專利名稱：探針卡校正設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
發(fā)明涉及一種校正設(shè)備，尤指一種適用于探針卡校正設(shè)備。 景技術(shù)
探針卡校正，可分成探針的經(jīng)向與緯向偏斜的校正、及探針的平均高 度校正。進(jìn)行經(jīng)、緯向校正時(shí)則以低倍率顯微鏡輔以比對(duì)罩進(jìn)行探針卡的 比對(duì)。此時(shí)，若探針相對(duì)于比對(duì)罩的比對(duì)記號(hào)產(chǎn)生經(jīng)向或與緯向位置偏斜 時(shí)，則以人工進(jìn)行經(jīng)、緯向校正，此校正動(dòng)作持續(xù)到探針正確地對(duì)準(zhǔn)比對(duì) 記號(hào)為止。若針對(duì)探針的平均高度進(jìn)行校正，則是以高倍率顯微鏡輔以校 正，將較平均高度凸出或凹陷的探針進(jìn)行高度調(diào)整以使整體探針的高度平 均一致。于現(xiàn)有技術(shù)中，經(jīng)向與緯向偏斜的校正是以一臺(tái)專用設(shè)備進(jìn)行， 而探針的平均高度校正則又是另一臺(tái)專用設(shè)備。因此，使用者通常需校正 探針卡于兩套設(shè)備之間，不僅于使用上不方便，更是耗費(fèi)人力及時(shí)間，而 調(diào)校好的探針卡也因來回的搬運(yùn)與安裝而可能使定位偏移而造成調(diào)校的 精準(zhǔn)度變差，因而衍生諸多問題。因此，亟待一種能將兩專用機(jī)臺(tái)合而為 一的探針卡校正設(shè)備，以解決上述種種問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的是提供一種探針卡校正設(shè)備，包括 一基座、 一移動(dòng)平臺(tái)、 一比對(duì)裝置、以及一復(fù)合顯微裝置。其中，移動(dòng)平臺(tái)組設(shè)于基座上方，并
4能相對(duì)于基座作二維度移動(dòng)調(diào)整，移動(dòng)平臺(tái)上組設(shè)有一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，并能相 對(duì)于移動(dòng)平臺(tái)作第三維度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上設(shè)置有至少一夾具用以夾持一 探針卡。比對(duì)裝置包括有一比對(duì)罩，比對(duì)罩選擇式地移行于一比對(duì)位置與 一遠(yuǎn)離位置之間。比對(duì)罩還包括有一透明片，透明片上包括有一比對(duì)區(qū)， 比對(duì)區(qū)內(nèi)標(biāo)記有至少一比對(duì)記號(hào)。復(fù)合顯微裝置包括有一支架、 一轉(zhuǎn)換塊、 一低倍顯微鏡、及一高倍顯微鏡。支架固設(shè)于基座上，轉(zhuǎn)換塊活設(shè)于支架 上，低倍顯微鏡與高倍顯微鏡分別組設(shè)于轉(zhuǎn)換塊上。低倍顯微鏡包括有一 低倍物鏡，高倍顯微鏡包括有一高倍物鏡，轉(zhuǎn)換塊是選擇式地移動(dòng)于一第 一位置與一第二位置之間。其中，第一位置是指低倍顯微鏡的低倍物鏡對(duì) 準(zhǔn)到比對(duì)罩位于其比對(duì)位置時(shí)的比對(duì)區(qū)位置，第二位置是指高倍顯微鏡的 高倍物鏡對(duì)準(zhǔn)到比對(duì)罩位于其比對(duì)位置時(shí)的比對(duì)區(qū)位置。
因此，本發(fā)明透過移動(dòng)轉(zhuǎn)換塊于第一位置與第二位置之間，能快速切 換使用轉(zhuǎn)換塊上的低倍顯微鏡、或高倍顯微鏡以對(duì)準(zhǔn)比對(duì)罩的比對(duì)區(qū)，故 能達(dá)成精準(zhǔn)、方便、迅速地校正探針卡的目的。
上述復(fù)合顯微裝置的支架上可設(shè)有一橫向滑槽，而轉(zhuǎn)換塊則可使用一 滑塊以對(duì)應(yīng)橫向滑移于橫向滑槽內(nèi)；或是于支架上改設(shè)一旋轉(zhuǎn)槽，而轉(zhuǎn)換 塊則改用一旋轉(zhuǎn)塊以樞設(shè)于旋轉(zhuǎn)槽內(nèi)、并能相對(duì)旋轉(zhuǎn)于第一、二角度位置 之間亦可。復(fù)合顯微裝置更可包括有一第一致動(dòng)器、及一第一開關(guān)。第一 開關(guān)與第一致動(dòng)器電性連結(jié)，啟動(dòng)第一開關(guān)后可致使第一致動(dòng)器帶動(dòng)滑塊 沿著橫向滑槽橫向滑移并選擇式地定位于第一位置或第二位置上。第一致 動(dòng)器可以是指一油壓缸，或可改用氣壓缸、步進(jìn)馬達(dá)、或皮帶、煉條傳動(dòng)… 等皆可。
本發(fā)明的比對(duì)裝置可包括一翻調(diào)裝置、及一轉(zhuǎn)桿。比對(duì)罩的一側(cè)可固 設(shè)于轉(zhuǎn)桿上，翻調(diào)裝置是驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)桿軸向旋轉(zhuǎn)以使比對(duì)罩翻轉(zhuǎn)、并選擇式地 定位于比對(duì)位置或遠(yuǎn)離位置上；或可將翻調(diào)裝置改用一升降裝置，以帶動(dòng)該比對(duì)罩上升下降以選擇式地移行于一位于下方的比對(duì)位置、與一位于上 方的遠(yuǎn)離位置。本發(fā)明的比對(duì)裝置可更包括有一第二開關(guān)，翻調(diào)裝置則可 包括一第二致動(dòng)器。第二致動(dòng)器與第二開關(guān)電性連結(jié)，啟動(dòng)第二開關(guān)可致 使第二致動(dòng)器帶動(dòng)轉(zhuǎn)桿軸向旋轉(zhuǎn)。第二致動(dòng)器可以是指一旋轉(zhuǎn)式油壓缸， 或可改用氣壓缸、馬達(dá)…等皆可。
上述高倍顯微鏡可更包括一垂向滑塊、 一第三致動(dòng)器、及一第三開關(guān)。 第三致動(dòng)器與第三開關(guān)電性連結(jié)，啟動(dòng)第三開關(guān)可致使第三致動(dòng)器帶動(dòng)垂 向滑塊垂直滑移于轉(zhuǎn)換塊上，以微調(diào)高倍顯微鏡的焦距。第三致動(dòng)器可以 是指一油壓缸，或可改用氣壓缸、馬達(dá)…等皆可。
上述低倍顯微鏡可以更包括一垂直滑塊、及一垂直調(diào)整裝置。透過垂 直調(diào)整裝置可以帶動(dòng)垂直滑塊垂直滑移于轉(zhuǎn)換塊上，以調(diào)整低倍顯微鏡的 焦距。上述垂直調(diào)整裝置可以是指一手動(dòng)旋鈕、或電動(dòng)按鈕、或其它等效 調(diào)整裝置皆可。
本發(fā)明的移動(dòng)平臺(tái)可以包括一經(jīng)向調(diào)整裝置、及一緯向調(diào)整裝置，經(jīng) 向調(diào)整裝置可調(diào)整移動(dòng)平臺(tái)的經(jīng)向位置，緯向調(diào)整裝置可調(diào)整移動(dòng)平臺(tái)的 緯向位置。上述的經(jīng)、緯向調(diào)整裝置可以分別采用電動(dòng)馬達(dá)調(diào)整，或是采 用氣壓缸、或油壓缸調(diào)整，因此，透過校正設(shè)備的自動(dòng)化的輔助可使得探 針卡的校正工作更具便利、及精確性。當(dāng)然，上述經(jīng)、緯向調(diào)整裝置也可 以簡單采用如手動(dòng)的旋鈕來調(diào)整位置，以降低成本。


圖1是本發(fā)明一較佳具體實(shí)施例的立體組合圖2是本發(fā)明一較佳具體實(shí)施例的比對(duì)罩的放大示意圖3是本發(fā)明一較佳具體實(shí)施例的滑塊移動(dòng)至第一位置的前視圖4是本發(fā)明一較佳具體實(shí)施例的滑塊移動(dòng)至第二位置的前視圖。主要組件符號(hào)說明
基座1移動(dòng)平臺(tái)2旋轉(zhuǎn)載臺(tái)21
夾具211比對(duì)裝置3比對(duì)罩31
透明片311比對(duì)區(qū)312比對(duì)記號(hào)313
翻調(diào)裝置32轉(zhuǎn)桿321旋轉(zhuǎn)式油壓缸33
第二開關(guān)34復(fù)合顯微裝置4支架40
橫向滑槽401滑塊41低倍顯微鏡42
低倍物鏡421垂直滑塊422垂直調(diào)整裝置423
高倍顯微鏡43高倍物鏡431垂向滑塊44
油壓缸45，5第三開關(guān)46第一開關(guān)51
比對(duì)位置Pl遠(yuǎn)離位置P2探針卡8
探針8具體實(shí)施例方式
請(qǐng)參閱圖1，其顯示為本發(fā)明一較佳具體實(shí)施例的立體組合圖。本實(shí)
施例的探針卡校正設(shè)備包括一基座1、 一移動(dòng)平臺(tái)2、 一比對(duì)裝置 3(comparing device)、 以及一復(fù)合顯微裝置4 (hybrid microscopic apparatus)。
如圖1所示，本實(shí)施例的移動(dòng)平臺(tái)2是組設(shè)于基座1上方，并能相對(duì) 于基座1作圖1顯示的X方向(下稱經(jīng)向)、與Y方向(下稱緯向)的二維度 移動(dòng)調(diào)整，移動(dòng)平臺(tái)2上組設(shè)有一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)21，并能相對(duì)于移動(dòng)平臺(tái)2 作Z軸方向的第三維度旋轉(zhuǎn)。在本例中，旋轉(zhuǎn)載臺(tái)21上設(shè)置有四組夾具 211用以夾持一待校正與調(diào)整其上探針81的探針卡8 (procard)。
如圖1，比對(duì)裝置3設(shè)有一比對(duì)罩31(mask)、 一翻調(diào)裝置32、 一轉(zhuǎn)桿321、及一第二開關(guān)34。比對(duì)罩31的一側(cè)是固設(shè)于轉(zhuǎn)桿321的一端上，轉(zhuǎn) 桿321的另一端則連結(jié)于翻調(diào)裝置32的第二致動(dòng)器上，于本例中此第二 致動(dòng)器系采用一旋轉(zhuǎn)式油壓缸33，此旋轉(zhuǎn)式油壓缸33并與第二開關(guān)34 電性連結(jié)。故當(dāng)使用者啟動(dòng)此第二開關(guān)34，可使旋轉(zhuǎn)式油壓缸33帶動(dòng)轉(zhuǎn) 桿321作軸向旋轉(zhuǎn)。
在實(shí)際操作校正與調(diào)針過程中，使用者需要先將比對(duì)罩31翻轉(zhuǎn)到探 針卡8上方并接近到各探針81的位置，如圖1所示的比對(duì)罩31實(shí)線位置 (下稱比對(duì)位置P1)，以便與各探針進(jìn)行近距離的經(jīng)緯位置的顯微比對(duì)；一 旦比對(duì)出有任何探針偏離其正確位置，使用者又需將比對(duì)罩31翻轉(zhuǎn)離開 上述各探針位置，如圖1所示的比對(duì)罩31虛線位置(下稱遠(yuǎn)離位置P2)， 以方便使用者透過手動(dòng)來調(diào)整該偏差探針的經(jīng)緯位置。因此，使用者會(huì)多 次開啟此第二開關(guān)34以控制旋轉(zhuǎn)式油壓缸33驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)桿321軸向旋轉(zhuǎn)，而 使比對(duì)罩31前后翻轉(zhuǎn)、并依需要而選擇式地定位于上述比對(duì)位置Pl或遠(yuǎn) 離位置P2上。
圖1并顯示本實(shí)施例的復(fù)合顯微裝置4包括有一支架40、 一轉(zhuǎn)換塊、 一低倍顯微鏡42、及一高倍顯微鏡43。本例的支架40是直接固設(shè)于基座 l后方并呈直立狀，支架40上設(shè)有一橫向滑槽401。于本例中上述的轉(zhuǎn)換 塊是采用一滑塊41以活設(shè)于支架40上，更精確地說，是將滑塊41對(duì)應(yīng) 橫向滑移于橫向滑槽401內(nèi)。圖1顯示低倍顯微鏡42與高倍顯微鏡43是 共同組設(shè)于此滑塊41上，并能跟隨著滑塊41 一同沿著橫向滑槽401作橫 向滑移。于本例中，另于支架40上組裝有一第一致動(dòng)器，例如圖1所示 的油壓缸5，該油壓缸5是與一設(shè)于基座1上的第一開關(guān)51電性連結(jié)。故 當(dāng)使用者激活第一開關(guān)51，可致使油壓缸5前端的推桿帶動(dòng)滑塊41沿著 橫向滑槽401橫向地左、右滑移。
本實(shí)施例的低倍顯微鏡42包括有一低倍物鏡421、 一垂直滑塊422、及一垂直調(diào)整裝置。于本例中，垂直調(diào)整裝置是指一手動(dòng)旋鈕423，透過 旋轉(zhuǎn)手動(dòng)旋鈕423可以帶動(dòng)垂直滑塊422相對(duì)于滑塊41作垂直滑移，此 舉可以調(diào)整低倍顯微鏡42的高低位置，甚至調(diào)整低倍顯微鏡42相對(duì)于比 對(duì)罩31的焦距。
本實(shí)施例的高倍顯微鏡43包括有一高倍物鏡431、 一垂向滑塊44、 一第三致動(dòng)器、及一第三開關(guān)46。于本例中，第三致動(dòng)器是指一油壓缸 45，其與第三開關(guān)46電性連結(jié)。使用者可以啟動(dòng)第三開關(guān)46致使油壓缸 45帶動(dòng)垂向滑塊44相對(duì)于滑塊41作垂直滑移，此舉可以調(diào)整高倍顯微鏡 43的高低位置，甚至微調(diào)高倍顯微鏡43的焦距。
圖2顯示本實(shí)施例比對(duì)罩31的放大示意圖，比對(duì)罩31包括有一透明 片311，透明片311上形成有一比對(duì)區(qū)312，在比對(duì)區(qū)312內(nèi)已經(jīng)預(yù)先標(biāo) 記有相應(yīng)于探針卡探針數(shù)目、與正確位置的復(fù)數(shù)個(gè)比對(duì)記號(hào)313。
當(dāng)欲進(jìn)行探針卡的校正時(shí)，使用者先操作圖1的旋轉(zhuǎn)式油壓缸33驅(qū) 動(dòng)轉(zhuǎn)桿321軸向旋轉(zhuǎn)，使得比對(duì)罩31向前翻轉(zhuǎn)到前述圖1的比對(duì)位置Pl 處，此時(shí)比對(duì)罩31的比對(duì)區(qū)312將對(duì)準(zhǔn)到探針卡8的各探針81位置處， 亦即圖2所在的角度位置，實(shí)際上此處透明片311與其上比對(duì)區(qū)312的各 個(gè)比對(duì)記號(hào)313將十分靠近下方的探針卡8的各個(gè)探針81的針尖，但為 圖示清楚，故圖2中特意把其中一支探針81繪成稍為遠(yuǎn)離所對(duì)應(yīng)的比對(duì) 記號(hào)313以方便檢視。
使用者是透過目視比對(duì)彼此十分靠近的各比對(duì)記號(hào)313與各探針81 的針尖，便可直接校正比對(duì)各探針81的針頭有無偏離其正確位置。若當(dāng) 目視比對(duì)有探針81偏離其所對(duì)應(yīng)的比對(duì)記號(hào)313時(shí)，則表示該探針81明 顯偏離其正確位置，使用者便可操作圖1的旋轉(zhuǎn)式油壓缸33驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)桿321 軸向旋轉(zhuǎn)，使得比對(duì)罩31向后翻轉(zhuǎn)到前述的遠(yuǎn)離位置P2后，以騰出操作 空間再以鑷子等工具進(jìn)行手工調(diào)針工作。由圖1顯示，本例所謂的遠(yuǎn)離位置P2，是將比對(duì)罩31的比對(duì)區(qū)312向后翻轉(zhuǎn)移離開探針卡8的各探針81 位置處。手工調(diào)針后，使用者若需再次驗(yàn)證所調(diào)整的距離是否正確，只要 再次將比對(duì)罩31翻轉(zhuǎn)回來前述圖1的比對(duì)位置P1處再次比對(duì)即可。因此， 周而復(fù)始的校正比對(duì)與調(diào)針動(dòng)作將持續(xù)到每一探針81均調(diào)整到其正確位 置為止。
請(qǐng)注意，前述的校正比對(duì)過程中，使用者都需透過顯微鏡以協(xié)助其進(jìn) 行細(xì)小對(duì)象的目視比對(duì)，本實(shí)施例并提供一種可迅速轉(zhuǎn)換使用不同低、高 倍顯微鏡42， 43以協(xié)助目視比對(duì)的結(jié)構(gòu)。
承上所述，本實(shí)施例在進(jìn)行校正比對(duì)探針81作業(yè)時(shí)，需先將比對(duì)罩 31向前翻轉(zhuǎn)到圖1的比對(duì)位置Pl，此處的比對(duì)區(qū)312恰好位于探針卡8 上方位置、并對(duì)準(zhǔn)各探針81。圖3，4均顯示本實(shí)施例的比對(duì)罩31已經(jīng)翻 轉(zhuǎn)到了其比對(duì)位置P1的前視圖。
圖3更顯示其滑塊41相對(duì)于橫向滑槽401滑移并停止于圖3所顯現(xiàn) 的第一位置A處，此第一位置A是指其低倍顯微鏡42的低倍物鏡421恰 好對(duì)準(zhǔn)到比對(duì)區(qū)312的位置，必要時(shí)可再以手動(dòng)調(diào)整低倍顯微鏡42作垂 直滑移，以進(jìn)行低倍率的顯微檢視作業(yè)，例如調(diào)整探針的經(jīng)緯位置、或作 較大區(qū)域范圍的檢視。
圖4則顯示其滑塊41相對(duì)于橫向滑槽401滑移并停止于圖4所顯現(xiàn) 的第二位置B處，此第二位置B是指其高倍顯微鏡43的高倍物鏡431恰 好對(duì)準(zhǔn)到比對(duì)區(qū)312的位置，必要時(shí)可再以電動(dòng)調(diào)整高倍顯微鏡43作垂 直滑移，以進(jìn)行高倍率的顯微檢視作業(yè)，例如調(diào)整探針的高度位置、或作 細(xì)小區(qū)域范圍的檢視。
由于本實(shí)施例可透過第一開關(guān)51以啟動(dòng)油壓缸5來推動(dòng)滑塊41沿著 橫向滑槽401作橫向左、右滑移，故能迅速的變換滑塊41的位置使其停 止于第一位置A或一第二位置B上，故能快速切換使用滑塊41上的低倍顯微鏡42、及高倍顯微鏡43來對(duì)準(zhǔn)比對(duì)罩31的比對(duì)區(qū)312。因此，可改 善現(xiàn)有技術(shù)探針卡校正需先經(jīng)由一個(gè)經(jīng)、緯校正設(shè)備作經(jīng)、緯校正后，再 以另一個(gè)平均高度校正設(shè)備作平均高度校正。的后若需再作經(jīng)、緯校正的 確認(rèn)，則又需再搬回到經(jīng)、緯校正設(shè)備上作校正比對(duì)的不便。
因此，本發(fā)明得以省卻探針卡搬移于兩套設(shè)備間的不當(dāng)，故得以改善 現(xiàn)有技術(shù)于使用上不方便、耗費(fèi)人力及時(shí)間，及調(diào)校好的探針卡也因來回 的搬運(yùn)與安裝而可能使定位偏移而造成調(diào)校的精準(zhǔn)度變差的諸多問題。透 過本發(fā)明，得以達(dá)成精準(zhǔn)、方便、迅速地校正探針卡的目的。
上述實(shí)施例僅系為了方便說明而舉例而已，本發(fā)明所主張的權(quán)利范圍 自應(yīng)以申請(qǐng)專利范圍所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實(shí)施例。
權(quán)利要求
1、一種探針卡校正設(shè)備，其特征在于包括一基座；一移動(dòng)平臺(tái)，組設(shè)于該基座上方，并能相對(duì)于該基座作二維度移動(dòng)調(diào)整，該移動(dòng)平臺(tái)上組設(shè)有一旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，并能相對(duì)于該移動(dòng)平臺(tái)作第三維度旋轉(zhuǎn)，該旋轉(zhuǎn)載臺(tái)上設(shè)置有至少一夾具；一比對(duì)裝置，包括有一比對(duì)罩，該比對(duì)罩選擇式地移行于一比對(duì)位置與一遠(yuǎn)離位置之間，該比對(duì)罩包括有一透明片，該透明片上包括有一比對(duì)區(qū)，該比對(duì)區(qū)內(nèi)標(biāo)記有至少一比對(duì)記號(hào)；以及一復(fù)合顯微裝置，包括有一支架、一轉(zhuǎn)換塊、一低倍顯微鏡、及一高倍顯微鏡，該支架固設(shè)于該基座上，該轉(zhuǎn)換塊活設(shè)于該支架上，該低倍顯微鏡與該高倍顯微鏡分別組設(shè)于該轉(zhuǎn)換塊上，該低倍顯微鏡包括有一低倍物鏡，該高倍顯微鏡包括有一高倍物鏡，該轉(zhuǎn)換塊是選擇式地移動(dòng)于一第一位置與一第二位置之間，其中，該第一位置是指該低倍顯微鏡的該低倍物鏡對(duì)準(zhǔn)到該比對(duì)罩位于其比對(duì)位置時(shí)的該比對(duì)區(qū)位置，該第二位置是指該高倍顯微鏡的該高倍物鏡對(duì)準(zhǔn)到該比對(duì)罩位于其比對(duì)位置時(shí)的該比對(duì)區(qū)位置。
2、 如權(quán)利要求1所述的探針卡校正設(shè)備，其特征在于，該復(fù)合顯微裝置的該支架上設(shè)有一橫向滑槽，該轉(zhuǎn)換塊是指一滑塊以對(duì)應(yīng)橫向滑移于該橫向滑槽內(nèi)。
3、 如權(quán)利要求2所述的探針卡校正設(shè)備，其特征在于，該復(fù)合顯微裝置更包括一第一致動(dòng)器、及一第一開關(guān)，該第一開關(guān)與該第一致動(dòng)器電性連結(jié)，啟動(dòng)該第一開關(guān)致使該第一致動(dòng)器帶動(dòng)該滑塊沿著該橫向滑槽橫向滑移、并選擇式地定位于該第一位置或該第二位置上。
4、 如權(quán)利要求1所述的探針卡校正設(shè)備，其特征在于，該比對(duì)裝置包括一翻調(diào)裝置、及一轉(zhuǎn)桿，該比對(duì)罩的一側(cè)是固設(shè)于該轉(zhuǎn)桿上，該翻調(diào)裝置是驅(qū)動(dòng)該轉(zhuǎn)桿軸向旋轉(zhuǎn)以使該比對(duì)罩翻轉(zhuǎn)、并選擇式地定位于該比對(duì)位置或該遠(yuǎn)離位置上。 ，
5、 如權(quán)利要求4所述的探針卡校正設(shè)備，其特征在于，該比對(duì)裝置更包括一第二開關(guān)，該翻調(diào)裝置包括一第二致動(dòng)器，該第二致動(dòng)器與該第二開關(guān)電性連結(jié)，啟動(dòng)該第二開關(guān)致使該第二致動(dòng)器帶動(dòng)該轉(zhuǎn)桿軸向旋轉(zhuǎn)。
6、 如權(quán)利要求5所述的探針卡校正設(shè)備，其特征在于，該第二致動(dòng)器是指一旋轉(zhuǎn)式油壓缸。
7、 如權(quán)利要求1所述的探針卡校正設(shè)備，其特征在于，該高倍顯微鏡更包括一垂向滑塊、 一第三致動(dòng)器、及一第三開關(guān)，該第三致動(dòng)器與該第三開關(guān)電性連結(jié)，啟動(dòng)該第三開關(guān)致使該第三致動(dòng)器帶動(dòng)該垂向滑塊垂直滑移于該轉(zhuǎn)換塊上。
8、 如權(quán)利要求1所述的探針卡校正設(shè)備，其特征在于，該低倍顯微鏡更包括一垂直滑塊、及一垂直調(diào)整裝置，透過該垂直調(diào)整裝置帶動(dòng)該垂直滑塊垂直滑移于該轉(zhuǎn)換塊上。
9、 如權(quán)利要求8所述的探針卡校正設(shè)備，其特征在于，該垂直調(diào)整裝置是指一手動(dòng)旋鈕。
10、 權(quán)利要求1所述的探針卡校正設(shè)備，其特征在于，該移動(dòng)平臺(tái)包括一經(jīng)向調(diào)整裝置、及一緯向調(diào)整裝置，該經(jīng)向調(diào)整裝置是調(diào)整該移動(dòng)平臺(tái)的經(jīng)向位置，該緯向調(diào)整裝置是調(diào)整該移動(dòng)平臺(tái)的緯向位置。
全文摘要
本發(fā)明為一種探針卡校正設(shè)備，是將一低倍顯微鏡及一高倍顯微鏡共同組裝于一轉(zhuǎn)換塊上，再將轉(zhuǎn)換塊滑設(shè)于一支架上。故當(dāng)轉(zhuǎn)換塊沿著支架移動(dòng)并定位于第一位置時(shí)，可使用轉(zhuǎn)換塊上的低倍顯微鏡以對(duì)準(zhǔn)比對(duì)罩，以進(jìn)行低倍率的顯微檢視與調(diào)針作業(yè)；又當(dāng)轉(zhuǎn)換塊沿著支架移動(dòng)并停止于第二位置時(shí)，可改用轉(zhuǎn)換塊上的高倍顯微鏡以對(duì)準(zhǔn)比對(duì)罩，以進(jìn)行高倍率的顯微檢視與調(diào)針作業(yè)。因此，透過本發(fā)明的轉(zhuǎn)換塊移動(dòng)轉(zhuǎn)換于第一位置與第二位置之間，能快速變換使用其上所設(shè)置的低倍顯微鏡、及高倍顯微鏡，故能達(dá)成精準(zhǔn)、方便、迅速地校正探針卡的目的。
文檔編號(hào)G12B13/00GK101458972SQ200710199648
公開日2009年6月17日 申請(qǐng)日期2007年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月11日
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