專(zhuān)利名稱(chēng)：直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體及光伏材料制備設(shè)備，尤其涉及一種直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
[0002]直拉單晶硅爐是一種硅的定向凝固設(shè)備，其功能是將單晶硅按照設(shè)定工藝經(jīng)過(guò)熔料、引晶、放肩、轉(zhuǎn)肩、等徑和收尾幾個(gè)階段后成為有一定晶體生長(zhǎng)方向的晶棒。直拉單晶爐是一種能耗較高、工時(shí)較長(zhǎng)的生產(chǎn)設(shè)備，在同樣的晶體方向及晶體尺寸條件下，縮短工時(shí)、 減少能耗是希望得到改善的。在現(xiàn)有的直拉單晶爐中，為了減少能耗在拉晶爐內(nèi)的加熱器的周?chē)O(shè)置隔熱材料，如設(shè)計(jì)有保溫罩，現(xiàn)有技術(shù)中在加熱器的周?chē)O(shè)計(jì)保溫罩的技術(shù)方案存在如下不足在融化階段加熱器底部向 下方散熱而浪費(fèi)熱能并使熔料時(shí)間加長(zhǎng)，且無(wú)法根據(jù)需要對(duì)保溫材料的厚度進(jìn)行調(diào)節(jié)，達(dá)到提高保溫效果的目的。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型的主要目的是提供一種直拉單晶爐，旨在防止熱能從加熱器的下方流失，達(dá)到減少能耗并縮短熔料時(shí)間的目的。[0004]本實(shí)用新型提供了一種直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)，包括加熱器和設(shè)置在所述加熱器下方的保溫組件，所述保溫組件包括保溫體、將所述保溫體固定在其中的上反射板和下反射板，以及卡設(shè)在所述下反射板環(huán)形臺(tái)階上的擋環(huán)。所述保溫體的材料為軟氈或者硬氈。[0005]優(yōu)選地，所述保溫組件還包括固定所述上反射板和下反射板的螺桿和調(diào)節(jié)螺母， 所述上反射板上設(shè)置有第一上通孔，所述下反射板上設(shè)置有與所述第一上通孔對(duì)應(yīng)的第一下通孔，所述螺桿穿過(guò)所述第一上通孔和所述第一下通孔與所述調(diào)節(jié)螺母配合將所述上反射板和下反射板固定連接。[0006]優(yōu)選地，所述第一上通孔和第一下通孔同軸，其數(shù)量均為2個(gè)以上，且分別均勻分布在所述上反射板和下反射板上。[0007]優(yōu)選地，所述上反射板的外周邊凸出形成圍框。所述圍框的高度為lmnT50mm，厚度為 Imm 50mmo[0008]優(yōu)選地，所述上反射板的材料為C/C復(fù)合材料、硬氈或石墨，所述下反射板的材料為C/C復(fù)合材料、硬氈或石墨。[0009]優(yōu)選地，所述上反射板的中心設(shè)置有供外部構(gòu)件穿過(guò)的第二上通孔，所述下反射板中心設(shè)置有與所述第二上通孔對(duì)應(yīng)的第二下通孔，所述第二下通孔設(shè)置有環(huán)形臺(tái)階，所述擋環(huán)穿過(guò)所述第二上通孔并卡設(shè)在所述環(huán)形臺(tái)階上。[0010]本實(shí)用新型通過(guò)在加熱器的下方設(shè)置保溫組件，且保溫組件包括起保溫作用的保溫體及用于將保溫體固定在其中的上反射板和下反射板，有效地減少熱能從加熱器的下方流失，達(dá)到減少能耗并縮短熔料時(shí)間的目的。
圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例中直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)的剖視圖；圖2為圖I中A部分的放大示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中保溫組件的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型目的的實(shí)現(xiàn)、功能特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)將結(jié)合實(shí)施例，參照附圖做進(jìn)一步說(shuō)明。
具體實(shí)施方式
應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。參照?qǐng)DI和圖2，圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例中直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)的剖視圖，圖2為圖I中A部分的放大示意圖。本實(shí)用新型直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)包括加熱器I和設(shè)置在加熱器I下方的保溫組件，保溫組件包括上反射板21、下反射板22、起保溫作用的保溫體(圖中未示出)和擋環(huán)25，優(yōu)選地，保溫體的材料為軟氈或者硬氈。保溫體設(shè)置在上反射板21和下反射板22之間，上反射板21和下反射板22用于將保溫體固定。上反射板21的中部設(shè)置有供外部構(gòu)件穿過(guò)的第二上通孔212，下反射板22上設(shè)置有與第二上通孔212對(duì)應(yīng)的第二下通孔221，第二下通孔221設(shè)置有環(huán)形臺(tái)階222，擋環(huán)25穿過(guò)第二上通孔212并卡設(shè)在環(huán)形臺(tái)階222上。設(shè)置擋環(huán)的目的是不僅能保護(hù)在工作轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的托桿等部件，還能在調(diào)節(jié)保溫體的厚度或調(diào)節(jié)上反射板21和下反射板22之間的距離時(shí)起到導(dǎo)向作用時(shí)，防止它們上反射板21和下反射板22發(fā)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)從而保護(hù)螺桿。為了實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)保溫體的厚度，達(dá)到調(diào)節(jié)保溫效果的目的，在具體實(shí)施例中，保溫組件還包括固定上反射板21和下反射板22的螺桿23和調(diào)節(jié)螺母24，上反射板21上設(shè)置有第一上通孔，下反射板22上設(shè)置有與第一上通孔對(duì)應(yīng)的第一下通孔，螺桿23穿過(guò)第一上通孔和第一下通孔與調(diào)節(jié)螺母24配合將上反射板21和下反射板22固定連接。當(dāng)增加保溫體的厚度時(shí)，通過(guò)擰松調(diào)節(jié)螺母24，將上反射板21和下反射板22之間的間距調(diào)大；當(dāng)減少保溫體的厚度時(shí)，通過(guò)擰緊調(diào)節(jié)螺母24，將上反射板21和下反射板22之間的間距縮短。優(yōu)選地，第一上通孔和第一下通孔同軸，其數(shù)量均為2個(gè)以上，且分別均勻分布在上反射板21和下反射板22上。具體地，第一上通孔的數(shù)量為4個(gè)，第一下通的數(shù)量為4個(gè)。在其他變形實(shí)施例中，第一上通孔不限于均勻分布在上反射板21上，對(duì)應(yīng)的第一下通孔不限于均勻分布在下反射板22上。在拉晶的生成過(guò)程中，溫度過(guò)高或其他原因可能出現(xiàn)漏硅現(xiàn)象，為了在出現(xiàn)漏硅現(xiàn)象時(shí)保護(hù)其他構(gòu)件，如保護(hù)直拉單晶爐中的支撐角及電極頭等。在具體實(shí)施例中，結(jié)合參照?qǐng)D3，圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中保溫組件的結(jié)構(gòu)示意圖，上反射板21的外周邊凸出形成圍框211。圍框211的設(shè)置一方面可有效阻止硅料流向加熱器的支撐角及電極頭等構(gòu)件上；另一方面可起到導(dǎo)流作用，可將漏出的硅料引導(dǎo)至直拉單晶爐中的底板，減少發(fā)生安全事故的風(fēng)險(xiǎn)。優(yōu)選地，圍框的高度為lmnT50mm,厚度為lmnT50mm。為了進(jìn)一步防止熱量從加熱器I的下方流失，在具體實(shí)施例中，上反射板21的材料為石墨、C/C復(fù)合材料或硬氈，下反射板22的材料為石墨、C/C復(fù)合材料或硬氈。本實(shí)用新型通過(guò)在加熱器I的下方設(shè)置保溫組件，且保溫組件包括起保溫作用的保溫體及用于將保溫體固定在其中的上反射板21和下反射板22，有效地減少熱能從加熱器I的下方流失且可增加經(jīng)反射而輻射至坩堝的熱能，達(dá)到減少能耗并縮短熔料時(shí)間的目的。以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專(zhuān)利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專(zhuān)利保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括加熱器和設(shè)置在所述加熱器下方的保溫組件，所述保溫組件包括保溫體、將所述保溫體固定在其中的上反射板和下反射板，以及卡設(shè)在所述下反射板環(huán)形臺(tái)階上的擋環(huán)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述保溫體的材料為軟氈或者硬氈。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述保溫組件還包括固定所述上反射板和下反射板的螺桿和調(diào)節(jié)螺母，所述上反射板上設(shè)置有第一上通孔，所述下反射板上設(shè)置有與所述第一上通孔對(duì)應(yīng)的第一下通孔，所述螺桿穿過(guò)所述第一上通孔和所述第一下通孔與所述調(diào)節(jié)螺母配合將所述上反射板和下反射板固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一上通孔和第一下通孔同軸，其數(shù)量均為2個(gè)以上，且分別均勻分布在所述上反射板和下反射板上。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4任一項(xiàng)所述的直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述上反射板的外周邊凸出形成圍框。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述圍框的高度為 Imm 50mm,厚度為 Imm 50mmo
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述上反射板的材料為 C/C復(fù)合材料、硬氈或石墨，所述下反射板的材料為C/C復(fù)合材料、硬氈或石墨。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述上反射板的中心設(shè)置有供外部構(gòu)件穿過(guò)的第二上通孔，所述下反射板中心設(shè)置有與所述第二上通孔對(duì)應(yīng)的第二下通孔，所述第二下通孔設(shè)置有環(huán)形臺(tái)階，所述擋環(huán)穿過(guò)所述第二上通孔并卡設(shè)在所述環(huán)形臺(tái)階上。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種直拉單晶爐保溫結(jié)構(gòu)，其包括加熱器和設(shè)置在所述加熱器下方的保溫組件，所述保溫組件包括保溫體、將所述保溫體固定在其中的上反射板和下反射板，以及卡設(shè)在所述下反射板環(huán)形臺(tái)階上的擋環(huán)。通過(guò)在加熱器的下方設(shè)置保溫組件，且保溫組件包括起保溫作用的保溫體及用于將保溫體固定在其中的上反射板和下反射板，有效地防止熱能從加熱器的下方流失，達(dá)到減少能耗并縮短熔料時(shí)間的目的。
文檔編號(hào)C30B15/00GK202786494SQ20122042805
公開(kāi)日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月27日
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