一種半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置，包括門(mén)板和門(mén)框；所述門(mén)板的側(cè)邊設(shè)有向門(mén)板內(nèi)表面凹陷的凹槽，所述凹槽內(nèi)設(shè)有密封條，所述密封條為柔性件；所述門(mén)框的側(cè)邊且與所述密封條對(duì)齊處設(shè)有壓板條，所述壓板條的外側(cè)壁上設(shè)有至少一個(gè)向外側(cè)壁突出的突起條，所述突起條用于配合壓緊所述密封條。本實(shí)用新型通過(guò)將壓板條固定在門(mén)框上，進(jìn)而在壓板條上設(shè)置突起條，當(dāng)門(mén)閉合時(shí)，在一定的壓緊力的作用下，使突起條壓緊固定在門(mén)四周凹槽內(nèi)的密封條，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)門(mén)與門(mén)框之間的線密封，密封效果良好，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，具體地說(shuō)，涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置。【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體工藝設(shè)備中，由于硅片的制造有極高的外界環(huán)境要求，對(duì)微環(huán)境需要較高的潔凈度和低的含氧量，以保證生產(chǎn)出的硅晶片質(zhì)量，尤其是隨著集成電路制造工藝的更新?lián)Q代，對(duì)半導(dǎo)體工藝設(shè)備內(nèi)的微環(huán)境的要求也越來(lái)越高，因此，設(shè)備內(nèi)微環(huán)境需要保證其密封性，使設(shè)備內(nèi)微環(huán)境的氧含量達(dá)到工藝標(biāo)準(zhǔn)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，半導(dǎo)體工藝設(shè)備中門(mén)與門(mén)框之間的密封程度比較低，門(mén)與門(mén)框之間通常采用傳統(tǒng)的門(mén)密封結(jié)構(gòu)，一種密封結(jié)構(gòu)為門(mén)與門(mén)框之間設(shè)有墊片密封，墊片密封是連接處靠外力壓緊密封墊片，使其本身發(fā)生變形，讓墊片填補(bǔ)門(mén)和門(mén)框密封面上的宏觀凹凸不平和微觀的粗糙，使得工作介質(zhì)或者外界物質(zhì)的相互流通力小于墊片的阻力，從而實(shí)現(xiàn)密封，阻止泄漏；采用這種墊片密封結(jié)構(gòu)由于門(mén)框和門(mén)兩個(gè)大尺寸平面表面很難實(shí)現(xiàn)平整，導(dǎo)致中間的密封墊很難壓緊，從而達(dá)不到高密封要求。
[0004]另一種密封結(jié)構(gòu)為門(mén)與門(mén)框之間設(shè)有充氣密封圈實(shí)現(xiàn)密封，通過(guò)對(duì)充氣密封圈充氣，使密封門(mén)，門(mén)框以及密封圈之間壓緊無(wú)縫隙，保證微環(huán)境內(nèi)氣體無(wú)泄漏，密封效果良好，此種方法需要對(duì)充氣密封圈提供一路氣體，而通入充氣密封圈的氣體有一定的壓力，對(duì)密封門(mén)的門(mén)板產(chǎn)生垂直的應(yīng)力，密封門(mén)受力容易產(chǎn)生形變，并且充氣密封圈的成本高。
[0005]因此，加強(qiáng)半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封性能成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置，加強(qiáng)半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封性。
[0007]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置，包括門(mén)板和門(mén)框；所述門(mén)板的側(cè)邊設(shè)有向門(mén)板內(nèi)表面凹陷的凹槽，所述凹槽內(nèi)設(shè)有密封條，所述密封條為柔性件；所述門(mén)框的側(cè)邊且與所述密封條對(duì)齊處設(shè)有壓板條，所述壓板條的外側(cè)壁上設(shè)有至少一個(gè)向外側(cè)壁突出的突起條，所述突起條用于配合壓緊所述密封條。
[0008]優(yōu)選的，所述突起條的水平截面形狀為多邊形、U型、圓弧、或其中任意一種或多種圖形的組合。
[0009]優(yōu)選的，所述壓板條的外側(cè)壁上的突起條為多個(gè)，且均勻分布在所述壓板條的外側(cè)壁上。
[0010]優(yōu)選的，所述凹槽向門(mén)板內(nèi)表面凹陷的深度尺寸為I?5mm。
[0011 ] 優(yōu)選的，所述密封條的外表面涂覆密封涂層。
[0012]優(yōu)選的，所述壓板條和所述突起條為一體結(jié)構(gòu)。
[0013]優(yōu)選的，所述壓板條的材料為不銹鋼。
[0014]優(yōu)選的，所述密封條的材料為硅橡膠。[0015]本實(shí)用新型通過(guò)將壓板條固定在門(mén)框上，進(jìn)而在壓板條上設(shè)置突起條，當(dāng)門(mén)閉合時(shí)，在一定的壓緊力的作用下，使突起條壓緊固定在門(mén)四周凹槽內(nèi)的密封條，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)門(mén)與門(mén)框之間的線密封，密封效果良好，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1為本實(shí)用新型半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本實(shí)用新型半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置的水平剖視圖；
[0019]圖3為圖2中半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置的局部放大圖。
[0020]圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明如下:
[0021]100、門(mén)板;200、壓板條;201、突起條;300、密封條;400、門(mén)框;500、凹槽。
【具體實(shí)施方式】
[0022]以下將配合圖式及實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，藉此對(duì)本實(shí)用新型如何應(yīng)用技術(shù)手段來(lái)解決技術(shù)問(wèn)題并達(dá)成技術(shù)功效的實(shí)現(xiàn)過(guò)程能充分理解并據(jù)以實(shí)施。
[0023]實(shí)施例一
[0024]如圖1至圖3所示，本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置，包括門(mén)板100和門(mén)框400，所述門(mén)板100的側(cè)邊設(shè)有向門(mén)板內(nèi)表面凹陷的凹槽500 ;所述凹槽500內(nèi)設(shè)有密封條300，所述密封條300為柔性件；所述門(mén)框400的側(cè)邊且與所述密封條300對(duì)齊處設(shè)有壓板條200，所述壓板條200的外側(cè)壁上設(shè)有至少一個(gè)向外側(cè)壁突出的突起條201，所述突起條201用于配合壓緊所述密封條300。
[0025]本實(shí)用新型通過(guò)將壓板條200固定在門(mén)框400上，進(jìn)而在壓板條200上設(shè)置突起條210，當(dāng)門(mén)閉合時(shí)，在一定壓緊力的作用下，使突起條210壓緊固定在門(mén)板100凹槽500內(nèi)的密封條300，壓緊密封條300進(jìn)而實(shí)現(xiàn)門(mén)板100與門(mén)框400之間的線密封，增加密封效果。
[0026]本實(shí)施例中，所述凹槽500的寬度尺寸與密封條300的寬度尺寸相適應(yīng)，所述密封條300的高度尺寸大于所述凹槽的深度尺寸。
[0027]其中，所述突起條210的水平截面形狀為多邊形、U型、圓弧、或其中任意一種或多種圖形的組合，多邊形的形狀為三角形、矩形、梯形等。如圖3所示，所示壓板條200結(jié)構(gòu)為楔形，即矩形和梯形的組合，該壓板條200的結(jié)構(gòu)可更好的壓緊密封條300。
[0028]所述的壓板條200采用不銹鋼材料，門(mén)框400采用鋁合金材料，通過(guò)粘膠使壓板條200緊密粘貼固定在門(mén)框400上，壓板條200和門(mén)框400結(jié)合處無(wú)縫密封，無(wú)氣體滲透。
[0029]所述的密封條300采用密封材質(zhì)，緊密粘貼在門(mén)板100的四周的凹槽500內(nèi)，當(dāng)門(mén)關(guān)合上時(shí)，在外力的作用下，壓板條200及突起條210壓緊具有一定彈性的密封條300，實(shí)現(xiàn)線密封。所述壓板條200及突起條210為一體結(jié)構(gòu)，所述密封條300的材料為硅橡膠。
[0030]實(shí)施例二
[0031]在實(shí)施例一的基礎(chǔ)上，所述壓板條200的外側(cè)壁上的突起條210為多個(gè)，且均勻分布在所述壓板條200的外側(cè)壁上。如圖3所示，所述門(mén)板100上設(shè)有向門(mén)板100內(nèi)表面凹陷的矩形凹槽500，所述凹槽500向門(mén)板100內(nèi)表面凹陷的深度尺寸為I?5mm，優(yōu)選的，凹槽500的深度為2mm。
[0032]所述密封條300采用硅橡膠材料，硅橡膠材料為泡孔結(jié)構(gòu)，為了加強(qiáng)密封條300的密封性，在密封條300的外表面涂覆密封涂層。
[0033]為了加強(qiáng)門(mén)板100與門(mén)框400之間的密封性，所述門(mén)框400的四側(cè)邊均固定安裝與所述密封條300對(duì)齊的壓板條200。
[0034]上述說(shuō)明示出并描述了本實(shí)用新型的若干優(yōu)選實(shí)施例，但如前所述，應(yīng)當(dāng)理解本實(shí)用新型并非局限于本文所披露的形式，不應(yīng)看作是對(duì)其他實(shí)施例的排除，而可用于各種其他組合、修改和環(huán)境，并能夠在本文所述實(shí)用新型構(gòu)想范圍內(nèi)，通過(guò)上述教導(dǎo)或相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)或知識(shí)進(jìn)行改動(dòng)。而本領(lǐng)域人員所進(jìn)行的改動(dòng)和變化不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍，則都應(yīng)在本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置，包括門(mén)板和門(mén)框；其特征在于， 所述門(mén)板的側(cè)邊設(shè)有向門(mén)板內(nèi)表面凹陷的凹槽，所述凹槽內(nèi)設(shè)有密封條，所述密封條為柔性件； 所述門(mén)框的側(cè)邊且與所述密封條對(duì)齊處設(shè)有壓板條，所述壓板條的外側(cè)壁上設(shè)有至少一個(gè)向外側(cè)壁突出的突起條，所述突起條用于配合壓緊所述密封條。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置，其特征在于，所述突起條的水平截面形狀為多邊形、U型、圓弧、或其中任意一種或多種圖形的組合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置，其特征在于，所述壓板條的外側(cè)壁上的突起條為多個(gè)，且均勻分布在所述壓板條的外側(cè)壁上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置，其特征在于，所述凹槽向門(mén)板內(nèi)表面凹陷的深度尺寸為I?5mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置，其特征在于，所述密封條的外表面涂覆密封涂層。
6.據(jù)權(quán)利要求1?5任一所述的半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置，其特征在于，所述壓板條和所述關(guān)起條為一體結(jié)構(gòu)。
7.據(jù)權(quán)利要求1?5任一所述的半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置，其特征在于，所述壓板條的材料為不銹鋼。
8.據(jù)權(quán)利要求1?5任一所述的半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)的密封裝置，其特征在于，所述密封條的材料為硅橡膠。
【文檔編號(hào)】E06B7/22GK203796138SQ201420090621
【公開(kāi)日】2014年8月27日 申請(qǐng)日期:2014年2月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月28日
【發(fā)明者】趙晨博, 宋新豐, 王麗榮 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司