專利名稱：單晶爐坩堝防塵裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
單晶爐坩堝防塵裝置屬于機電技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅拉制過程中單晶爐坩堝防塵。
背景技術(shù)：
單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅工藝過程中的必備設(shè)備，而單晶硅又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料；單晶硅作為現(xiàn)代信息社會的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽能的主要功能材料。在硅單晶拉制前，利用單晶爐坩堝防塵裝置可防止作業(yè)雜質(zhì)掉入磁流體內(nèi)，造成磁流體卡死，不旋轉(zhuǎn)，影響拉晶質(zhì)量；眾所周知，目前單晶爐坩堝裝置，采用防塵裝置密固性能差，容易造成設(shè)備損壞，晶棒精度低等現(xiàn)象。發(fā)明的內(nèi)容本發(fā)明單晶爐坩堝防塵裝置發(fā)明目的在于解決單晶爐晶體拉制過程中產(chǎn)生雜質(zhì)易掉入磁流體、造成設(shè)備易損壞問題，設(shè)計制造一種與現(xiàn)有技術(shù)不同坩堝防塵裝置。本發(fā)明單晶爐坩堝防塵裝置是這樣實現(xiàn)的含雜質(zhì)和磁流體，由坩堝軸、壓緊套和防塵法蘭組成；坩堝軸為水冷焊接件和磁流體同軸心套裝，在磁流體上平面和坩堝軸外圓軸面同軸心安裝防塵法蘭；壓緊套套裝在防塵法蘭外側(cè)并通過螺釘固定在坩堝軸上。在硅單晶拉制過程中，利用單晶爐坩堝防塵裝置可防止作業(yè)時雜質(zhì)掉入磁流體內(nèi)，導(dǎo)致磁流體卡死、不旋轉(zhuǎn)，影響拉晶質(zhì)量。本發(fā)明單晶爐坩堝防塵裝置的有益效果是在硅單晶拉制過程中，單晶爐坩堝防塵裝置可防止作業(yè)時雜質(zhì)掉入磁流體內(nèi)，造成磁流體卡死，不旋轉(zhuǎn)，影響拉晶質(zhì)量；降低成本，提高作業(yè)效率。


附圖為本發(fā)明單晶爐坩堝防塵裝置結(jié)構(gòu)示意圖。圖中坩堝軸1、壓緊套2、雜質(zhì)3、磁流體4、防塵法蘭5。
具體實施例方式本發(fā)明單晶爐坩堝防塵裝置，含雜質(zhì)3和磁流體4，由坩堝軸1、壓緊套2和防塵法蘭5組成堝軸1為水冷焊接件和磁流體4同軸心套裝，在磁流體4上平面和坩堝軸1外圓軸面同軸心安裝防塵法蘭5 ；壓緊套2套裝在防塵法蘭5外側(cè)并通過螺釘固定在坩堝軸1 上。
權(quán)利要求
1.單晶爐坩堝防塵裝置，其特征在于含雜質(zhì)(3)和磁流體G)，由坩堝軸(1)、壓緊套 ⑵和防塵法蘭(5)組成堝軸⑴為水冷焊接件和磁流體⑷同軸心套裝，在磁流體⑷ 的上平面和坩堝軸(1)外圓軸面同軸心安裝防塵法蘭(5)；壓緊套( 套裝在防塵法蘭(5) 外側(cè)并通過螺釘固定在坩堝軸(1)上。
全文摘要
單晶爐坩堝防塵裝置屬于冶煉機電技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅拉制過程中單晶爐坩堝防塵；含雜質(zhì)和磁流體，由坩堝軸、壓緊套和防塵法蘭組成；坩堝軸為水冷焊接件和磁流體同軸心套裝，在磁流體的上平面和坩堝軸外圓軸面同軸心安裝防塵法蘭；壓緊套套裝在防塵法蘭外側(cè)并通過螺釘固定在坩堝軸上；在硅單晶拉制前，單晶爐坩堝防塵裝置可防止作業(yè)時雜質(zhì)掉入磁流體內(nèi)，造成磁流體卡死，不旋轉(zhuǎn)，影響拉晶質(zhì)量；降低成本，提高作業(yè)效率。
文檔編號C30B15/00GK102400207SQ201110366050
公開日2012年4月4日 申請日期2011年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月18日
發(fā)明者吳學(xué)軍, 周凱平 申請人:寧夏日晶新能源裝備股份有限公司