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一種新型的pecvd冷卻臺的制作方法

文檔序號:8188473閱讀:299來源:國知局
專利名稱:一種新型的pecvd冷卻臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及一種冷卻裝置,尤其涉及一種新型的PECVD冷卻臺。
背景技術(shù)
隨著科技的發(fā)展以及光電子和通信產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,我們的生活中處處可見“硅”的身影和作用,晶體硅太陽能電池是近15年來形成產(chǎn)業(yè)化最快的。在制作太陽能單晶硅電池片的生產(chǎn)過程中,冷卻是一個很重要的環(huán)節(jié),冷卻不均勻或冷卻不到位都影響太陽能單晶硅電池片的質(zhì)量,因此,急需一種新型的太陽能單晶硅電池片的冷卻裝置。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、冷卻均勻、冷卻到位的新型PECVD冷卻臺。為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型的技術(shù)方案為提供一種新型的PECVD冷卻臺,包括支架及支架固定的冷卻灶,其中,所述冷卻灶四周由支架固定,冷卻灶下方設(shè)有鼓風(fēng)機,冷卻灶上方設(shè)有鐵絲網(wǎng)。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、冷卻均勻、冷卻到位,冷卻后的太陽能單晶硅電池片硬度均勻。

圖I為本實用新型PECVD冷卻臺的主視結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本實用新型PECVD冷卻臺的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;從圖1、2中可知本實用新型由I表示支架、2表示鼓風(fēng)機、3表示鐵絲網(wǎng)、4表示冷卻灶。
具體實施方式
為了詳細(xì)說明本實用新型PECVD冷卻臺的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、以下結(jié)合實施方式并配合附圖作進一步說明。如圖I、2所示,本實用新型一種新型的PECVD冷卻臺,包括支架I及支架固定的冷卻灶4,所述冷卻灶四周由支架I固定,冷卻灶4下方設(shè)有鼓風(fēng)機2,冷卻灶上方設(shè)有鐵絲網(wǎng)
3。鼓風(fēng)機2的數(shù)量根據(jù)使用狀態(tài)限定,優(yōu)選3-5個,鐵絲網(wǎng)3均勻設(shè)在冷卻灶的上方,當(dāng)需要將生產(chǎn)過程中的太陽能單晶硅電池片冷卻時,把太陽能單晶硅電池片均勻的放置于鐵絲網(wǎng)3上,開啟鼓風(fēng)機2即可。本新型的PECVD冷卻臺結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、使用方便、冷卻時間短、冷卻后的太陽能單晶硅電池片硬度均勻。以上所揭露的僅為本實用新型的較佳實施例而已,當(dāng)然不能以此來限定本實用新型之權(quán)利范圍,因此依本實用新型權(quán)利要求所作的等同變化,仍屬于本實用新型所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求1.一種新型的PECVD冷卻臺,包括支架及支架固定的冷卻灶,其特征在于所述冷卻灶四周由支架固定,冷卻灶下方設(shè)有鼓風(fēng)機,冷卻灶上方設(shè)有鐵絲網(wǎng)。
專利摘要本實用新型公開一種新型的PECVD冷卻臺,包括支架及支架固定的冷卻灶,其中,所述冷卻灶四周由支架固定,冷卻灶下方設(shè)有鼓風(fēng)機,冷卻灶上方設(shè)有鐵絲網(wǎng)。本新型的PECVD冷卻臺結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、使用方便、冷卻時間短、冷卻后的太陽能單晶硅電池片硬度均勻。
文檔編號C30B33/00GK202369637SQ201120497610
公開日2012年8月8日 申請日期2011年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月2日
發(fā)明者劉中唯 申請人:海南天聚太陽能有限公司
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