專利名稱：平板玻璃基板減薄夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平板玻璃基板減薄夾具，尤其涉及一種應(yīng)用于顯示裝置 面板制造工藝中，對平板玻璃基板進行浸泡蝕刻減薄時所采用的減薄夾具。
背景技術(shù)：
隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，圖像顯示產(chǎn)品的發(fā)展也進入了一個嶄新 的階段。人們對圖像顯示的追求更加時尚化，外形超薄化正成為顯示終端產(chǎn) 品發(fā)展的主流。顯示面板作為顯示終端的核心部件，顯示面板的薄型化是顯 示終端能否實現(xiàn)薄型化的關(guān)鍵。顯示面板可以有多種，以液晶顯示裝置的顯示面板為例，通常包括對盒 設(shè)置的彩膜基板和陣列基板，在兩基板之間設(shè)置液晶層等相關(guān)結(jié)構(gòu)。彩膜基 板和陣列基板一般都是以玻璃基板作為基礎(chǔ)來制造的，所以玻璃基板的厚度 是決定顯示面板整體厚度的一個關(guān)鍵因素。目前，玻璃基板廠家所能提供的玻璃基板厚度最薄只能達到0. 5tnm,這與終端顯示產(chǎn)品要求基板厚度達到 0. 3mm甚至更薄的要求有一定差距。所以在制造顯示面板的過程中，需要采 用平板玻璃減薄工藝來減小玻璃基板的厚度，即將已成盒后的雙面基板通 過物理或化學(xué)方法，將玻璃基板去除一層而實現(xiàn)減薄。其中的物理方法可以 是機械研磨，但是因為物理方法的產(chǎn)能底、良品率低，所以化學(xué)刻蝕方式減 薄方法是目前常采用的技術(shù)手段。浸泡蝕刻作為化學(xué)蝕刻中的一種，在國內(nèi)的顯示裝置面板制造過程中尚 未見被采用。所謂浸泡刻蝕工藝，筒單而言就是將平板玻璃產(chǎn)品浸泡到藥劑 中進行蝕刻，達到減薄玻璃基板的目的。在浸泡蝕刻過程中，對蝕刻效果起 關(guān)鍵作用的是夾持平板玻璃產(chǎn)品所使用的夾具。夾具的設(shè)計對于蝕刻后的厚材料的粘接力。然而，不是任何的等離子體都適用于處理彈性體膜，因此應(yīng) 當(dāng)仔細(xì)選擇該等離子體。如上所述，優(yōu)選氬等離子體。已知等離子體在彈性 體界面上形成薄而非常硬的硅酸鹽"玻璃態(tài)'，層。當(dāng)隨后施加了導(dǎo)電層時， 所得的是具有有限柔性的波紋狀的電極和由于剛性電極產(chǎn)生裂紋的危險而 不能很大拉伸的復(fù)合物。我們選擇非反應(yīng)性的氬等離子體處理，因為氬為惰 性氣體。然而，在真空沉積室內(nèi)氧氣和其它反應(yīng)氣體的殘留且與氬等離子體 的結(jié)合可能對于小的反應(yīng)性負(fù)責(zé)。我們優(yōu)化了真空室中的氬的壓強和溫和輝 光放電的參數(shù)，以及處理的時間，使得被沉積的金屬涂層非常好地粘貼到彈 性體膜上。根據(jù)在前述段落中所述的設(shè)計原則，所得的波紋狀的電極非常柔 順且該復(fù)合物可以盡可能被拉伸而不損傷電極。粘接促進劑在等離子體處理后被施加在膜上。該粘接促進劑可包括一層 鉻或一層鈦。該粘接促進劑可在物理氣相沉積工藝中被施加到膜上。在一可選的工藝中， 一液態(tài)聚合物成分直接提供到第 一膜上或?qū)щ妼?上，從而通過成型或涂布將第二膜直接提供到第一膜上。在該情形，該復(fù)制 圖案可通過采一沖壓工具同時壓印到該還尚未固化或部分固化的聚合物中 而提供。當(dāng)聚合物被固化后，其圖案的至少一部分用第二導(dǎo)電層涂布。該工 藝能被重復(fù)以提供具有大量層數(shù)的多層復(fù)合物。


現(xiàn)將參考附圖進一步詳細(xì)描述本發(fā)明，在附圖中圖la和lb示出根據(jù)本發(fā)明的實施例示意了巻軸復(fù)合物的連續(xù)巻， 圖1 c是根據(jù)本發(fā)明的 一個實施例的復(fù)合物的 一部分的透視圖， 圖2a _ 2f是根據(jù)本發(fā)明的實施例的復(fù)合物的一部分的橫截面圖， 圖2g為圖2a/2b/2c/2d/2e/2f的方文大截面，圖3a和3b顯示了暴露于零電位差和暴露于高電位差的電活性復(fù)合物， 圖4a-4c示出了將圖3a中的電活性復(fù)合物暴露于圖3b中所示的高電 位差的效果，圖5a和5b示出了根據(jù)本發(fā)明的實施例的復(fù)合物疊層的一個例子，由此 形成了電活性多層復(fù)合物，圖5c和5d示出了暴露于零電位差和暴露于高電位差的電活性多層復(fù)合物，圖1為本發(fā)明平板玻璃基板減薄夾具具體實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本發(fā)明平板玻璃基板減薄夾具具體實施例一中的卡條結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明平板玻璃基板減薄夾具具體實施例一中卡條軸向截面的局 部結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明平板玻璃基板減薄夾具具體實施例二的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
實施例一如圖1所示為本發(fā)明平板玻璃基板減薄夾具具體實施例一的結(jié)構(gòu)示意 圖，本實施例的平板玻璃基板減薄夾具包括如下結(jié)構(gòu)相互間隔設(shè)置的兩個 框架11和12，框架11和12可以為兩塊鏤空的平板，或者可以是由數(shù)根條 棱拼合而成的框體，兩個框架11和12相互平行，且其間具有一定的間隔距 離；設(shè)置在框架11和12之間的六根卡條21 ~26,卡條21 26之間相互平 行，卡條21~26的兩端分別連接在兩個框架11和12上，其中，兩根卡條 21、 22連接在兩個框架11和12底邊的中部，兩根卡條23、 24連接在兩個 框架11和12側(cè)邊的中部，剩余兩根卡條25、 26連接在兩個框架11和12側(cè) 邊的上部；各卡條21~26的形狀相同，以其中一根卡條21為例，如圖2所 示為卡條21的結(jié)構(gòu)示意圖，在卡條21的表面上周向開設(shè)有多個凹槽3，較 佳的是設(shè)置20~ 30個凹槽，可同時加工20~ 30片玻璃基板。如圖3所示為 卡條軸向橫截面的局部結(jié)構(gòu)示意圖，凹槽3的橫截面形狀為倒梯形。六根卡 條用于將待減薄玻璃基板5的邊緣卡設(shè)在其上的凹槽內(nèi)，從而通過六根卡條 的相互配合將待減薄玻璃基板5固定在卡條之間，如圖l所示。在對本發(fā)明 技術(shù)方案的描述中，對盒設(shè)置好的顯示面板也可稱為玻璃基板，因為主要處 理的是顯示面板外側(cè)的玻璃基板。在本實施例中，框架的作用是固定卡條，其具體的結(jié)構(gòu)形狀也可以為條棱組成的三維結(jié)構(gòu)，只要兩框架之間留有容納卡條和待減薄玻璃基板的空間即可?？蚣艿慕Y(jié)構(gòu)采用鏤空面板的優(yōu)勢在于當(dāng)待減薄玻璃基板隨同夾具浸 泡到藥液中時，鏤空的框架幾乎不會對藥液的流動構(gòu)成影響，因此避免了因 藥液流動不均而導(dǎo)致玻璃基板浸泡刻蝕不均勻現(xiàn)象的發(fā)生?？蚣艿臄?shù)量并不 限于兩個，可以設(shè)置多個相互平行的框架，在其間分別設(shè)置卡條，該技術(shù)方 案能夠增加整個夾具的承重能力。本實施例中的卡條具體可以為圓柱體、長方體、棱柱體或其他形狀，卡 條的形狀并不影響其對待減薄玻璃基板的承載。采用長條形狀的卡條來固定 玻璃基板，其作用也是能夠最大限度的減小對藥液流動的影響。卡條對玻璃 基板的承載作用通過六根卡條相互配合來實現(xiàn)的，框架底邊中部連接的兩根 卡條用于承載玻璃基板的重力，框架側(cè)邊連接的四根卡條用于固定玻璃基板 的位置，在框架頂邊不設(shè)置卡條，是為了便于玻璃基板從上部放入框架之間。 本實施例為一種較佳的實施方式，但卡條的數(shù)量和位置并不限于此，只要能 夠?qū)崿F(xiàn)將玻璃基板固定在數(shù)根卡條所圍成的范圍內(nèi)即可。本實施例中，設(shè)置在卡條表面的凹槽是本發(fā)明的關(guān)鍵。在采用藥液浸泡 玻璃基板的過程中，要保證玻璃基板的表面能夠充分接觸到足夠的藥液，否 則刻蝕作用不均勻會導(dǎo)致玻璃基板表面存在凸起。這種凸起現(xiàn)象在夾具夾持 玻璃基板的部位尤其容易出現(xiàn)。本實施例中凹槽的設(shè)計是一種較佳的技術(shù)方 案，通過設(shè)置倒梯形橫截面的凹槽，既實現(xiàn)了將玻璃基板嵌設(shè)固定在凹槽中， 也實現(xiàn)玻璃基板嵌設(shè)部位的表面不與凹槽相接觸，從而避免了刻蝕后出現(xiàn)凸 起?，F(xiàn)有的液晶顯示器(Liquid Crystal Display,以下簡稱LCD)、等離 子顯示屏(Plasma Display Panel ，簡稱PDP )、有機發(fā)光二極管顯示器(Organic Light Emitting Diode,筒稱OLED)等產(chǎn)品，其玻璃基板的常見厚度一般為 1.4毫米或以下，本實施例中的凹槽，較佳的是設(shè)置倒梯形截面的底邊長度 LI為2毫米以適應(yīng)待減薄玻璃基板的厚度，設(shè)置倒梯形頂邊長度L2為3 ~ 5 毫米以及設(shè)置倒梯形高度L3為3~5毫米，從而實現(xiàn)玻璃基板在該處與藥液的充分接觸，避免出現(xiàn)凸起，該技術(shù)方案能夠普遍適應(yīng)厚度為L4毫米及以 下的玻璃基板的刻蝕夾持。當(dāng)然，凹槽的橫截面形狀、開設(shè)位置和數(shù)量并不 限于上述技術(shù)方案，還可以有多種具體設(shè)置方式。凹槽的橫截面形狀并不限于倒梯形，還可以為半圓形或其他形狀，只要 其橫截面的寬度在卡條表面至卡條軸心方向上遞減即可，且凹槽在卡條表面 的開口寬度應(yīng)適應(yīng)于待減薄玻璃基板的厚度，要大于待減薄玻璃基板的厚度。凹槽的開設(shè)數(shù)量決定了 一個玻璃基板減薄工具在 一 次加工時所能夾持的 玻璃基板的數(shù)量，本實施例中在每根卡條上分別開設(shè)了多個凹槽，則能夠同 時夾持多塊玻璃基板，大大提高了產(chǎn)品的加工效率。夾持玻璃基板的數(shù)量取 決于夾持時玻璃基板之間的間隔距離，間隔距離小，則可夾持的數(shù)量就能增 加，但是，藥液浸泡方式?jīng)Q定了玻璃基板之間不能相隔太近，否則玻璃基板 表面將不會充分的與足夠的藥液接觸，也就無法達到良好的刻蝕效果。在本 實施例中，凹槽之間的間隔距離，即凹槽軸線間的距離L4較佳的是不小于 25毫米。每條卡條上凹槽的開設(shè)位置應(yīng)相互對應(yīng)，達到相互配合卡設(shè)玻璃基板的 目的。在本實施例中，各卡條上凹槽的開設(shè)位置是相同的。在一根卡條上， 每個凹槽較佳的是環(huán)繞卡條表面一周，即開設(shè)360度成為一個環(huán)形槽，可以 完全不阻礙藥液的流動，使刻蝕效果更加?；蛘甙疾劭梢詢H在卡條間相對的 表面上開設(shè)一段或半圈凹槽，也能實現(xiàn)夾持玻璃基板的功能。即凹槽繞開條 表面周向開設(shè)的角度180度，或者為鈍角或銳角。本實施例的平板玻璃基板減薄夾具作為顯示裝置所用玻璃基板在浸泡刻 蝕減薄工藝中所專用的夾持工具，充分考慮了玻璃基板的性能特點和浸泡刻 蝕工藝的特性要求，適應(yīng)其夾持要求，具有多項優(yōu)點第一、采用數(shù)根卡條 相互配合夾持玻璃基板，并在夾持處設(shè)置凹槽，可以有效避免在玻璃基板與 夾具的接觸點處藥液接觸不充分，從而避免了在接觸點處蝕刻后形成凸起； 第二、采用鏤空的框架、卡條，對藥液的流動影響微小，能夠有效避免夾具對液體流動的阻止，避免因液體流動不暢而導(dǎo)致蝕刻后的玻璃厚度不均；第 三、以數(shù)根卡條相互卡持的方式，使得可以在卡條上設(shè)置多個凹槽，同時固 定平行的多個玻璃基板，因此能夠提高夾具的承載能力， 一次可蝕刻多個產(chǎn) 品，大大提高了加工效率。經(jīng)試驗，采用本實施例的平板玻璃基板減薄夾具 可以同時夾持多片厚度在1. 4毫米或以下的、已成盒的LCD玻璃基板，進行 浸泡刻蝕后，在玻璃基板上均不會出現(xiàn)凸起，且厚度均勻性均小于2%,遠 遠優(yōu)于LCD允許的5%的厚度均勻度指標(biāo)。再經(jīng)過后續(xù)的切割、IC B/D工序 驗證，采用本實施例的平板玻璃基板減薄夾具夾持刻蝕的產(chǎn)品，在這兩個工 序中的合格率為100%。 實施例二如圖4所示為本發(fā)明平板玻璃基板減薄夾具具體實施例二的結(jié)構(gòu)示意 圖，本實施例與實施例一的夾具結(jié)構(gòu)大致相同，區(qū)別在于卡條23 26與框架 11和12的連接關(guān)系不同。如圖4所示，在本實施例中，在框架11和12與 卡條23~26端部的連接處開設(shè)有定位槽4，以一根卡條23為例，其端部6 滑動嵌設(shè)在定位槽4內(nèi)。具體可以在卡條端部設(shè)置螺紋，用防藥液腐蝕的螺母配合螺紋進行固定， 使得卡條端部可相對于定位槽作橫向運動，而不會伸出或脫離定位槽。在本實施例中，僅在框架側(cè)邊設(shè)置定位槽，對應(yīng)的卡條可以在定位槽范 圍內(nèi)調(diào)節(jié)位置，因此可以根據(jù)待減薄玻璃基板的長度調(diào)節(jié)卡條的位置，較佳 的是設(shè)置定位槽的長度范圍不超過60毫米，以滿足對不同待減薄玻璃基板寬 度的適應(yīng)調(diào)整。較佳的能夠?qū)崿F(xiàn)適應(yīng)夾持240 300毫米長的玻璃基板。因為 玻璃基板的上端并沒有用卡條固定，所以并不需要調(diào)整框架底邊上連接的卡 條的位置。定位槽的可調(diào)節(jié)范圍過大，可能會導(dǎo)致調(diào)節(jié)不精確而導(dǎo)致產(chǎn)品產(chǎn) 生凸起現(xiàn)象。在具體應(yīng)用中，根據(jù)卡條的相對位置，可以靈活的設(shè)置定位槽 的位置和方向，以能實現(xiàn)卡條位置調(diào)節(jié)為準(zhǔn)。采用上述:l支術(shù)方案，可以適應(yīng)于同時夾持多片長x寬x厚為300 x 351 x1毫米或280 x 350 x 1. 4毫米的、已成盒的LCD玻璃基板進行浸泡刻蝕，并 且能達到良好的蝕刻效果。本實施例的技術(shù)方案改進了平板玻璃基板減薄夾 具的可調(diào)節(jié)性，這一點對于實際生產(chǎn)尤為重要。平板玻璃減薄夾具的材料價 格昂貴，若夾具僅能適合夾持單一、特定尺寸的顯示面板，那么在產(chǎn)品尺寸 改進時，或需要加工多型號產(chǎn)品時必須更換夾具，這樣會增加投入的成本。 本實施例的技術(shù)方案通過設(shè)置定位槽，使夾具可適應(yīng)多種型號尺寸的產(chǎn)品， 從而降低了生成成本。最后應(yīng)說明的是以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對其 限制；盡管參照前述實施例對本發(fā)明進行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員應(yīng)當(dāng)理解其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或 者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實施例技術(shù)方案的精神和范圍。
權(quán)利要求
1、一種平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于包括至少兩個框架，所述框架相互間隔設(shè)置；數(shù)根卡條，設(shè)置在所述框架之間，每根所述卡條的兩端分別連接在不同的框架上；在所述卡條的表面上周向開設(shè)有一個或一個以上凹槽，所述凹槽橫截面的寬度在卡條表面至卡條軸心方向上遞減，所述數(shù)根卡條上的凹槽用于將待減薄玻璃基板卡設(shè)固定在所述數(shù)根卡條之間。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于所述凹 槽的橫截面形狀為倒梯形或半圓形。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于所述凹 槽繞卡條表面周向開設(shè)的角度為360度或180度。
4、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于所述倒 梯形的底邊長度為2毫米。
5、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于所述倒 梯形的頂邊長度范圍為3-5毫米。
6、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于所述倒 梯形的高度范圍為3~5毫米。
7、 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于每 根所述卡條上各凹槽間的間隔距離不小于25毫米。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于 在所述框架與所述卡條端部的連接處開設(shè)有定位槽，所述卡條的端部滑動嵌 設(shè)在所述定位槽內(nèi)。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于所述定 位槽的長度不超過60毫米。
10、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于所述卡條的數(shù)量為六根，兩根所述卡條連接在所述框架底邊的中部，兩根所述卡 條連接在所述框架側(cè)邊的中部，兩根所述卡條連接在所述框架側(cè)邊的上部。
11、 根據(jù)權(quán)利要求1或10所述的平板玻璃a減薄夾具，其特征在于 所述框架為鏤空的平板。
12、 根據(jù)權(quán)利要求1或10所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于 所述卡條為圓柱體或棱柱體。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種平板玻璃基板減薄夾具，包括至少兩個框架，各框架相互間隔設(shè)置；數(shù)根卡條，設(shè)置在框架之間，每根卡條的兩端分別連接在不同的框架上；在卡條的表面上周向開設(shè)有一個或一個以上凹槽，該凹槽橫截面的寬度在卡條表面至卡條軸心方向上遞減，數(shù)根卡條上的凹槽用于將待減薄玻璃基板卡設(shè)固定在數(shù)根卡條之間。本發(fā)明的平板玻璃基板減薄夾具在實現(xiàn)了夾持玻璃基板進行藥液浸泡刻蝕達到減薄目的的前提下，能夠消除玻璃基板與夾具接觸點處出現(xiàn)的凸起，改善玻璃基板的減薄效果，提高玻璃基板刻蝕后的均勻度，保證后續(xù)工序的執(zhí)行。
文檔編號C03C15/00GK101215101SQ200810056268
公開日2008年7月9日 申請日期2008年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月16日
發(fā)明者史華威, 朱墨雨, 王乾旭, 王道鵬 申請人:京東方科技集團股份有限公司;京東方(河北)移動顯示技術(shù)有限公司;京東方現(xiàn)代(北京)顯示技術(shù)有限公司