專利名稱：硅棒清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及晶體硅清洗及配件設(shè)計(jì)領(lǐng)域，尤其是一種硅棒清洗時(shí)的支撐裝置。
背景技術(shù)：
在生長完硅晶體后，通常先將圓柱體晶體切去邊皮形成圓角長方體，之后將此長方體應(yīng)用線切割制作成薄硅片。一般的，剛切去邊皮的圓角長方體硅棒表面有損傷層，在線切割吋，損傷層會(huì)擴(kuò)散導(dǎo)致薄硅片的碎片率増加。因此，在線切割之前，一般需要用化學(xué)腐蝕液對硅棒進(jìn)行清洗，去除其表面的損傷層。其過程是將硅棒橫置放于容器中，倒入腐蝕液進(jìn)行清洗。為了使硅棒的每個(gè)表面都能得到較好的清洗，硅棒并不與容器底部接觸，而是放在容器底部的支撐裝置上。常用的支撐裝置是兩個(gè)突起的平臺(tái)，通過托住硅棒局部而支撐整個(gè)硅棒。但是這種支撐裝置存在ー個(gè)缺陷，即硅棒與平臺(tái)接觸的部分無法被腐蝕到，在清 洗后會(huì)形成凸點(diǎn)，在后續(xù)切片過程中増加碎片率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種硅棒清洗裝置，用以解決硅棒清洗后會(huì)產(chǎn)生凸點(diǎn)的問題。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種硅棒清洗裝置，包括清洗槽體，所述的槽體的底部內(nèi)壁上設(shè)置有硅棒支撐裝置，所述的支撐裝置包括導(dǎo)軌以及設(shè)置在導(dǎo)軌上兩個(gè)滑塊，所述的兩個(gè)滑塊之間的距離小于等于硅棒的長度。具體的說，本實(shí)用新型所述的滑塊為三棱柱滑塊，滑塊的截面為直角、鋭角或鈍角三角形；所述的滑塊與槽體接觸的表面為平面，滑塊的其余兩個(gè)面為平面或弧面。本實(shí)用新型所述的滑塊在導(dǎo)軌上水平移動(dòng)，通過螺絲固定在導(dǎo)軌上。本實(shí)用新型的有益效果是，解決了背景技術(shù)中存在的缺陷，該裝置結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，能使硅棒被清洗液包圍的表面積盡可能最大，同時(shí)硅棒表面不會(huì)出現(xiàn)凸點(diǎn)，降低了后續(xù)切片過程的碎片率，從而降低生產(chǎn)成本。
以下結(jié)合附圖
和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)ー步說明。圖I是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中1、清洗液，2、硅棒，3、槽體，4、滑塊，5、導(dǎo)軌。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖和優(yōu)選實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)ー步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。[0012]如圖I所示的一種硅棒清洗裝置，包括清洗槽體3，槽體3的底部內(nèi)壁上設(shè)置有導(dǎo)軌5以及設(shè)置在導(dǎo)軌上兩個(gè)滑塊4，兩個(gè)滑塊4之間的距離小于等于硅棒3的長度。滑塊4可以根據(jù)硅棒2長度在導(dǎo)軌5上移動(dòng)位置，然后通過固定螺絲緊固在導(dǎo)軌5上?；瑝K為三棱柱滑塊，滑塊的三角形底面為直角三角形，此外，三棱柱與清洗槽接觸的表面為平面，其余表面也平面。在清洗吋，先測量硅棒長度，根據(jù)硅棒長度調(diào)節(jié)兩個(gè)滑塊之間的距離，并用螺絲固定。將硅棒輕輕放在固定裝置上，倒入清洗液清洗即可。以上說明書中描述的只是本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
，各種舉例說明不對本實(shí)用 新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容構(gòu)成限制，所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在閱讀了說明書后可以對以前所述的具體實(shí)施方式
做修改或變形，而不背離實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)和范圍。
權(quán)利要求1.一種硅棒清洗裝置，包括清洗槽體，其特征在于所述的槽體的底部內(nèi)壁上設(shè)置有硅棒支撐裝置，所述的支撐裝置包括導(dǎo)軌以及設(shè)置在導(dǎo)軌上兩個(gè)滑塊，所述的兩個(gè)滑塊之間的距離小于等于硅棒的長度。
2.如權(quán)利要求I所述的硅棒清洗裝置，其特征在于所述的滑塊為三棱柱滑塊，滑塊的截面為直角、銳角或鈍角三角形；所述的滑塊與槽體接觸的表面為平面，滑塊的其余兩個(gè)面為平面或弧面。
3.如權(quán)利要求I所述的硅棒清洗裝置，其特征在于所述的滑塊在導(dǎo)軌上水平移動(dòng)，通過螺絲固定在導(dǎo)軌上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種硅棒清洗裝置，包括清洗槽體，所述的槽體的底部內(nèi)壁上設(shè)置有硅棒支撐裝置，所述的支撐裝置包括導(dǎo)軌以及設(shè)置在導(dǎo)軌上兩個(gè)滑塊，所述的兩個(gè)滑塊之間的距離小于等于硅棒的長度。該裝置結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，能使硅棒被清洗液包圍的表面積盡可能最大，同時(shí)硅棒表面不會(huì)出現(xiàn)凸點(diǎn)，降低了后續(xù)切片過程的碎片率，從而降低生產(chǎn)成本。
文檔編號C30B33/10GK202610398SQ20122020173
公開日2012年12月19日 申請日期2012年5月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月7日
發(fā)明者肖貴云, 王傳凱, 劉富林, 岳維維 申請人:常州順風(fēng)光電材料有限公司