專(zhuān)利名稱(chēng)：機(jī)械手定位裝置及傳送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及機(jī)械傳送技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種機(jī)械手定位裝置及傳送系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有的制備太陽(yáng)能電池或其它半導(dǎo)體產(chǎn)品時(shí)，通常使用機(jī)械手定位裝置中的機(jī)械臂將數(shù)量眾多的半導(dǎo)體產(chǎn)品依次放置在載板的格框中，再將載板傳送到工藝腔室中進(jìn)行等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition, PECVD)等半導(dǎo)體工藝流程。圖1為現(xiàn)有的傳送裝置機(jī)械手定位裝置中載板地結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，現(xiàn)有的機(jī)械手定位裝置包括機(jī)械手臂、沿載板在橫向的第一方向側(cè)邊緣所設(shè)置有的一行傳感器 (每個(gè)傳感器與格框的右框邊對(duì)應(yīng)；)、在沿載板縱向的第二方向側(cè)邊緣所設(shè)置有的一列傳感器(每個(gè)傳感器的位置與格框的上框邊對(duì)應(yīng))以及中央控制器，該中央控制器與機(jī)械手臂及每個(gè)傳感器相連接。傳感器可以為激光傳感器，例如當(dāng)中央控制器控制傳感器11和傳感器22開(kāi)啟時(shí)，傳感器11發(fā)射的檢測(cè)信號(hào)Ll沿著第二方向傳播，機(jī)械臂首先沿著第一方向運(yùn)動(dòng)，當(dāng)機(jī)械臂的前端運(yùn)動(dòng)到檢測(cè)信號(hào)Ll所在的線(xiàn)路時(shí)，會(huì)將檢測(cè)信號(hào)Ll反射回傳感器 11，傳感器11接收到反射回來(lái)的檢測(cè)信號(hào)后，將向中央控制器傳送機(jī)械臂到達(dá)檢測(cè)信號(hào)Ll 所在線(xiàn)路的位置，中央控制器將控制機(jī)械臂停止運(yùn)動(dòng)，然后控制機(jī)械臂沿著第二方向運(yùn)動(dòng)， 當(dāng)機(jī)械臂的前端運(yùn)動(dòng)到傳感器22發(fā)出的檢測(cè)信號(hào)L2所在的線(xiàn)路上時(shí)，機(jī)械臂會(huì)將檢測(cè)信號(hào)L2反射回傳感器22，傳感器22接收到反射回來(lái)的檢測(cè)信號(hào)后，將向中央控制器傳送機(jī)械臂到達(dá)檢測(cè)信號(hào)L2所在的線(xiàn)路的位置，中央控制器將控制機(jī)械臂停止運(yùn)動(dòng)，然后控制機(jī)械臂將夾持的基片放到目的格框C中。在現(xiàn)有機(jī)械手定位裝置中，由于數(shù)量眾多的傳感器設(shè)置于載板上，導(dǎo)致連接傳感器的線(xiàn)路多、載板的結(jié)構(gòu)復(fù)雜以及成本高，容易因發(fā)生傳感器的誤開(kāi)或誤關(guān)而發(fā)生相互干擾的情況。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種機(jī)械手定位裝置及系統(tǒng)，用于現(xiàn)有技術(shù)中結(jié)構(gòu)復(fù)雜、傳感器之間相互干擾的問(wèn)題。為此，本發(fā)明提供一種機(jī)械手定位裝置，其中，包括中央控制器、皮帶、機(jī)械臂和停止傳感器；所述停止傳感器設(shè)置于所述皮帶上，所述停止傳感器用于檢測(cè)所述機(jī)械臂是否到達(dá)載板上的預(yù)設(shè)位置，且所述皮帶用于帶動(dòng)所述停止傳感器沿所述載板的側(cè)邊運(yùn)動(dòng)；所述中央控制器分別與所述機(jī)械臂、皮帶和停止傳感器相連，用于控制所述機(jī)械臂從所述載板上取放基片，控制所述皮帶傳動(dòng)，且在所述停止傳感器檢測(cè)到所述機(jī)械臂到達(dá)預(yù)設(shè)位置時(shí)控制所述機(jī)械臂停止運(yùn)動(dòng)。其中，所述停止傳感器包括第一停止傳感器和第二停止傳感器，所述皮帶包括第一皮帶和第二皮帶；所述皮帶包括第一皮帶和第二皮帶分別沿載板的其中一相鄰兩側(cè)邊設(shè)置；且述第一停止傳感器設(shè)置于第一皮帶上，所述第二停止傳感器設(shè)置于第二皮帶上；在所述第一停止傳感器檢測(cè)到所述機(jī)械到達(dá)第一方向上對(duì)應(yīng)的所述載板的預(yù)設(shè)位置時(shí)，所述中央控制器控制所述機(jī)械臂停止運(yùn)動(dòng)；在所述第二停止傳感器檢測(cè)到所述機(jī)械到達(dá)第二方向上對(duì)應(yīng)的所述載板的預(yù)設(shè)位置時(shí)，所述中央控制器控制所述機(jī)械臂停止運(yùn)動(dòng)。其中，所述中央控制器通過(guò)控制步進(jìn)電機(jī)而使所述第一皮帶和第二皮帶做步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。其中，還包括第一減速傳感器和第二減速傳感器，分別設(shè)置于所述第一皮帶和所述第二皮帶上，且分別與所述中央控制器相連；在所述第一減速傳感器和所述第二減速傳感器檢測(cè)到所述機(jī)械臂時(shí)，所述中央控制器控制降低所述機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)速度。其中，所述第一減速傳感器的數(shù)量至少為1個(gè)，以用于所述機(jī)械臂在到達(dá)第一方向的預(yù)設(shè)位置前進(jìn)行至少一次減速；所述第二減速傳感器的數(shù)量至少為1個(gè)，以用于所述機(jī)械臂在到達(dá)第二方向的預(yù)設(shè)位置前進(jìn)行至少一次減速。其中，所述停止傳感器和所述減速傳感器為光電傳感器或光學(xué)傳感器。本發(fā)明還通過(guò)了一種傳送系統(tǒng)，其中包括傳送帶、載板和上述的任意一種機(jī)械手定位裝置；所述傳送帶用于將基片傳送到原點(diǎn)位置，且所述機(jī)械手定位裝置的機(jī)械臂從所述原點(diǎn)位置夾取基片。其中，所述原點(diǎn)位置設(shè)置有原點(diǎn)傳感器，所述原點(diǎn)傳感器與所述機(jī)械手定位裝置的中央控制器相連接，所述原點(diǎn)傳感器用于檢測(cè)所述機(jī)械臂是否到達(dá)所述原點(diǎn)位置；且在所述原點(diǎn)傳感器檢測(cè)到所述機(jī)械臂到達(dá)所述原點(diǎn)位置時(shí)，所述中央控制器用于控制所述機(jī)械臂從所述原點(diǎn)位置夾取所述基片。其中，所述原點(diǎn)傳感器包括第一原點(diǎn)傳感器和第二原點(diǎn)傳感器，所述第一原點(diǎn)傳感器和第二原點(diǎn)傳感器分別與所述中央控制器相連；所述第一傳感器與所述第二傳感器發(fā)出檢測(cè)信號(hào)的方向相互垂直，且所述第一傳感器與所述第二傳感器發(fā)出檢測(cè)信號(hào)的方向分別與所述載板的其中一相鄰兩側(cè)邊相平行。其中，所述第一原點(diǎn)傳感器和第二原點(diǎn)傳感器為光電傳感器或光學(xué)傳感器。本發(fā)明具有下述有益效果本發(fā)明提供的機(jī)械手定位裝置，通過(guò)將停止傳感器設(shè)置于相對(duì)于載板之外的皮帶上，通過(guò)運(yùn)動(dòng)皮帶來(lái)設(shè)定停止傳感器的位置，不需要在載板上設(shè)置大量停止傳感器，防止多個(gè)停止傳感器之間發(fā)生檢測(cè)信號(hào)干擾，避免機(jī)械臂將基片放置到錯(cuò)誤的格框中，同時(shí)簡(jiǎn)化了載板的結(jié)構(gòu)，減少了機(jī)械手定位裝置的制造成本。本發(fā)明提供的傳送系統(tǒng)，通過(guò)將減速傳感器和停止傳感器設(shè)置于載板之外的皮帶上，通過(guò)運(yùn)動(dòng)皮帶來(lái)設(shè)定減速傳感器和停止傳感器的位置，不需要在載板上設(shè)置大量減速傳感器和停止傳感器，避免多個(gè)停止傳感器之間的干擾，不僅簡(jiǎn)化載板的結(jié)構(gòu)、減少了機(jī)械臂機(jī)械手定位裝置的制造成本，而且使機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)過(guò)程更加安全和穩(wěn)定。


圖1為現(xiàn)有的機(jī)械手定位裝置中載板地結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明提供的機(jī)械手定位裝置第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明提供的機(jī)械手定位裝置第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明提供的機(jī)械手定位裝置中機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)流程圖；圖5為本發(fā)明提供的傳送系統(tǒng)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明提供的傳送系統(tǒng)中傳送帶的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明提供的傳送系統(tǒng)的工作流程圖。
具體實(shí)施例方式為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明提供的機(jī)械手定位裝置及系統(tǒng)進(jìn)行詳細(xì)描述。圖2為本發(fā)明提供的機(jī)械手定位裝置第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本實(shí)施例機(jī)械手定位裝置包括中央控制器、機(jī)械臂201、、皮帶和停止傳感器，其中，中央控制器分別與機(jī)械臂201、皮帶和停止傳感器相連，中央控制器控制機(jī)械臂201從載板202上取、放基片，以及控制皮帶的傳動(dòng)，停止傳感器用于檢測(cè)機(jī)械臂201是否到達(dá)載板202上的預(yù)設(shè)位置，當(dāng)停止傳感器檢測(cè)到機(jī)械臂201到達(dá)載板202上預(yù)設(shè)位置時(shí)控制機(jī)械臂停止運(yùn)動(dòng)，載板 202上設(shè)置有多個(gè)格框，每個(gè)格框承載一片基片，以使多組基片能同時(shí)進(jìn)行半導(dǎo)體的工藝制程，皮帶沿著載板202的側(cè)邊運(yùn)動(dòng)；在本實(shí)施例中，皮帶包括第一皮帶203和第二皮帶204， 停止傳感器包括第一停止傳感器205和第二停止傳感器206，沿載板202的其中一相鄰兩側(cè)邊分別設(shè)置第一皮帶203和第二皮帶204，將第一停止傳感器205和第二停止傳感器206分別設(shè)置于第一皮帶203和第二皮帶204上，第一皮帶203和第二皮帶204分別沿著圖2中所示的第一方向和第二方向運(yùn)動(dòng)，第一停止傳感器205和第二停止傳感器206可以是光電傳感器、激光傳感器等。在本實(shí)施例中，所有傳感器都以激光傳感器、載板上的格框以正方形為例來(lái)介紹技術(shù)方案，需要將基片放置在載板的目的格框Cl上時(shí)，將第一停止傳感器205移動(dòng)到與目的格框Cl對(duì)應(yīng)的第一方向上的預(yù)設(shè)位置Al，將第二停止傳感器206移動(dòng)到與目的格框Cl 對(duì)應(yīng)的第二方向上的預(yù)設(shè)位置Bi，當(dāng)機(jī)械臂201到達(dá)第一方向上對(duì)應(yīng)的載板202的預(yù)設(shè)位置Al時(shí)，機(jī)械臂201將會(huì)反射第一停止傳感器205發(fā)出的檢測(cè)信號(hào)使其返回到第一停止傳感器205，第一停止傳感器205接收到被反射回來(lái)的檢測(cè)信號(hào)后，將向中央控制器發(fā)出關(guān)于檢測(cè)到機(jī)械臂201到達(dá)第一方向上的預(yù)設(shè)位置的位置信號(hào)，中央控制器將控制機(jī)械臂201 使其停止在第一方向上的預(yù)設(shè)位置上；然后中央控制器控制機(jī)械臂201從Al點(diǎn)沿著第二方向運(yùn)動(dòng)，當(dāng)機(jī)械臂201到達(dá)第二方向上的預(yù)設(shè)位置時(shí)，機(jī)械臂201會(huì)將反射第二停止傳感器206發(fā)出的檢測(cè)信號(hào)使其返回到第二停止傳感器206，第二停止傳感器206接收到被反射回來(lái)的檢測(cè)信號(hào)后，將向中央控制器發(fā)出檢測(cè)到機(jī)械臂201到達(dá)第二方向上的預(yù)設(shè)位置的位置信號(hào)，中央控制器將控制機(jī)械臂201使其停止，然后控制機(jī)械臂201將基片放置在載板202的相應(yīng)格框里；中央控制器還與載板202連接，當(dāng)載板202放滿(mǎn)基片后，中央控制器將控制載板202進(jìn)入到工藝制程的反應(yīng)腔室中。在實(shí)際應(yīng)用中，第一方向和第二方向相互垂直，以使第一停止傳感器205發(fā)出的檢測(cè)信號(hào)和第二停止傳感器206發(fā)出的檢測(cè)信號(hào)交叉點(diǎn)在目的格框中，確保能在二維空間平面上檢測(cè)到機(jī)械臂201依次到達(dá)對(duì)應(yīng)方向上的預(yù)設(shè)位置，從而使機(jī)械臂201到達(dá)目的格框。其中，也可以以第一方向?yàn)闄M向，第二方向?yàn)榭v向來(lái)介紹本發(fā)明的技術(shù)方案。在本實(shí)施例中，通過(guò)將停止傳感器設(shè)置于相對(duì)于載板之外的皮帶上，通過(guò)運(yùn)動(dòng)皮帶來(lái)設(shè)定停止傳感器的位置，不需要在載板上設(shè)置大量停止傳感器，避免多個(gè)停止傳感器發(fā)生誤開(kāi)而造成檢測(cè)信號(hào)干擾，導(dǎo)致機(jī)械臂將基片放置到錯(cuò)誤的格框中，同時(shí)簡(jiǎn)化載板的結(jié)構(gòu)，減少了機(jī)械手定位裝置的制造成本。圖3為本發(fā)明提供的機(jī)械手定位裝置第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，進(jìn)一步的，本實(shí)施例機(jī)械手定位裝置在圖2所示的結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，在第一皮帶203和第二皮帶204上還分別設(shè)置于有第一減速傳感器207和第二減速傳感器208，第一減速傳感器207 和第二減速傳感器208分別與中央控制器相連，減速傳感器的作用是在機(jī)械臂201在到達(dá)載板202的預(yù)設(shè)位置之前，向中央控制器返回機(jī)械臂201的位置信號(hào)，中央控制器根據(jù)減速傳感器返回的位置信號(hào)控制機(jī)械臂201做減速運(yùn)動(dòng)，以使機(jī)械臂201在到達(dá)該方向上載板 202的預(yù)設(shè)位置之前就開(kāi)始減速，可以提高機(jī)械臂201傳遞基片時(shí)的穩(wěn)定性和安全性，避免機(jī)械臂201到達(dá)預(yù)設(shè)位置時(shí)因突然停止而導(dǎo)致基片脫落損壞。在實(shí)際應(yīng)用中，第一皮帶203 和第二皮帶204可以是在步進(jìn)電機(jī)，中央控制器通過(guò)控制步進(jìn)電機(jī)來(lái)控制第一皮帶203和第二皮帶204做步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，每一步進(jìn)運(yùn)動(dòng)的距離為載板202上一個(gè)格框在該方向上的長(zhǎng)度。在實(shí)際應(yīng)用中，第一減速傳感器207的數(shù)量可為1個(gè)或多個(gè)，以用于機(jī)械臂201在到達(dá)第一方向的預(yù)設(shè)位置前進(jìn)行1次或多次減速；同樣，第二減速傳感器208的數(shù)量也可為 1個(gè)或多個(gè)，以用于機(jī)械臂201在到達(dá)第二方向的預(yù)設(shè)位置前進(jìn)行1次或多次減速，機(jī)械臂 201在經(jīng)過(guò)1次或多次減速后停止在預(yù)設(shè)位置，可以有效避免機(jī)械臂201夾持的基片脫落損壞，有利于提高機(jī)械臂201夾持和傳遞基片時(shí)的安全性和穩(wěn)定性。圖4為本發(fā)明提供的機(jī)械手定位裝置中機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)流程圖。如圖4所示，本實(shí)施例提供的機(jī)械手定位裝置中機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)流程圖包括步驟401、機(jī)械臂夾取基片。本實(shí)施例以圖3所示的機(jī)械手定位裝置為例來(lái)介紹技術(shù)方案。機(jī)械臂201在中央控制器的控制下夾取到基片后，進(jìn)入步驟402。步驟402、機(jī)械臂沿著第一方向運(yùn)動(dòng)。在本實(shí)施例中，當(dāng)需要將基板放置到載板202上的目的格框Cl時(shí)，將第一皮帶203 上的第一停止傳感器205的位置與載板202上的Al點(diǎn)對(duì)應(yīng)，將第二皮帶204上的第二停止傳感器206與載板202上的Bl點(diǎn)對(duì)應(yīng)，以使第一停止傳感器205和第二停止傳感器206發(fā)出的檢測(cè)信號(hào)的交叉點(diǎn)位于目的格框Cl處，夾取著基片的機(jī)械臂201在中央控制器的控制下沿著第一方向前進(jìn)。步驟403、檢測(cè)機(jī)械臂是否到達(dá)第一方向上的預(yù)設(shè)位置。當(dāng)?shù)谝粶p速傳感器207接收到機(jī)械臂201反射回來(lái)的檢測(cè)信號(hào)時(shí)，第一減速傳感器207將向中央控制器發(fā)出檢測(cè)到機(jī)械臂201的位置信號(hào)，中央控制器根據(jù)該位置信號(hào)降低機(jī)械臂201的運(yùn)動(dòng)速度；當(dāng)機(jī)械臂201沿著第一方向前進(jìn)到達(dá)載板202上預(yù)設(shè)位置Al點(diǎn)時(shí)，第一停止傳感器205發(fā)出的檢測(cè)信號(hào)將會(huì)被機(jī)械臂201反射而返回到第一停止傳感器 205上，第一停止傳感器205檢測(cè)到被機(jī)械臂201反射回來(lái)的檢測(cè)信號(hào)時(shí)，說(shuō)明機(jī)械臂201 到達(dá)第一方向上的預(yù)設(shè)位置，然后，第一停止傳感器205將機(jī)械臂201到達(dá)第一方向上的預(yù)設(shè)位置的位置信號(hào)發(fā)送到中央控制器，中央控制器將控制機(jī)械臂201使其停止，然后進(jìn)入步驟404。步驟404、機(jī)械臂沿著第二方向運(yùn)動(dòng)。在中央控制器的控制下，機(jī)械臂201從第一方向上的預(yù)設(shè)位置Al點(diǎn)沿著第二方向
、產(chǎn).、rr.刖進(jìn)。步驟405、檢測(cè)機(jī)械臂是否到達(dá)第二方向上的預(yù)設(shè)位置。在機(jī)械臂201沿著第二方向運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中，當(dāng)?shù)诙p速傳感器208接收到機(jī)械臂 201反射回來(lái)的檢測(cè)信號(hào)時(shí)，第二減速傳感器208將向中央控制器發(fā)出檢測(cè)到機(jī)械臂201的位置信號(hào)，中央控制器根據(jù)該位置信號(hào)降低機(jī)械臂201的運(yùn)動(dòng)速度；機(jī)械臂201繼續(xù)前進(jìn)， 當(dāng)機(jī)械臂201到達(dá)載板202上的預(yù)設(shè)位置Bl點(diǎn)時(shí)，第二停止傳感器206發(fā)出的檢測(cè)信號(hào)將會(huì)被機(jī)械臂201反射而返回到第二停止傳感器206上，第二停止傳感器206接收到被機(jī)械臂201反射回來(lái)的檢測(cè)信號(hào)時(shí)，說(shuō)明機(jī)械臂201到達(dá)第二方向上的預(yù)設(shè)位置，然后第二停止傳感器206將檢測(cè)到的機(jī)械臂201到達(dá)第二方向上的預(yù)設(shè)位置Bl點(diǎn)的位置信號(hào)發(fā)送到中央控制器，中央控制器控制機(jī)械臂201使其停止，然后進(jìn)入步驟406。步驟406、將基片放置到載板的目的格框中。機(jī)械臂201沿著第一方向運(yùn)動(dòng)到載板202的Al點(diǎn)后，再?gòu)腁l點(diǎn)沿著第二方向運(yùn)動(dòng)到載板202的Bl點(diǎn)的所在線(xiàn)路，此時(shí)機(jī)械臂201到達(dá)載板202的目的格框Cl，然后中央控制器控制機(jī)械臂201將基片放置在目的格框Cl中。本實(shí)施例中，通過(guò)將減速傳感器和停止傳感器設(shè)置于載板之外的皮帶上，通過(guò)運(yùn)動(dòng)皮帶來(lái)設(shè)定減速傳感器和停止傳感器的位置，不需要在載板上設(shè)置大量減速傳感器和停止傳感器，避免多個(gè)停止傳感器之間發(fā)生干擾，不僅簡(jiǎn)化了載板結(jié)構(gòu)，減少了機(jī)械手定位裝置的制造成本，提高了機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)過(guò)程的安全性和穩(wěn)定性。圖5為本發(fā)明提供的傳送系統(tǒng)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖5所示，本實(shí)施例中的傳送系統(tǒng)包括機(jī)械手定位裝置、載板202和傳送帶209，其中，機(jī)械手定位裝置可以采用采用圖2或圖3所示的任意一種結(jié)構(gòu)，在本實(shí)施例中，機(jī)械手定位裝置采用圖3所示的結(jié)構(gòu)， 傳送帶209用于將基片傳遞到預(yù)設(shè)的原點(diǎn)位置，機(jī)械臂201到達(dá)原點(diǎn)位置后從傳送帶209 上夾取基片，然后再將基片放置到載板202上的目的格框中，原點(diǎn)位置為空間中的固定位置，在原點(diǎn)位置設(shè)置有原點(diǎn)傳感器，原點(diǎn)傳感器與機(jī)械手定位裝置中的中央控制器連接，原點(diǎn)傳感器用于檢測(cè)機(jī)械臂201是否到達(dá)原點(diǎn)位置，以確保機(jī)械臂201能準(zhǔn)確地到達(dá)原點(diǎn)位置，避免機(jī)械臂201與基片或傳送帶209發(fā)生碰撞而損壞，當(dāng)原點(diǎn)傳感器檢測(cè)到機(jī)械手定位裝置10中的機(jī)械臂到達(dá)原點(diǎn)位置后，中央控制器控制機(jī)械臂201從傳送帶209上夾取基片然后將其傳送到載板202上的目的格框中。圖6為本發(fā)明提供的傳送系統(tǒng)中傳送帶的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖6所示，傳送帶209 的原點(diǎn)0附近固定設(shè)置原點(diǎn)傳感器包括兩個(gè)第一原點(diǎn)傳感器210和第二原點(diǎn)傳感器211，原點(diǎn)傳感器210可以為光電傳感器或激光傳感器等，第一原點(diǎn)傳感器210發(fā)出的檢測(cè)信號(hào)L3 和第二原點(diǎn)傳感器211發(fā)出的檢測(cè)信號(hào)L4相互垂直，且分別與上述載板202的其中一相鄰兩側(cè)邊分別平行，以保證機(jī)械臂201分別在原點(diǎn)及載板202處的取片、放片的準(zhǔn)確性。當(dāng)機(jī)械臂201到達(dá)原點(diǎn)時(shí)，其將第一原點(diǎn)傳感器210發(fā)出的檢測(cè)信號(hào)L3和第二原點(diǎn)傳感器211 發(fā)出的檢測(cè)信號(hào)L4分別反射回去，當(dāng)?shù)谝辉c(diǎn)傳感器210和第二原點(diǎn)傳感器211接收到該被反射回來(lái)的檢測(cè)信號(hào)后，將向控制機(jī)械臂201的中央控制器發(fā)出關(guān)于檢測(cè)到機(jī)械臂到達(dá)的原點(diǎn)位置的位置信號(hào)，然后中央控制器將控制機(jī)械臂201在原點(diǎn)位置從傳送帶209上夾取基片，第一原點(diǎn)傳感器210和第二原點(diǎn)傳感器211有利于機(jī)械臂準(zhǔn)確地到達(dá)傳送帶209 的原點(diǎn)0，避免機(jī)械臂201和傳送帶209或基片發(fā)生碰撞等。圖7為本發(fā)明提供的傳送系統(tǒng)的工作流程圖。如圖7所示，本實(shí)施例傳送系統(tǒng)的具體工作流程包括如下步驟步驟701、傳送帶將基片傳遞到原點(diǎn)位置。當(dāng)運(yùn)動(dòng)的傳送帶209將基片傳送到到原點(diǎn)位置時(shí)，傳送帶209停止運(yùn)動(dòng)并向中央控制器發(fā)出到基片到達(dá)原點(diǎn)位置的位置信號(hào)，中央控制器根據(jù)基片位于原點(diǎn)位置的位置信號(hào)控制機(jī)械臂201向原點(diǎn)位置運(yùn)動(dòng)，然后進(jìn)入步驟702。步驟702、機(jī)械臂夾取到基片。機(jī)械臂201運(yùn)動(dòng)到傳送帶209的原點(diǎn)位置，第一原點(diǎn)傳感器210和第二原點(diǎn)傳感器211將向中央控制器發(fā)出機(jī)械臂201到達(dá)原點(diǎn)位置的位置信號(hào)，中央控制器將控制機(jī)械臂在原點(diǎn)位置從傳送帶209上夾取基片，然后進(jìn)入步驟703。步驟703、機(jī)械臂沿著第一方向運(yùn)動(dòng)。在本實(shí)施例中，當(dāng)需要將基片放置到載板202上目的格框Cl時(shí)，首先將第一皮帶 203上的第一停止傳感器205與載板202上的Al點(diǎn)對(duì)應(yīng)，將第二皮帶204上的第二停止傳感器206與載板202上的Bl點(diǎn)對(duì)應(yīng)，夾取著基片的機(jī)械臂201在中央控制器的控制下沿著
第一方向前進(jìn)。步驟704、檢測(cè)機(jī)械臂是否到達(dá)第一方向上的預(yù)設(shè)位置。當(dāng)?shù)谝粶p速傳感器207接收到機(jī)械臂201反射回來(lái)的檢測(cè)信號(hào)時(shí)，第一減速傳感器207將向中央控制器發(fā)出檢測(cè)到機(jī)械臂201的位置信號(hào)，中央控制器根據(jù)該位置信號(hào)控制機(jī)械臂201做減速運(yùn)動(dòng)；當(dāng)?shù)谝煌Ｖ箓鞲衅?05接收到被機(jī)械臂201反射回來(lái)的檢測(cè)信號(hào)時(shí)，說(shuō)明機(jī)械臂201到達(dá)第一方向上的預(yù)設(shè)位置Al點(diǎn)，第一停止傳感器205將機(jī)械臂201 到達(dá)第一方向上預(yù)設(shè)位置的位置信號(hào)發(fā)至中央控制器，中央控制器控制機(jī)械臂201使其停止，然后進(jìn)入步驟705。步驟705、機(jī)械臂沿著第二方向運(yùn)動(dòng)。機(jī)械臂201在中央控制器的控制下，從第一方向上的預(yù)設(shè)位置Al點(diǎn)沿著第二方向
、產(chǎn).、rr.刖進(jìn)。步驟706、檢測(cè)機(jī)械臂是否到達(dá)第二方向上的預(yù)設(shè)位置。當(dāng)?shù)诙p速傳感器208接收到機(jī)械臂201反射回來(lái)的檢測(cè)信號(hào)時(shí)，第二減速傳感器208將向中央控制器發(fā)送檢測(cè)到機(jī)械臂201的位置信號(hào)，中央控制器將控制機(jī)械臂201 做減速運(yùn)動(dòng)；當(dāng)機(jī)械臂201沿著第二方向前進(jìn)到達(dá)載板202上預(yù)設(shè)位置Bl點(diǎn)所在線(xiàn)路時(shí)， 第二停止傳感器206發(fā)出的檢測(cè)信號(hào)將會(huì)被機(jī)械臂201反射而返回到第二停止傳感器206 上，第二停止傳感器206接收到被機(jī)械臂201反射回來(lái)的檢測(cè)信號(hào)時(shí)，說(shuō)明機(jī)械臂201到達(dá)第二方向上的預(yù)設(shè)位置，然后第二停止傳感器206將檢測(cè)到機(jī)械臂201到達(dá)第二方向上的預(yù)設(shè)位置Bl點(diǎn)的位置信號(hào)發(fā)送到中央控制器，中央控制器控制機(jī)械臂201使其停止，然后進(jìn)入步驟707。步驟707、將基片放置到載板的目的格框中。機(jī)械臂201沿著第一方向運(yùn)動(dòng)到載板202的Al點(diǎn)后，再沿著第二方向運(yùn)動(dòng)到載板 202的Bl點(diǎn)的所在沿線(xiàn)，此時(shí)機(jī)械臂201到達(dá)載板202的目的格框Cl，然后中央控制器控制機(jī)械臂201將基片放置在Cl格框中。在步驟704中，在中央控制器控制機(jī)械臂201停止沿著第一方向前進(jìn)之后，中央控制器將控制第一停止傳感器205步進(jìn)一個(gè)格框長(zhǎng)度的距離，以使機(jī)械臂201再次夾取基片并將其放置到與本次目的格框相鄰的下一個(gè)格框，等到機(jī)械臂201到達(dá)目的格框所在的格框行的終點(diǎn)后，設(shè)置于第一皮帶203上的第一停止傳感器205將返回到載板202的第一起始點(diǎn)A0，同時(shí)中央控制器控制第二停止傳感器206沿著第二方向步進(jìn)一個(gè)格框的距離，以使機(jī)械臂201將基片放置到下一個(gè)格框行中，等到載板202上的所有格框都放置有基片之后，控制第二停止傳感器206返回到第二起始點(diǎn)B0，然后將放滿(mǎn)基片的載板202運(yùn)輸?shù)椒磻?yīng)腔室。上述情況是先將載板202第一方向上的一行格框放滿(mǎn)基片，再在載板202第二方向上的下一行格框放置基片，也可以先在載板202第二方向上的一行格框放滿(mǎn)基片，再在載板202第一方向上的下一行格框放置基片。在實(shí)際應(yīng)用中，由于停止傳感器和減速傳感器分別固定設(shè)置于皮帶上，所以設(shè)置于同一皮帶上的減速傳感器與停止傳感器運(yùn)動(dòng)過(guò)程一致。本實(shí)施例中，通過(guò)將減速傳感器和停止傳感器設(shè)置于載板之外的皮帶上，通過(guò)運(yùn)動(dòng)皮帶來(lái)設(shè)定減速傳感器和停止傳感器的位置，不需要在載板上設(shè)置大量減速傳感器和停止傳感器，避免多個(gè)停止傳感器之間的干擾，不僅減少了機(jī)械臂機(jī)械手定位裝置的制造成本、簡(jiǎn)化了其結(jié)構(gòu)，而且使機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)過(guò)程更加安全和穩(wěn)定?？梢岳斫獾氖牵陨蠈?shí)施方式僅僅是為了說(shuō)明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種機(jī)械手定位裝置，其特征在于，包括中央控制器、皮帶、機(jī)械臂和停止傳感器； 所述停止傳感器設(shè)置于所述皮帶上，所述停止傳感器用于檢測(cè)所述機(jī)械臂是否到達(dá)載板上的預(yù)設(shè)位置，且所述皮帶用于帶動(dòng)所述停止傳感器沿所述載板的側(cè)邊運(yùn)動(dòng)；所述中央控制器分別與所述機(jī)械臂、皮帶和停止傳感器相連，用于控制所述機(jī)械臂從所述載板上取放基片，控制所述皮帶傳動(dòng)，且在所述停止傳感器檢測(cè)到所述機(jī)械臂到達(dá)預(yù)設(shè)位置時(shí)控制所述機(jī)械臂停止運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手定位裝置，其特征在于，所述停止傳感器包括第一停止傳感器和第二停止傳感器，所述皮帶包括第一皮帶和第二皮帶；所述皮帶包括第一皮帶和第二皮帶分別沿所述載板的其中一相鄰兩側(cè)邊設(shè)置；且所述第一停止傳感器設(shè)置于第一皮帶上，所述第二停止傳感器設(shè)置于第二皮帶上；在所述第一停止傳感器檢測(cè)到所述機(jī)械到達(dá)第一方向上對(duì)應(yīng)的所述載板的預(yù)設(shè)位置時(shí)，所述中央控制器控制所述機(jī)械臂停止運(yùn)動(dòng)；在所述第二停止傳感器檢測(cè)到所述機(jī)械到達(dá)第二方向上對(duì)應(yīng)的所述載板的預(yù)設(shè)位置時(shí)，所述中央控制器控制所述機(jī)械臂停止運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)械手定位裝置，其特征在于，所述中央控制器通過(guò)控制步進(jìn)電機(jī)而使所述第一皮帶和第二皮帶做步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)械手定位裝置，其特征在于，還包括第一減速傳感器和第二減速傳感器，分別設(shè)置于所述第一皮帶和所述第二皮帶上，且分別與所述中央控制器相連；在所述第一減速傳感器和所述第二減速傳感器檢測(cè)到所述機(jī)械臂時(shí)，所述中央控制器控制降低所述機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)速度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的機(jī)械手定位裝置，其特征在于所述第一減速傳感器的數(shù)量至少為1個(gè)，以用于所述機(jī)械臂在到達(dá)第一方向的預(yù)設(shè)位置前進(jìn)行至少一次減速；所述第二減速傳感器的數(shù)量至少為1個(gè)，以用于所述機(jī)械臂在到達(dá)第二方向的預(yù)設(shè)位置前進(jìn)行至少一次減速。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)械手定位裝置，其特征在于，所述停止傳感器和所述減速傳感器為光電傳感器或光學(xué)傳感器。
7.—種傳送系統(tǒng)，其特征在于，包括傳送帶、載板和權(quán)利要求1-6中任意一項(xiàng)所述的機(jī)械手定位裝置； 所述傳送帶用于將基片傳送到原點(diǎn)位置，且所述機(jī)械手定位裝置的機(jī)械臂從所述原點(diǎn)位置夾取基片。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述原點(diǎn)位置設(shè)置有原點(diǎn)傳感器，所述原點(diǎn)傳感器與所述機(jī)械手定位裝置的中央控制器相連接，所述原點(diǎn)傳感器用于檢測(cè)所述機(jī)械臂是否到達(dá)所述原點(diǎn)位置；且在所述原點(diǎn)傳感器檢測(cè)到所述機(jī)械臂到達(dá)所述原點(diǎn)位置時(shí)，所述中央控制器用于控制所述機(jī)械臂從所述原點(diǎn)位置夾取所述基片。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述原點(diǎn)傳感器包括第一原點(diǎn)傳感器和第二原點(diǎn)傳感器，所述第一原點(diǎn)傳感器和第二原點(diǎn)傳感器分別與所述中央控制器相連；所述第一傳感器與所述第二傳感器發(fā)出檢測(cè)信號(hào)的方向相互垂直，且所述第一傳感器與所述第二傳感器發(fā)出檢測(cè)信號(hào)的方向分別與所述載板的其中一相鄰兩側(cè)邊相平行。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述第一原點(diǎn)傳感器和第二原點(diǎn)傳感器為光電傳感器或光學(xué)傳感器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種機(jī)械手定位裝置及傳送系統(tǒng)，其中機(jī)械手定位裝置包括中央控制器、皮帶、機(jī)械臂和停止傳感器；停止傳感器設(shè)置于皮帶上，停止傳感器用于檢測(cè)機(jī)械臂是否到達(dá)載板上的預(yù)設(shè)位置，且皮帶用于帶動(dòng)停止傳感器沿載板的側(cè)邊運(yùn)動(dòng)；中央控制器分別與機(jī)械臂、皮帶和停止傳感器相連，用于控制機(jī)械臂從載板上取放基片，控制皮帶傳動(dòng)，且在停止傳感器檢測(cè)到機(jī)械臂到達(dá)預(yù)設(shè)位置時(shí)控制機(jī)械臂停止運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明機(jī)械手定位裝置通過(guò)將停止傳感器設(shè)置于相對(duì)于載板之外的皮帶上，不需要在載板上設(shè)置大量停止傳感器，防止多個(gè)停止傳感器之間發(fā)生檢測(cè)信號(hào)干擾，避免機(jī)械臂將基片放置到錯(cuò)誤的格框中，同時(shí)簡(jiǎn)化了載板的結(jié)構(gòu)，減少了機(jī)械手定位裝置的制造成本。
文檔編號(hào)B25J19/02GK102554924SQ20101060569
公開(kāi)日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2010年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月15日
發(fā)明者張孟湜 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司