專利名稱：平板玻璃基板減薄蝕刻槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及終端顯示產(chǎn)品制造領(lǐng)域，尤其是一種平板玻璃基板減薄蝕刻槽。
背景技術(shù)：
隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，顯示產(chǎn)品進(jìn)入一個(gè)嶄新的階段。人們對(duì) 顯示的追求也更加時(shí)尚化，超薄終端顯示產(chǎn)品成為市場(chǎng)發(fā)展的一個(gè)主流。顯 示面板作為顯示終端的核心部件，其薄型化是終端產(chǎn)品能否實(shí)現(xiàn)薄型化的關(guān) 鍵。目前，受限于前段制程，玻璃基板廠商所能提供的玻璃基板厚度最薄只能到0. 5mm，而終端顯示產(chǎn)品要求玻璃基板厚度已經(jīng)達(dá)到了 0. 3隱甚至更薄。 因此產(chǎn)生了平板玻璃基板減薄工藝，即將已成盒后的雙面玻璃基板通過(guò)物理 或化學(xué)方法去除一層而實(shí)現(xiàn)減薄。物理方法即機(jī)械研磨，其產(chǎn)能底、良品率 低；化學(xué)方法即化學(xué)蝕刻，該方法蝕刻出來(lái)的玻璃基板需要達(dá)到厚度均勻、 表面效果良好的要求。但是，上述技術(shù)方案中所使用的蝕刻槽的具體結(jié)構(gòu)卻 未見(jiàn)公開。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種平板玻璃基板減薄蝕刻槽，能夠蝕刻出厚度均 勻、表面效果良好的玻璃基板，從而達(dá)到平板玻璃基板減薄的技術(shù)要求。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種平板玻璃基板減薄蝕刻槽，包括一 槽體，所述槽體為長(zhǎng)方體形罐體，槽體側(cè)壁的上部開設(shè)有進(jìn)液口，槽體側(cè)壁 的下部開設(shè)有抽液口，槽體底壁的中心處開設(shè)有排液口，槽體底壁上方設(shè)置有鼓泡板，所述鼓泡板上開設(shè)有均勻分布的圓形鼓泡孔。因此，本發(fā)明通過(guò)槽體側(cè)壁上開設(shè)的進(jìn)液口與抽液口形成了底部抽液、 頂部進(jìn)液的主動(dòng)循環(huán)模式，能夠?qū)⑽g刻液從槽體的底部抽出從槽體的頂部回到槽體中，達(dá)到了蝕刻液均勻的目的，從而可以蝕刻出厚度均勻的玻璃基板； 另外還通過(guò)槽體底壁上方設(shè)置的開設(shè)有均勻分布的圓形鼓泡孔的鼓泡板，能 夠促使蝕刻液更加均勻，而且還能夠及時(shí)去除附著在玻璃表面的反應(yīng)生成物， 從而可以蝕刻出表面效果良好的玻璃基板。


圖1為本發(fā)明平板玻璃基板減薄蝕刻槽的實(shí)施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖 圖2為圖1的主碎見(jiàn)圖； 圖3為圖1的俯視圖。
附圖標(biāo)記說(shuō)明
10—槽體； 20—側(cè)壁；40—抽液口； 50—底壁；70—鼓泡板； 71—鼓泡孔；21 —前側(cè)壁； 22—后側(cè)壁； 24—右側(cè)壁。30—進(jìn)液口； 60—排液口； 80—夾具； 23 —左側(cè)壁；
具體實(shí)施例方式
下面通過(guò)附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。本發(fā)明平板玻璃基板減薄蝕刻槽的實(shí)施例包括一長(zhǎng)方體形罐體的槽體； 槽體側(cè)壁的上部開設(shè)有進(jìn)液口，槽體側(cè)壁的下部開設(shè)有抽液口，以供形成底部抽液、頂部進(jìn)液的主動(dòng)循環(huán)模式；槽體底壁的中心處開設(shè)有排液口，以供 蝕刻完成后排放廢棄的蝕刻液；槽體底壁上方設(shè)置有鼓泡板，鼓泡板上開設(shè) 有均勻分布的圓形鼓泡孔，可以使得蝕刻液更加均勻，而且還能夠及時(shí)去除 附著在玻璃表面的反應(yīng)生成物。如圖1、圖2和圖3所示，圖1為本發(fā)明平板玻璃基板減薄蝕刻槽的實(shí)施 例的立體結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為圖1的主視圖，圖3為圖1的俯3見(jiàn)圖。本實(shí)施例 包括一槽體IO，槽體10為長(zhǎng)方體形罐體，槽體側(cè)壁20的上部開設(shè)有進(jìn)液口 30，槽體側(cè)壁20的下部開設(shè)有抽液口 40，槽體底壁50向中心傾斜，該傾斜 的中心處開設(shè)有排液口 60，槽體底壁5Q上方設(shè)置有鼓泡板7Q，鼓泡板70上 開設(shè)有均勻分布的圓形鼓泡孔71。進(jìn)一步地，槽體10中還可以設(shè)置有用于固 定玻璃基板的夾具80，該夾具80放入槽體10中具有固定位置，以滿足平板 玻璃基板減薄蝕刻槽的蝕刻流程。本實(shí)施例中，通過(guò)槽體側(cè)壁上開設(shè)的進(jìn)液口與抽液口形成了底部抽液、 頂部進(jìn)液的主動(dòng)循環(huán)模式，能夠?qū)⑽g刻液從槽體的底部抽出從槽體的頂部回 到槽體中，達(dá)到了蝕刻液均勻的目的，從而可以蝕刻出厚度均勻的玻璃基板； 另外還通過(guò)槽體底壁向中心傾斜，使蝕刻產(chǎn)生的不溶物最大限度進(jìn)行沉淀， 減少了循環(huán)可能抽起的沉淀物重新附著玻璃基板表面而影響其表面效果現(xiàn)象 的發(fā)生，從而可以蝕刻出表面效果良好的玻璃基板；另外又通過(guò)槽體底壁上 方設(shè)置的開設(shè)有均勻分布的圓形鼓泡孔的鼓泡板，能夠促使蝕刻液更加均勻， 而且還能夠及時(shí)去除附著在玻璃表面的反應(yīng)生成物，從而可以蝕刻出表面效 果良好的玻璃基板。進(jìn)一步地，槽體側(cè)壁均勻纏繞有制冷盤管，用于吸收蝕刻過(guò)程中放熱產(chǎn) 生的熱量，使溫度穩(wěn)定。本實(shí)施例中，還可以釆用過(guò)濾器替代上述傾斜的槽體底壁結(jié)構(gòu)，而該過(guò) 濾器能夠循環(huán)過(guò)濾去除反應(yīng)中生成的沉淀物質(zhì)。此外，本實(shí)施例中，還可以通過(guò)其他液體攪拌方式使蝕刻液更加均勻。本實(shí)施例中，進(jìn)液口 30可以分別開設(shè)在槽體四個(gè)側(cè)壁20即前側(cè)壁21、 后側(cè)壁22、左側(cè)壁23和右側(cè)壁24的上部，進(jìn)液口 30的位置與實(shí)際蝕刻液的 液位基本保持水平，并距離產(chǎn)品即玻璃基板上沿有一定的垂直距離，大約可 以為30 ~ 100mm;抽液口 40可以分別開設(shè)在槽體左側(cè)壁23和右側(cè)壁24的下 部分，抽液口 40的位置與鼓泡板70基本保持水平，鼓泡板70距離夾具80下沿有一定的垂直距離，大約可以為30~100mm;槽體底部做成兩邊向中間傾 斜呈鈍角，該鈍角大約可以為100 - 160°;排液口 60的直徑大約可以為5~ 20mm;鼓泡孔n的圓心距大約可以為10~50mm。其中進(jìn)液口 30與抽液口 40 之間蝕刻液的循環(huán)流量大約可以為0~150L/min,循環(huán)流量由槽體大小決定， 槽體越大，循環(huán)量越大，最佳循環(huán)量=槽體容積/10;鼓泡板的壓力大約可以 為0~ 0. 5MPa。較佳地，下面更為具體地列舉具體數(shù)據(jù)說(shuō)明本發(fā)明平板玻璃基板減薄蝕 刻槽的上述實(shí)施例。LCD基板的最大尺寸可以為370 x 470mm，厚度單面0. 5,; 槽體尺寸500 L x 500Wx 600H隨(根據(jù)產(chǎn)能和基板尺寸需求改變大小)；槽 體底壁傾斜鈍角為150度；排液口位于槽體底壁傾斜的中心處；抽液口分別 位于槽體左側(cè)壁和右側(cè)壁的下部，與鼓泡板基本保持水平；進(jìn)液口分別位于 槽體前側(cè)壁、后側(cè)壁、左側(cè)壁和右側(cè)壁的上部，與實(shí)際液位基本持平，距離 鼓泡板的垂直距離約為460mm，距離產(chǎn)品即LCD基板上沿的垂直距離約為 60mm;鼓泡板距離夾具下沿的垂直距離約為50mm;鼓泡孔的直徑約為10mm, 圓心距離約為30mm。經(jīng)過(guò)本發(fā)明平板玻璃基板減薄蝕刻槽的實(shí)施例，采用上述數(shù)據(jù)驗(yàn)證之后， 得出如下結(jié)論同時(shí)放置9片單面厚度0. 5mm的產(chǎn)品即LCD面板，蝕刻減薄 后單面基板可以為0. 4mm、 0. 35mm、 0. 3mm和0. 25mm，均勻度均小于2%,遠(yuǎn) 遠(yuǎn)好于厚度均勻度技術(shù)指標(biāo)5%;蝕刻后產(chǎn)品沒(méi)有嚴(yán)重凸起水紋、斑狀霧化、 深劃痕等瑕疵，有輕微霧化瑕疵產(chǎn)品經(jīng)短時(shí)間拋光后全部去除；經(jīng)過(guò)后續(xù)工 序如切割、IC綁定(IC Bounding)等，均與蝕刻前產(chǎn)品的表面效果相同， 顯示效果也與蝕刻前產(chǎn)品沒(méi)有區(qū)別。最后應(yīng)說(shuō)明的是以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)其 限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員應(yīng)當(dāng)理解其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或 者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
權(quán)利要求
1、一種平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于包括一槽體，所述槽體為長(zhǎng)方體形罐體，槽體側(cè)壁的上部開設(shè)有進(jìn)液口，槽體側(cè)壁的下部開設(shè)有抽液口，槽體底壁的中心處開設(shè)有排液口，槽體底壁上方設(shè)置有鼓泡板，所述鼓泡板上開設(shè)有均勻分布的圓形鼓泡孔。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于槽體四 個(gè)側(cè)壁的上部分別開設(shè)有進(jìn)液口 ，槽體左側(cè)壁和右側(cè)壁的下部分別開設(shè)有抽 液口 。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所 述槽體中還設(shè)置有固定玻璃基板的夾具。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所述進(jìn) 液口與所述夾具中玻璃基板上沿的垂直距離為30~ 100mm。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所述進(jìn) 液口與所述夾具中玻璃基板上沿的垂直距離為60mm。
6、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所述鼓 泡板與夾具下沿的垂直距離為30 - 100mm。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所述鼓 泡板與夾具下沿的垂直距離為50mm。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所述槽 體底壁向中心傾斜。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所述槽 體底壁向中心傾斜呈鈍角。
10、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所述 均勻分布的圓形鼓泡孔的直徑為5~20mm。
11、 根據(jù)權(quán)利要求10所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所 述均勻分布的圓形鼓泡孔的直徑為10mm。
12、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所述均勻分布的圓形鼓泡孔的圓心距為10~ 50mm。
13、 根據(jù)權(quán)利要求12所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所 述均勻分布的圓形鼓泡孔的圓心距為30mm。
14、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所述 進(jìn)液口與所述抽液口之間蝕刻液的循環(huán)流量為0~ 150L/min。
15、 根據(jù)權(quán)利要求14所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所 述循環(huán)流量等于槽體容積/10 。
16、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所述 鼓泡板的壓力為0~0. 5MPa。
17、 根據(jù)權(quán)利要求16所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所 述鼓泡板的壓力為0. 3MPa。
18、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于所述 槽體側(cè)壁均勻纏繞有制冷盤管，用于吸收蝕刻所產(chǎn)生的熱量。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種平板玻璃基板減薄蝕刻槽，包括一槽體，所述槽體為長(zhǎng)方體形罐體，槽體側(cè)壁的上部開設(shè)有進(jìn)液口，槽體側(cè)壁的下部開設(shè)有抽液口，槽體底壁的中心處開設(shè)有排液口，槽體底壁上方設(shè)置有鼓泡板，所述鼓泡板上開設(shè)有均勻分布的圓形鼓泡孔。因此，本發(fā)明通過(guò)槽體側(cè)壁上開設(shè)的進(jìn)液口與抽液口形成了底部抽液、頂部進(jìn)液的主動(dòng)循環(huán)模式，能夠?qū)⑽g刻液從槽體的底部抽出從槽體的頂部回到槽體中，達(dá)到了蝕刻液均勻的目的，從而可以蝕刻出厚度均勻的玻璃基板；另外還通過(guò)槽體底壁上方設(shè)置的開設(shè)有均勻分布的圓形鼓泡孔的鼓泡板，能夠促使蝕刻液更加均勻，而且還能夠及時(shí)去除附著在玻璃表面的反應(yīng)生成物，從而可以蝕刻出表面效果良好的玻璃基板。
文檔編號(hào)C03C15/00GK101215100SQ20081005626
公開日2008年7月9日 申請(qǐng)日期2008年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月16日
發(fā)明者斌 朱, 朱墨雨, 王乾旭, 王道鵬 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司;京東方(河北)移動(dòng)顯示技術(shù)有限公司;京東方現(xiàn)代(北京)顯示技術(shù)有限公司