)械手還包括一外殼(圖中未示出)，第三手指單元103的托塊12通過(guò)螺釘與外殼固定連接。
[0042]導(dǎo)軌60設(shè)置于外殼上。所有手指單元10的托塊12的后端另一側(cè)均與滑塊50相連，通過(guò)導(dǎo)軌60的導(dǎo)向使得手指單元10僅能做豎直方向上的移動(dòng)，也即上下移動(dòng)。
[0043]通過(guò)氣動(dòng)、電動(dòng)或其它驅(qū)動(dòng)方式(驅(qū)動(dòng)部件在圖中未示出)，使第五手指單元105的托塊12沿豎直方向朝上或朝下運(yùn)動(dòng)，通過(guò)各個(gè)手指單元10的托塊12上后端的槽40分別與固定在連桿20上的外螺紋軸承30配合，使它們形成曲柄滑塊機(jī)構(gòu)，第三手指單元103的托塊12固定于外殼上不動(dòng)，在第五手指單元105的托塊12的上下運(yùn)動(dòng)下，帶動(dòng)連桿20繞與第三手指單元103固定連接的外螺紋軸承30轉(zhuǎn)動(dòng)，使得其它的手指單元10也通過(guò)滑塊50沿導(dǎo)軌60完成了上下運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)五個(gè)機(jī)械手指間距的有效調(diào)節(jié)。該曲柄滑塊機(jī)構(gòu)根據(jù)平行線等分線段定理，實(shí)現(xiàn)了五指間距的等距調(diào)節(jié)，可完成晶圓等物體在不同間距的環(huán)境下的搬運(yùn)。
[0044]本實(shí)施例提供的機(jī)械手主要用于晶圓搬運(yùn)，當(dāng)然，該機(jī)械手還可以適用于其他物品的搬運(yùn)，此處不做限制。
[0045]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種晶圓搬運(yùn)裝置，在該晶圓搬運(yùn)裝置中設(shè)有上述的手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手。
[0046]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手，其特征在于，所述機(jī)械手包括: 至少2個(gè)手指單元(10 )，每一手指單元(10 )設(shè)有一機(jī)械手指(11); 一連桿(20)，所述連桿(20)上固定設(shè)置有與手指單元(10)——對(duì)應(yīng)的軸承； 其中一個(gè)軸承與一個(gè)手指單元(10)固定連接，其余的手指單元(10)的后端一側(cè)開設(shè)有沿機(jī)械手指方向的槽(40)，其余軸承嵌入槽(40)內(nèi)并可在槽(40)內(nèi)沿機(jī)械手指(11)方向移動(dòng)，連桿(20)、軸承和槽(40)組成曲柄滑塊機(jī)構(gòu)； 所述手指單元(10)的后端另一側(cè)設(shè)有導(dǎo)軌(60)，導(dǎo)軌(60)沿豎直方向設(shè)置且與機(jī)械手指(11)方向垂直，手指單元(10)的后端另一側(cè)固定有滑塊(50)，手指單元(10)通過(guò)滑塊(50)沿導(dǎo)軌(60)運(yùn)動(dòng)； 其中一個(gè)手指單元(10)沿豎直方向運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)連桿(20)繞所述與一個(gè)手指單元(10)固定連接的軸承轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)帶動(dòng)其他手指單元(10)沿導(dǎo)軌(60)做上下運(yùn)動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手，其特征在于，所述軸承為外螺紋軸承(30)。
3.如權(quán)利要求1所述的手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手，其特征在于，所述機(jī)械手還包括一外殼，所述與軸承固定連接的手指單元(10)固定于外殼上。
4.如權(quán)利要求3所述的手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手，其特征在于，所述導(dǎo)軌(60)設(shè)置于夕卜殼上。
5.如權(quán)利要求1所述的手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手，其特征在于，所述每一手指單元(1 )還設(shè)有托塊(12 )和蓋板(13 )，所述機(jī)械手指(11)固定于托塊(12 )和蓋板(13 )之間;所述槽(40 )開設(shè)于托塊(12 )上。
6.如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手，其特征在于，所述手指單元(10)設(shè)有5個(gè)，在豎直方向上從上往下分別為:第一手指單元(101)、第二手指單元(102)、第三手指單元(103)、第四手指單元(104)和第五手指單元(105); 其中，第三手指單元(103)固定于外殼上，其中一個(gè)軸承與第三手指單元(103)固定連接; 第五手指單元(105)沿豎直方向運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)連桿(20)繞與第三手指單元(103)固定連接的軸承轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)曲柄滑塊機(jī)構(gòu)帶動(dòng)其他手指單元(10)沿導(dǎo)軌(60)做上下運(yùn)動(dòng)。
7.如權(quán)利要求6所述的手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手，其特征在于，其中一個(gè)軸承固定于第三手指單元(103)的托塊(12)上。
8.如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手，其特征在于，所述機(jī)械手用于晶圓搬運(yùn)。
9.一種晶圓搬運(yùn)裝置，其特征在于，在所述晶圓搬運(yùn)裝置中設(shè)有權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手。
【文檔編號(hào)】B25J9/08GK104517879SQ201310451911
【公開日】2015年4月15日 申請(qǐng)日期:2013年9月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月28日
【發(fā)明者】曲道奎, 李學(xué)威, 趙嘉博, 陳雷, 何元一, 柴源 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司