一種太陽能硅棒粘棒垂直精度裝置制造方法
【專利摘要】一種太陽能硅棒粘棒垂直精度裝置，涉及一種垂直精度裝置，由底座（3）和晶托固定裝置（2）組成，通過在底座（3）上設(shè)置晶托固定裝置（2），并使晶托固定裝置（2）內(nèi)壁的高度大于晶托錐面（5）的上底面，以此來到達高垂直精度的目的；本實用新型實用性強，安裝和維護均比較方便，操作起來比較方便，有效解決了現(xiàn)有裝置垂直精度不高的問題，極大提高了粘棒晶托的垂直精度，滿足了客戶的要求。
【專利說明】一種太陽能硅棒粘棒垂直精度裝置
[0001]【【技術(shù)領(lǐng)域】】
[0002]本實用新型涉及一種垂直精度裝置，尤其是涉及一種太陽能硅棒粘棒垂直精度裝置。
[0003]【【背景技術(shù)】】
[0004]公知的，目前在太陽能硅單晶圓棒粘棒裝置中，現(xiàn)有的粘棒機底座上的固定機構(gòu)由于其結(jié)構(gòu)不合理，內(nèi)壁的高度低于粘棒晶托的晶托錐面上錐面的高度，因此固定裝置不能對粘棒晶托進行精確的限位，造成粘棒晶托的自由度過大，導(dǎo)致在硅棒粘接時過大的晃動，使得粘結(jié)后硅棒的垂直度在I~2.5_之間，不能滿足開方工藝的精度要求(粘結(jié)后硅棒的垂直度< 0.8_)，往往會造成硅晶棒開方垂直精度不合格而報廢，嚴重影響企業(yè)效益。
[0005]【
【發(fā)明內(nèi)容】
】
[0006]為了克服【背景技術(shù)】中的不足，本實用新型公開了一種太陽能硅棒粘棒垂直精度裝置，本實用新型通過在底座上設(shè)置晶托固定裝置，并使晶托固定裝置內(nèi)壁的高度大于晶托錐面的上底面，以此來到達高垂直精度的目的。
[0007]為了實現(xiàn)所述發(fā)明目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案:
[0008]一種太陽能硅棒粘棒垂直精度裝置，包括底座和晶托固定裝置，在底座的上部面上設(shè)有晶托固定裝置，晶托固定裝置一端面與底座相連接，晶托固定裝置的另一端面的內(nèi)圓側(cè)上設(shè)有錐面，粘棒晶托置于晶托固定裝置內(nèi)，粘棒晶托底面的外圓側(cè)的底面設(shè)有晶托錐面，粘棒晶托外圓側(cè)與晶托固定裝置內(nèi)圓側(cè)平行重合部分長度至少為五毫米。
[0009]所述晶托固定裝置為圓柱型的中空結(jié)構(gòu)。
[0010]所述所述錐面為倒圓臺型結(jié)構(gòu)。
[0011]由于采用了上述技術(shù)方案，本實用新型具有如下有益效果:
[0012]本實用新型所述的一種太陽能硅棒粘棒垂直精度裝置，包括底座和晶托固定裝置，通過在底座上設(shè)置晶托固定裝置，并使晶托固定裝置內(nèi)壁的高度大于晶托錐面的上底面，以此來到達高垂直精度的目的；本實用新型實用性強，安裝和維護均比較方便，操作起來比較方便，有效解決了現(xiàn)有裝置垂直精度不高的問題，極大提高了粘棒晶托的垂直精度，滿足了客戶的要求。
[0013]【【專利附圖】

【附圖說明】】
[0014]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖中:1、粘棒晶托；2、晶托固定裝置；3、底座；4、維面；5、晶托維面。
[0016]【【具體實施方式】】
[0017]通過下面的實施例可以詳細的解釋本實用新型，公開本實用新型的目的旨在保護本實用新型范圍內(nèi)的一切技術(shù)改進。
[0018]結(jié)合附圖1所述的一種太陽能硅棒粘棒垂直精度裝置，包括底座3和晶托固定裝置2，在底座3的上部面上設(shè)有晶托固定裝置2，晶托固定裝置2 —端面與底座3相連接，晶托固定裝置2的另一端面的內(nèi)圓側(cè)上設(shè)有錐面4，粘棒晶托I置于晶托固定裝置2內(nèi)，粘棒晶托I底面的外圓側(cè)的底面設(shè)有晶托錐面5，粘棒晶托I外圓側(cè)與晶托固定裝置2內(nèi)圓側(cè)平行重合部分長度至少為五毫米；所述晶托固定裝置2為圓柱型的中空結(jié)構(gòu)；所述所述錐面4為倒圓臺型結(jié)構(gòu)。
[0019]實施本實用新型所述的一種太陽能硅棒粘棒垂直精度裝置，在使用時先時先確保晶托固定裝置2與底座3的垂直精度，然后再將粘棒晶托I置于晶托固定裝置2內(nèi)，這時就可以在粘棒晶托I上粘接娃圓棒。
[0020]本實用新型未詳述部分為現(xiàn)有技術(shù)。
【權(quán)利要求】
1.一種太陽能硅棒粘棒垂直精度裝置，包括底座(3)和晶托固定裝置(2)，其特征是:在底座(3)的上部面上設(shè)有晶托固定裝置(2)，晶托固定裝置(2)—端面與底座(3)相連接，晶托固定裝置(2)的另一端面的內(nèi)圓側(cè)上設(shè)有錐面(4)，粘棒晶托(I)置于晶托固定裝置(2)內(nèi)，粘棒晶托(I)底面的外圓側(cè)的底面設(shè)有晶托維面(5),粘棒晶托(I)外圓側(cè)與晶托固定裝置(2)內(nèi)圓側(cè)平行重合部分長度至少為五毫米。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能硅棒粘棒垂直精度裝置，其特征是:所述晶托固定裝置(2)為圓柱型的中空結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能硅棒粘棒垂直精度裝置，其特征是:所述所述錐面(4)為倒圓臺型結(jié)構(gòu)。
【文檔編號】C30B33/06GK203513834SQ201320508683
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年8月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月20日
【發(fā)明者】滿時君, 裴保齊, 王振國, 蔣建國, 邵斌 申請人:洛陽鴻泰半導(dǎo)體有限公司