基板移送裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明是有關(guān)于一種基板移送裝置，其能夠在不使脆性材料基板浮動(dòng)下對(duì)載置位置進(jìn)行修正，此外，能夠在對(duì)脆性材料基板進(jìn)行移送的途中對(duì)脆性材料基板的位置進(jìn)行修正，且使位置調(diào)整結(jié)構(gòu)變簡單。本發(fā)明的基板移送裝置，包含：基板位置檢測(cè)攝影機(jī)，對(duì)已載置于基板載臺(tái)的脆性材料基板上的部分進(jìn)行拍攝且生成影像數(shù)據(jù)；基板位置修正值算出部，接收由基板位置檢測(cè)攝影機(jī)所生成的影像數(shù)據(jù)，從影像數(shù)據(jù)算出脆性材料基板的基板位置修正值；以及基板移送手段，沿著已反映基板位置修正值的基板移送路徑而對(duì)脆性材料基板進(jìn)行移送；基板移送手段，從基板位置修正值算出部接收基板位置修正值，算出已反映基板位置修正值的基板移送路徑。
【專利說明】基板移送裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種對(duì)脆性材料基板、例如玻璃基板等進(jìn)行移送的基板移送裝置，特別是涉及一種使用影像處理對(duì)脆性材料基板進(jìn)行移送的基板移送裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有習(xí)知中，首先,將脆性材料基板載置(loading)于包含基板載臺(tái)的基板移送裝置，將已載置的脆性材料基板往與基板移送裝置鄰接設(shè)置的基板分?jǐn)嘌b置移送，接著，在基板分?jǐn)嘌b置中借由刻劃線形成步驟及基板分?jǐn)嗖襟E而將脆性材料基板分?jǐn)喑啥鄠€(gè)較小的基板。然而，在脆性材料基板的載置位置發(fā)生偏移的情形時(shí)，基板移送裝置在利用設(shè)置于其內(nèi)部的位置調(diào)整手段將脆性材料基板的載置位置做修正后，對(duì)脆性材料基板進(jìn)行移送。
[0003]以下，請(qǐng)參閱圖8 (a)至圖8 (d)，是針對(duì)在現(xiàn)有習(xí)知的基板移送裝置中，借由位置修正手段修正脆性材料基板的載置位置的一連串過程進(jìn)行說明。圖8(a)是概略性地表示將脆性材料基板載置于現(xiàn)有習(xí)知的基板移送裝置的基板載臺(tái)的狀態(tài)的立體圖；圖8(13)是概略性地表不現(xiàn)有習(xí)知的基板移送裝置成為浮動(dòng)開啟(floating ON)狀態(tài)的立體圖；圖8 (c)是概略性地表示現(xiàn)有習(xí)知的基板移送裝置在浮動(dòng)開啟的期間，借由位置調(diào)整手段調(diào)整脆性材料基板的位置的狀態(tài)的立體圖；圖8(d)是概略性地表示借由現(xiàn)有習(xí)知的設(shè)置于基板移送裝置內(nèi)的基板移送手段將脆性材料基板往基板分?jǐn)嘌b置內(nèi)移送的過程的立體圖。
[0004]首先，在圖8(a)中，揭示有設(shè)置于基板移送裝置內(nèi)的基板載臺(tái)200。如圖8a所示般，將脆性材料基板100往所圖示的箭頭方向載置于基板移送裝置的基板載臺(tái)200上部。在基板載臺(tái)200上，形成有以一定的壓力從其內(nèi)部噴出空氣的多個(gè)空氣噴出口 210。
[0005]接著，請(qǐng)參閱圖8(b)所示，形成于基板載臺(tái)200上的多個(gè)空氣噴出口 210，分別與形成于基板載臺(tái)200內(nèi)的 空氣噴出通路225連通，而所有該些的空氣噴出通路225與設(shè)置于基板載臺(tái)200的下面的中央部的空氣注入口 220連通。此外，空氣噴出通路225彼此也形成為相互連通的。此外，多個(gè)空氣噴出口 210，以利用相同的壓力噴出空氣的方式具有相同的直徑。因此，一旦以一定的壓力將空氣注入空氣注入口 220，則從多個(gè)空氣噴出口 210無關(guān)位置地以均勻的壓力噴出空氣。在將脆性材料基板100載置于基板載臺(tái)200上之后，一旦從多個(gè)空氣噴出口 210以均勻的壓力噴出空氣，則脆性材料基板100以與基板載臺(tái)200隔有既定間隔的方式浮動(dòng)(浮起)，經(jīng)浮動(dòng)的脆性材料基板100成為無摩擦、且可在X方向及/或Y方向移動(dòng)的狀態(tài)。如此，將以一定的壓力將空氣注入空氣注入口 220、且使脆性材料基板100浮動(dòng)的狀態(tài)稱為“浮動(dòng)0N”狀態(tài)，將停止空氣注入的狀態(tài)稱為“浮動(dòng)OFF”狀態(tài)，且空氣往空氣注入口 220的注入，是借由空氣注入裝置(圖式省略)進(jìn)行。
[0006]接著，請(qǐng)參閱圖8 (C)所示,在將脆性材料基板100浮動(dòng)于基板載臺(tái)200上的浮動(dòng)ON狀態(tài)中，在基板移送裝置內(nèi)、在基板載臺(tái)200的周面上，借由設(shè)置于X方向及Y方向的X方向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)240及Y方 向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)230，使脆性材料基板100可往X方向及Y方向移動(dòng)。X方向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)240及Y方向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)230，以在相對(duì)于基板載臺(tái)200平行的XY平面上分別在X方向及Y方向進(jìn)行進(jìn)退的方式驅(qū)動(dòng)。將脆性材料基板100載置于基板載臺(tái)200時(shí)，在偏離原本的載置位置而產(chǎn)生位置偏移的情形，借由在浮動(dòng)ON狀態(tài)下使X方向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)240及Y方向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)230進(jìn)退而機(jī)械性地修正位置，之后一旦設(shè)成浮動(dòng)OFF狀態(tài)，則脆性材料基板100被調(diào)整位置至原本的載置位置。此時(shí)，浮動(dòng)ON及OFF狀態(tài)，以不破損脆性材料基板100、不變更位置的方式漸進(jìn)式地進(jìn)行。
[0007]接著，請(qǐng)參閱圖8(d)所示，經(jīng)調(diào)整位置至基板載臺(tái)200上的原本的載置位置的脆性材料基板100，借由基板移送手段300以上升、移送及下降的順序進(jìn)行移動(dòng)并支持于基板加工裝置(圖式省略)的基板支持臺(tái)201上的加工位置250。在此情形，基板移送手段300，對(duì)脆性材料基板100沿著空間上預(yù)定的移送路徑機(jī)械性地反復(fù)進(jìn)行移送。此外，基板移送手段300，能夠在移送途中使脆性材料基板100上下反轉(zhuǎn)并進(jìn)行移送。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]然而，隨著脆性材料基板100的薄型化及大型化進(jìn)展，在現(xiàn)有習(xí)知的基板移送裝置中，難以使脆性材料基板100浮動(dòng)，此外，對(duì)已浮動(dòng)的脆性材料基板100，借由X方向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)240及Y方向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)230，在施加物理性的沖擊的情形時(shí)，恐怕存在有使脆性材料基板100破損的情況。此外，存在有用以使薄型化及大型化的脆性材料基板100進(jìn)行浮動(dòng)、調(diào)整位置的機(jī)構(gòu)變得更加復(fù)雜的傾向。[0009]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種新型結(jié)構(gòu)的基板移送裝置，所要解決的技術(shù)問題是使其能夠使施加于脆性材料基板的物理性的沖擊最小化、能夠在不使脆性材料基板浮動(dòng)下而對(duì)載置位置進(jìn)行修正，此外，能夠在對(duì)脆性材料基板進(jìn)行移送的途中對(duì)脆性材料基板的位置進(jìn)行修正，且使位置調(diào)整結(jié)構(gòu)變簡單，非常適于實(shí)用。
[0010]本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種基板移送裝置，包含有:基板載臺(tái)，載置脆性材料基板；基板位置檢測(cè)攝影機(jī)，對(duì)已載置于該基板載臺(tái)的該脆性材料基板上的部分進(jìn)行拍攝并生成影像數(shù)據(jù)；基板位置修正值算出部，接收由該基板位置檢測(cè)攝影機(jī)所生成的影像數(shù)據(jù)，從該影像數(shù)據(jù)算出該脆性材料基板的基板位置修正值；以及基板移送手段，沿著已反映該基板位置修正值的基板移送路徑而對(duì)該脆性材料基板進(jìn)行移送；該基板移送手段，從該基板位置修正值算出部接收該基板位置修正值，算出已反映該基板位置修正值的基板移送路徑。
[0011]本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)。依據(jù)本發(fā)明提出的一種基板移送裝置，包含有:基板載臺(tái)，載置脆性材料基板；基板位置檢測(cè)攝影機(jī)，對(duì)已載置于該基板載臺(tái)的該脆性材料基板上的部分進(jìn)行拍攝并生成影像數(shù)據(jù)；基板位置修正值算出部，接收由該基板位置檢測(cè)攝影機(jī)所生成的影像數(shù)據(jù)，從該影像數(shù)據(jù)算出該脆性材料基板的基板位置修正值；基板移送起點(diǎn)修正值算出部，從該基板位置修正值，算出已變換成成為該基板移送手段的移送起點(diǎn)的在該脆性材料基板上的任意地點(diǎn)的基板位置修正值的基板移送起點(diǎn)修正值；以及基板移送手段，沿著已反映該基板移送起點(diǎn)修正值的基板移送路徑而對(duì)該脆性材料基板進(jìn)行移送；該基板移送手段，從該基板移送起點(diǎn)修正值算出部接收該基板移送起點(diǎn)修正值，算出已反映該基板移送起點(diǎn)修正值的基板移送路徑。
[0012]本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
[0013]前述的基板移送裝置，其中由該基板位置檢測(cè)攝影機(jī)拍攝的該脆性材料基板上的部分，是該脆性材料基板的角落的周端或形成于該脆性材料基板的角落的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
[0014]前述的基板移送裝置，其中在由該基板位置修正值算出部算出該基板位置修正值的情形，使用兩臺(tái)以上的該基板位置檢測(cè)攝影機(jī)。
[0015]前述的基板移送裝置，其中該脆性材料基板，在移送的途中將其上下反轉(zhuǎn)。
[0016]前述的基板移送裝置，其中該基板位置檢測(cè)攝影機(jī)，對(duì)應(yīng)該脆性材料基板的大小而移動(dòng)位置。
[0017]前述的基板移送裝置，其中該基板位置檢測(cè)攝影機(jī)的拍攝中心標(biāo)記的位置，以與該脆性材料基板的角落的周端或形成于該脆性材料基板的角落的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置一致的方式修正位置。
[0018]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明基板移送裝置至少具有下列優(yōu)點(diǎn)及有益效果:本發(fā)明的基板移送裝置能夠一邊使施加于脆性材料基板的物理性的沖擊最小化、一邊使脆性材料基板從基板移送裝置的基板載臺(tái)精度佳地往基板加工裝置的基板支持臺(tái)上的既定的位置移送，且能夠使位置調(diào)整結(jié)構(gòu)變簡單。
[0019]綜上所述，本發(fā)明是有關(guān)于一種基板移送裝置，其能夠在不使脆性材料基板浮動(dòng)下對(duì)載置位置進(jìn)行修正，此外，能夠在對(duì)脆性材料基板進(jìn)行移送的途中對(duì)脆性材料基板的位置進(jìn)行修正，且使位置調(diào)整結(jié)構(gòu)變簡單。本發(fā)明的基板移送裝置，包含:基板位置檢測(cè)攝影機(jī)，對(duì)已載置于基板載臺(tái)的脆性材料基板上的部分進(jìn)行拍攝且生成影像數(shù)據(jù)；基板位置修正值算出部，接收由基板位置檢測(cè)攝影機(jī)所生成的影像數(shù)據(jù)，從影像數(shù)據(jù)算出脆性材料基板的基板位置修正值；以及基板移送手段，沿著已反映基板位置修正值的基板移送路徑而對(duì)脆性材料基板進(jìn)行移送；基板移送手段，從基板位置修正值算出部接收基板位置修正值，算出已反映基板位置修正值的基板移送路徑。本發(fā)明在技術(shù)上有顯著的進(jìn)步，并具有明顯的積極效果，誠為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新設(shè)計(jì)。
·[0020]上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1是概略性地表示本發(fā)明較佳的實(shí)施例的將脆性材料基板載置于基板移送裝置的基板載臺(tái)的狀態(tài)的立體圖。
[0022]圖2是概略性地表示本發(fā)明較佳的實(shí)施例的在基板移送裝置中基板位置修正值算出部及其周邊裝置之間的連接關(guān)系的立體圖。
[0023]圖3(a)至圖3(c)是概略性說明從借由圖2的位置檢測(cè)攝影機(jī)所拍攝的影像算出修正值的例子的示意圖。
[0024]圖4是表示將借由圖3(a)至圖3(c)所示的方式算出的基板位置修正值從基板位置修正值算出部通過基板移送起點(diǎn)修正值算出部傳送至基板移送手段的過程的示意圖。
[0025]圖5是概略性地說明在圖4中基板移送手段修正值算出部算出基板移送修正值的一例子的不意圖。
[0026]圖6是表示將已載置于基板載臺(tái)的脆性材料基板借由基板移送手段而支持于基板加工裝置的基板支持臺(tái)上的加工位置的過程的示意圖。[0027]圖7是依步驟順序表示圖1至圖6的過程的流程圖。
[0028]圖8 (a)是概略性地表示將脆性材料基板載置于現(xiàn)有習(xí)知的基板移送裝置的基板載臺(tái)的狀態(tài)的立體圖。
[0029]圖8(b)是概略性地表示現(xiàn)有習(xí)知的基板移送裝置已浮動(dòng)開啟的狀態(tài)的立體圖。
[0030]圖8(c)是概略性地表示現(xiàn)有習(xí)知的基板移送裝置在浮動(dòng)開啟的期間，借由位置調(diào)整手段調(diào)整脆性材料基板的位置的狀態(tài)的立體圖。
[0031]圖8(d)是概略性地表示借由現(xiàn)有習(xí)知的設(shè)置于基板移送裝置內(nèi)的基板移送手段將脆性材料基板往基板分?jǐn)嘌b置內(nèi)移送的過程的立體圖。
[0032]【主要元件符號(hào)說明】
[0033]100:脆性材料基板
[0034]200:基板載臺(tái)
[0035]201:基板支持臺(tái)
[0036]250:加工位置
[0037]300,700:基板移送手段 [0038]400、410、420、430:位置檢測(cè)攝影機(jī)
[0039]500:基板位置修正值算出部
[0040]600:基板移送起點(diǎn)修正值算出部
【具體實(shí)施方式】
[0041]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的基板移送裝置其【具體實(shí)施方式】、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。
[0042]以下，請(qǐng)參閱圖1至圖7所示，針對(duì)本發(fā)明較佳的實(shí)施例進(jìn)行說明。圖1是概略性地表示本發(fā)明較佳的實(shí)施例的將脆性材料基板100載置于基板移送裝置的基板載臺(tái)200的狀態(tài)的立體圖。請(qǐng)參閱圖1所示，脆性材料基板100，往箭頭方向載置于基板移送裝置的基板載臺(tái)200。在基板載臺(tái)200，未形成有以一定的壓力噴出空氣的多個(gè)空氣噴出口、空氣噴出通路及空氣注入口。因此，本發(fā)明較佳的實(shí)施例的基板載臺(tái)200，與圖8a所示的現(xiàn)有習(xí)知的基板載臺(tái)200相比，具有構(gòu)成簡單且可節(jié)省制造費(fèi)用的效果。
[0043]接著，圖2是概略性地表示本發(fā)明較佳的實(shí)施例的在基板移送裝置中基板位置修正值算出部及其周邊裝置之間的連接關(guān)系的立體圖。請(qǐng)參閱圖2所示，借由位置檢測(cè)攝影機(jī)410、420、430、400分別拍攝已載置于基板載臺(tái)200的脆性材料基板100的4個(gè)角落，且形成影像數(shù)據(jù)。位置檢測(cè)攝影機(jī)410、420、430、400，安裝成可移動(dòng)的，并根據(jù)脆性材料基板100的大小來決定其位置。例如，一旦確定可制作8個(gè)40時(shí)LCD面板的脆性材料基板的大小1870 X 2200mm或可制作8個(gè)46時(shí)LCD面板的脆性材料基板的大小2200 X 2500mm，則位置檢測(cè)攝影機(jī)410、420、430、400往該脆性材料的各角落移動(dòng)，固定位置。亦即，一旦確定脆性材料基板的大小，則位置檢測(cè)攝影機(jī)410、420、430、400的位置也被固定。位置檢測(cè)攝影機(jī)410、420、430、400，利用對(duì)形成于脆性材料基板100的角落的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記或角落的周端進(jìn)行拍攝而可生成影像數(shù)據(jù)。所生成的影像數(shù)據(jù)從位置檢測(cè)攝影機(jī)410、420、430、400往基板位置修正值算出部500傳送。基板位置修正值算出部500，以對(duì)所接收的影像數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)字影像處理(DSP:digital signal processing)而算出基板位置修正值?；逦恢眯拚档乃愠霾⒉幌薅ㄓ贒SP，可由該領(lǐng)域的一般技術(shù)人員作取舍選擇?；逦恢眯拚?，是表示脆性材料基板100的載置位置從所希望的載置位置往X方向及Y方向偏移多少程度，此外在XY平面上旋轉(zhuǎn)多少程度(Θ )。
[0044]在本實(shí)施例中，雖使用有4個(gè)位置檢測(cè)攝影機(jī)，但不限定于此而可使用2個(gè)以上的位置檢測(cè)攝影機(jī)。此外，基板位置修正值算出部500借由對(duì)由4個(gè)位置檢測(cè)攝影機(jī)生成的4個(gè)影像數(shù)據(jù)中的2個(gè)以上的影像數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)字影像處理等而可算出基板位置修正值。
[0045]接著，請(qǐng)參閱圖3(a)至圖3(c)所示，針對(duì)算出基板位置修正值的例子進(jìn)行說明。圖3(a)至圖3(c)是概略性說明從借由圖2的位置檢測(cè)攝影機(jī)所拍攝的影像算出修正值的例子的示意圖。
[0046]在圖3(a)中，表示圖2的位置檢測(cè)攝影機(jī)400所拍攝的影像數(shù)據(jù)。在此處，是確定脆性材料基板的大小，且位置檢測(cè)攝影機(jī)400往脆性材料基板的各角落進(jìn)行移動(dòng)而固定位置的狀態(tài)，此外，位置檢測(cè)攝影機(jī)400的拍攝中心標(biāo)記(十字狀標(biāo)記的中心點(diǎn))440，是脆性材料基板100的原本的載置位置。亦即，必需以位置檢測(cè)攝影機(jī)400的拍攝中心標(biāo)記(十字狀標(biāo)記的中心點(diǎn))440與脆性材料基板100的角落的周端一致的方式載置脆性材料基板100。如在圖3(a)所示般，是假定脆性材料基板100的某一角落座落于位置檢測(cè)攝影機(jī)400的拍攝中心標(biāo)記440的左上部的情形的影像數(shù)據(jù)。在該情形，基板位置修正值算出部500，根據(jù)從位置檢測(cè)攝影機(jī)400接受的影像數(shù)據(jù)而算出位置修正值。修正值的算出，是可借由對(duì)影像數(shù)據(jù)進(jìn)行DSP、或該領(lǐng)域的一般技術(shù)人員所取舍選擇的方法而進(jìn)行。在圖3(a)中，基板位置修正值算出部500所算出的位置修正值，是-x(位置檢測(cè)攝影機(jī)400的拍攝中心標(biāo)記440與脆性材料基板100的角落的周端的X方向距離差)、-y (位置檢測(cè)攝影機(jī)400的拍攝中心標(biāo)記440與脆性 材料基板100的角落的周端的Y方向距離差)、及旋轉(zhuǎn)角度(θ=0，位置檢測(cè)攝影機(jī)400的拍攝中心標(biāo)記440與脆性材料基板100的角落的周端的扭轉(zhuǎn)角度)。在該情形，-x、_y及Θ，由于存在有因如位置檢測(cè)攝影機(jī)400的放大比率等般的各種參數(shù)而導(dǎo)致影像數(shù)據(jù)上的距離與實(shí)際的距離不同的情況，因此也有考慮該方面而再算出位置修正值的情況。
[0047]此外，圖3(b)，表示作為圖2的位置檢測(cè)攝影機(jī)400所拍攝的另一例子的影像數(shù)據(jù)，與圖3(a)相比，僅脆性材料基板100在XY平面上旋轉(zhuǎn)角度Θ的方面有所不同。在圖3(b)中，基板位置修正值算出部500，根據(jù)從位置檢測(cè)攝影機(jī)400接收的影像數(shù)據(jù)而先算出位置修正值之中的旋轉(zhuǎn)角度Θ。對(duì)旋轉(zhuǎn)角度Θ的修正值算出，是可借由對(duì)影像數(shù)據(jù)進(jìn)行DSP、或該領(lǐng)域的一般技術(shù)人員所取舍選擇的方法而進(jìn)行。接著，基板位置修正值算出部500，對(duì)影像數(shù)據(jù)僅以旋轉(zhuǎn)角度Θ進(jìn)行修正。對(duì)已僅以旋轉(zhuǎn)角度Θ修正的影像數(shù)據(jù)的后續(xù)處理，以與圖3(a)相同的方式進(jìn)行。其結(jié)果為，在圖3(b)中，基板位置修正值算出部500所算出的位置修正值，是-X (位置檢測(cè)攝影機(jī)400的拍攝中心標(biāo)記440與脆性材料基板100的角落的周端的X方向距離差)、-y (位置檢測(cè)攝影機(jī)400的拍攝中心標(biāo)記440與脆性材料基板100的角落的周端的Y方向距離差)、及旋轉(zhuǎn)角度(Θ ;位置檢測(cè)攝影機(jī)400的拍攝中心標(biāo)記440與脆性材料基板100的角落的周端的扭轉(zhuǎn)角度)。在該情形，-x、_y及Θ，由于存在有因如位置檢測(cè)攝影機(jī)400的放大比率等般的各種參數(shù)而導(dǎo)致影像數(shù)據(jù)上的距離與實(shí)際的距離不同的情況，因此也有考慮該方面而再算出位置修正值的情況。[0048]另一方面，圖3 (c)，表示作為圖2的位置檢測(cè)攝影機(jī)400所拍攝的再另一例子的影像數(shù)據(jù)，與圖3(a)相比，僅基板位置修正值算出部500利用形成于脆性材料基板100的角落的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記而算出修正值的方面有所不同。在此處，位置檢測(cè)攝影機(jī)400的拍攝中心標(biāo)記(十字狀標(biāo)記的中心點(diǎn))440，成為脆性材料基板100的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的原本的中心點(diǎn)。亦即，必需以位置檢測(cè)攝影機(jī)400的拍攝中心標(biāo)記(十字狀標(biāo)記的中心點(diǎn))440與脆性材料基板100的角落的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的中心點(diǎn)一致的方式載置脆性材料基板100。在該情形，基板位置修正值算出部500，根據(jù)從位置檢測(cè)攝影機(jī)400接收的影像數(shù)據(jù)而算出位置修正值。修正值的算出，是可借由對(duì)影像數(shù)據(jù)進(jìn)行DSP、或該領(lǐng)域的一般技術(shù)人員所取舍選擇的方法而進(jìn)行。在圖3 (c)中，基板位置修正值算出部500所算出的位置修正值，是-X (位置檢測(cè)攝影機(jī)400的拍攝中心標(biāo)記與脆性材料基板100的角落的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的中心點(diǎn)的X方向距離差)、-y (位置檢測(cè)攝影機(jī)400的拍攝中心標(biāo)記440與脆性材料基板100的角落的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的中心點(diǎn)的Y方向距離差)、及旋轉(zhuǎn)角度(θ=0 ;位置檢測(cè)攝影機(jī)400的拍攝中心標(biāo)記440與脆性材料基板100的角落的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的扭轉(zhuǎn)角度)。在該情形，-x、_y及Θ，由于存在有因如位置檢測(cè)攝影機(jī)400的放大比率等般的各種參數(shù)而導(dǎo)致影像數(shù)據(jù)上的距離與實(shí)際的距離不同的情況，因此也有考慮該方面而再算出位置修正值的情況。
[0049]在本實(shí)施例中，雖從由位置檢測(cè)攝影機(jī)400所生成的影像數(shù)據(jù)，借由位置檢測(cè)攝影機(jī)400的拍攝中心標(biāo)記440與脆性材料基板100的角落的周端或與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的距離及扭轉(zhuǎn)角度而算出脆性材料基板100的基板位置修正值，但不限定于此，而也可由該領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，從位置檢測(cè)攝影機(jī)400的影像數(shù)據(jù)以各種的方式算出脆性材料基板100的基板位置修正值。
[0050]接著，請(qǐng)參閱圖4所示，針對(duì)將借由基板位置修正值算出部500所算出的基板位置修正值傳達(dá)至基板移送手段700的過程進(jìn)行說明。圖4是表示將借由圖3(a)至圖3(c)所示的方法算出的基板位置修正值從基板位置修正值算出部500通過基板移送起點(diǎn)修正值算出部600而傳達(dá)至基板移送手段700的過程的示意圖。
[0051]如圖4所示，將從基·板位置修正值算出部500算出的基板位置修正值(例如，在圖3(a)至圖3(c)中，-X、-Y、Θ)往基板移送起點(diǎn)修正值算出部600傳送。該基板位置修正值，是脆性材料基板100的在4個(gè)角落的修正值，該些的基板位置修正值就每個(gè)角落而有所不同。因此，不能將基板位置修正值在維持原狀下使用于基板移送手段700，而可根據(jù)移送起點(diǎn)是在何處而改變基板移送手段700的實(shí)質(zhì)的位置修正值。例如，如圖3(a)至圖3(c)般，若位置檢測(cè)攝影機(jī)400拍攝的脆性材料基板100的一個(gè)角落是基板移送手段700的移送起點(diǎn)，則如圖3(a)所示般，-X值、-y值及Θ值(Θ = O)，成為基板移送手段700的位置移送修正值。但是，如下述的圖5所示般，在脆性材料基板100的重心點(diǎn)成為基板移送手段700的移送起點(diǎn)的情形，不能在維持原狀下使用圖3(a)的修正值，亦即-X值、_y值及Θ值(Θ = O)，而必需再變換成對(duì)應(yīng)脆性材料基板100的重心點(diǎn)的值。此外，基板移送手段700，雖也存在有為多個(gè)的情況，但也在該情形中必需變換成在成為各個(gè)基板移送手段700的移送起點(diǎn)的地點(diǎn)的移送修正值。
[0052]因此，基板移送起點(diǎn)修正值算出部600，與基板位置修正值算出部500連接，接收基板位置修正值，根據(jù)所接收的基板位置修正值，算出對(duì)應(yīng)基板移送手段700的個(gè)數(shù)或移送起點(diǎn)的基板移送起點(diǎn)修正值。將所算出的基板移送起點(diǎn)修正值傳送往基板移送手段700。另一方面，如圖3(a)至圖3(c)般，在位置檢測(cè)攝影機(jī)400拍攝的脆性材料基板100的I個(gè)角落成為基板移送手段700的移送起點(diǎn)的情形，由于無需算出基板移送起點(diǎn)修正值，因此也存在有:基板位置修正值算出部500的基板位置修正值不經(jīng)過基板移送起點(diǎn)修正值算出部600而直接傳送往基板移送手段700。基板移送手段700借由基板移送起點(diǎn)修正值而一邊修正脆性材料基板的移送路徑一邊移送脆性材料基板100。對(duì)此，在下述的圖6中，將更進(jìn)一步地詳細(xì)地進(jìn)行說明。
[0053]接著，請(qǐng)參閱圖5所示，在基板移送手段700的移送起點(diǎn)是脆性材料基板100的重心點(diǎn)，且所載置的脆性材料基板100僅以旋轉(zhuǎn)角度θ偏移的情形，針對(duì)基板移送手段修正值算出部600算出基板移送修正值的方法進(jìn)行說明。圖5是概略性地說明在圖4中基板移送手段修正值算出部600算出基板移送修正值的一例子的示意圖。
[0054]如圖5所示，位置檢測(cè)攝影機(jī)410、420、430、400拍攝從所希望的載置位置偏移的脆性材料基板100的4個(gè)角落，并生成各個(gè)的影像數(shù)據(jù)。如圖5所示般，由位置檢測(cè)攝影機(jī)410、420、430、400所生成的影像數(shù)據(jù)完全不同，尤其是由位置檢測(cè)攝影機(jī)410所生成的影像數(shù)據(jù)的Θ值為O。因此，以下，針對(duì)基板移送手段修正值算出部600根據(jù)由位置檢測(cè)攝影機(jī)410所生成的影像數(shù)據(jù)算出基板移送修正值的過程進(jìn)行說明。
[0055]如圖5所示，位置檢測(cè)攝影機(jī)410、420、430、400的拍攝標(biāo)記的中心點(diǎn)分別為點(diǎn)a、點(diǎn)b、點(diǎn)d、點(diǎn)C，且為脆性材料基板100的4個(gè)角落的頂點(diǎn)(或形成于4個(gè)角落的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的中心點(diǎn))的原本的載置位置。該點(diǎn)a、點(diǎn)b、點(diǎn)d、點(diǎn)c雖根據(jù)脆性材料基板100的大小而改變位置，但一旦確定脆性材料基板100的大小，則將點(diǎn)的位置固定。此外，點(diǎn)a、點(diǎn)b、點(diǎn)d、點(diǎn)c的位置可借由將位置檢測(cè)攝影機(jī)410、420、430、400從圖5的紙面往上下左右移動(dòng)而變更。
[0056]首先，位置檢測(cè)攝影機(jī)410、420、430、400，分別對(duì)已載置的脆性材料基板100的4個(gè)角落進(jìn)行拍攝并生成影像數(shù)據(jù)。將所生成的影像數(shù)據(jù)傳送往基板位置修正值算出部500?；逦恢眯拚邓愠霾?00，從已傳送來的影像數(shù)據(jù)算出各個(gè)基板位置修正值?；逦恢眯拚邓愠霾?00，從基板 位置修正值判定如圖5所示般、點(diǎn)a與位置檢測(cè)攝影機(jī)410的拍攝標(biāo)記的中心點(diǎn)一致(X = O、y = O、Θ =脆性材料基板的扭轉(zhuǎn)角度)、其他點(diǎn)與對(duì)應(yīng)的位置檢測(cè)攝影機(jī)的拍攝標(biāo)記的中心點(diǎn)不一致。接著，基板位置修正值算出部500，從由位置檢測(cè)攝影機(jī)410所生成的影像數(shù)據(jù)算出脆性材料基板100的扭轉(zhuǎn)角度是Θ。預(yù)先確定脆性材料基板100的長邊方向的長度L。接著，一旦對(duì)由圖5的位置檢測(cè)攝影機(jī)410所拍攝的影像數(shù)據(jù)如圖3(b)般修正Θ值，則由于X值是X = O、y值是y = O，因此結(jié)果為，基板位置修正值僅存在Θ。因此，基板移送起點(diǎn)修正值算出部600，可從脆性材料基板100的長邊方向的長度為L，而利用如下方程式算出:
[0057]X1 值(X' = (L/2) (cos Θ-1))
[0058]y1 值(y' = (L/2)sin Θ )
[0059]以上，雖已針對(duì)基板移送起點(diǎn)修正值算出部600根據(jù)由位置檢測(cè)攝影機(jī)410所生成的影像數(shù)據(jù)，算出在將脆性材料基板100的重心點(diǎn)設(shè)為基板移送起點(diǎn)的情形的基板移送起點(diǎn)修正值進(jìn)行了說明，但并不限定于此。例如，也可根據(jù)由2個(gè)以上的不同的位置檢測(cè)攝影機(jī)所生成的影像數(shù)據(jù)，算出I個(gè)以上的相對(duì)于其他的基板移送起點(diǎn)的基板移送起點(diǎn)修正值。此外，基板移送起點(diǎn)修正值算出部600的修正值算出方法也不限定于上述，而可由該領(lǐng)域的一般技術(shù)人員利用各種的方法進(jìn)行。
[0060]接著，請(qǐng)參閱圖6所示，針對(duì)基板移送手段700移送脆性材料基板100的過程進(jìn)行說明。圖6是表示將已載置于基板載臺(tái)200的脆性材料基板100借由基板移送手段700而支持于基板加工裝置的基板支持臺(tái)201上的加工位置250的過程的示意圖。
[0061]如圖6所示，基板移送手段700，一般而言，是對(duì)已載置于基板移送裝置的基板載臺(tái)200的脆性材料基板100借由吸附等而抬起并開始移送，沿著既定的移送路徑移送脆性材料基板100，接著從基板加工裝置的基板支持臺(tái)201上使脆性材料基板100下降且載置于基板支持臺(tái)201上的加工位置250。在使脆性材料基板100沿著既定的移送路徑移送的情形，也存在有將脆性材料基板100上下面反轉(zhuǎn)。此外，如圖4所示般，在基板移送手段700從基板移送起點(diǎn)修正值算出部600接收了基板移送起點(diǎn)修正值、或從基板位置修正值算出部500接收了基板位置修正值的情形時(shí)，基板移送手段700，對(duì)上述的既定的移送路徑算出以反映基板移送起點(diǎn)修正值或基板位置修正值而經(jīng)修正的移送路徑，沿著該經(jīng)修正的移送路徑移送脆性材料基板100。亦即，基板移送手段700，一邊移送脆性材料基板100 —邊修正基板移送起點(diǎn)修正值(例如，在圖5中，X'值、Y'值及Θ值)，將脆性材料基板100載置并使其支持于基板支持臺(tái)201的脆性材料基板100的加工位置250。借此，經(jīng)修正位置的脆性材料基板100，可正確地載置且支持于基板支持臺(tái)201的加工位置250。根據(jù)該構(gòu)成，能夠使施加于脆性材料基板的物理性的沖擊最小化、能夠不載置脆性材料基板地修正載置位置，此外，能夠在對(duì)脆性材料基板進(jìn)行移送的途中對(duì)脆性材料基板的位置進(jìn)行修正，且提供使位置調(diào)整結(jié)構(gòu)變簡單的基板移送裝置。
[0062]接著，請(qǐng)參閱圖7所示，依步驟順序針對(duì)圖1至圖6的過程進(jìn)行說明。首先，將脆性材料基板100載置于基板載臺(tái)200上(S100)。接著，借由位置檢測(cè)攝影機(jī)410、420、430、400拍攝脆性材料基板100的4個(gè)角落且生成影像數(shù)據(jù)，基板位置修正值算出部500根據(jù)影像數(shù)據(jù)算出脆性材料基板的位置修正值(S200)。接著，根據(jù)已算出的基板位置修正值借由基板移送起點(diǎn)修正值算出部600算出基板移送起點(diǎn)修正值(S300)。接著，基板移送手段700，沿著已修正成基板移送起點(diǎn)修正值的基板移送路徑移送脆性材料基板100，且載置及支持于基板加工裝置的基板支持臺(tái)201上(S400)。接著，對(duì)脆性材料基板100進(jìn)行后續(xù)加工(例如，刻劃線形成步驟、裂斷步驟等)(S500)。當(dāng)然，S300也可根據(jù)基板移送手段700的移送起點(diǎn)的位置而省略，在該情形，在S400中，基板移送手段700沿著已修正成脆性材料基板100的位置修正值的基板移送路徑移送脆性材料基板100。
[0063]如在以上已說明般，根據(jù)本發(fā)明的較佳實(shí)施例的基板移送手段700，無需使脆性材料基板100浮動(dòng)的浮動(dòng)裝備或如X方向及Y方向位置調(diào)整機(jī)構(gòu)等般的其他的構(gòu)成，可節(jié)省制造成本，且也可減少在對(duì)脆性材料基板100進(jìn)行移送時(shí)，為了調(diào)整位置而對(duì)脆性材料基板100施加物理性的力的步驟、防止脆性材料基板100的破損，因此具有可使生廣性提聞的效果。
[0064]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種基板移送裝置，其特征在于其包括: 基板載臺(tái)(200)，載置脆性材料基板(100)； 基板位置檢測(cè)攝影機(jī)(400、410、420、430)，對(duì)已載置于該基板載臺(tái)(200)的該脆性材料基板(100)上的部分進(jìn)行拍攝、生成影像數(shù)據(jù)； 基板位置修正值算出部(500)，接收由該基板位置檢測(cè)攝影機(jī)(400、410、420、430)所生成的影像數(shù)據(jù)，從該影像數(shù)據(jù)算出該脆性材料基板(100)的基板位置修正值；以及 基板移送手段(700)，沿著已反映該基板位置修正值的基板移送路徑而對(duì)該脆性材料基板(100)進(jìn)行移送； 該基板移送手段(700)，從該基板位置修正值算出部(500)接收該基板位置修正值，算出已反映該基板位置修正值的基板移送路徑。
2.一種基板移送裝置，其特征在于其包括: 基板載臺(tái)(200)，載置脆性材料基板(100)； 基板位置檢測(cè)攝影機(jī)(400、410、420、430)，對(duì)已載置于該基板載臺(tái)(200)的該脆性材料基板(100)上的部分進(jìn)行拍攝、生成影像數(shù)據(jù)； 基板位置修正值算出部(500)，接收由該基板位置檢測(cè)攝影機(jī)(400、410、420、430)所生成的影像數(shù)據(jù)，從該影像數(shù)據(jù)算出該脆性材料基板(100)的基板位置修正值； 基板移送起點(diǎn)修正值算出部(600)，從該基板位置修正值，算出已變換成成為該基板移送手段(700)的移送起點(diǎn)的在該脆性材料基板(100)上的任意地點(diǎn)的基板位置修正值的基板移送起點(diǎn)修正值；以及` 基板移送手段(700)，沿著已反映該基板移送起點(diǎn)修正值的基板移送路徑而對(duì)該脆性材料基板(100)進(jìn)行移送； 該基板移送手段(700)，從該基板移送起點(diǎn)修正值算出部(600)接收該基板移送起點(diǎn)修正值，算出已反映該基板移送起點(diǎn)修正值的基板移送路徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板移送裝置，其特征在于，其中， 由該基板位置檢測(cè)攝影機(jī)(400、410、420、430)拍攝的該脆性材料基板(100)上的部分，是該脆性材料基板(100)的角落的周端或形成于該脆性材料基板(100)的角落的對(duì)準(zhǔn)T 己 O
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板移送裝置，其特征在于，其中， 在由該基板位置修正值算出部(500)算出該基板位置修正值的情形，使用兩臺(tái)以上的該基板位置檢測(cè)攝影機(jī)(400、410、420、430)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板移送裝置，其特征在于，其中， 該脆性材料基板(100)，在移送的途中將其上下反轉(zhuǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板移送裝置，其特征在于，其中， 該基板位置檢測(cè)攝影機(jī)(400、410、420、430)，對(duì)應(yīng)該脆性材料基板(100)的大小而移動(dòng)位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板移送裝置，其特征在于，其中， 該基板位置檢測(cè)攝影機(jī)(400、410、420、430)的拍攝中心標(biāo)記的位置，以與該脆性材料基板(100)的角落的周端或形成于該脆性材料基板(100)的角落的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置一致的方式修正位置。
【文檔編號(hào)】C03B35/00GK103848564SQ201310632472
【公開日】2014年6月11日 申請(qǐng)日期:2013年11月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月5日
【發(fā)明者】金必鐘 申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司