本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)，尤其涉及一種反切加工工藝。

背景技術(shù)：

1、多線切割工藝是一種以線切機(jī)和金剛線分別作為切割作業(yè)設(shè)備和切割線來(lái)切割晶棒從而得到晶片的工藝。從線輥側(cè)邊的線輪伸出的切割線繞設(shè)于至少兩個(gè)間隔設(shè)置的線輥后繞設(shè)到線輥側(cè)邊的另一線輪，多個(gè)線輥之間形成線網(wǎng)。切割晶棒時(shí)，線輥以及線輥兩側(cè)的線輪轉(zhuǎn)動(dòng)，切割線從線輥側(cè)邊的線輪向線輥側(cè)邊的另一線輪輸送切割線。在輸送切割線期間，切割線需要具備一定的張力從而高效且高質(zhì)量地切斷晶棒。由于晶棒切割過(guò)程包括多個(gè)切割階段，各切割階段所需的切割線張力不同，需根據(jù)切割進(jìn)度調(diào)整切割線張力以滿足各切割階段的工藝和質(zhì)量要求?，F(xiàn)有技術(shù)通過(guò)人工操作線切機(jī)的方式輸送切割線，難以按需調(diào)節(jié)切割線的張力，在切割線的輸送過(guò)程中切割線的張力幾乎固定，切割線張力無(wú)法很好地滿足各切割階段工藝和質(zhì)量要求，從而無(wú)法按照預(yù)期高效地切割出高質(zhì)量的晶片，導(dǎo)致晶片的良品率低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、鑒于此，本發(fā)明提供一種反切加工工藝，通過(guò)在反向切割之前預(yù)先對(duì)用于切割晶棒的切割線進(jìn)行張力調(diào)節(jié)，以使切割線的張力滿足晶棒反向切割工藝的要求，從而高效地切割出高品質(zhì)的晶片。

2、本發(fā)明的基于線切機(jī)的反切加工工藝包括

3、a、確定切割線線網(wǎng)的總線量s1；

4、b、獲取和計(jì)算下一刀切割的工藝要求，其中包括入刀用線量l1、主切用線量l2、收線弓用線量l3、收刀用線量l4、繞線張力t0、入刀所需張力t1、主切所需張力t2、切割工藝放線量s2；

5、c、根據(jù)上一刀切割的實(shí)際放線量l0和下一刀切割的工藝單刀線耗s0，計(jì)算出下一刀切割所需的總放線量s4；

6、d、正向放線，從放線側(cè)向收線側(cè)輸送切割線，輸送量為s4；

7、e、監(jiān)測(cè)切割線的實(shí)時(shí)輸送量，并將正向放線過(guò)程中所監(jiān)測(cè)到的實(shí)時(shí)輸送量作為正向放線量；

8、f、在正向放線量達(dá)到預(yù)設(shè)節(jié)點(diǎn)量的時(shí)刻，分別調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放；

9、g、反向放線并切割，從收線側(cè)向放線側(cè)輸送切割線，并利用從收線側(cè)向放線側(cè)輸送的切割線切割晶棒。

10、在一些實(shí)施方式中，分別調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放包括：

11、f01、在s4＞s1+s2的情況下，于開(kāi)始正向放線的一刻調(diào)節(jié)t收以使t收達(dá)到t0，并于開(kāi)始正向放線的一刻調(diào)節(jié)t放以使t放達(dá)到t0。

12、在一些實(shí)施方式中，調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放還包括：

13、f02、預(yù)設(shè)節(jié)點(diǎn)量包括第一節(jié)點(diǎn)量，第一節(jié)點(diǎn)量為(s4-s2-s1)，當(dāng)正向放線量達(dá)到第一節(jié)點(diǎn)量(s4-s2-s1)時(shí)，調(diào)節(jié)t放以使t放達(dá)到t2，并使t收保持t0。

14、在一些實(shí)施方式中，調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放還包括：

15、f03、預(yù)設(shè)節(jié)點(diǎn)量包括第二節(jié)點(diǎn)量，第二節(jié)點(diǎn)量為(s4-s2)，當(dāng)正向放線量達(dá)到第二節(jié)點(diǎn)量(s4-s2)時(shí)，使t放保持t2，并調(diào)節(jié)t收以使t收達(dá)到t2。

16、在一些實(shí)施方式中，調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放還包括：

17、f04、預(yù)設(shè)節(jié)點(diǎn)量包括第三節(jié)點(diǎn)量，第三節(jié)點(diǎn)量為(s4-s1-l1)，當(dāng)正向放線量達(dá)到第三節(jié)點(diǎn)量(s4-s1-l1)時(shí)，調(diào)節(jié)t放以使t放達(dá)到t1，并使t收保持t2。

18、在一些實(shí)施方式中，調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放還包括：

19、f05、預(yù)設(shè)節(jié)點(diǎn)量包括第四節(jié)點(diǎn)量，第四節(jié)點(diǎn)量為(s4-l1)；當(dāng)正向放線量達(dá)到第四節(jié)點(diǎn)量(s4-l1)時(shí)，使t放保持t1，并調(diào)節(jié)t收以使t收達(dá)到t1。

20、在一些實(shí)施方式中，分別調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放包括：

21、f11、在s4≤s1+s2，且s4＞s2的情況下，于開(kāi)始正向放線的一刻調(diào)節(jié)t放以使t放達(dá)到t2，并于開(kāi)始正向放線的一刻調(diào)節(jié)t收以使t收達(dá)到t0。

22、在一些實(shí)施方式中，調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放還包括：

23、f12、預(yù)設(shè)節(jié)點(diǎn)量包括第二節(jié)點(diǎn)量，第二節(jié)點(diǎn)量為(s4-s2)，當(dāng)正向放線量達(dá)到第二節(jié)點(diǎn)量(s4-s2)時(shí)，使t放保持t2，并調(diào)節(jié)t收以使t收達(dá)到t2。

24、在一些實(shí)施方式中，調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放還包括：

25、f13、預(yù)設(shè)節(jié)點(diǎn)量包括第三節(jié)點(diǎn)量，第三節(jié)點(diǎn)量為(s4-s1-l1)，當(dāng)正向放線量達(dá)到第三節(jié)點(diǎn)量(s4-s1-l1)時(shí)，調(diào)節(jié)t放以使t放達(dá)到t1，并使t收保持t2。

26、在一些實(shí)施方式中，調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放還包括：

27、f14、預(yù)設(shè)節(jié)點(diǎn)量包括第四節(jié)點(diǎn)量，第四節(jié)點(diǎn)量為(s4-l1)，當(dāng)正向放線量達(dá)到第四節(jié)點(diǎn)量(s4-l1)時(shí)，使t放保持t1，并調(diào)節(jié)t收以使t收達(dá)到t1。

28、在一些實(shí)施方式中，分別調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放包括：

29、f21、在s4≤s1+s2，且s4≤s2的情況下，于開(kāi)始正向放線的一刻調(diào)節(jié)t收以使t收達(dá)到t2，并于開(kāi)始正向放線的一刻調(diào)節(jié)t放以使t放達(dá)到t2。

30、在一些實(shí)施方式中，調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放還包括：

31、f22、預(yù)設(shè)節(jié)點(diǎn)量包括第三節(jié)點(diǎn)量，第三節(jié)點(diǎn)量為(s4-s1-l1)，當(dāng)正向放線量達(dá)到第三節(jié)點(diǎn)量(s4-s1-l1)時(shí)，調(diào)節(jié)t放以使t放達(dá)到t1，并使t收保持t2。

32、在一些實(shí)施方式中，調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放還包括：

33、f23、預(yù)設(shè)節(jié)點(diǎn)量包括第四節(jié)點(diǎn)量，第四節(jié)點(diǎn)量為(s4-l1)，當(dāng)正向放線量達(dá)到第四節(jié)點(diǎn)量(s4-l1)時(shí)，使t放保持t1，并調(diào)節(jié)t收以使t收達(dá)到t1。

34、在一些實(shí)施方式中，重復(fù)以上所有步驟，從而重復(fù)地反切晶棒。

35、本發(fā)明的反切加工工藝適用于在首個(gè)切割刀次完成后的后續(xù)切割刀次的晶棒切割作業(yè)。針對(duì)晶棒反向切割工藝中的不同切割階段預(yù)先調(diào)節(jié)切割線的張力，正向放線期間，在特定張力調(diào)節(jié)節(jié)點(diǎn)進(jìn)行相應(yīng)的切割線張力調(diào)節(jié)操作，切割線便為接下來(lái)的反向放線切割預(yù)備好張力，以滿足反向切割工藝的各個(gè)階段對(duì)切割線張力的需求，使切割線的張力變化與反向切割的各階段的推進(jìn)順序相適應(yīng)，在進(jìn)入每一個(gè)切割階段的一刻，切割線的張力早已達(dá)到期望值，因而在反向切割的各個(gè)切割階段中，切割線都可以發(fā)揮出最佳的切割能力，避免切割線的張力因設(shè)定過(guò)早而過(guò)早消退造成切割不良，以及避免切割線的張力因達(dá)成期望值過(guò)晚而滯后于進(jìn)入特定切割階段，從而使切割線的最佳切割能力無(wú)法在特定的切割階段當(dāng)中發(fā)揮出來(lái)，最終能夠更高效地獲得高質(zhì)量的晶片；此外，本發(fā)明還可以降低切割線張力的波動(dòng)幅度，防止線切機(jī)異常運(yùn)行。

技術(shù)特征：

1.一種基于線切機(jī)的反切加工工藝，其特征在于，包括

2.如權(quán)利要求1所述的反切加工工藝，其特征在于，分別調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放包括：

3.如權(quán)利要求2所述的反切加工工藝，其特征在于，調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放還包括：

4.如權(quán)利要求1所述的反切加工工藝，其特征在于，分別調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放包括：

5.如權(quán)利要求4所述的反切加工工藝，其特征在于，調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放還包括：

6.如權(quán)利要求5所述的反切加工工藝，其特征在于，調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放還包括：

7.如權(quán)利要求1所述的反切加工工藝，其特征在于，分別調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放包括：

8.如權(quán)利要求7所述的反切加工工藝，其特征在于，調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放還包括：

9.如權(quán)利要求8所述的反切加工工藝，其特征在于，調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力t收和放線側(cè)的切割線張力t放還包括：

10.如權(quán)利要求1～9任意一項(xiàng)所述的反切加工工藝，其特征在于，重復(fù)執(zhí)行權(quán)利要求1中的所有步驟，從而重復(fù)地反切晶棒。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種反切加工工藝，反切加工工藝包括以下步驟：確定切割線線網(wǎng)的總線量S1；獲取和計(jì)算下一刀切割的入刀用線量L1、主切用線量L2、收線弓用線量L3、收刀用線量L4、繞線張力T0、入刀所需張力T1、主切所需張力T2、切割工藝放線量S2；計(jì)算出下一刀切割所需的總放線量S4；正向放線，從放線側(cè)向收線側(cè)輸送切割線，輸送量為S4；監(jiān)測(cè)切割線的實(shí)時(shí)輸送量，并將正向放線過(guò)程中所監(jiān)測(cè)到的實(shí)時(shí)輸送量作為正向放線量；在正向放線量達(dá)到預(yù)設(shè)節(jié)點(diǎn)量的時(shí)刻，分別調(diào)節(jié)收線側(cè)的切割線張力T<subgt;收</subgt;和放線側(cè)的切割線張力T<subgt;放</subgt;；反向放線并切割，從收線側(cè)向放線側(cè)輸送切割線，并利用切割線切割晶棒。

技術(shù)研發(fā)人員：曹建偉,朱亮,王金榮,羅斌彬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9