技術編號：1884619
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是有關于一種基板移送裝置，其能夠在不使脆性材料基板浮動下對載置位置進行修正，此外，能夠在對脆性材料基板進行移送的途中對脆性材料基板的位置進行修正，且使位置調(diào)整結(jié)構(gòu)變簡單。本發(fā)明的基板移送裝置，包含基板位置檢測攝影機，對已載置于基板載臺的脆性材料基板上的部分進行拍攝且生成影像數(shù)據(jù)；基板位置修正值算出部，接收由基板位置檢測攝影機所生成的影像數(shù)據(jù)，從影像數(shù)據(jù)算出脆性材料基板的基板位置修正值；以及基板移送手段，沿著已反映基板位置修正值的基板移送路徑而對脆性材...
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