專利名稱：玻璃板的制造方法及制造設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使熔融玻璃從成形體流下而沿鉛垂方向延伸成形為玻璃帶的玻璃板的制造方法及其制造設(shè)備。
背景技術(shù)：
作為各種電子設(shè)備、尤其是液晶顯示器等平板顯示器用板玻璃的制造方法，已知 有通過使熔融玻璃從成形體流下而沿鉛垂方向延伸成形為玻璃帶來形成玻璃板的下拉法。下拉法具有溢流下拉法和狹縫下拉法這兩種方法，尤其是溢流下拉法作為能夠得 到表面的起伏和粗糙度非常小且表面品質(zhì)優(yōu)良的玻璃板的方法廣為周知。所謂溢流下拉法是通過使向具有楔狀的截面形狀的成形體的頂部連續(xù)供給的熔 融玻璃從成形體的頂部沿兩側(cè)面流下并在成形體的下端部熔合來形成板狀的玻璃帶，通過 多個張緊輥夾持該玻璃帶的兩緣部并使其在沿鉛垂方向延伸的傳送路徑上流下而延伸成 形為玻璃帶的方法。由此，玻璃帶逐漸固化，成為具有規(guī)定的寬度和厚度的玻璃板。而且， 嚴格管理傳送路徑內(nèi)的氣氛溫度，由此，在充分減少玻璃板的內(nèi)部應(yīng)變(熱應(yīng)變)后，冷卻 到室溫附近。尤其是液晶顯示器用玻璃板的情況下，即使玻璃板的內(nèi)部殘存微小的內(nèi)部應(yīng)變， 也由于雙折射而無法得到均質(zhì)的圖像，因此一直以來提出有以規(guī)定的溫度斜度盡量均勻地 冷卻玻璃帶的方法。例如，在日本特開平5-124826號公報中公開有，由于輥軸的冷卻的影響而玻璃板 產(chǎn)生內(nèi)部應(yīng)變，為了防止變形而對輥進行單臂支承的情況，或者為了防止在玻璃帶的傳送 路徑內(nèi)產(chǎn)生的熱對流所引起的內(nèi)部應(yīng)變而對傳送路徑內(nèi)進行水平分隔的對流防止板。另外，在日本特開平10-53427號公報中公開有一種通過將成形爐或退火爐的內(nèi) 部水平分隔多個而形成多個室，使各個室具有室溫調(diào)節(jié)功能而進行充分的退火，而制造內(nèi) 部應(yīng)變少的玻璃板的方法。另外，在日本特開2001-31435號公報中公開有一種在玻璃帶的寬度方向上也形 成退火爐的溫度分布而抑制微小的內(nèi)部應(yīng)變或變形的技術(shù)。專利文獻1 日本特開平5-124826號公報專利文獻2 日本特開平10-53426號公報專利文獻3 日本特開2001-31435號公報近年來，液晶顯示器不斷追求高精細、高畫質(zhì)，而要求所使用的玻璃板中的內(nèi)部應(yīng) 變的最大值為l.OMPa以下。而且，液晶顯示器用玻璃板的大板化快速發(fā)展，例如成形最終 成為玻璃產(chǎn)品的部位的寬度尺寸(有效寬度)為2000mm以上的玻璃帶。然而伴隨著生產(chǎn) 的玻璃板的尺寸變大而玻璃板的內(nèi)部應(yīng)變也有變大的傾向，從而難以將內(nèi)部應(yīng)變形成為 1. OMPa 以下。沿玻璃帶的表面上升的空氣的流動(以下，稱為低溫空氣流)成為玻璃板的內(nèi)部 應(yīng)變的一個原因。即，在玻璃帶的傳送路徑內(nèi)，低溫空氣流總是沿玻璃帶的表面上升，由此，退火爐內(nèi)的氣氛溫度容易變動。在日本特開平5-139766號公報中，雖然公開有在退火爐內(nèi) 形成對流防止板的情況，但是由于低溫空氣流在玻璃帶的表面附近上升，因此對流防止板 無法進行充分隔斷。而且若想要利用對流防止板完全防止低溫空氣流，則需要將玻璃帶與 對流防止板之間的間隔形成為非常小，從而存在玻璃帶與對流防止板接觸而在其表面形成 損傷的擔心。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述情況，以提供一種避免伴隨玻璃板的大板化而內(nèi)部應(yīng)變變大的問 題并得到生產(chǎn)性優(yōu)良、高品質(zhì)的玻璃板的方法為技術(shù)性課題。本發(fā)明者等為了解決上述課題而進行各種討論的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)了通過玻璃帶的傳送 路徑而從冷卻室或切割室上升到退火爐內(nèi)的低溫空氣流在退火爐內(nèi)被加熱后，通過成形爐 或退火爐的爐壁的間隙而向外部氣氛漏出的情況，而且發(fā)現(xiàn)了通過抑制成形爐或退火爐的 內(nèi)部空氣的漏出而能夠抑制玻璃帶的傳送路徑內(nèi)的低溫空氣流的上升的情況，從而提出了 本發(fā)明。S卩，為了解決上述課題而提出的本發(fā)明的第一方面是一種玻璃板的制造方法，包 括向設(shè)置在成形爐內(nèi)的成形體供給熔融玻璃，并且使熔融玻璃從該成形體在沿鉛垂方向 延伸的傳送路徑中流下，而延伸成形為板狀的玻璃帶的成形工序；在退火爐內(nèi)除去該玻璃 帶的內(nèi)部應(yīng)變的退火工序；將該玻璃帶冷卻到室溫附近的冷卻工序；將該玻璃帶切割成規(guī) 定尺寸的切割工序，所述玻璃板的制造方法的特征在于，增加所述成形爐及/或退火爐的 外部氣氛的氣壓。為了解決上述課題而提出的本發(fā)明的第二方面是一種玻璃板的制造方法，包括 向設(shè)置在成形爐內(nèi)的成形體供給熔融玻璃，并且使熔融玻璃從該成形體在沿鉛垂方向延伸 的傳送路徑中流下，而延伸成形為板狀的玻璃帶的成形工序；在退火爐內(nèi)除去該玻璃帶的 內(nèi)部應(yīng)變的退火工序；將該玻璃帶冷卻到室溫附近的冷卻工序；將該玻璃帶切割成規(guī)定尺 寸的切割工序，所述玻璃板的制造方法的特征在于，將所述成形爐內(nèi)的氣氛的氣壓調(diào)整為 比冷卻工序的氣氛的氣壓高。為了解決上述課題而提出的本發(fā)明的第三方面以第一方面或第二方面所述的玻 璃板的制造方法為基礎(chǔ)，其特征在于，從外部導入空氣，增加成形爐及/或退火爐的外部氣 氛的氣壓。為了解決上述課題而提出的本發(fā)明的第四方面以第一方面至第三方面中任一項 所述的玻璃板的制造方法為基礎(chǔ)，其特征在于，成形工序是利用溢流下拉法或狹縫下拉法 成形玻璃帶的工序。為了解決上述課題而提出的本發(fā)明的第五方面以第一方面至第四方面中任一項 所述的玻璃板的制造方法為基礎(chǔ)，其特征在于，玻璃板的短邊的長度為2000mm以上。為了解決上述課題而提出的本發(fā)明的第六方面以第一方面至第五方面中任一項 所述的玻璃板的制造方法為基礎(chǔ)，其特征在于，玻璃板的內(nèi)部應(yīng)變的最大值為l.OMPa以 下。為了解決上述課題而提出的本發(fā)明的第七方面以第一方面至第六方面中任一 項所述的玻璃板的制造方法為基礎(chǔ)，其特征在于，玻璃板含有以質(zhì)量百分率計SiO2 40 <formula>formula see original document page 5</formula>為了解決上述課題而提出的本發(fā)明的第八方面是一種玻璃板的制造設(shè)備，具備 成形爐，用于向成形體供給熔融玻璃，并且使熔融玻璃從該成形體在沿鉛垂方向延伸的傳 送路徑中流下，而延伸成形為板狀的玻璃帶；退火爐，用于除去該玻璃帶的內(nèi)部應(yīng)變；冷卻 室，用于將該玻璃帶冷卻到室溫附近；切割室，用于將該玻璃帶切割成規(guī)定尺寸，所述玻璃 板的制造設(shè)備的特征在于，設(shè)有用于升高所述成形爐及/或退火爐的外部氣氛的氣壓的加 壓機構(gòu)。為了解決上述課題而提出的本發(fā)明的第九方面以第八方面所述的玻璃板的制造 設(shè)備為基礎(chǔ)，其特征在于，加壓機構(gòu)是鼓風機。根據(jù)本發(fā)明的第一方面，一種玻璃板的制造方法，包括向設(shè)置在成形爐內(nèi)的成形 體供給熔融玻璃，并且使熔融玻璃從該成形體在沿鉛垂方向延伸的傳送路徑中流下，而延 伸成形為板狀的玻璃帶的成形工序；在退火爐內(nèi)除去該玻璃帶的內(nèi)部應(yīng)變的退火工序；將 該玻璃帶冷卻到室溫附近的冷卻工序；將該玻璃帶切割成規(guī)定尺寸的切割工序，其中，增加 所述成形爐及/或退火爐的外部氣氛的氣壓，因此，成形爐或退火爐的內(nèi)部空氣難以通過 爐壁的間隙而向爐外的外部氣氛漏出，由此，能夠抑制玻璃帶的傳送路徑內(nèi)的低溫空氣流 的上升。其結(jié)果，能夠?qū)⑼嘶馉t內(nèi)的氣氛溫度的變動抑制為最小限度，即使玻璃板的尺寸變 大，也能夠充分減少其內(nèi)部應(yīng)變。在此，所謂增加成形爐及/或退火爐的外部氣氛的氣壓是表示通過加壓機構(gòu)來提 高包圍成形爐和退火爐中任一者或這兩者的外部空間(室)的氣壓。即，表示與未使用加 壓機構(gòu)時的氣壓相比將壓力調(diào)整為高氣壓的情況。加壓的程度以減少成形爐或退火爐的內(nèi) 部空氣向爐外的漏出量的方式適當設(shè)定即可。另外，包圍成形爐和退火爐的外部空間可以由一個室構(gòu)成，也可以劃分為兩個室， 但是需要能夠維持氣密狀態(tài)。劃分為兩個室時，例如成形爐由成形室包圍，退火爐由退火室 包圍時，獨立調(diào)整成形室和退火室的氣壓。根據(jù)本發(fā)明的第二方面，一種玻璃板的制造方法，包括向設(shè)置在成形爐內(nèi)的成形 體供給熔融玻璃，并且使熔融玻璃從該成形體在沿鉛垂方向延伸的傳送路徑中流下，而延 伸成形為板狀的玻璃帶的成形工序；在退火爐內(nèi)除去該玻璃帶的內(nèi)部應(yīng)變的退火工序；將 該玻璃帶冷卻到室溫附近的冷卻工序；將該玻璃帶切割成規(guī)定尺寸的切割工序，其中，將所 述成形爐內(nèi)的氣氛的氣壓調(diào)整為比冷卻工序的氣氛的氣壓高，因此，能夠抑制玻璃帶的傳 送路徑內(nèi)的低溫空氣流的上升。其結(jié)果，能夠?qū)⑼嘶馉t內(nèi)的氣氛溫度的變動抑制為最小限 度，即使玻璃板的尺寸變大，也能夠充分減少其內(nèi)部應(yīng)變。作為將成形爐內(nèi)的氣氛的氣壓調(diào) 整為比其后的冷卻工序的氣氛的氣壓高的機構(gòu)，能夠使用增加成形爐的外部氣氛的氣壓、 或抑制空氣從成形爐內(nèi)向外部氣氛漏出、或?qū)⒗鋮s工序的氣氛向外部排出而減少從退火爐 上升到傳送路徑內(nèi)的空氣的量的方法等。而且成形爐內(nèi)的氣氛的氣壓與冷卻工序的氣氛的 氣壓的差根據(jù)設(shè)備的尺寸或溫度條件適當選擇即可，通過設(shè)置例如0. 001氣壓以上(優(yōu)選， 0.01氣壓以上)的差而能得到規(guī)定的效果。
根據(jù)本發(fā)明的第三方面，從外部導入空氣，增加成形爐及/或退火爐的外部氣氛 的氣壓，因此，通過使用鼓風機等，能夠容易增加外部氣氛的氣壓。即，通過在包圍成形爐或退火爐的室的外部設(shè)置鼓風機并利用該鼓風機從室外導入空氣，能夠容易升高成形爐或退 火爐的外部氣氛的氣壓。根據(jù)本發(fā)明的第四方面，成形工序是利用溢流下拉法或狹縫下拉法成形玻璃帶的 工序，因此，能夠效率良好地成形薄板玻璃。尤其是要得到表面品質(zhì)優(yōu)良的板玻璃時，與狹 縫下拉法相比，優(yōu)選采用溢流下拉法。此外，所謂狹縫下拉法是向具有長孔狀(插槽狀)的 開口部的成形體供給熔融玻璃后，從成形體的開口部拉出熔融玻璃而形成板狀的玻璃帶， 并使該玻璃帶沿鉛垂方向延伸成形而制造玻璃板的方法。另外，在本發(fā)明中，在將玻璃帶切割成規(guī)定長度時，可以將從冷卻工序沿鉛垂方向 流下的玻璃帶沿其寬度方向(與玻璃帶的流下方向正交的方向)切割，也可以使玻璃帶從 鉛垂方向向水平方向彎曲，使其沿水平方向移動的同時沿寬度方向切割。根據(jù)本發(fā)明的第五方面，玻璃板的短邊的長度為2000mm以上，因此，能夠從一張 玻璃板(原板)切出多張顯示器面板用玻璃板，從而能夠提高生產(chǎn)效率。存在一種玻璃板的 尺寸越大而其內(nèi)部應(yīng)變也越大的傾向，其中一個理由考慮為，當玻璃板的尺寸變大時，其制 造設(shè)備成為大型化，低溫空氣容易流入玻璃帶的傳送路徑內(nèi)，從而退火爐內(nèi)的氣氛溫度容 易變動。因此本發(fā)明在制造特別大型的玻璃板，具體來說短邊為2000mm以上，優(yōu)選2500mm 以上，進而3000mm以上的玻璃板時有用。根據(jù)本發(fā)明的第六方面，玻璃板的內(nèi)部應(yīng)變的最大值為l.OMPa以下，因此，能夠 防止液晶顯示器的圖像由于雙折射而成為不均質(zhì)的情況。根據(jù)本發(fā)明，由于能夠?qū)⑼嘶馉t 內(nèi)的氣氛溫度的變動抑制為最小限度，因此即使玻璃板的尺寸變大，也能夠抑制內(nèi)部應(yīng)變 的產(chǎn)生。具體來說，能夠?qū)?nèi)部應(yīng)變的最大值形成為1. OMPa以下，0. SMPa以下，進而0. 7MPa 以下。根據(jù)本發(fā)明的第七方面，玻璃板含有以質(zhì)量百分率計SiO2 40 70%、Al2O3 2 25%,B2O3 0 20%、Mg0 0 10%、Ca0 0 15%、Sr0 0 10%、Ba0 0 15%、Zn0 0 10%, ZrO2 0 10%、澄清劑0 2%的組成，因此，能夠得到滿足耐藥劑性(良好的耐酸 性、耐堿性、耐緩沖氟酸性(耐〃 ^ τ - F 7 ,酸性))、耐熱性(應(yīng)變點630°C以上)、熔 融性(與IO2 5泊的粘度相當?shù)臏囟?600°C以下)、成形性(液相溫度1150°C以下)、熱膨 脹系數(shù)(30 380°C的溫度下25 45X10_7°C)等特性且容易抑制成形后的內(nèi)部應(yīng)變的 液晶顯示器用玻璃板。上述玻璃組成的優(yōu)選理由如下所述。SiO2是成為玻璃的網(wǎng)絡(luò)的成分，具有降低玻璃的熱膨脹系數(shù)、或減小內(nèi)部應(yīng)變、或 提高玻璃的耐酸性、或提高玻璃的應(yīng)變點而減小玻璃板的熱收縮的效果。然而SiO2的含有 量多時，存在玻璃的高溫粘度變高、熔融性惡化且白硅石的失透未溶解物(失透7”)容易 析出的傾向。由此SiO2的含有量為40 70 %，優(yōu)選50 67 %，更優(yōu)選57 64%。Al2O3是降低玻璃的熱膨脹系數(shù)或減小玻璃板的內(nèi)部應(yīng)變的成分。而且，也具有提 高玻璃的應(yīng)變點或抑制白硅石的失透未溶解物的析出的效果。然而，Al2O3的含有量變多時， 玻璃的耐緩沖氟酸性變差或液相溫度上升而難以成形。由此，Al2O3為2 25%，優(yōu)選10 20%，更優(yōu)選14 17%。B2O3作為助熔劑起作用，是降低玻璃的粘性并改善熔融性的成分。而且，是降低玻 璃的熱膨脹系數(shù)或減小玻璃板的內(nèi)部應(yīng)變的成分。然而，B2O3的含有量變多時，玻璃的應(yīng)變點降低，耐酸性容易惡化。由此，B2O3的含有量為O 20%，優(yōu)選5 15%，更優(yōu)選7.5 12%。MgO是不使玻璃的應(yīng)變點降低而僅使高溫粘性降低來改善玻璃的熔融性的成分。 然而，MgO的含有量變多時，玻璃中容易析出失透未溶解物。而且，在耐緩沖氟酸性下降且 以緩沖氟酸處理玻璃板時，容易侵蝕其表面而附著反應(yīng)生成物，從而成為白濁。由此MgO的 含有量為0 10%，優(yōu)選0 5%，更優(yōu)選0 3.5%。CaO是不使玻璃的應(yīng)變點下降而僅使高溫粘性下降來改善玻璃的熔融性的成分。 然而，CaO的含有量變多時，耐緩沖氟酸性容易惡化。由此，CaO的含有量為0 15%，優(yōu)選 0 12%，更優(yōu)選3. 5 9%。SrO是提高玻璃的耐藥劑性和耐失透性的成分。然而，SrO的含有量變多時，存在 玻璃的熱膨脹系數(shù)容易變大而玻璃板的內(nèi)部應(yīng)變變大的傾向。由此，SrO的含有量為0 10%，優(yōu)選0 8%，更優(yōu)選0.5以上 8%。BaO是與SrO同樣地提高玻璃的耐藥劑性和耐失透性的成分。然而，BaO的含有量 變多時，存在玻璃的密度或熱膨脹系數(shù)變大、或者熔融性顯著惡化的傾向。由此，BaO為0 15%，優(yōu)選0 10%，更優(yōu)選0 8%。ZnO是改善玻璃的耐緩沖氟酸性或熔融性的成分，但是其含有量變多時，玻璃的耐 失透性或應(yīng)變點容易下降。由此，ZnO的含有量為0 10%，優(yōu)選0 5%，更優(yōu)選0 1 %。&02是提高玻璃的應(yīng)變點的成分，但是其含有量變多時，玻璃的密度顯著上升，或 ZrO2引起的失透物容易析出。由此，&02的含有量為0 10%，優(yōu)選0 7%，更優(yōu)選0 5%。作為澄清劑，能夠使用As2O3> Sb203、SnO2, SO3> F、Cl等直到2%為止。其中，由 于As2O3和Sb2O3是環(huán)境負荷物質(zhì)因此盡量避免使用，這種情況下，優(yōu)選含有0. 01 2%的 SnO20另外，在本發(fā)明中，除上述成分以外，例如，以降低玻璃的液相溫度而提高成形性 為目的，能夠分別含有Y2O3、La2O3、Nb203、P205直到3%為止。其中，當含有Na20、K20、Li20等 堿金屬氧化物(R2O)時，有液晶顯示器玻璃板上形成的各種膜或TFT元件的特性變差的擔 心，因此盡量避免含有所述成分。具體來說，應(yīng)該將R2O限制為0. 以下。根據(jù)本發(fā)明的第八方面，一種玻璃板的制造設(shè)備，具備成形爐，用于向成形體供 給熔融玻璃，并且使熔融玻璃從該成形體在沿鉛垂方向延伸的傳送路徑中流下，而延伸成 形為板狀的玻璃帶；退火爐，用于除去該玻璃帶的內(nèi)部應(yīng)變；冷卻室，用于將該玻璃帶冷卻 到室溫附近；切割室，用于將該玻璃帶切割成規(guī)定尺寸，所述玻璃板的制造設(shè)備的特征在 于，設(shè)有用于升高所述成形爐及/或退火爐的外部氣氛的氣壓的加壓機構(gòu)，因此，增加成形 爐或退火爐的外部氣氛的氣壓，使成形爐或退火爐的內(nèi)部空氣難以向外部氣氛漏出，由此 能夠抑制傳送路徑內(nèi)的低溫空氣流的上升。其結(jié)果，能夠?qū)⑼嘶馉t內(nèi)的氣氛溫度的變動抑 制為最小限度，即使玻璃板的尺寸變大，也能夠充分減少其內(nèi)部應(yīng)變。根據(jù)本發(fā)明的第九方面，加壓機構(gòu)是鼓風機，因此通過在包圍成形爐或退火爐的 室的外部設(shè)置鼓風機并通過該鼓風機從室外導入空氣，能夠使成形爐或退火爐的外部氣氛 的氣壓容易上升。


圖1是示出本發(fā)明的玻璃板的制造設(shè)備的簡要主視圖。符號說明10成形體11成形爐Ila成形爐的爐壁12退火爐12a退火爐的爐壁13冷卻室14切割室15成形室16鼓風機17周壁部18傳送路徑19冷卻輥(軋邊輥)20張緊輥(退火輥)22支承輥A熔融玻璃B玻璃帶C玻璃板
具體實施例方式以下，參照附圖，詳細說明本發(fā)明的實施方式。圖1是示出本發(fā)明的玻璃板的制造設(shè)備的簡要主視圖。該制造設(shè)備是用于通過溢 流下拉法來制造液晶顯示器用的玻璃板(玻璃基板)的設(shè)備，從上方依次具備成形爐11， 其使向具有楔狀的截面形狀的成形體10供給的熔融玻璃A從頂部溢出，并且在其下端部熔 合，由此成形玻璃帶B ；退火爐12，其用于在使玻璃帶B退火，同時，除去其內(nèi)部應(yīng)變；冷卻 室13，其使退火的玻璃帶B充分冷卻；切割室14，其將冷卻后的玻璃帶B切割成規(guī)定尺寸。 而且，成形爐11和退火爐12由成形室15包圍，在成形室15的外部設(shè)有鼓風機16。所述 上下方向相鄰的冷卻室13、切割室14及成形室15由具有氣密性的周壁部17包圍，成形爐 11、退火爐12、冷卻室13及切割室14由使玻璃帶B流下的傳送路徑18進行連通。而且，在 切割室14內(nèi)另外設(shè)置有用于向圖外的后續(xù)工序(例如端面研磨工序等)傳送玻璃板C的 傳送路徑。接下來，說明上述玻璃板的制造設(shè)備所進行的玻璃板的制造工序。在該制造設(shè)備中，首先，向設(shè)置在成形爐11內(nèi)的成形體10的頂部供給熔融玻璃A，使該熔融玻璃A從成形體10的頂部溢出并在其下端部熔合而成形板狀的玻璃帶B。在成形 體10的附近設(shè)置一對冷卻輥(軋邊輥)19，玻璃帶B由該冷卻輥19夾持兩緣部，而將寬度 方向的收縮抑制為最小限度。接下來，通過使該成形后的玻璃帶B在退火爐12內(nèi)退火而除去內(nèi)部應(yīng)變。在退火爐12中沿鉛垂方向配置有多對張緊輥(退火輥)20，通過張緊輥20沿寬度方向拉伸的同時 向下方牽引，以使玻璃帶B不會由于表面張力等而在寬度方向上收縮。而且，退火爐12內(nèi) 通過加熱器(未圖示)設(shè)定為規(guī)定的溫度斜度，玻璃帶B隨著在退火爐12內(nèi)流下而溫度慢 慢降低，由此除去內(nèi)部產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)變。另外，使成形室15的外部上設(shè)置的鼓風機16工作，使空氣通過周壁部上安裝的過 濾器21而從室外導入成形室15內(nèi)。由此增加成形室15的氣壓、即成形爐11及退火爐12 的外部氣氛的氣壓，從而減少從成形爐11和退火爐12的爐壁lla、12a的間隙漏出的內(nèi)部 空氣的量。作為其結(jié)果，能夠?qū)⒊尚螤t11內(nèi)的氣氛的氣壓提高到比冷卻工序的氣氛的氣 壓、即冷卻室13內(nèi)的氣壓高0. 001氣壓以上。在退火爐12的下方的冷卻室13內(nèi)配置有多對支承輥22，將固化成規(guī)定的寬度和 厚度的玻璃帶B向下方牽引。玻璃帶B在冷卻室13內(nèi)被冷卻到大致室溫為止。在冷卻室 13內(nèi)被冷卻到室溫附近的玻璃帶在切割室14內(nèi)被切割成規(guī)定尺寸的玻璃板C后，向后續(xù)工 序傳送。使用上述的玻璃板的制造設(shè)備，成形具有以質(zhì)量％計SiO2 60%, Al2O3 15%, B2O3 10%, CaO 6%, SrO 6%, BaO 2%、澄清劑1 %的組成的液晶顯示器用玻璃板(日本電氣硝 子株式會社制0A-10)。
得到的玻璃板的尺寸為2360X2030X0. 7mm，測定該玻璃板的最大應(yīng)變?yōu)?0.8MPa。另外，作為比較例，使用與上述實施方式同樣的設(shè)備，除了不使鼓風機16工作以 夕卜，以完全相同的條件制作玻璃板，測定該玻璃板的最大應(yīng)變?yōu)?. IMPa0從以上情況可知，實施方式產(chǎn)生的玻璃板與比較例產(chǎn)生的玻璃板相比，最大應(yīng)變 變小，由此，可知本發(fā)明降低玻璃板的內(nèi)部應(yīng)變的效果大。在此，玻璃板的最大應(yīng)變是通過使用UNIOPT ( -二才卜)社制的應(yīng)變計而利用 光外差干涉法，根據(jù)玻璃板的雙折射量測定應(yīng)變應(yīng)力而求出的值。求出玻璃板的最大應(yīng)變 的理由是，即使玻璃板中僅存在一處強應(yīng)變，也不滿足液晶顯示器用玻璃板的產(chǎn)品規(guī)格。此外，本發(fā)明并不局限于上述的實施方式，只要在不脫離本發(fā)明的主要內(nèi)容的范 圍內(nèi)，就還能夠以各種方式來實施。例如，在上述實施方式中，說明了將本發(fā)明適用于由溢流下拉法進行的玻璃板的 制造中的情況，但是除此之外，也能夠?qū)⒈景l(fā)明同樣適用于由例如狹縫下拉法進行的玻璃 板的制造中。另外，在實施方式中，說明了成形爐和退火爐由一個室(成形室)包圍的情況，但 是成形爐和退火爐也可以分別由不同的室(例如成形室和退火室)包圍。這種情況下，僅 在一個室或在兩個室的外部設(shè)置鼓風機，獨立調(diào)整氣壓。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的玻璃板的制造方法及制造設(shè)備以液晶顯示器用玻璃板為首，能夠使用在 等離子顯示器、有機EL等電致發(fā)光顯示器，場致發(fā)射顯示器等各種平板顯示器中使用的玻 璃板、或作為用于形成各種電子顯示功能元件或薄膜的基材而使用的玻璃板的制造中。
權(quán)利要求
一種玻璃板的制造方法，包括向設(shè)置在成形爐內(nèi)的成形體供給熔融玻璃，并且使熔融玻璃從該成形體在沿鉛垂方向延伸的傳送路徑中流下，而延伸成形為板狀的玻璃帶的成形工序；在退火爐內(nèi)除去該玻璃帶的內(nèi)部應(yīng)變的退火工序；將該玻璃帶冷卻到室溫附近的冷卻工序；將該玻璃帶切割成規(guī)定尺寸的切割工序，所述玻璃板的制造方法的特征在于，增加所述成形爐及/或退火爐的外部氣氛的氣壓。
2.一種玻璃板的制造方法，包括向設(shè)置在成形爐內(nèi)的成形體供給熔融玻璃，并且使熔融玻璃從該成形體在沿鉛垂方向 延伸的傳送路徑中流下，而延伸成形為板狀的玻璃帶的成形工序；在退火爐內(nèi)除去該玻璃 帶的內(nèi)部應(yīng)變的退火工序；將該玻璃帶冷卻到室溫附近的冷卻工序；將該玻璃帶切割成規(guī) 定尺寸的切割工序，所述玻璃板的制造方法的特征在于，將所述成形爐內(nèi)的氣氛的氣壓調(diào)整為比冷卻工序的氣氛的氣壓高。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其特征在于， 從外部導入空氣，增加成形爐及/或退火爐的外部氣氛的氣壓。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的玻璃板的制造方法，其特征在于， 成形工序是利用溢流下拉法或狹縫下拉法成形玻璃帶的工序。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項所述的玻璃板的制造方法，其特征在于， 玻璃板的短邊的長度為2000mm以上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項所述的玻璃板的制造方法，其特征在于， 玻璃板的內(nèi)部應(yīng)變的最大值為1. OMPa以下。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中任一項所述的玻璃板的制造方法，其特征在于，玻璃板含有以質(zhì)量百分率計SiO2 40 70%、A12032 25%、B2O3 0 20%、MgO 0 10%,CaO 0 15%、SrO 0 10%、BaO 0 15%、ZnO 0 10%、ZrO2 0 10%、澄清劑 0 2%的組成。
8.一種玻璃板的制造設(shè)備，具備成形爐，用于向成形體供給熔融玻璃，并且使熔融玻璃從該成形體在沿鉛垂方向延伸 的傳送路徑中流下，而延伸成形為板狀的玻璃帶；退火爐，用于除去該玻璃帶的內(nèi)部應(yīng)變； 冷卻室，用于將該玻璃帶冷卻到室溫附近；切割室，用于將該玻璃帶切割成規(guī)定尺寸，所述 玻璃板的制造設(shè)備的特征在于，設(shè)有用于升高所述成形爐及/或退火爐的外部氣氛的氣壓的加壓機構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的玻璃板的制造設(shè)備，其特征在于， 加壓機構(gòu)是鼓風機。
全文摘要
本發(fā)明提供一種玻璃板(C)的制造方法，包括向設(shè)置在成形爐(11)內(nèi)的成形體(10)供給熔融玻璃(A)，并且使熔融玻璃(A)從成形體(10)在沿鉛垂方向延伸的傳送路徑(18)中流下，而延伸成形為板狀的玻璃帶(B)的成形工序；在退火爐(12)內(nèi)除去玻璃帶(B)的內(nèi)部應(yīng)變的退火工序；將玻璃帶(B)冷卻到室溫附近的冷卻工序；將玻璃帶切割成規(guī)定尺寸的切割工序，其中，增加成形爐(11)及/或退火爐(12)的外部氣氛的氣壓。
文檔編號C03C3/083GK101821209SQ200880110320
公開日2010年9月1日 申請日期2008年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月25日
發(fā)明者上田孝喜, 加野智典, 永田大輔, 織田英孝, 西浦德作 申請人:日本電氣硝子株式會社