專利名稱：一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐坩堝固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)裝置，尤其涉及一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐坩堝固定
>J-U ρ α裝直。
背景技術(shù)：
隨著LED照明產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，藍(lán)寶石晶體襯底材料市場(chǎng)需求將迅速增長(zhǎng)。由于藍(lán)寶石晶體的熔點(diǎn)高達(dá)2050°C，莫氏硬度為9，僅次于金剛石，因此晶體生長(zhǎng)和加工技術(shù)難度很高，世界上只有極少數(shù)國(guó)家能制備出滿足襯底質(zhì)量和尺寸要求的藍(lán)寶石晶體。目前藍(lán)寶石晶體的生長(zhǎng)技術(shù)主要有火焰法、提拉法、導(dǎo)模法、熱交換法、泡生法、溫梯法和下降法生長(zhǎng)技術(shù)。火焰法生長(zhǎng)藍(lán)寶石晶體具有鑲嵌、氣泡等嚴(yán)重體缺陷，達(dá)不到光學(xué)質(zhì)量的要求。提拉法生長(zhǎng)藍(lán)寶石晶體具有熱應(yīng)力大、位錯(cuò)密度高，利用率不高的缺點(diǎn)；而熱交換法整個(gè)晶體生長(zhǎng)階段通流動(dòng)氦氣，而且對(duì)控溫裝置的精確度要求苛刻，因而成本很高。導(dǎo)模法生長(zhǎng)藍(lán)寶石晶體的優(yōu)點(diǎn)是可以根據(jù)實(shí)際需要生長(zhǎng)不同形狀的晶體，但難以生長(zhǎng)高光學(xué)質(zhì)量的晶體。泡生法的生長(zhǎng)效率很高，單根晶體的重量在30多公斤以上，晶體成本較低，晶體品質(zhì)能達(dá)到光學(xué)級(jí)和基片級(jí)的要求，是目前LED藍(lán)寶石晶體的主流生長(zhǎng)技術(shù)。
發(fā)明內(nèi)容為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本發(fā)明提供了一種采用泡生法藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)工藝，坩堝固定穩(wěn)定，確保藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐使用穩(wěn)定的一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐坩堝固定裝置。本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐坩堝固定裝置，其特征在于包括鎢棒組、固定盤和剛玉墊，剛玉墊固定于爐體底部上，固定盤安裝在剛玉墊上，固定盤上通過(guò)鎢棒組固定坩堝。所述固定盤是帶有螺紋絲扣的鑰盤。本實(shí)用新型的有益效果是由下至上依次由剛玉墊、固定盤和鎢棒組將坩堝固定連接于爐體內(nèi)，坩堝在爐體內(nèi)連穩(wěn)定，在高真空、高溫的藍(lán)寶石生長(zhǎng)環(huán)境下，能確保坩堝期使用穩(wěn)定，提高藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐使用壽命。

附圖1是本實(shí)用新型使用結(jié)構(gòu)示意圖。附圖中爐體1，剛玉墊2，固定盤3，下反射屏4，側(cè)反射屏5，發(fā)熱體6，上反射屏7，提拉支架8,提拉桿9,電極10, 甘禍11，鶴棒組12。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖所示的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作以下詳細(xì)描述圖1所示，一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐坩堝固定裝置，包括鎢棒組12、固定盤3和剛玉墊2，剛玉墊2固定于爐體I底部上，固定盤3安裝在剛玉墊2上，固定盤3上通過(guò)鎢棒組12固定坩堝11。所述固定盤是帶有螺紋絲扣的鑰盤。本實(shí)用新型在使用時(shí)，以爐體I中心位置為基準(zhǔn)安裝剛玉墊2、在剛玉墊2上安裝側(cè)反射屏5，在側(cè)反射屏5內(nèi)由下至上分別安裝固定盤3、下反射屏4、發(fā)熱體6，發(fā)熱體6與電極10連接。鎢棒組12與固定盤3連接牢固，在鎢棒組12上安放坩堝11。在爐體外安裝提拉支架8，在支架8上安裝提拉桿9，提拉桿與爐體中心位置重合。在高真空環(huán)境下，電極10接通外接電源，發(fā)熱體6加電發(fā)熱，下反射屏4、側(cè)反射屏5、上反射屏7反射熱量，形成梯度均衡的熱場(chǎng)，坩堝11內(nèi)的高純氧化鋁原料熔化，在合適的溫度梯度條件下，提拉桿9頂部的籽晶下種、放肩、等徑生長(zhǎng)。在生長(zhǎng)過(guò)程中，提拉支架8勻速向上帶動(dòng)提拉桿運(yùn)動(dòng)，通過(guò)合理的控制，微量提拉獲得高質(zhì)量的晶體。 以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型而并非限制本實(shí)用新型所描述的技術(shù)方案；因此，盡管本說(shuō)明書參照上述的各個(gè)實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型已進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，但是，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，仍然可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行修改或等同替換；而一切不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的技術(shù)方案及其改進(jìn)，其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍中。
權(quán)利要求1.一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐坩堝固定裝置，其特征在于包括鎢棒組、固定盤和剛玉墊，剛玉墊固定于爐體底部上，固定盤安裝在剛玉墊上，固定盤上通過(guò)鎢棒組固定坩堝。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐坩堝固定裝置，其特征在于所述固定盤是帶有螺紋絲扣的鑰盤。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐坩堝固定裝置，包括鎢棒組、固定盤和剛玉墊，剛玉墊固定于爐體底部上，固定盤安裝在剛玉墊上，固定盤上通過(guò)鎢棒組固定坩堝。由下至上依次由剛玉墊、固定盤和鎢棒組將坩堝固定連接于爐體內(nèi)，坩堝在爐體內(nèi)連穩(wěn)定，在高真空、高溫的藍(lán)寶石生長(zhǎng)環(huán)境下，能確保坩堝期使用穩(wěn)定，提高藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐使用壽命。
文檔編號(hào)C30B29/20GK202830225SQ201220389609
公開日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年8月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月8日
發(fā)明者郭宏鶴, 胡暉, 施吉祥, 吳成榮, 孫曙光, 胡森 申請(qǐng)人:江蘇浩瀚藍(lán)寶石科技有限公司