技術(shù)編號(hào):1555830
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種廢氣處理槽的清除裝置,更具體地說(shuō),涉及一種在半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備中廢氣處理槽的清除裝置,該裝置具有多段變速清潔能力。在目前半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過(guò)程中,均會(huì)產(chǎn)生高溫和具有毒性的廢氣,為了避免該廢氣對(duì)環(huán)境造成污染與公害,必須首先將該廢氣內(nèi)的有害成份予以過(guò)濾去除,再將溫度降低至適當(dāng)溫度后才能排出。如圖6所示,目前在車間中常用的解決處理方式是首先將半導(dǎo)體制程中產(chǎn)生的廢氣注入到廢氣處理槽內(nèi),再經(jīng)由廢氣處理槽下方的通道進(jìn)入到廢氣清洗過(guò)濾槽內(nèi)。在廢氣處理槽下端...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。