專利名稱：基板折斷裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將形成有劃線的脆性材料基板沿著劃線折斷的基板折斷裝置。
背景技術(shù)：
先前，眾所周知的是如下之基板折斷裝置，其以水平狀態(tài)固定形成有劃線的母基板，并且通過分別配置在母基板的上下方的折斷單元沿著劃線使母基板折斷(例如專利文獻(xiàn)1) O[先行技術(shù)文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)1]日本專利特開2006-289625號

發(fā)明內(nèi)容
[發(fā)明所欲解決的問題]于此，在通過專利文獻(xiàn)1的基板折斷裝置折斷脆性材料基板的情形時，通過上折斷單元向與重力相同的方向移動而對母基板的上表面?zhèn)荣x予荷重，且通過下折斷單元向與重力相反的方向移動而對母基板的下表面?zhèn)荣x予荷重。由此，重力對上折斷單元及下折斷單元的影響是不同的。其結(jié)果，在對重力的影響未進(jìn)行任何調(diào)整的情形時，會產(chǎn)生從上折斷單元及下折斷單元對脆性材料基板賦予的荷重不同的問題。由此，本發(fā)明的目的在于可良好折斷脆性材料基板的基板折斷裝置。[解決問題的技術(shù)手段]為解決上述問題，技術(shù)方案1所述的發(fā)明的特征在于，其是將形成有劃線的脆性材料基板沿著所述劃線折斷的基板折斷裝置，且包括保持單元，其以立起姿勢保持所述脆性材料基板；以及折斷單元，其沿著所述劃線折斷由所述保持單元保持的所述脆性材料基板；且所述折斷單元包括第1折斷桿，其以與所述保持單元對向的方式設(shè)置，且在一方向延伸；以及第2折斷桿，夾持由所述保持單元保持的所述脆性材料基板而設(shè)置在所述第1折斷桿的相反側(cè)，且在與所述第1折斷桿平行的方向延伸；在所述第1折斷桿及第2折斷桿的延伸方向與所述劃線大致平行的狀態(tài)下，所述第1折斷桿及第2折斷桿分別接近于所述脆性材料基板的第1主面及第2主面，且所述脆性材料基板由所述第1折斷桿及第2折斷桿夾持，由此使設(shè)為立起姿勢的所述脆性材料基板沿著所述劃線折斷。此外，技術(shù)方案2的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案1所述的基板折斷裝置，其特征在于所述第ι折斷桿及第2折斷桿接近于所述脆性材料基板的方向與重力方向大致垂直。此外，技術(shù)方案3所述的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案1或2所述的基板折斷裝置，其特征在于所述第1折斷桿從形成有所述劃線的所述第2主面的相反側(cè)的所述第1主面?zhèn)妊刂鰟澗€賦予荷重。此外，技術(shù)方案4所述的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案1至3中任一項所述的基板折斷裝置，其特征在干所述保持単元在執(zhí)行所述脆性材料基板的授受的交接位置、與通過所述折 斷單元執(zhí)行脆性材料基板的折斷的折斷位置之間，搬送立起姿勢的所述脆性材料基板。[發(fā)明的效果]根據(jù)技術(shù)方案1至3中記載的發(fā)明，在由保持単元保持脆性材料基板的情形吋，第 1折斷桿及第2折斷桿配置在以立起姿勢保持的脆性材料基板的兩側(cè)。于此，在第1折斷桿及第2折斷桿分別從以立起姿勢保持的脆性材料基板的兩側(cè) (例如脆性材料基板的正面及背面)接近的情形吋，第1折斷桿及第2折斷桿接近于脆性材 料基板的方向與重力方向所成的角度均為約90° (deg)。相對于此，第1折斷桿及第2折斷桿配置于脆性材料基板的上下方，在第1折斷桿 及第2折斷桿分別從脆性材料基板的上側(cè)及下側(cè)接近的情形吋，第1折斷桿及第2折斷桿 接近于脆性材料基板的方向與重力方向所成的角度分別為約0° (deg) ,180° (deg)。艮ロ， 重力對第1折斷桿及第2折斷桿的影響是不同的。其結(jié)果，在未對重力的影響進(jìn)行任何調(diào) 整的情形吋，會產(chǎn)生從第1折斷桿及第2折斷桿對脆性材料基板賦予的荷重不同的問題。如此，根據(jù)技術(shù)方案1至3中任ー項記載的發(fā)明，重力對第1折斷桿及第2折斷桿 的影響相同。因此，無須針對第1折斷桿及第2折斷桿的各個采取減輕重力影響的措施即 可良好地折斷脆性材料基板。尤其，根據(jù)技術(shù)方案3中記載的發(fā)明，第1折斷桿可沿著劃線對第1主面?zhèn)?形成 有劃線的第2主面的相反側(cè))賦予荷重。因此，可良好且切實地執(zhí)行沿著劃線的脆性材料 基板的折斷。尤其，根據(jù)技術(shù)方案4中記載的發(fā)明，保持単元搬送立起姿勢的脆性材料基板。由 此，可抑制包含搬送路徑在內(nèi)的保持単元的設(shè)置面積。因此，可減小基板折斷裝置的尺寸。


圖1是表示本發(fā)明的實施方式的基板折斷裝置的構(gòu)成的一例的正視圖。圖2是表示本發(fā)明的實施方式的基板折斷裝置的構(gòu)成的一例的后視圖。圖3是表示エ件的構(gòu)成的一例的正視圖。圖4是表示姿勢變更単元的構(gòu)成的一例的側(cè)視圖。圖5是表示姿勢變更単元的構(gòu)成的一例的平面圖。圖6是表示搬送単元的構(gòu)成的一例的正視圖。圖7是表示搬送単元的構(gòu)成的一例的后視圖。圖8是表示可動夾持部的構(gòu)成的一例的正視圖。圖9是從圖8的V-V線觀察的導(dǎo)引爪附近的剖面圖。圖10是從圖7的W-W線觀察的導(dǎo)引爪附近的剖面圖。圖11是用以說明固定機(jī)構(gòu)對エ件的固定步驟及固定解除步驟的后視圖。圖12是用以說明固定機(jī)構(gòu)對エ件的固定步驟及固定解除步驟的后視圖。圖13是用以說明固定機(jī)構(gòu)對エ件的固定步驟及固定解除步驟的后視圖。圖14是表示非接觸保持単元的構(gòu)成的一例的正視圖。圖15是表示折斷単元的構(gòu)成的一例的平面圖。[符號的說明]
1基板折斷裝置3工件4切片環(huán)4b開口5切片板7脆性材料基板8劃線9電子零件10姿勢變更單元20交接部21升降臺23(23a 23d)把持爪25(25a 25d)吸附部27交接用氣缸30擺動部33擺動用氣缸35擠壓部37(37a 37d)擠壓用氣缸39 (39a 39d)輥40主體單元42 (42a 42c)桿43、44導(dǎo)軌50搬送單元51固定臺51a貫通孔52旋轉(zhuǎn)臺60固定機(jī)構(gòu)60a、68a缺口60b階差面60d對向面61夾持部61a 61c可動夾持部66、73 (73a 73d)壓靠構(gòu)件67 (67a 67c)可動導(dǎo)件68固定導(dǎo)件69(69a 69d)導(dǎo)引爪71擠壓部72擠壓框75(75a 75d)間隙
80非接觸保持單元
81安裝臺
81a插入孔
83第1吸引部
84第2吸引部
85折斷單元
86第1折斷桿
86a第1進(jìn)退驅(qū)動部
87第2折斷桿
87a第2進(jìn)退驅(qū)動部
90控制單元
D1、D2間隔(第1及第2間隔)
PlO交接位置
Pll解除位置
P12固定位置
P20折斷位置
具體實施例方式以下，參照圖式對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。<1.整體構(gòu)成>圖1及圖2為分別表示本發(fā)明的實施方式的基板折斷裝置1的構(gòu)成的一例的正視圖及后視圖。圖3是表示工件3的構(gòu)成的一例的正視圖?；逭蹟嘌b置1為將形成有劃線 8的脆性材料基板7 (參照圖3)沿著劃線8折斷(切斷)的裝置。如圖1及圖2所示，基板折斷裝置1主要包括姿勢變更單元10、主體單元40、搬送單元50、非接觸保持單元80、折斷單元85、及控制單元90。再者，在圖1及以下的各圖中，為明確這些部分的方向關(guān)系，可根據(jù)需要而適當(dāng)?shù)馗缴显O(shè)Z軸方向為鉛直方向且設(shè)XY平面為水平面的XYZ正交坐標(biāo)系。姿勢變更單元10在水平姿勢及立起姿勢之間變更平板狀的工件3的姿勢，并且將設(shè)為立起姿勢的工件3交接給搬送單元50。此外，姿勢變更單元10固定在主體單元40上。于此，固定在搬送單元50并通過折斷單元85進(jìn)行折斷處理的工件3，如圖3所示主要包括切片環(huán)4、切片板5及脆性材料基板7。切片環(huán)4(環(huán)狀體)為由不銹鋼等金屬形成的平板。如圖1及圖2所示，通過切片環(huán)4的外緣部如由固定機(jī)構(gòu)60夾持而將工件3固定在固定機(jī)構(gòu)60上。此外，如圖3所示，在切片環(huán)4的中央附近形成有開口 4b。進(jìn)而，在切片環(huán)4的外緣部如設(shè)置有缺口 4c。通過檢測該缺口如的位置而檢測工件3的旋轉(zhuǎn)角度。切片板5 (片狀體)以覆蓋切片環(huán)4的開口 4b的方式安裝在切片環(huán)4上。而且， 脆性材料基板7以位于開口 4b上的方式貼附于切片板5。因此，即便使工件3為立起姿勢， 也可切實地固定脆性材料基板7。于此，本實施方式中，作為切片板5，也可使用例如樹脂制的粘著片材。
脆性材料基板7為例如玻璃基板或陶瓷基板等由脆性材料形成的基板。如圖3所示，在脆性材料基板7上形成有數(shù)個劃線8及數(shù)個電子零件9。劃線8為形成在脆性材料基板7的表面上的切割紋(縱向裂紋)。于此，通過例如使燒結(jié)金剛石制的劃線輪(省略圖示)壓接于脆性材料基板7的表面并轉(zhuǎn)動而形成劃線 8。而且，通過對形成有數(shù)個劃線8的脆性材料基板7賦予應(yīng)力，并沿著各劃線8折斷脆性材料基板7而獲得數(shù)個電子零件9 (例如數(shù)個液晶顯示裝置)。再者，本實施方式中，將工件3 (及切片環(huán)4、切片板5及脆性材料基板7)的主面 3a、3b中未形成有劃線8的面稱作第1主面3a，且將形成有劃線8的面稱作第2主面北。主體單元40如圖1及圖2所示用作固定姿勢變更單元10、非接觸保持單元80及折斷單元85等單元、以及數(shù)個旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a 41c)之固定部。于此，各旋轉(zhuǎn)致動器4K41a 41c)根據(jù)壓縮空氣的供給狀態(tài)而使軸(旋轉(zhuǎn)軸 省略圖示)旋轉(zhuǎn)。由此，安裝在軸上的桿42 42c)擺動，并抵接于對應(yīng)的夾持部 61 (61a 61c)的抵接部63 (參照圖8)。再者，下文對夾持部61 (61a 61c)的硬件構(gòu)成進(jìn)行敘述。搬送單元50沿著固定在主體單元40上的一對導(dǎo)軌43、44可行走地設(shè)置。搬送單元50以立起姿勢保持平板狀的工件3，并且使該工件3相對于姿勢變更單元10及主體單元 40移動。于此，搬送單元50的保持可通過接觸保持工件3的外緣部如而實現(xiàn)。如此，搬送單元50不僅搬送工件3 (搬送功能)，也通過接觸保持包含脆性材料基板7的工件3的外緣部如而以立起姿勢的狀態(tài)固定平板狀的工件3 (保持功能)。即，搬送單元50也用作“保持單元”。此外，本實施方式中，在搬送工件3的情形時，搬送單元50移動，但姿勢變更單元 10及主體單元40靜止。由此，本實施方式中，也將姿勢變更單元10及主體單元40總稱為 “固定側(cè)單元”。非接觸保持單元80如圖2所示，以與位于折斷位置P20的搬送單元50對向的方式設(shè)置，對由搬送單元50的固定機(jī)構(gòu)60接觸保持外緣部如的工件3進(jìn)行非接觸保持。如此，由“接觸保持”設(shè)為立起姿勢的平板狀的工件3的外緣部如的搬送單元 50 (保持單元)，與“非接觸保持”工件3的第1主面3a的非接觸保持單元80構(gòu)成保持裝置。折斷單元85將由搬送單元50保持的工件3的脆性材料基板7沿著劃線8折斷。 于此，折斷單元85通過對脆性材料基板7賦予應(yīng)力，并使垂直裂痕從形成有劃線8的脆性材料基板7的主面成長至其相反側(cè)的主面為止而將脆性材料基板7折斷?？刂茊卧?0控制姿勢變更單元10、主體單元40、搬送單元50、非接觸保持單元 80、及折斷單元85中所包含的各要素的動作，并實現(xiàn)數(shù)據(jù)運算。如圖1及圖2所示，控制單元 90 主要包括 ROM (Read Only Memory，只讀存儲器)91、RAM (Random Access Memory，隨機(jī)存取存儲器)92、CPU (Central Processing Unit，中央處理器)93。R0M91為所謂的非易失性存儲部，例如存儲程序91a。再者，作為R0M91也可使用作為讀寫自由的非易失性存儲器的快閃存儲器。RAM92為易失性的存儲部，例如存儲CPU93 的運算中所使用的數(shù)據(jù)。CPU93以特定時序執(zhí)行依照R0M91的程序91a的控制(例如數(shù)個旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a 41c)及數(shù)個擠壓用氣缸37 (37a 37d)的驅(qū)動控制等)。再者，下文對姿勢變更單元10、搬送單元50、非接觸保持單元80及折斷單元85的詳細(xì)硬件構(gòu)成進(jìn)行敘述。<2.姿勢變更單元的構(gòu)成〉圖4及圖5系分別表示姿勢變更單元10的構(gòu)成的一例的側(cè)視圖及平面圖。于此， 姿勢變更單元10如上所述執(zhí)行變更工件3的姿勢的動作、及將工件3交接給搬送單元50 的動作。如圖4及圖5所示，姿勢變更單元10主要包括數(shù)個支撐部11 (1 Ia 1 Id)、數(shù)個定位把手13 (13a 13d)、交接部20、擺動部30及擠壓部35。數(shù)個(本實施方式為4個)支撐部11 (Ila lid)支撐交接給姿勢變更單元10 的工件3。如圖4及圖5所示，各支撐部11 (Ila lid)固定在可支撐工件3的切片環(huán)4的外緣部如的位置、且與交接部20的升降臺21不發(fā)生干擾的位置。此外，各支撐部11 (Ila lid)如圖4及圖5所示，在其前端具有旋動自由地設(shè)置的滾珠12(1加 12(1)。由此，各滾珠12(1 12d)可點支撐工件3并旋轉(zhuǎn)。因此，由各支撐部11 (Ila lid)支撐的工件3的位置可容易且平滑地變更。于此，由數(shù)個支撐部11 (Ila lid)支撐的工件3也可例如從未圖示的搬送機(jī)械手交接給姿勢變更單元10。此外，基板折斷裝置1的作業(yè)者(以下，簡單地稱作“作業(yè)者”) 也可將工件3載置在數(shù)個支撐部11上。數(shù)個(本實施方式為4個)定位把手13 (13a 13d)如圖4及圖5所示，與對應(yīng)的把持爪23 (23a 23d)鄰接設(shè)置。各定位把手13 (13a 13d)通過設(shè)置在基部20a上的移動機(jī)構(gòu)(省略圖示)而沿著對應(yīng)的支臂^(26a ^kl)的長度方向進(jìn)退。由此，各定位把手13 (13a 13d)以使由各支撐部11 (Ila lid)支撐的工件3的位置成為所期望范圍的方式，向朝向升降臺21的中心21a的方向擠壓工件3 (更具體而言為切片板5)的外緣部 4a ο工件確認(rèn)感測器15檢測工件3是否支撐于數(shù)個支撐部11。如圖5所示，工件確認(rèn)感測器15與支撐部lib鄰接且固定在與交接部20的升降臺21不發(fā)生干擾的位置。作為工件確認(rèn)感測器15，也可使用例如以非接觸檢測有無工件3的接近感測器。交接部20保持設(shè)為水平姿勢且由數(shù)個支撐部11支撐的工件3。此外，交接部20 通過擺動部30在與搬送單元50之間交接設(shè)為立起姿勢的工件3。如圖4及圖5所示，交接部20主要包括升降臺21、數(shù)個把持爪2303a 23d)、數(shù)個吸附部25 25d)及交接用氣缸觀。升降臺21如圖5所示，包括從中心21a向外側(cè)呈放射狀延伸的數(shù)個(本實施方式中為4本)支臂沈(26a ^d)。升降臺21防止由把持爪23及吸附部25保持的工件3發(fā)
生變形。數(shù)個(本實施方式中為4個)把持爪2303a 23d)(數(shù)個把持部)，把持在水平姿勢及立起姿勢之間變更姿勢的工件3 (更具體而言為切片環(huán)4)的外緣部4a。如圖4及圖 5所示，各把持爪23 (23a 23d)設(shè)置在對應(yīng)的支臂沈(26a ^d)的前端27 (27a 27d) 附近。于此，如圖4所示，各定位把手13 (13a 13d)的上端附近(為便于圖示，僅表示定位把手1 的上端附近)形成二股。因此，即便使各定位把手13 (13a 13d)進(jìn)退以對工件 3進(jìn)行定位，各定位把手13 (13a 13d)與對應(yīng)的把持爪23 (23a 23d)及吸附部25 (25a 25d)也不會發(fā)生干擾。此外，在以通過各定位把手13(13a 13d)使工件3的位置成為所期望范圍的方式進(jìn)行定位的情形時，工件3由各把持爪23 (23a 23d)圍繞。數(shù)個(本實施方式中為4個)吸附部25 25d)對應(yīng)于各把持爪23 23d)而設(shè)置，且吸附工件3 (更具體而言為切片環(huán)4)的外緣部如。因此，在通過數(shù)個定位把手13(13a 13d)進(jìn)行定位之后，通過數(shù)個吸附部 25 (25a 25d)吸附工件3，由此受到數(shù)個支撐部11 (Ila lid)支撐的工件3被交接給交接部20。如此，各把持爪23 03a 23d)及各吸附部25 25d)把持及吸附切片環(huán)4。 即，脆性材料基板7不通過各把持爪23 03a 23d)及各吸附部25 25d)把持及吸附。因此，交接部20及擺動部30不對形成在脆性材料基板7上的劃線8 (參照圖幻帶來影響即可執(zhí)行工件3的保持及姿勢變更。交接用氣缸觀在交接部20與搬送單元50之間交接設(shè)為立起姿勢的工件3的情形時，使工件3在交接部20與搬送單元50之間移動。如圖4所示，交接用氣缸觀包括主體部28a及連桿四。連桿四相對于主體部28a而可進(jìn)退。如圖4所示，連桿四的前端固定在升降臺 21的底面。因此，固定在升降臺21上的立起姿勢的工件3對應(yīng)于連桿四的前進(jìn)或后退動作而在交接部20與搬送單元50之間移動。擺動部30通過使交接部20以擺動軸31為中心擺動，而使由交接部20保持的工件3的姿勢在水平姿勢與立起姿勢之間變更。如圖4及圖5所示，擺動部30主要包括擺動軸31、擺動框32及擺動用氣缸33。擺動軸31用作使交接部20相對于基部20a擺動的中心軸。如圖5所示，擺動軸31 由軸承30a、30b可旋轉(zhuǎn)地支撐(軸支)。此外，軸承30a、30b分別固定在對應(yīng)的托架30c、 30d 上。擺動框32為由數(shù)個(本實施方式為3片)板體32a 32c形成的框體。如圖5 所示，擺動軸31固定在板體32a、32c之間。另一方面，交接部20的交接用氣缸觀固定在板體32b上。擺動用氣缸33為使交接部20擺動的驅(qū)動部。如圖4所示，擺動用氣缸33主要包括主體部33a與連桿34。連桿34相對于主體部33a而可進(jìn)退。如圖4及圖5所示，主體部33a固定在交接部20的基部20a，連桿34的前端34a固定在擺動框32的板體32a。因此，在連桿34從主體部33a前進(jìn)的情形時，由把持爪23及吸附部25保持的工件3的姿勢從水平姿勢變更為立起姿勢。另一方面，在連桿34后退至主體部33a的情形時， 由把持爪23及吸附部25保持的工件3的姿勢從立起姿勢變更為水平姿勢。擠壓部35調(diào)整從搬送單元50的固定機(jī)構(gòu)60賦予給工件3的荷重。由此，通過固定機(jī)構(gòu)60執(zhí)行固定從交接部20交接給搬送單元50的工件3的動作、及解除工件3的固定狀態(tài)的動作。
如圖4及圖5所示，擠壓部35主要包括安裝框35a、數(shù)個托架36 (36a 36d)、及數(shù)個擠壓用氣缸37 (37a 37d)。安裝框3 及數(shù)個托架36 (36a 36d)用以將數(shù)個擠壓用氣缸37 (37a 37d)固定在姿勢變更單元10上。如圖2及圖4所示，安裝框3 形成為框體狀，且固定在基部20a。 此外，數(shù)個(本實施方式中為4個)托架36(36a 36d)為如圖2所示從安裝框35a的縱板沿著搬送單元50的搬送方向(箭頭ARl方向)延伸的安裝板。數(shù)個擠壓用氣缸37 (37a 37d)分別壓縮對應(yīng)的壓靠構(gòu)件73 (73a 73d 參照圖 7)。如圖4及圖5所示，各擠壓用氣缸37 (37a 37d)主要包括數(shù)個連桿38 (38a 38d)、 及數(shù)個輥39 (39a 39d)。數(shù)個(本實施方式中為4個)連桿38(38a 38d)分別可沿著箭頭AR2方向進(jìn)退。 此外，在各連桿38 (38a 38d)的前端安裝有對應(yīng)的輥39 (39a 39d)。因此，在各連桿38 (38a 38d)前進(jìn)的情形時，對應(yīng)的輥39 (39a 39d)抵接于各壓靠構(gòu)件73 (73a 73d 參照圖7)，由此，壓縮各壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)。另一方面，在各連桿38 (38a 38d)后退的情形時，對應(yīng)的輥39 (39a 39d)從各壓靠構(gòu)件73 (73a 73d:圖7參照)離開。由此，解除各壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)的壓縮狀態(tài)。數(shù)個(本實施方式中為4個)輥39(39a 39d)分別為設(shè)置在對應(yīng)的連桿 38(38a 38d)前端的旋轉(zhuǎn)體。如圖5所示，各輥39 (39a 39d)設(shè)為能夠以在鉛直方向 (與Z軸大致平行的方向與箭頭ARl方向大致垂直的方向)延伸的旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)。因此，當(dāng)在各輥39 (39a 39d)抵接于對應(yīng)的壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)的狀態(tài)下， 搬送單元50沿搬送方向(箭頭ARl方向)移動時，各輥39(39a 39d)以如下方式進(jìn)行動作。即，各輥39 —面壓縮對應(yīng)的壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)，一面沿著搬送方向在對應(yīng)的壓靠構(gòu)件73(73a 73d)上旋轉(zhuǎn)。因此，搬送單元50可一面維持各輥39 (39a 39d)的壓縮狀態(tài)，一面沿搬送方向移動。其結(jié)果，即便在搬送單元50相對于姿勢變更單元10及主體單元 40 (固定側(cè)單元)移動的情形時，也可維持工件3的固定解除狀態(tài)。<3.搬送單元的構(gòu)成〉圖6及圖7為表示搬送單元50的構(gòu)成的一例的正視圖及后視圖。圖8為表示可動夾持部61 (61a 61c)的構(gòu)成的一例的正視圖。圖9為從圖8的V-V線觀察的導(dǎo)引爪 69 (69a)附近的剖面圖。圖10為從圖7的W-W線觀察的導(dǎo)引爪69 (69d)附近的剖面圖。于此，搬送單元50 —面接觸保持工件3的外緣部4a，一面在執(zhí)行工件3的授受的交接位置Pio與通過折斷單元85執(zhí)行脆性材料基板7的折斷的折斷位置P20之間搬送立起姿勢的工件3。由此，可抑制包含搬送路徑在內(nèi)的搬送單元50的設(shè)置面積(即，搬送單元50的移動區(qū)域尺寸)。因此，可減小基板折斷裝置1的尺寸。如圖6及圖7所示，搬送單元50主要包括固定臺51及旋轉(zhuǎn)臺52。于此，本實施方式的搬送單元50通過例如未圖示的線性馬達(dá)而相對于姿勢變更單元10、主體單元40及非接觸保持單元80等可移動地設(shè)置。旋轉(zhuǎn)臺52為相對于固定臺51而旋轉(zhuǎn)的圓盤狀的旋轉(zhuǎn)部。如圖6及圖7所示，旋轉(zhuǎn)臺52旋動自由地嵌入至形成在固定臺51上的圓形狀的貫通孔51a中。此外，旋轉(zhuǎn)臺52包括固定工件3的固定機(jī)構(gòu)60。再者，下文對固定機(jī)構(gòu)60的構(gòu)成進(jìn)行敘述。固定臺51用作安裝例如用于使旋轉(zhuǎn)臺52旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)要素、及用于使固定臺51及旋轉(zhuǎn)臺52相對于主體單元40行走的行走要素的安裝部。如圖6及圖7所示，固定臺51主要包括導(dǎo)塊55、馬達(dá)56及皮帶57。數(shù)個(本實施方式中為6個)導(dǎo)塊55如圖6所示，設(shè)置在固定臺51的正面51b。 此外，在各導(dǎo)塊55的內(nèi)部可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置有數(shù)個滾珠(省略圖示)。而且，在各導(dǎo)塊55安裝在對應(yīng)的導(dǎo)軌43、44上的情形時，各導(dǎo)塊55內(nèi)的滾珠(省略圖示)以可旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)與對應(yīng)的導(dǎo)軌43、44接觸。由此，當(dāng)各導(dǎo)塊55沿著對應(yīng)的導(dǎo)軌43、44(即沿著搬送方向(箭頭ARl方向))移動時，各導(dǎo)塊陽內(nèi)的滾珠(省略圖示)在對應(yīng)的導(dǎo)軌43、44上旋轉(zhuǎn)。因此，固定臺51可沿著導(dǎo)軌43、44平滑地行走。馬達(dá)56為對旋轉(zhuǎn)臺52賦予旋轉(zhuǎn)力的驅(qū)動部。皮帶57將由馬達(dá)56賦予的旋轉(zhuǎn)力傳輸至旋轉(zhuǎn)臺52。如圖6所示，皮帶57卷繞在旋轉(zhuǎn)臺52與安裝在馬達(dá)56的旋轉(zhuǎn)軸56a前端的馬達(dá)用滑輪58上。由此，當(dāng)馬達(dá)56旋轉(zhuǎn)時，固定在固定機(jī)構(gòu)60上的工件3旋轉(zhuǎn)。張力調(diào)整用滑輪59調(diào)整賦予給皮帶57的張力。本實施方式中，張力調(diào)整用滑輪 59的位置(例如，Z軸方向的位置)通過未圖示的定位機(jī)構(gòu)調(diào)整。由此，可容易地去除皮帶 57的松弛，并且可容易地調(diào)整皮帶57的張力。因此，可良好地維持旋轉(zhuǎn)臺52的旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。<3. 1.固定機(jī)構(gòu)的構(gòu)成〉固定機(jī)構(gòu)60以立起姿勢固定平板狀的工件3。如圖6及圖7所示，固定機(jī)構(gòu)60主要包括數(shù)個夾持部61 (61a 61c)、62及數(shù)個擠壓部71。數(shù)個夾持部61 (61a 61c)、62夾持配置在與擠壓部71之間的工件3的外緣部如。如圖7所示，數(shù)個夾持部61 (61a 61c)、62分別沿著擠壓框72設(shè)置。再者，以下說明中，將附上符號61 (61a 61c)的夾持部稱作“可動夾持部”，將附上符號62的夾持都稱作“固定夾持部”。S卩，數(shù)個夾持部包括數(shù)個可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部62。進(jìn)而換言之，數(shù)個夾持部中的一部分為數(shù)個可動夾持部61 (61a 61c)，數(shù)個夾持部中的剩余部分為固定夾持部62。數(shù)個(本實施方式中為3個)可動夾持部61 (61a 61c)分別在相對于擠壓框72 而接近或離開的方向進(jìn)退。如圖7及圖8所示，各可動夾持部61 (61a 61c)主要包括抵接部63、旋動板64、壓靠構(gòu)件66、可動導(dǎo)件67 (67a 67c)及導(dǎo)引爪69 (69a 69c)。于此，可動夾持部61a 61c相互具有相同的硬件構(gòu)成。因此，以下僅對可動夾持部61a的硬件構(gòu)成進(jìn)行說明。抵接部63為由例如金屬成形的球狀體，且安裝在旋動板64上。旋動板64為以旋動軸6 為中心旋動的板體。例如，當(dāng)旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a)的桿42 )(參照圖1及圖2) 擺動，桿42 (42a)抵接于對應(yīng)的夾持部61 (61a)的抵接部63時，旋動板64以旋動軸6 為中心向箭頭Rl方向旋動。連桿65為連結(jié)旋動板64及可動導(dǎo)件67 (67a)的窄寬的板體。連桿65的一端通過旋動軸6 而與旋動板64連動連結(jié)，且連桿65的另一端通過旋動軸6 而與可動導(dǎo)件 67 (67a)連動連結(jié)。
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壓靠構(gòu)件66由彈簧等彈性構(gòu)件形成。如圖8所示，壓靠構(gòu)件66的一端66a固定在可動側(cè)旋動板64上，壓靠構(gòu)件66的另一端66b固定在固定側(cè)增強(qiáng)板64b。由此，當(dāng)旋動板64沿箭頭Rl方向旋動時，壓靠構(gòu)件66向箭頭Rl方向的相反方向壓靠旋動板64?？蓜訉?dǎo)件67 (67a)為平板狀的可動構(gòu)件?？蓜訉?dǎo)件67通過向相對于擠壓框72而接近或離開的方向進(jìn)退而調(diào)整工件3的固定狀態(tài)。S卩，當(dāng)桿42 02a)通過旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a)擺動而使旋動板64沿箭頭Rl方向旋動時，可動導(dǎo)件67 (67a)可向從擠壓框72離開的方向移動。由此，可動導(dǎo)件67 (67a)成為夾持解除狀態(tài)。另一方面，在桿42 02a)通過旋轉(zhuǎn)致動器41 01a)返回至擺動前的位置，通過壓靠構(gòu)件66的壓靠力而使旋動板64向箭頭Rl方向的相反方向旋動時，可動導(dǎo)件67 (67a)向接近于擠壓框72的方向移動。由此，可動導(dǎo)件67 (67a)成為在與擠壓框72之間可夾持工件 3的狀態(tài)。如此，設(shè)置在主體單元40上的數(shù)個旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a 41c)，用作使數(shù)個夾持部61 (61a 61c)、62中的一部分(數(shù)個可動夾持部61a 61c)向相對于擠壓框72而接近或離開的方向進(jìn)退的驅(qū)動部(第1驅(qū)動部)。缺口 60a為如圖8所示形成在可動導(dǎo)件67的擠壓框72側(cè)的凹口。于此，在姿勢變更單元10的交接部20與搬送單元50之間交接工件3的情形時，把持爪23 (23a)可配置在由缺口 60a形成的空間(例如間隙75(7 ))中(參照圖8及圖11至圖13)。因此，在交接工件3時，可有效地防止把持爪23 與可動導(dǎo)件67(67a)發(fā)生干擾。數(shù)個(本實施方式2)導(dǎo)引爪69(69a)與可動導(dǎo)件及擠壓框72協(xié)作而夾持工件3。如圖8所示，導(dǎo)引爪69 (69a)隔開安裝在可動導(dǎo)件67 (67a)上且沿著對向的擠壓框72的輪廓線的方向上。此外，如圖9所示，導(dǎo)引爪69(69a)以使導(dǎo)引爪69(69a)的階差面60b位于可動導(dǎo)件67 (67a)的下端面60c的下方的方式安裝在可動導(dǎo)件67 (67a)上。因此，如圖9所示，可動夾持部61 (61a)及擠壓部71對工件3的夾持是通過可動導(dǎo)件67(67a)的下端面60c、導(dǎo)引爪69 (69a)的階差面60b及擠壓框72的對向面60d與工件3接觸而實現(xiàn)。固定夾持部62如圖7所示固定在擠壓框72附近。如圖7所示，固定夾持部62主要包括固定導(dǎo)件68與導(dǎo)引爪69 (69d)。固定導(dǎo)件68為平板狀的固定構(gòu)件。即，固定導(dǎo)件68與可動導(dǎo)件67 (67a 67c) 不同，不向相對于擠壓框72而接近或離開的方向進(jìn)退而為固定在旋轉(zhuǎn)臺52上。由此，可以固定夾持部62的位置為基準(zhǔn)容易地執(zhí)行工件3相對于固定機(jī)構(gòu)60的定位。因此，可通過使用數(shù)個可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部62而良好地執(zhí)行工件3的夾持及夾持解除。缺口 68a為如圖7所示形成在固定導(dǎo)件68的擠壓框72側(cè)的凹口。于此，在姿勢變更單元10的交接部20與搬送單元50之間交接工件3的情形時，把持爪23 (23d)可配置在由缺口 68a形成的空間(例如間隙75(75d))中(參照圖7及圖11至圖13)。因此，在交接工件3時，可有效地防止把持爪23 03d)與固定導(dǎo)件68發(fā)生干擾。數(shù)個(本實施方式幻導(dǎo)引爪69(69d)與固定導(dǎo)件68及擠壓框72協(xié)作而夾持工件3。如圖7所示，導(dǎo)引爪69 (69d)隔開安裝在固定導(dǎo)件68上且沿著對向的擠壓框72的輪廓線的方向。此外，如圖10所示，導(dǎo)引爪69 (69d)以使導(dǎo)引爪69(69d)的階差面60b位于較固定導(dǎo)件68的側(cè)端面68b更靠擠壓框72側(cè)的方式安裝在固定導(dǎo)件68上。因此，如圖9所示，固定夾持部62及擠壓部71對工件3的夾持是通過固定導(dǎo)件68 的側(cè)端面68b、導(dǎo)引爪69(69d)的階差面60b及擠壓框72的對向面60d與工件3接觸而實現(xiàn)。擠壓部71通過在可動夾持部61 (61a 61c)與固定夾持部62之間夾持工件3 而擠壓工件3的外緣部如。如圖7所示，擠壓部71主要包括擠壓框72與數(shù)個壓靠構(gòu)件 73 (73a 73d)。擠壓框72如圖6及圖7所示形成環(huán)狀(更具體而言為矩形環(huán)狀)，且安裝在旋轉(zhuǎn)臺52的中央附近。如圖9及圖10所示，擠壓框72從工件3的第2主面北側(cè)擠壓工件3 的外緣部4a。數(shù)個(本實施方式中為4個)壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)由彈簧等彈性構(gòu)件形成。 如圖7所示，各壓靠構(gòu)件73(73a 73d)與擠壓框72的4個角中的對應(yīng)的角隅連結(jié)。于此，當(dāng)各壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)從對應(yīng)的擠壓用氣缸37 (37a 37d)(參照圖 4及圖5)接收到從圖7紙面的正面朝向背面的方向(即箭頭AR2方向的相反方向)的力時，各壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)進(jìn)行壓縮。即，擠壓部35的擠壓用氣缸37 (37a 37d)用作向?qū)?yīng)的壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)賦予壓縮力的驅(qū)動部(第2驅(qū)動部)。另一方面，當(dāng)連桿38 (38a 38d)后退而使輥39 (39a 39d)從對應(yīng)的壓靠構(gòu)件 73(73a 73d)離開時，各壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)對擠壓框72壓靠箭頭AR2方向(壓靠方向)的壓靠力。由此，工件3通過來自各壓靠構(gòu)件73(73a 73d)的壓靠力而被可動夾持部 61 (61a 61c)及固定夾持部62、擠壓框72夾持。其結(jié)果，工件3固定在固定機(jī)構(gòu)60上。如此，固定機(jī)構(gòu)60上的工件3的固定狀態(tài)通過姿勢變更單元10的擠壓用氣缸 37 (37a 37d)(第2驅(qū)動部)與主體單元40的旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a 41c)(第1驅(qū)動部) 而加以調(diào)整。S卩，成為搬送對象的工件3的固定是通過搬送單元50的固定機(jī)構(gòu)60、姿勢變更單元10的擠壓用氣缸37 (37a 37a)、及主體單元40的旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a 41c)而執(zhí)行。由此，本實施方式中，也將姿勢變更單元10、主體單元40及搬送單元50總稱為“搬送系統(tǒng)”。<3. 2.工件的固定方法〉圖11至圖13為用以說明固定機(jī)構(gòu)60對工件3的固定步驟及固定解除步驟的后視圖。于此，對將設(shè)為立起姿勢的工件3固定在固定機(jī)構(gòu)60上的步驟進(jìn)行說明。再者，該固定步驟通過控制單元90控制姿勢變更單元10、主體單元40及搬送單元 50中所包含之各要素的動作而實現(xiàn)。此外，在本固定步驟開始之前，使搬送單元50移動至交接位置PlO的解除位置 PlK參照圖2)，工件3由各吸附部25 25d)吸附保持。本固定步驟中，首先通過擺動部30使交接部20移動(擺動)。由此，由交接部20 保持的工件3 —面為立起姿勢一面向搬送單元50的固定機(jī)構(gòu)60附近移動。其次，設(shè)置在主體單元40上的數(shù)個旋轉(zhuǎn)致動器41 Gla 41c)(參照圖2)進(jìn)行動作而使各桿42 42c)擺動。由此，各可動夾持部61 (61a 61c)的可動導(dǎo)件67 (67a 67c)向從擠壓框72離開的方向移動。繼而，數(shù)個擠壓用氣缸37 (37a 37d)動作而使各連桿38 (38a 38d)從氣缸主體前進(jìn)。由此，各壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)通過對應(yīng)的輥39 (39a 39d)而進(jìn)行壓縮，擠壓框72向各壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)的壓靠方向(箭頭AR2方向)的相反方向移動。然后，搬送單元50從交接位置PlO的解除位置Pll移動至固定位置P12 (參照圖 1及圖2、移動。由此，各擠壓用氣缸37 (37a 37d)前端的輥39 (39a 39d) —面壓縮對應(yīng)的壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)，一面在壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)上旋轉(zhuǎn)。因此，搬送單元50 在使擠壓框72從工件3離開的狀態(tài)下沿著搬送方向移動。而且，在擠壓框72從工件3離開的狀態(tài)下，工件3的外緣部如抵接于固定導(dǎo)件68的側(cè)端面68b (圖10)。然后，在工件3的外緣部如抵接于固定導(dǎo)件68的側(cè)端面68b (圖10)的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a 41c)動作，從而使對應(yīng)的桿42 (42a 42c)返回至擺動前的位置。由此，各可動夾持部61 (61a 61c)的可動導(dǎo)件67 (67a 67c)向接近于擠壓框 72的方向移動。因此，工件3的外緣部如抵接于各可動導(dǎo)件67 (67a 67c)。繼而，在工件3的外緣部如抵接于各可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部62 的狀態(tài)下各擠壓用氣缸37 (37a 37d)動作而使各連桿38 (38a 38d)后退。由此，不賦予由各擠壓用氣缸37 (37a 37d)賦予給對應(yīng)的壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)的壓縮力，擠壓框72向各壓靠構(gòu)件73的壓靠方向移動。而且，如圖9及圖10所示，可動導(dǎo)件67 (67a 67c)及固定導(dǎo)件68的階差面60b與擠壓框72的對向面60d之間的距離變窄。因此，工件3被夾持在可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部62與擠壓部71 之間，立起姿勢的工件3由固定機(jī)構(gòu)60固定。即，根據(jù)本固定步驟，可將立起姿勢的工件3 良好地固定在固定機(jī)構(gòu)60上。繼而，在工件3由固定機(jī)構(gòu)60固定的狀態(tài)下，解除各吸附部25 25d)的吸附狀態(tài)。由此，解除交接部20對工件3的保持狀態(tài)，從而完成工件3的固定步驟。<3.3.工件的固定解除方法〉于此，一面參照圖11至圖13—面說明對通過固定機(jī)構(gòu)60以立起姿勢固定的工件 3解除該工件3的固定狀態(tài)的步驟。再者，該解除步驟與工件3的固定步驟相同，通過控制單元90控制姿勢變更單元 10、主體單元40及搬送單元50中所包含的各要素的動作而實現(xiàn)。此外，在本解除步驟開始之前，使搬送單元50移動至交接位置PlO的固定位置 P12(參照圖2)，工件3由固定機(jī)構(gòu)60固定。本解除步驟中，首先，通過固定機(jī)構(gòu)60固定的工件3由各吸附部25 25d) 吸附。由此，工件3在固定于固定機(jī)構(gòu)60的狀態(tài)下由交接部20保持。其次，在工件3的外緣部如抵接于數(shù)個可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部 62的狀態(tài)下，使數(shù)個擠壓用氣缸37 (37a 37d)(第2驅(qū)動部)動作而使各連桿38 (38a 38d)從氣缸主體前進(jìn)。由此，各壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)通過對應(yīng)的輥39 (39a 39d)而壓縮，擠壓框72 向各壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)的壓靠方向(箭頭AR2方向)的相反方向移動。而且，如圖9及圖10所示，可動導(dǎo)件67 (67a 67c)及固定導(dǎo)件68的階差面60b與擠壓框72的對向面60d之間的距離擴(kuò)大。因此，解除固定機(jī)構(gòu)60對立起姿勢的工件3的固定，工件3由交接部20的各吸附部25 25d)吸附保持。如此，擠壓部35的各擠壓用氣缸37 (37a 37d)壓縮對應(yīng)的壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)，由此可解除工件3的固定狀態(tài)。繼而，在工件3的外緣部如抵接于數(shù)個可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部62的狀態(tài)下，使數(shù)個旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a 41c)(第1驅(qū)動部)動作而使各桿42 (42a 42c)擺動。由此，各可動夾持部61 (61a 61c)的可動導(dǎo)件67 (67a 67c)向從擠壓框72 離開的方向移動。然后，搬送單元50從交接位置PlO的固定位置P12移動至解除位置Pll (參照圖 1及圖幻。由此，各擠壓用氣缸37 (37a 37d)前端的輥39 (39a 39d) —面壓縮對應(yīng)的壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)，一面在壓靠構(gòu)件73 (73a 73d)上旋轉(zhuǎn)。因此，搬送單元50在使擠壓框72從工件3離開的狀態(tài)下沿著搬送方向移動。而且，在擠壓框72從工件3離開的狀態(tài)下，工件3的外緣部如從固定導(dǎo)件68的側(cè)端面68b (圖10)離開。如此，根據(jù)本解除步驟，可良好地解除通過固定機(jī)構(gòu)60固定的工件3的固定狀態(tài)。繼而，通過擺動部30使交接部20移動(擺動)，由此通過交接部20保持的工件3 從搬送單元50的固定機(jī)構(gòu)60離開。而且，在工件3從固定機(jī)構(gòu)60離開之后，數(shù)個擠壓用氣缸37 (37a 37d)的連桿38 (38a 38d)后退，由此擠壓框72向壓靠方向(箭頭AR2方向)移動，從而完成工件3的固定解除步驟。<4.非接觸保持單元的構(gòu)成〉圖14是表示非接觸保持單元80的構(gòu)成的一例的正視圖。于此，非接觸保持單元 80輔助性地非接觸保持如上述般由搬送單元50接觸保持的工件3的第1主面3a。如圖14 所示，非接觸保持單元80主要包括安裝臺81、數(shù)個第1吸引部83及數(shù)個第2吸引部84。于此，本實施方式中，也將符號83的“第1吸引部”與符號84的“第2吸引部84” 總稱為“吸引部”。即，數(shù)個吸引部包括數(shù)個第1吸引部83及數(shù)個第2吸引部84。安裝臺81以與行走至折斷位置P20為止的搬送單元50對向的方式設(shè)置。如圖2 所示，安裝臺81固定在主體單元40上。此外，如圖1及圖14所示，安裝臺81的鉛直面81a 用作安裝數(shù)個第1吸引部83及數(shù)個第2吸引部84的安裝面。插入孔81b為于鉛直方向(與Z軸平行的方向)延伸的貫通長孔，且形成在安裝臺81的中央附近。第1折斷桿86經(jīng)由插入孔81b到達(dá)工件3的第1主面3a。數(shù)個吸引部(數(shù)個第1吸引部83及數(shù)個第2吸引部84)如圖1及圖14所示設(shè)置在安裝臺81的鉛直面81a上。通過數(shù)個吸引部吸引對向的立起姿勢的工件3的第1主面 3a而以非接觸狀態(tài)保持工件3。于此，本實施方式中，作為數(shù)個第1吸引部83及數(shù)個第2 吸引部84，也可使用伯努利吸盤。數(shù)個(本實施方式中為12個)第1吸引部83如圖14所示，以沿著形成在安裝臺 81上的插入孔81b的長度方向兩側(cè)的狀態(tài)設(shè)置在安裝臺81的鉛直面81a上。各第1吸引部83由例如伯努利吸盤構(gòu)成。由此，可通過各第1吸引部83吸引對向的工件3而以非接觸狀態(tài)保持工件3。數(shù)個(本實施方式中為12個)第2吸引部84如圖14所示，以從兩側(cè)夾持?jǐn)?shù)個第1吸引部83的狀態(tài)設(shè)置在安裝臺81的鉛直面81a上。各第2吸引部84與第1吸引部83 相同地由例如伯努利吸盤構(gòu)成。由此，各第2吸引部84與第1吸引部83相同地，可通過吸引對向的工件3而以非接觸狀態(tài)保持工件3。于此，如圖14所示，各第1吸引部83的直徑小于各第2吸引部84的直徑。此夕卜， 如圖14所示，數(shù)個第1吸引部83中相鄰接的吸引部彼此的間隔Dl (第1間隔)，小于數(shù)個第2吸引部84中相鄰接的吸引部彼此的間隔D2(第2間隔)。如此，數(shù)個第1吸引部83較數(shù)個第2吸引部84更密集地配置。由此，可更切實地非接觸保持插入孔81b附近的工件3 (換言之，第1折斷桿86附近的工件3)。因此，可良好地執(zhí)行脆性材料基板7的折斷。<5.折斷單元的構(gòu)成>圖15是表示折斷單元85的構(gòu)成的一例的平面圖。于此，折斷單元85將通過搬送單元50及非接觸保持單元80形成保持狀態(tài)的脆性材料基板7沿著劃線8折斷。如圖15 所示，折斷單元85主要包括第1折斷桿86與數(shù)個第2折斷桿87。第1折斷桿86以經(jīng)由插入孔81b到達(dá)搬送單元50側(cè)的方式進(jìn)退。如圖14及圖 15所示，第1折斷桿86沿著安裝臺81的插入孔81b而在一方向(插入孔81b的長度方向 Z軸方向)(以下，簡單地稱作“延伸方向”)延伸。數(shù)個(本實施方式中為2個)第2折斷桿87夾持由搬送單元50保持的工件3而設(shè)置在第1折斷桿86的相反側(cè)。各第2折斷桿87在與第1折斷桿86平行的方向(Z軸方向)延伸。于此，如圖15所示，搬送方向(箭頭ARl方向)上的數(shù)個第2折斷桿87僅隔開所期望距離D3而配置。此外，如圖15所示，第2折斷桿87、第1折斷桿86及第2折斷桿87 沿著從交接位置PlO朝向折斷位置P20的方向(Y軸負(fù)方向)而依序配置。此外，第1折斷桿86從形成有劃線8的第2主面北的相反側(cè)的第1主面3a側(cè) (該情形時，第1折斷桿86抵接于切片板5)沿著劃線8賦予荷重。即，荷重從形成有劃線8的第2主面北的相反側(cè)的第1主面3a賦予給劃線8。因此，可良好且切實地執(zhí)行沿著劃線8的脆性材料基板7的折斷。第1進(jìn)退驅(qū)動部86a通過對第1折斷桿86賦予驅(qū)動力而使第1折斷桿86于進(jìn)退方向(箭頭AR6方向參照圖1 進(jìn)退。例如，第1進(jìn)退驅(qū)動部86a在第1折斷桿86的延伸方向與劃線8大致平行的狀態(tài)下使第1折斷桿86向X軸負(fù)方向移動，由此使第1折斷桿 86接近于脆性材料基板7的第1主面3a。第2進(jìn)退驅(qū)動部87a通過對數(shù)個第2折斷桿87賦予驅(qū)動力而使數(shù)個第2折斷桿 87于進(jìn)退方向(箭頭AR6方向參照圖15)進(jìn)退。例如，第2進(jìn)退驅(qū)動部87a在數(shù)個第2折斷桿87的延伸方向與劃線8大致平行的狀態(tài)下使數(shù)個第2折斷桿87向X軸正方向移動， 由此使數(shù)個第2折斷桿87接近于脆性材料基板7的第2主面北。當(dāng)如此般通過第1及第2進(jìn)退驅(qū)動部86a、87a使第1折斷桿86及第2折斷桿87 進(jìn)退時，脆性材料基板7由該些第1折斷桿86及第2折斷桿87夾持。其結(jié)果，設(shè)為立起姿勢的脆性材料基板7沿著劃線8折斷。S卩，在通過基板折斷裝置1執(zhí)行的折斷處理中，第1折斷桿86及第2折斷桿87接近于脆性材料基板7的方向(進(jìn)退方向(箭頭AR6方向))均與重力方向(Z軸負(fù)方向)大致垂直。由此，重力對第1折斷桿86及第2折斷桿87的影響相同。因此，無須針對第1折斷桿86及第2折斷桿87的各個采取減輕重力影響的措施即可良好地折斷脆性材料基板7。<6.本實施方式的基板折斷裝置的優(yōu)點>如以上所述，本實施方式的基板折斷裝置1中，在脆性材料基板7由搬送單元 50 (保持單元)保持的情形時，第1折斷桿86及第2折斷桿87配置在以立起姿勢保持的脆性材料基板7的兩主面3a、北側(cè)。于此，與本實施方式不同，研究如下情形，即第1折斷桿及第2折斷桿配置在脆性材料基板的上下方，第1折斷桿及第2折斷桿分別從脆性材料基板的上側(cè)及下側(cè)接近。該情形時，第1折斷桿及第2折斷桿接近于脆性材料基板的方向與重力方向所成的角度分別為約0° (deg)、180° (deg)。即，重力對第1折斷桿及第2折斷桿的影響是不同的。其結(jié)果，在未對重力的影響進(jìn)行任何調(diào)整的情形時，會產(chǎn)生從第1折斷桿及第2折斷桿對脆性材料基板賦予的荷重不同的問題。其次，研究如本實施方式般第1折斷桿86及第2折斷桿87分別從以立起姿勢保持的脆性材料基板7的兩主面3a、!3b側(cè)接近的情形。該情形時，第1折斷桿86及第2折斷桿87接近于脆性材料基板7的方向與重力方向所成的角度均為約90° (deg)。由此，重力對第1折斷桿86及第2折斷桿87的影響相同。因此，無須針對第1折斷桿86及第2折斷桿87的各個采取減輕重力影響的措施即可良好地折斷脆性材料基板7。此外，根據(jù)本實施方式的基板折斷裝置1及其固定機(jī)構(gòu)60，工件3的外緣部如由可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部62、擠壓部71良好地夾持。因此，可良好地固定立起姿勢的工件3。此外，本實施方式的基板折斷裝置1及其姿勢變更單元10中，搬送單元50的固定機(jī)構(gòu)60通過從姿勢變更單元10的擠壓部35賦予的荷重而執(zhí)行工件3的固定及工件3的固定解除。即，搬送單元50無需用以執(zhí)行工件3的固定及工件3的固定解除的要素，從而無須在移動側(cè)(搬送單元50)與固定側(cè)(例如姿勢變更單元10等)之間設(shè)置與該要素相關(guān)的配管及配線。因此，通過使用姿勢變更單元10，可提高行走時的搬送單元50的安全性及維護(hù)時的作業(yè)者的作業(yè)效率。此外，通過本實施方式的基板折斷裝置1實現(xiàn)的搬送系統(tǒng)中，借助來自設(shè)置在主體單元40及姿勢變更單元10 (固定側(cè)單元)上的數(shù)個旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a 41c)(第1驅(qū)動部)及數(shù)個擠壓用氣缸37 (37a 37d)(第2驅(qū)動部)的驅(qū)動力而執(zhí)行工件3的固定及工件3的固定解除。S卩，搬送單元50無需用以執(zhí)行工件3的固定及工件3的固定解除的驅(qū)動部(第1 及第2驅(qū)動部)，從而無須在移動側(cè)(搬送單元50)與固定側(cè)(姿勢變更單元10及主體單元40)之間設(shè)置與該要素相關(guān)的配管及配線。因此，可提高行走時的搬送單元50的安全性及維護(hù)時的作業(yè)者的作業(yè)效率。進(jìn)而，本實施方式的基板折斷裝置1及通過該基板折斷裝置1實現(xiàn)的保持裝置不僅通過搬送單元50的固定機(jī)構(gòu)60接觸保持工件3的外緣部4a，也可通過非接觸保持單元 80非接觸保持工件3的主面(更具體而言為第1主面3a)。因此，即便在因工件3的特性而無法接觸保持工件3的外緣部如以外(例如工件的主面3a、3b)的部分的情形時，也可通過搬送單元50 (保持單元)及非接觸保持單元80良好地保持工件3。<7.變形例〉以上，對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于上述實施方式，可進(jìn)行各種變形。(1)本實施方式中，說明了可動導(dǎo)件67(67a 67c)及導(dǎo)引爪69 (69a 69c)如圖 8及圖9所示相互獨立地構(gòu)成，但并不限定于此。例如，可動導(dǎo)件67 (67a)及導(dǎo)引爪69 (69a) 也可一體地成形。(2)此外，本實施方式中，說明了搬送單元50相對于姿勢變更單元10及主體單元 40而移動，但并不限定于此。例如，也可為姿勢變更單元10及主體單元40相對于搬送單元 50而移動。如此，各單元10、40及50的移動形態(tài)為搬送單元50相對于姿勢變更單元10及主體單元40 (固定側(cè)單元)相對性地移動即可。(3)此外，本實施方式中，姿勢變更單元10的工件確認(rèn)感測器15 (參照圖4及圖 5)在升降臺21附近僅設(shè)置有1個，但工件確認(rèn)感測器15的個數(shù)并不限定于此。也可在升降臺21附近設(shè)置數(shù)個O個以上)工件確認(rèn)感測器15。
權(quán)利要求
1.一種基板折斷裝置，其特征在于，將形成有劃線的脆性材料基板沿著所述劃線折斷， 且包括(a)保持單元，其以立起姿勢保持所述脆性材料基板；以及(b)折斷單元，其沿著所述劃線折斷由所述保持單元保持的所述脆性材料基板；且所述折斷單元包括(b-Ι)第1折斷桿，其以與所述保持單元對向的方式設(shè)置，且在一方向延伸；以及(b-2)第2折斷桿，其夾持由所述保持單元保持的所述脆性材料基板而設(shè)置在所述第1 折斷桿的相反側(cè)，且在與所述第1折斷桿平行的方向延伸；在所述第1折斷桿及第2折斷桿的延伸方向與所述劃線大致平行的狀態(tài)下，所述第1 折斷桿及第2折斷桿分別接近于所述脆性材料基板的第1主面及第2主面，且所述脆性材料基板由所述第1折斷桿及第2折斷桿夾持，由此使設(shè)為立起姿勢的所述脆性材料基板沿著所述劃線折斷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板折斷裝置，其特征在于所述第1折斷桿及第2折斷桿接近于所述脆性材料基板的方向與重力方向大致垂直。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板折斷裝置，其特征在于所述第1折斷桿從形成有所述劃線的所述第2主面的相反側(cè)的所述第1主面?zhèn)妊刂鰟澗€賦予荷重。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板折斷裝置，其特征在于所述保持單元在執(zhí)行所述脆性材料基板的授受的交接位置、與通過所述折斷單元執(zhí)行脆性材料基板的折斷的折斷位置之間，搬送立起姿勢的所述脆性材料基板。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可良好地折斷脆性材料基板的基板折斷裝置。折斷單元(85)沿著劃線(8)折斷由搬送單元保持的立起姿勢的脆性材料基板(7)。第1折斷桿(86)沿著安裝臺(81)的插入孔(81b)而在一方向(插入孔(81b)的長度方向延伸方向)延伸。數(shù)個第2折斷桿(87)夾持由搬送單元(50)保持的工件(3)而設(shè)置在第1折斷桿(86)的相反側(cè)。各第2折斷桿(87)在與第1折斷桿(86)平行的方向延伸。如此，第1折斷桿(86)及第2折斷桿(87)配置在以立起姿勢保持的脆性材料基板(7)的兩側(cè)。由此，無須針對第1折斷桿(86)及第2折斷桿(87)的各個而采取用以減輕重力影響的措施即可良好地折斷脆性材料基板(7)。
文檔編號B28D1/22GK102431097SQ20111021929
公開日2012年5月2日 申請日期2011年7月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月31日
發(fā)明者岡島康智, 池田健一郎 申請人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司