可調(diào)式真空夾具的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種可調(diào)式真空夾具，涉及夾緊裝置。本發(fā)明可調(diào)式真空夾具包括用于放置被測(cè)件的測(cè)試臺(tái)、設(shè)置于所述測(cè)試臺(tái)上的多個(gè)氣孔單元、與所述多個(gè)氣孔單元相通的真空管道以及與所述真空管道相連的真空發(fā)生器。由于本發(fā)明可調(diào)式真空夾具中在測(cè)試臺(tái)上設(shè)置了多個(gè)氣孔單元，并通過真空管道與多個(gè)氣孔單元相通來吸緊被測(cè)件，使得本發(fā)明的真空夾具能靈活地適應(yīng)多種尺寸的被測(cè)件，將被測(cè)件穩(wěn)固地吸在測(cè)試臺(tái)上進(jìn)行測(cè)試。
【專利說明】 可調(diào)式真空夾具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及夾緊裝置，更具體地說，涉及一種可調(diào)式真空夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]在通信、電子、機(jī)械制造、汽車、以及包裝行業(yè)里，經(jīng)常會(huì)有對(duì)平面工件(特別是小型平面工件)的裝夾要求。以光通信領(lǐng)域?yàn)槔?，近年我?guó)寬帶接入和光纖到戶的發(fā)展使平面光波導(dǎo)芯片產(chǎn)品的需求量猛增。平面光波導(dǎo)是將光波導(dǎo)制作到平面基板上的技術(shù)，是實(shí)現(xiàn)光通信大容量和光器件集成化的有效手段。平面波導(dǎo)可以制成陣列波導(dǎo)光柵，光分路器，多通道可調(diào)光衰減器、光開關(guān)等光器件。在光通信網(wǎng)絡(luò)中間，光信號(hào)依賴平面光波導(dǎo)制成的陣列波導(dǎo)光柵被廣泛用來實(shí)現(xiàn)波分復(fù)用以提高傳輸效率。在光通信的最末端，光纖到戶階段，平面光波導(dǎo)光分路器則提供了目前最有效的無源光網(wǎng)絡(luò)寬帶接入方案。
[0003]而在生產(chǎn)平面光波導(dǎo)芯片過程中，重要的步驟之一即對(duì)芯片進(jìn)行測(cè)試。在測(cè)試過程中，要保證芯片的位置不發(fā)生改變，則需要將芯片進(jìn)行夾緊后進(jìn)行測(cè)試工作。市場(chǎng)上常見的夾緊裝置的夾緊力通常是來源于螺紋的緊固力，但是容易對(duì)平面光波導(dǎo)光分路器芯片造成傷害。目前真空夾具作為被測(cè)件和測(cè)試設(shè)備之間的連接體，已經(jīng)廣泛地應(yīng)用于各種自動(dòng)測(cè)試設(shè)備。
[0004]在相關(guān)技術(shù)中，應(yīng)用真空夾具進(jìn)行測(cè)試時(shí)，首先將被測(cè)件放置于承載臺(tái)上，打開真空開關(guān)抽走真空夾具中的空氣，夾具即可吸合，夾住被測(cè)件進(jìn)行測(cè)試工作。在測(cè)試完成后，關(guān)閉真空開關(guān)，空氣進(jìn)入真空夾具，被測(cè)件與真空夾具分離。
[0005]該真空夾具對(duì)被測(cè)芯片的尺寸要求嚴(yán)格，一種夾具只適合某一尺寸的芯片，真空夾具使用不靈活。但是在實(shí)際工作過程中，芯片尺寸大多不相同。在測(cè)試尺寸較大的芯片時(shí)，由于芯片過大，較小的夾具無法吸住該芯片，芯片在夾具中不穩(wěn)定，影響芯片的測(cè)試效果。而芯片尺寸較小時(shí)，芯片不能覆蓋承載臺(tái)上的所有氣孔，導(dǎo)致喪失真空，芯片不穩(wěn)定從而影響測(cè)試效果。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在于，提供一種靈活的可調(diào)式真空夾具。
[0007]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:構(gòu)造一種可調(diào)式真空夾具，包括用于放置被測(cè)件的測(cè)試臺(tái)、設(shè)置于所述測(cè)試臺(tái)上的多個(gè)氣孔單元、與所述多個(gè)氣孔單元相通的真空管道以及與所述真空管道相連的真空發(fā)生器。
[0008]優(yōu)選地，上述可調(diào)式真空夾具中，所述真空管道靠近所述氣孔單元的端還設(shè)置有可拆式密封件，以隔斷所述真空管道和與其相通的氣孔單元。
[0009]優(yōu)選地，上述可調(diào)式真空夾具中，所述真空管道包括分別與所述多個(gè)氣孔單元相連通的多個(gè)支管以及將所述多個(gè)支管連通的總管，所述總管連接于所述真空發(fā)生器。
[0010]優(yōu)選地，上述可調(diào)式真空夾具中，所述支管包括第一管段與第二管段，且所述第一管段的內(nèi)徑大于所述第二管段的內(nèi)徑。[0011]優(yōu)選地，上述可調(diào)式真空夾具中，所述密封件包括密封螺絲，所述密封螺絲包括頭部與螺紋部。
[0012]優(yōu)選地，上述可調(diào)式真空夾具中，所述密封件設(shè)置于所述支管內(nèi)，且所述頭部位于第一管段內(nèi)，所述螺紋部位于第二管段內(nèi)。
[0013]優(yōu)選地，上述可調(diào)式真空夾具中，所述第二管段內(nèi)壁面還設(shè)有與所述螺紋部相對(duì)的螺紋段。
[0014]優(yōu)選地，上述可調(diào)式真空夾具中，所述密封件還包括密封墊片，所述密封墊片設(shè)置于所述密封螺絲與支管之間。
[0015]優(yōu)選地，上述可調(diào)式真空夾具中，所述氣孔單元的大小大于或等于所述密封件的大小。
[0016]優(yōu)選地，上述可調(diào)式真空夾具中，所述可調(diào)試真空夾具為芯片用可調(diào)式真空夾具，所述被測(cè)件為芯片。
[0017]綜上所述，由于采取了上述技術(shù)方案，本發(fā)明的有益效果是:
[0018]由于本發(fā)明可調(diào)式真空夾具中在測(cè)試臺(tái)上設(shè)置了多個(gè)氣孔單元，并通過真空管道與多個(gè)氣孔單元相通來吸緊被測(cè)件，使得本發(fā)明的真空夾具能靈活地適應(yīng)多種尺寸的被測(cè)件，將被測(cè)件穩(wěn)固地吸在測(cè)試臺(tái)上進(jìn)行測(cè)試。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明，附圖中:
[0020]圖1是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的截面示意圖；
[0021]圖2是本發(fā)明實(shí)施例中測(cè)試臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖3是本發(fā)明實(shí)施例中密封件的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]為了對(duì)本發(fā)明的技術(shù)特征、目的和效果有更加清楚的理解，現(xiàn)對(duì)照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】。
[0024]圖1、圖2示出了本發(fā)明一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中的可調(diào)式真空夾具，可應(yīng)用于光通信技術(shù)中平面光波導(dǎo)芯片的測(cè)試過程。該可調(diào)式真空夾具包括用于放置被測(cè)件的測(cè)試臺(tái)1、設(shè)置于測(cè)試臺(tái)I上的多個(gè)氣孔單元11、與多個(gè)氣孔單元11相通的真空管道2以及與真空管道2相連的真空發(fā)生器。可以理解地，該可調(diào)式真空夾具還可以應(yīng)用于通信、電子、機(jī)械制造、汽車以及包裝工業(yè)等領(lǐng)域中，一般可用于平面工件的定位。
[0025]在被測(cè)件進(jìn)行測(cè)試工作時(shí)，被測(cè)件放置于測(cè)試臺(tái)I上，以將設(shè)置于測(cè)試臺(tái)I上的氣孔單元11覆蓋；然后打開真空發(fā)生器，將真空管道2內(nèi)的空氣抽空，使被測(cè)件吸附在測(cè)試臺(tái)I上，再進(jìn)行測(cè)試工作。由于測(cè)試臺(tái)I上的氣孔單元11有多個(gè)，在被測(cè)件較大時(shí)，真空管道2也能穩(wěn)固地將被測(cè)件吸在測(cè)試臺(tái)I上。
[0026]在一些實(shí)施例中，如圖1所示，真空管道2靠近氣孔單元11的端還設(shè)置有可拆式密封件3，以隔斷真空管道2和與其相通的氣孔。
[0027]被測(cè)件放置于測(cè)試臺(tái)I上將設(shè)置于測(cè)試臺(tái)I上的氣孔單元11覆蓋，再將被測(cè)件未覆蓋的氣孔單元11對(duì)應(yīng)的真空管道2通過密封件3進(jìn)行密封，從而增加被測(cè)件在測(cè)試過程中的穩(wěn)定性。然后再將被測(cè)件已覆蓋的氣孔單元11下方對(duì)應(yīng)的真空管道2的密封件3打開，使真空管道2與氣孔單元11連通；最后打開真空發(fā)生器，將真空管道2內(nèi)的空氣抽空，使被測(cè)件吸附在測(cè)試臺(tái)I上，進(jìn)行測(cè)試工作。
[0028]在一些實(shí)施例中，如圖1所示，真空管道2包括分別與多個(gè)氣孔單元11相連通的多個(gè)支管21以及將多個(gè)支管21連通的總管22，總管22連接于真空發(fā)生器。在被測(cè)件較小時(shí)，未被覆蓋的氣孔單元11所對(duì)應(yīng)的支管21通過密封件3密封，不會(huì)影響正常的測(cè)試過程；在被測(cè)件較大需要使用多組氣孔單元11時(shí)，只需將需要使用的氣孔單元11所對(duì)應(yīng)的支管21的密封件3擰松，即可將被測(cè)件穩(wěn)固地吸附于測(cè)試臺(tái)I上，增強(qiáng)被測(cè)件在測(cè)試過程中的穩(wěn)定性。
[0029]可以理解地，在一些實(shí)施例中，支管21的根數(shù)與氣孔單元11的個(gè)數(shù)相應(yīng)，一個(gè)氣孔單元11對(duì)應(yīng)一根支管21。
[0030]可以理解地，在一些實(shí)施例中，如圖1所示，支管21的軸線相互平行。相互平行設(shè)置的支管21可方便總管22將其與真空發(fā)生器連通。
[0031 ] 在一些實(shí)施例中，如圖1所示，支管包括第一管段210與第二管段211，且第一管段210的內(nèi)徑大于第二管段211的內(nèi)徑。第一管段210的內(nèi)徑大小與其對(duì)應(yīng)的氣孔單元11的范圍大小相當(dāng)。
[0032]在一些實(shí)施例中，如圖3所示，密封件3包括密封螺絲31，密封螺絲31包括頭部310與螺紋部311。螺紋部311用于與真空管道密封連接。
[0033]在一些實(shí)施例中，如圖1、圖3所示，密封件3設(shè)置于支管21內(nèi)，且頭部310位于第一管段210內(nèi)，螺紋部311位于第二管段211內(nèi)。
[0034]可以理解地，在一些實(shí)施例中，第二管段211內(nèi)壁面還設(shè)置有與螺紋部311相對(duì)應(yīng)的螺紋段212。
[0035]可以理解地，在一些實(shí)施例中，如圖1、圖3所示，密封件3還包括密封墊片32，該密封墊片32設(shè)置于密封螺絲31與支管21之間。密封螺絲31與密封墊片32可增加支管21的密封性。
[0036]可以理解地，在一些實(shí)施例中，密封墊片32為橡膠墊片?？梢岳斫獾兀谝恍?shí)施例中，該密封墊片32還可為石棉墊片或合成樹脂墊片等。
[0037]在一些實(shí)施例中，氣孔單元11的大小大于或等于密封件3的大小。以便用戶能利用工具通過氣孔單元11伸入到第一管段210對(duì)密封件3進(jìn)行擰緊或擰松的動(dòng)作。在對(duì)不需要使用的真空管道2進(jìn)行密封時(shí)，通過氣孔單元11處將密封件3擰緊以密封該真空管道2。
[0038]在一些實(shí)施例中，可調(diào)試真空夾具為芯片用可調(diào)式真空夾具，被測(cè)件為芯片。該芯片為光通信用平面光波導(dǎo)芯片。
[0039]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則內(nèi)所作的任何修改、等同替換或改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種可調(diào)式真空夾具，其特征在于，包括用于放置被測(cè)件的測(cè)試臺(tái)(I)、設(shè)置于所述測(cè)試臺(tái)(I)上的多個(gè)氣孔單元(11)、與所述多個(gè)氣孔單元(11)相通的真空管道(2)以及與所述真空管道(2)相連的真空發(fā)生器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可調(diào)式真空夾具，其特征在于，所述真空管道(2)靠近所述氣孔單元(11)的端還設(shè)置有可拆式密封件(3)，以隔斷所述真空管道(2)和與其相通的氣孔單元(11)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可調(diào)式真空夾具，其特征在于，所述真空管道(2)包括分別與所述多個(gè)氣孔單元(11)相連通的多個(gè)支管(21)以及將所述多個(gè)支管(21)連通的總管(22)，所述總管(22)連接于所述真空發(fā)生器。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可調(diào)式真空夾具，其特征在于，所述支管(21)包括第一管段(210)與第二管段(211)，且所述第一管段(210)的內(nèi)徑大于所述第二管段(211)的內(nèi)徑。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可調(diào)式真空夾具，其特征在于，所述密封件(3)包括密封螺絲(31)，所述密封螺絲(31)包括頭部(310)與螺紋部(311)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可調(diào)式真空夾具，其特征在于，所述密封件(3)設(shè)置于所述支管(21)內(nèi)，且所述頭部(310)位于第一管段(210)內(nèi)，所述螺紋部(311)位于第二管段(211)內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的可調(diào)式真空夾具，其特征在于，所述第二管段(211)內(nèi)壁面還設(shè)有與所述螺紋部(311)相對(duì)的螺紋段(212 )。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可調(diào)式真空夾具，其特征在于，所述密封件(3)還包括密封墊片(32)，所述密封墊片(32)設(shè)置于所述密封螺絲(31)與支管(21)之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可調(diào)式真空夾具，其特征在于，所述氣孔單元(11)的大小大于或等于所述密封件的大小。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的可調(diào)式真空夾具，其特征在于，該可調(diào)式真空夾具為芯片用可調(diào)式真空夾具，所述被測(cè)件為芯片。
【文檔編號(hào)】B25B11/00GK103465199SQ201310451489
【公開日】2013年12月25日 申請(qǐng)日期:2013年9月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月27日
【發(fā)明者】石建東 申請(qǐng)人:廣東尚能光電技術(shù)有限公司