專利名稱：廢氣處理槽的清除裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種廢氣處理槽的清除裝置，更具體地說(shuō)，涉及一種在半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備中廢氣處理槽的清除裝置，該裝置具有多段變速清潔能力。
在目前半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過(guò)程中，均會(huì)產(chǎn)生高溫和具有毒性的廢氣，為了避免該廢氣對(duì)環(huán)境造成污染與公害，必須首先將該廢氣內(nèi)的有害成份予以過(guò)濾去除，再將溫度降低至適當(dāng)溫度后才能排出。
如圖6所示，目前在車間中常用的解決處理方式是首先將半導(dǎo)體制程中產(chǎn)生的廢氣注入到廢氣處理槽內(nèi)，再經(jīng)由廢氣處理槽下方的通道進(jìn)入到廢氣清洗過(guò)濾槽內(nèi)。在廢氣處理槽下端設(shè)置有一刮除裝置和一冷卻水噴灑裝置，先通過(guò)冷卻水噴灑裝置將高溫的廢氣予以冷卻；再利用刮除裝置的上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)將附著于廢氣處理槽內(nèi)壁上的沉淀物等雜質(zhì)刮除掉，從而防止沉淀物等雜質(zhì)凝固成塊并附著于廢氣處理槽的內(nèi)壁上。其中，廢氣清洗過(guò)濾槽的作用是將經(jīng)冷卻水噴灑裝置降溫的廢氣進(jìn)行進(jìn)一步冷卻，并經(jīng)由洗滌、過(guò)濾后，再經(jīng)廢氣清洗過(guò)濾槽上方的排出口排出。
利用前述的刮除裝置和冷卻水噴灑裝置來(lái)施行的刮除、冷卻作業(yè)，是半導(dǎo)體制程中日常作業(yè)的一部份。只要半導(dǎo)體制造裝置處于運(yùn)轉(zhuǎn)中，此套裝置就必須進(jìn)行廢氣處理工作，以防止在半導(dǎo)體制程中產(chǎn)生的廢氣對(duì)環(huán)境造污染與公害。
但是在實(shí)際使用過(guò)程中，發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，還會(huì)在廢氣處理槽內(nèi)壁上積累一層堅(jiān)硬的附著物，并且會(huì)越積越厚，最后便會(huì)將廢氣處理槽堵塞，進(jìn)而影響半導(dǎo)體的生產(chǎn)制造。因此，半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)后，必需停機(jī)進(jìn)行預(yù)防性的清除作業(yè)，即將附著于廢氣處理槽內(nèi)壁上的附著物予以清除。
目前，車間中在廢氣處理槽上使用的較新型的清除裝置是美國(guó)專利NO.6010576中所揭示的專利技術(shù)，此種廢氣處理槽的清除裝置是將三只刮刀沿一圓環(huán)的圓周進(jìn)行等距設(shè)置，該圓環(huán)與廢氣處理槽內(nèi)壁的大小相等。利用齒條的往復(fù)傳動(dòng)，使三只刮刀能夠各自做120度的往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而形成360度的環(huán)周往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)，將廢氣處理槽內(nèi)壁上的附著物清除掉。
然而，上述美國(guó)專利中廢氣處理槽的清除裝置，在實(shí)際使用過(guò)程，因無(wú)法等圓周實(shí)施360度連續(xù)旋刮作業(yè)，且無(wú)法有效利用旋刮時(shí)的轉(zhuǎn)速，以致于其清除效率不高。
為此，尋求一種具有較佳清潔能力和工作效率的方式或裝置來(lái)處理半導(dǎo)體制程中廢氣處理槽內(nèi)壁上的附著物已是本技術(shù)領(lǐng)域中極待解決的問(wèn)題。
本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠提升清潔能力的廢氣處理槽的清除裝置。
本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種能夠維持廢氣處理槽正常工作效率的清除裝置。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型中廢氣處理槽的清除裝置包括有一主體，在該主體上設(shè)置有一清潔機(jī)構(gòu)和一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。其中所述主體是在一圓形框座上設(shè)置有一上蓋板和一下蓋板，在該圓形框座內(nèi)部開設(shè)有供冷卻氣體流通的通道和可容置齒盤旋轉(zhuǎn)的空間；所述清潔機(jī)構(gòu)是在一圓框形轉(zhuǎn)盤上等間距地環(huán)繞設(shè)置有一只或多只刮刀，該刮刀的刀鋒緊貼于廢氣處理槽的內(nèi)壁，該轉(zhuǎn)盤設(shè)置于一齒盤上，而齒盤樞設(shè)于上述圓形框座內(nèi)；所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述圓形框座的一側(cè)，其利用一伺服馬達(dá)來(lái)驅(qū)動(dòng)一蝸桿，該蝸桿與傳動(dòng)齒輪嚙合，而傳動(dòng)齒輪與清潔機(jī)構(gòu)內(nèi)的齒盤嚙合。
另外，在所述清潔機(jī)構(gòu)的圓框形轉(zhuǎn)盤上設(shè)置有多只刮刀時(shí)，可在等間環(huán)繞設(shè)置的刮刀前端緣處設(shè)置一撐架。
另外，還可在所述主體周邊設(shè)置有一氣壓冷卻機(jī)構(gòu)，該氣壓冷卻機(jī)構(gòu)由多個(gè)T型接頭、L型接頭和氣壓軟管相互連接而成，并與圓形框座內(nèi)部開設(shè)的通道相連通。通過(guò)該氣壓冷卻機(jī)構(gòu)將冷卻氣體傳遞、輸送至圓形框座內(nèi)部開設(shè)的通道內(nèi)，以降低清潔機(jī)構(gòu)在清除廢氣處理槽內(nèi)壁上的附著物時(shí)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)由于阻力而引起過(guò)熱現(xiàn)象，同時(shí)，可防止粉末進(jìn)入到該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)內(nèi)。
上述清除裝置利用一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)來(lái)提升清潔機(jī)構(gòu)的清潔能力和扭力，并通過(guò)該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)使得該清潔機(jī)構(gòu)具有多段變速能力。另外，該清除裝置利用一氣壓冷卻裝置來(lái)降低廢氣的溫度，從而維持該清除裝置的正常工作效率。
下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型中的具體實(shí)施例作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。


圖1是本實(shí)用新型中清除裝置的立體圖；圖2是本實(shí)用新型中清除裝置的分解立體圖；圖3是本實(shí)用新型中清除裝置的正視剖面圖；圖4是本實(shí)用新型中清除裝置的側(cè)視剖面圖；圖5是本實(shí)用新型中清除裝置的另一實(shí)施例圖；圖6是現(xiàn)有半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備的示意圖。
如
圖1所示，本實(shí)用新型中廢氣處理槽的清除裝置是針對(duì)半導(dǎo)廢氣處理設(shè)備中的廢氣處理槽所設(shè)計(jì)的。該裝置包括一主體1，在主體1上設(shè)置有一清潔機(jī)構(gòu)3、一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2和一氣壓冷卻機(jī)構(gòu)4。
其中，如圖2所示，主體1由上蓋板11和下蓋板12結(jié)合一圓形框座13組成。在圓形框座13內(nèi)部開設(shè)有供冷卻氣體流通的通道14和一可容置齒盤31旋轉(zhuǎn)的空間。在上蓋板11和下蓋板12上均開設(shè)有一環(huán)狀凹槽15和一環(huán)狀軌道16，并在上蓋板11和下蓋板12的環(huán)狀凹槽15內(nèi)設(shè)置有一支撐墊圈17。
清潔機(jī)構(gòu)3是在一圓框形轉(zhuǎn)盤32上等距離環(huán)繞設(shè)置有一只或多只刮刀33，該刮刀33的刀鋒331緊貼于廢氣處理槽6的內(nèi)壁61上。而轉(zhuǎn)盤32上設(shè)于齒盤31上，在該齒盤31的內(nèi)緣上下延制有一環(huán)狀凸肋311和多個(gè)供氣體流動(dòng)的通氣孔312，同時(shí)，該齒盤31設(shè)于圓形框座13內(nèi)，如圖2所示，借助于傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2內(nèi)的齒輪22來(lái)帶動(dòng)該齒盤31。
傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2設(shè)于圓形框座13的一側(cè)，如圖4所示，該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)由一設(shè)于支架51上的伺服馬達(dá)5來(lái)驅(qū)動(dòng)，并通過(guò)一軸聯(lián)結(jié)器23連結(jié)有一蝸桿21，再由該蝸桿21來(lái)帶動(dòng)一傳動(dòng)齒輪22，經(jīng)傳動(dòng)齒輪22來(lái)帶動(dòng)齒盤31轉(zhuǎn)動(dòng)，如圖3所示，從而使設(shè)于齒盤31上的圓形框座32隨著轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)刮刀33的刀鋒33 1緊貼于廢氣處理槽6的內(nèi)壁61作360度旋轉(zhuǎn)。同時(shí)，刮刀33的旋轉(zhuǎn)速度可根據(jù)需要來(lái)調(diào)整伺服馬達(dá)5的轉(zhuǎn)速，使清潔機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)速得以相對(duì)提升，并提供較大的扭力。另外，在蝸桿21和齒輪22上方組設(shè)有一潤(rùn)滑油杯7，如
圖1所示，便于潤(rùn)滑蝸桿21和齒輪22，以提高其使用壽命。
氣壓冷卻機(jī)構(gòu)4由多只T型接頭41、L型接頭42和氣壓軟管43組成。該氣壓冷卻機(jī)構(gòu)4設(shè)置于圓形框座13的周邊，如圖2所示，以傳遞、輸送冷卻氣體至圓形框座13內(nèi)部開設(shè)的通道14和齒盤31上的通氣孔312內(nèi)，從而降低清潔機(jī)構(gòu)3在清除廢氣處理槽6內(nèi)壁61上的附著物時(shí)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2由于阻力而引起過(guò)熱的過(guò)象，同時(shí)，還能防止粉末進(jìn)入到傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2內(nèi)。
當(dāng)將本實(shí)用新型中的清除裝置置于廢氣處理槽內(nèi)時(shí)，通過(guò)齒盤31上的環(huán)狀凸肋311使其樞設(shè)于上蓋板11和下蓋板12的環(huán)狀軌道16內(nèi)，如圖3所示，并不會(huì)任意移動(dòng)而偏離原來(lái)的位置。同時(shí)，借由環(huán)狀凹槽15內(nèi)支撐墊圈17的支撐作用，使齒盤31上環(huán)狀凸肋311在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)不會(huì)直接與環(huán)狀軌道16發(fā)生磨擦，而清潔機(jī)構(gòu)3內(nèi)的一只或多只刮刀33的刀鋒331能夠緊貼于廢氣處理槽6內(nèi)壁61上作360度旋轉(zhuǎn)，從而清除廢氣處理槽6內(nèi)壁61上的附著物。
當(dāng)清潔機(jī)構(gòu)3在清除廢氣處理槽6內(nèi)壁61上的附著物時(shí)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2會(huì)因?yàn)樽枇Χ疬^(guò)熱現(xiàn)象，該過(guò)熱現(xiàn)象可通過(guò)氣壓冷卻機(jī)構(gòu)4中的多個(gè)T型接頭41、L型接頭42和氣壓軟管43將冷卻氣體輸送、傳遞至圓形框座13內(nèi)部開設(shè)的通道14和齒盤31的通氣孔312內(nèi)進(jìn)行冷卻，如
圖1所示，從而降低溫度并維持正常的工作效率。同時(shí)，利用該連續(xù)進(jìn)入的冷卻氣體將在清除廢氣處理槽6內(nèi)壁61時(shí)所產(chǎn)生的粉末吹出，從而防止粉末進(jìn)入到傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2內(nèi)。
當(dāng)廢氣處理槽內(nèi)積疊的附著物經(jīng)過(guò)日積月累的積疊后，會(huì)緊貼在廢氣處理槽6內(nèi)壁61的表面上，因此，可調(diào)整伺服馬達(dá)來(lái)提升清潔機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)速及扭力，從而提升旋轉(zhuǎn)的速度，并加強(qiáng)刮刀33的力量，進(jìn)而提高清潔機(jī)構(gòu)3的清潔能力及工作效率。
如果當(dāng)清潔機(jī)構(gòu)3的速度已提升至最高轉(zhuǎn)速和扭力，仍無(wú)法將緊貼于廢氣處理槽6內(nèi)壁61上的附著物清除時(shí)，清潔機(jī)構(gòu)3會(huì)自動(dòng)回轉(zhuǎn)倒退，再重新旋轉(zhuǎn)前進(jìn)，再次對(duì)緊貼于廢氣處理槽6內(nèi)壁61上的附著物進(jìn)行清除作業(yè)，依此程序重復(fù)進(jìn)行三次。
倘若，該程序還未能將緊貼于廢氣處理槽6內(nèi)壁61上的附著物清除掉時(shí)，清潔機(jī)構(gòu)3便會(huì)自動(dòng)停止作業(yè)，同時(shí)發(fā)出警告訊號(hào)，通知維修人員進(jìn)行檢查或維修作業(yè)，以確保該清潔裝置在使用時(shí)的安全性。
另外，由于本實(shí)用新型中的清潔機(jī)構(gòu)3能夠緊貼于廢氣處理槽6內(nèi)壁61上作360度的旋轉(zhuǎn)，所以該清潔機(jī)構(gòu)3內(nèi)的刮刀33可根據(jù)需要而組設(shè)有一只或多只，并同樣都具有清除廢氣處理槽6內(nèi)壁61上附著物的能力，如圖5所示。但是，組設(shè)有多只刮刀33的清清潔機(jī)構(gòu)為最佳的清潔機(jī)構(gòu)，因?yàn)楫?dāng)清潔機(jī)構(gòu)3內(nèi)的刮刀33對(duì)廢氣處理槽6內(nèi)壁61進(jìn)行旋轉(zhuǎn)清除作業(yè)時(shí)，會(huì)因旋轉(zhuǎn)關(guān)系而產(chǎn)生扭力，若能夠等間環(huán)繞組設(shè)多只刮刀33，并在多只刮刀33內(nèi)緣332的前端等間環(huán)繞組設(shè)有撐架34，如
圖1所示，從而其旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的扭力會(huì)因撐架34而達(dá)到平衡，并借助于撐架34的支撐作用而使其不會(huì)受到反作用力的影響，而如果任意晃動(dòng)則會(huì)影響其清潔能力。
綜上所述，本實(shí)用新型中的清除裝置是利用伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)蝸桿及齒輪來(lái)傳遞動(dòng)力的，使清潔機(jī)構(gòu)3內(nèi)的一只或多只刮刀作360度旋轉(zhuǎn)，并可依需要來(lái)調(diào)整伺服馬達(dá)的轉(zhuǎn)速，從而使清潔機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)速得以相對(duì)提升，并提供較佳的清潔能力和扭力。再利用氣壓冷卻機(jī)構(gòu)4內(nèi)的多只T型接頭41、L型接頭42和氣壓軟管43來(lái)輸送、傳遞冷卻氣體，以降低清潔機(jī)構(gòu)3在清除廢氣處理槽內(nèi)壁上的附著物時(shí)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2由于阻力而引起的過(guò)熱現(xiàn)象。同時(shí)，還能防止粉末進(jìn)入到傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2內(nèi)，以維持清潔機(jī)構(gòu)3正常的工作效率。因此，本實(shí)用新型中的清潔裝置確實(shí)能夠提升其清潔能力，同時(shí)還能維持其正常的工作效率，在產(chǎn)業(yè)上具有進(jìn)步性和穩(wěn)定性。
權(quán)利要求1.一種廢氣處理槽的清除裝置，包括有一主體，在該主體上設(shè)置有一清潔機(jī)構(gòu)和一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述主體是在一圓形框座上設(shè)置有一上蓋板和一下蓋板，在該圓形框座內(nèi)部開設(shè)有供冷卻氣體流通的通道和可容置齒盤旋轉(zhuǎn)的空間；所述清潔機(jī)構(gòu)是在一圓框形轉(zhuǎn)盤上等間距地環(huán)繞設(shè)置有一只或多只刮刀，該刮刀的刀鋒緊貼于廢氣處理槽的內(nèi)壁，該轉(zhuǎn)盤設(shè)置于一齒盤上，而齒盤樞設(shè)于上述圓形框座內(nèi)；所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述圓形框座的一側(cè)，其利用一伺服馬達(dá)來(lái)驅(qū)動(dòng)一蝸桿，該蝸桿與傳動(dòng)齒輪嚙合，而傳動(dòng)齒輪與清潔機(jī)構(gòu)內(nèi)的齒盤嚙合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的清除裝置，其特征在于在所述清潔機(jī)構(gòu)的圓框形轉(zhuǎn)盤上等間環(huán)繞設(shè)置有多只刮刀，并在刮刀內(nèi)緣前端處設(shè)置有一撐架。
3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的清除裝置，其特征在于在所述主體周邊設(shè)置有一氣壓冷卻機(jī)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備中廢氣處理槽的清除裝置,該裝置包括有一主體,并在該主體上設(shè)置有一可受傳動(dòng)機(jī)構(gòu)控制作360度旋轉(zhuǎn)的清潔機(jī)構(gòu)和一可調(diào)整清潔機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)速及扭力的傳動(dòng)機(jī)構(gòu),并配合一氣壓冷卻機(jī)構(gòu)來(lái)傳遞輸送冷卻氣體,以清除清潔機(jī)構(gòu)在清除廢氣處理槽內(nèi)的附著物,傳動(dòng)機(jī)構(gòu)由于阻力而引起過(guò)熱現(xiàn)象,同時(shí),維持清潔機(jī)構(gòu)的正常工作效率,防止因廢氣處理槽內(nèi)壁上的附著物積疊過(guò)多時(shí)影響半導(dǎo)體的制造作業(yè)。
文檔編號(hào)B08B9/02GK2487455SQ0121992
公開日2002年4月24日 申請(qǐng)日期2001年4月23日 優(yōu)先權(quán)日2001年4月23日
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