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適用于半導(dǎo)體工藝的熱裁切裝置的制作方法

文檔序號(hào):1848042閱讀:244來源:國(guó)知局
專利名稱:適用于半導(dǎo)體工藝的熱裁切裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明關(guān)于一種裁切裝置,尤指一種適用于半導(dǎo)體工藝的熱裁切裝置,其可于裁切半導(dǎo)體撓性基材時(shí),先行預(yù)熱撓性基材,以便于裁切時(shí)減少撓性基材的破碎毛邊,有利于撓性基材的后續(xù)加工。
背景技術(shù)
半導(dǎo)體技術(shù)不斷發(fā)展,其半導(dǎo)體產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于人們使用的各種電子產(chǎn)品之中。隨著人們對(duì)于電子產(chǎn)品輕薄短小且功能強(qiáng)大的需求,各種半導(dǎo)體加工技術(shù)仍需要克服現(xiàn)有瓶頸與障礙以便制造出相對(duì)應(yīng)電子產(chǎn)品的零件。電路板是常見的半導(dǎo)體產(chǎn)品之一,用于負(fù)載電路、電阻、電容等各種半導(dǎo)體零元 件。電路板本身通常是多層結(jié)構(gòu),是將多層材料與電子屬性不同的基材作適當(dāng)?shù)霞庸ざ?。在電路板的加工過程中,會(huì)應(yīng)用以玻璃纖維制造且具有撓性的薄膜基材作為其中一層結(jié)構(gòu)。在加工前述玻璃纖維薄膜基材時(shí),會(huì)先以刀具裁切薄膜基材以達(dá)一適當(dāng)尺寸,然而,玻璃纖維布是易碎產(chǎn)品,在裁切時(shí),會(huì)產(chǎn)生大量粉塵,造成操作人員的身體損害,以及電路板制造壓合時(shí),因?yàn)榉蹓m的附著,造成電路板成形后,表面會(huì)有不平整的瑕疵,另外,裁切邊緣會(huì)產(chǎn)生破碎毛邊,影響薄膜基材邊緣的平整度,不利于薄膜基材的后續(xù)加工。為了克服上述破碎毛邊問題,有人以高功率激光刀進(jìn)行切割作業(yè),此作法雖可大幅避免破碎毛邊、粉塵問題,但是激光刀設(shè)備成本高昂且須大量耗費(fèi)額外電力,因而大幅提高加工成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明人有鑒于目前對(duì)玻璃纖維薄膜基材的加工作業(yè)缺乏低廉的去破碎毛邊、粉塵方法的缺點(diǎn),改良其不足與缺陷,進(jìn)而提供一種適用于半導(dǎo)體工藝的熱裁切裝置。本發(fā)明主要目的是提供一種適用于半導(dǎo)體工藝的熱裁切裝置,其可于裁切半導(dǎo)體撓性基材時(shí),先行預(yù)熱撓性基材,以便于裁切時(shí)減少撓性基材的破碎毛邊及粉塵,有利于撓性基材的后續(xù)加工。為達(dá)上述目的,前述適用于半導(dǎo)體工藝的熱裁切裝置包含有一基臺(tái);一滾筒元件,其設(shè)置在基臺(tái)上且包含有多個(gè)滾筒以能將一撓性基材卷入基臺(tái)內(nèi);一裁切刀具,其設(shè)置在基臺(tái)上,且可裁切該撓性基材;以及一預(yù)熱裝置,其設(shè)置于基臺(tái)上并且鄰近該裁切刀具,且于該裁切刀具進(jìn)行切割之前先對(duì)撓性基材進(jìn)行預(yù)熱,使得裁切刀具可裁切已加熱的撓性基材。通過上述技術(shù)手段,以玻璃纖維制造的撓性基材在受到裁切刀具裁切時(shí),其裁切處先行受到加熱而軟化,因此裁切刀具進(jìn)行裁切時(shí),能夠順利裁切加熱過的撓性基材,并且撓性基材被裁切過的邊緣不易產(chǎn)生破碎毛邊,裁切處平整而有利于撓性基材的后續(xù)加工作業(yè)。此預(yù)熱裝置為一熱風(fēng)機(jī)而噴發(fā)熱風(fēng),以便準(zhǔn)確針對(duì)撓性基材的裁切處進(jìn)行預(yù)熱,熱風(fēng)機(jī)成本低廉,維修便利。前述預(yù)熱裝置具有至少一熱風(fēng)機(jī)。前述預(yù)熱裝置具有一橫向軌道、一滑塊以及一熱風(fēng)機(jī),該橫向軌道設(shè)置在基臺(tái)上,該滑塊是以可滑動(dòng)方式設(shè)置在該橫向軌道上,該熱風(fēng)機(jī)樞設(shè)在該滑塊上以靠近或遠(yuǎn)離該撓性基材。前述基臺(tái)、滾筒元件、裁切刀具以及預(yù)熱裝置分別為第一基臺(tái)、第一滾筒元件、第一裁切刀具以及第一預(yù)熱裝置,該熱風(fēng)機(jī)為第一熱風(fēng)機(jī);該熱裁切裝置進(jìn)一步包含有一第二基臺(tái),其連接第一基臺(tái)且位于第一基臺(tái)后方;一第二滾筒元件,其設(shè)置在第二基臺(tái)上且包含有多個(gè)滾筒以能將該撓性基材卷入第二基臺(tái)內(nèi); 一第二裁切刀具,其設(shè)置在第二基臺(tái)上,且可裁切該撓性基材;以及一第二預(yù)熱裝置,其設(shè)置于第二基臺(tái)上并且鄰近該第二裁切刀具,且于該第二裁切刀具進(jìn)行切割之前先對(duì)撓性基材進(jìn)行預(yù)熱,使得第二裁切刀具可裁切已加熱的撓性基材;其中第一裁切刀具與第二裁切刀具可沿不同方向進(jìn)行裁切作業(yè)。前述第一裁切刀具沿一縱向方向進(jìn)行切割,前述第二裁切刀具沿一橫向方向進(jìn)行切割。前述第二預(yù)熱裝置具有兩個(gè)第二熱風(fēng)機(jī),該兩個(gè)第二熱風(fēng)機(jī)分別設(shè)置在第二基臺(tái)上且分別鄰近第二裁切刀具的兩側(cè),第二裁切刀具裁切時(shí),位于該第二裁切刀具行進(jìn)方向的前方處的其中一第二熱風(fēng)機(jī)先行對(duì)進(jìn)行預(yù)熱作業(yè)。前述第二裁切刀具與第二熱風(fēng)機(jī)以可滑動(dòng)方式安裝在一滑動(dòng)軌道上,該滑動(dòng)軌道設(shè)置在第二基臺(tái)上。


圖I是本發(fā)明側(cè)面示意圖。圖2是本發(fā)明側(cè)面操作示意圖。圖3是本發(fā)明側(cè)面簡(jiǎn)化示意圖。圖4是本發(fā)明后視示意圖。圖5是本發(fā)明立體外觀圖。圖6是本發(fā)明另一立體外觀圖。圖7是本發(fā)明放大示意圖。
具體實(shí)施例方式以下配合圖式及本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例,進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段。請(qǐng)參照?qǐng)DI到圖4,本發(fā)明適用于半導(dǎo)體工藝的熱裁切裝置包含有一第一基臺(tái)10、一第一滾筒兀件20、一第一裁切刀具30、一第一預(yù)熱裝置40、一第二基臺(tái)80、一第二滾筒元件50、一第二裁切刀具60以及一第二預(yù)熱裝置70。請(qǐng)進(jìn)一步參照?qǐng)D5到圖7,該第一滾筒元件20設(shè)置在第一基臺(tái)10上且包含有多個(gè)滾筒21、22以能將一玻璃纖維布制造的撓性基材100卷入第一基臺(tái)10內(nèi)。該第一裁切刀具30設(shè)置在第一基臺(tái)10上,且可裁切該撓性基材100。此外,該第一裁切刀具30可設(shè)置在一移動(dòng)軌道35上,該移動(dòng)軌道35固定在第一基臺(tái)10上。該第一預(yù)熱裝置40設(shè)置于第一基臺(tái)10上并且鄰近該第一裁切刀具30,且于該第一裁切刀具30進(jìn)行切割之前先對(duì)撓性基材100進(jìn)行預(yù)熱,使得第一裁切刀具30可裁切已加熱的撓性基材100。此外,該第一預(yù)熱裝置40具有至少一第一熱風(fēng)機(jī)41。在優(yōu)選實(shí)施例之中,該第一預(yù)熱裝置40具有一橫向軌道45、一滑塊42以及一第一熱風(fēng)機(jī)41,該橫向軌道45設(shè)置在第一基臺(tái)10上,該滑塊42是以可滑動(dòng)方式設(shè)置在該橫向軌道45上,該第一熱風(fēng)機(jī)41樞設(shè)在該滑塊42上以靠近或遠(yuǎn)離該撓性基材100。此外,熱風(fēng)機(jī)可包含電熱絲、風(fēng)壓機(jī)等結(jié)構(gòu)。該第二基臺(tái)80連接第一基臺(tái)10且位于第一基臺(tái)10后方。該第二滾筒元件50設(shè)置在第二基臺(tái)80上且包含有多個(gè)滾筒51以能將該撓性基材100卷入第二基臺(tái)80內(nèi)。該第二裁切刀具60設(shè)置在第二基臺(tái)80上,且可裁切該撓性基材100。該第二預(yù)熱裝置70設(shè)置于第二基臺(tái)80上并且鄰近該第二裁切刀具60,且于該第二裁切刀具60進(jìn)行切割之前先對(duì)撓性基材100進(jìn)行預(yù)熱,使得第二裁切刀具60可裁切已加熱的撓性基材100。其中第一裁切刀具30可裁切出特定寬度,且第二裁切刀具60可裁切特定長(zhǎng)度,換言之,兩者可沿不同方向進(jìn)行裁切作業(yè)。在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中,第一裁切刀具30沿一縱向方向進(jìn)行切割,前述第二裁切刀具60沿一橫向方向進(jìn)行切割,例如分別沿著第一與第二基臺(tái)10、80的X軸與Y軸方向。該第二預(yù)熱裝置70具有兩個(gè)第二熱風(fēng)機(jī)71、72,兩個(gè)第二熱風(fēng)機(jī)71、72分別設(shè)置在第二基臺(tái)80上且分別鄰近第二裁切刀具60的兩側(cè),第二裁切刀具60裁切時(shí) ,位于該第二裁切刀具60行進(jìn)方向的前方處的其中一第二熱風(fēng)機(jī)71、72先行對(duì)進(jìn)行預(yù)熱作業(yè)。第二熱風(fēng)機(jī)71、72可以在第二裁切刀具60左右來回裁切時(shí)可以直接預(yù)熱,無需每次裁切時(shí)先需復(fù)位,如往東方向運(yùn)動(dòng)裁切時(shí),第二熱風(fēng)機(jī)71先行吹熱風(fēng)預(yù)熱,往西方向運(yùn)動(dòng)裁切時(shí)第二熱風(fēng)機(jī)72先行吹熱風(fēng)預(yù)熱,以利達(dá)到裁切的最短時(shí)間。此外,該第二裁切刀具60與第二熱風(fēng)機(jī)71、72以可滑動(dòng)方式安裝在一滑動(dòng)軌道65上,該滑動(dòng)軌道65是設(shè)置在第二基臺(tái)80上。通過上述技術(shù)手段,以玻璃纖維制造的撓性基材100在受到第一 /第二裁切刀具30,60裁切時(shí),其裁切處先行受到第一 /第二熱風(fēng)機(jī)41、71、72加熱而軟化,因此第一 /第二裁切刀具30、60進(jìn)行裁切時(shí),能夠順利裁切加熱過的撓性基材100,并且撓性基材100被裁切過的邊緣不易產(chǎn)生破碎毛邊與粉塵,裁切處平整而有利于撓性基材100的后續(xù)加工作業(yè)。此預(yù)熱裝置為一熱風(fēng)機(jī)而噴發(fā)熱風(fēng),以便準(zhǔn)確針對(duì)撓性基材100的裁切處進(jìn)行預(yù)熱,再者熱風(fēng)機(jī)成本低廉,維修便利。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已,并非對(duì)本發(fā)明做任何形式上的限制,雖然本發(fā)明已通過優(yōu)選實(shí)施例揭露如上,然而并非用以限定本發(fā)明,任何本領(lǐng)域技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi),當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例,但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容,依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾,均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種適用于半導(dǎo)體工藝的熱裁切裝置,其特征在于,該熱裁切裝置包含有 一基臺(tái); 一滾筒元件,其設(shè)置在基臺(tái)上且包含有多個(gè)滾筒以能將一撓性基材卷入基臺(tái)內(nèi); 一裁切刀具,其設(shè)置在基臺(tái)上,且能夠裁切該撓性基材;以及 一預(yù)熱裝置,其設(shè)置于基臺(tái)上并且鄰近該裁切刀具,且在該裁切刀具進(jìn)行切割之前先對(duì)撓性基材進(jìn)行預(yù)熱,使得裁切刀具能夠裁切已加熱的撓性基材。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的適用于半導(dǎo)體工藝的熱裁切裝置,其中所述預(yù)熱裝置具有至少一熱風(fēng)機(jī)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的適用于半導(dǎo)體工藝的熱裁切裝置,其中所述預(yù)熱裝置具有一橫向軌道、一滑塊以及一熱風(fēng)機(jī),該橫向軌道設(shè)置在基臺(tái)上,該滑塊以能夠滑動(dòng)的方式設(shè)置在該橫向軌道上,該熱風(fēng)機(jī)樞設(shè)在該滑塊上以靠近或遠(yuǎn)離該撓性基材。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的適用于半導(dǎo)體工藝的熱裁切裝置,其中所述基臺(tái)、滾筒元件、裁切刀具以及預(yù)熱裝置分別為第一基臺(tái)、第一滾筒元件、第一裁切刀具以及第一預(yù)熱裝置,該熱風(fēng)機(jī)為第一熱風(fēng)機(jī);該熱裁切裝置進(jìn)一步包含有 一第二基臺(tái),其連接第一基臺(tái)且位于第一基臺(tái)后方; 一第二滾筒元件,其設(shè)置在第二基臺(tái)上且包含有多個(gè)滾筒以能將該撓性基材卷入第二基臺(tái)內(nèi); 一第二裁切刀具,其設(shè)置在第二基臺(tái)上,且能夠裁切該撓性基材;以及 一第二預(yù)熱裝置,其設(shè)置于第二基臺(tái)上并且鄰近該第二裁切刀具,且于該第二裁切刀具進(jìn)行切割之前先對(duì)撓性基材進(jìn)行預(yù)熱,使得第二裁切刀具能夠裁切已加熱的撓性基材; 其中第一裁切刀具與第二裁切刀具能夠沿不同方向進(jìn)行裁切作業(yè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的適用于半導(dǎo)體工藝的熱裁切裝置,其中所述第一裁切刀具沿一縱向方向進(jìn)行切割,前述第二裁切刀具沿一橫向方向進(jìn)行切割。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的適用于半導(dǎo)體工藝的熱裁切裝置,其中所述第二預(yù)熱裝置具有兩個(gè)第二熱風(fēng)機(jī),該兩個(gè)第二熱風(fēng)機(jī)分別設(shè)置在第二基臺(tái)上且分別鄰近第二裁切刀具的兩側(cè),第二裁切刀具裁切時(shí),位于該第二裁切刀具行進(jìn)方向的前方處的其中一個(gè)第二熱風(fēng)機(jī)先行對(duì)進(jìn)行預(yù)熱作業(yè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的適用于半導(dǎo)體工藝的熱裁切裝置,其中所述第二裁切刀具與第二熱風(fēng)機(jī)以能夠滑動(dòng)的方式安裝在一滑動(dòng)軌道上,該滑動(dòng)軌道設(shè)置在第二基臺(tái)上。
全文摘要
本發(fā)明是關(guān)于一種適用于半導(dǎo)體工藝的熱裁切裝置,其包含有一基臺(tái);一滾筒元件,其設(shè)置在基臺(tái)上且包含有多個(gè)滾筒以能將一撓性基材卷入基臺(tái)內(nèi);一裁切刀具,其設(shè)置在基臺(tái)上,且可裁切該撓性基材;以及一預(yù)熱裝置,其設(shè)置于基臺(tái)上并且鄰近該裁切刀具,且在該裁切刀具進(jìn)行切割之前先對(duì)撓性基材進(jìn)行預(yù)熱,使得裁切刀具可裁切已加熱的撓性基材。透過預(yù)熱裝置可避免撓性基材的裁切處產(chǎn)生破碎毛邊。
文檔編號(hào)B28D5/00GK102709152SQ20111007480
公開日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2011年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月28日
發(fā)明者高銘宗 申請(qǐng)人:藍(lán)德工業(yè)股份有限公司
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