具有一探針卡的測(cè)試設(shè)備及連接器機(jī)構(gòu)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】一種用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的測(cè)試設(shè)備，包括：一電路板，所述電路板在一側(cè)具有一接觸結(jié)構(gòu)及穿過(guò)所述電路板的一開(kāi)口；以及一探針卡，用于支撐一探針陣列，所述探針陣列可插入到所述電路板的所述開(kāi)口以用于探測(cè)一受測(cè)試裝置，所述探針陣列與所述電路板的所述接觸結(jié)構(gòu)電接觸，以允許信號(hào)通過(guò)所述探針卡及所述電路板到達(dá)一測(cè)試設(shè)備。一固持器用于支撐所述探針卡及其他探針卡，所述固持器具有多個(gè)側(cè)面，每個(gè)側(cè)面可支撐具有探針陣列的一探針卡，所述固持器相對(duì)于一受測(cè)試裝置可旋轉(zhuǎn)以操作及定位所述探針卡的所述探針陣列。所述固持器允許自所述固持器斷開(kāi)連接及替換所述探針陣列。
【專(zhuān)利說(shuō)明】具有一探針卡的測(cè)試設(shè)備及連接器機(jī)構(gòu)
[0001]本申請(qǐng)要求2011年7月6日遞交的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)的權(quán)益，該申請(qǐng)的題目為“具有一探針卡的測(cè)試設(shè)備及連接器機(jī)構(gòu)”、申請(qǐng)?zhí)枮?1/504907，在這里通過(guò)引用的方式將該美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)全部?jī)?nèi)容并入本申請(qǐng)中。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]一般來(lái)說(shuō)，本發(fā)明涉及一種測(cè)試設(shè)備，具體來(lái)說(shuō)涉及用于測(cè)試一半導(dǎo)體裝置的測(cè)試設(shè)備。更具體地說(shuō)，本申請(qǐng)中公開(kāi)的內(nèi)容涉及被構(gòu)造成為一探針卡的一探針設(shè)備，該探針卡可與其他測(cè)試設(shè)備一起用于對(duì)半導(dǎo)體裝置進(jìn)行電探測(cè)，該半導(dǎo)體裝置例如可以為半導(dǎo)體晶圓或微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)裝置。
【背景技術(shù)】
[0003]半導(dǎo)體工業(yè)仍然需要在半導(dǎo)體晶圓上接入許多電子裝置。隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展及裝置變得越來(lái)越復(fù)雜，許多電裝置(最通常地，如半導(dǎo)體裝置)必須進(jìn)行例如泄漏電流及極低操作電流的電測(cè)試。這些電流常常低于IOOfA (毫微微安培，例如1X10_15安培)。另夕卜，常常需要在一寬溫度范圍內(nèi)評(píng)估電流及裝置的特性以理解溫度是如何影響裝置的。此夕卜，由于介電材料的特性，通常難以在一寬操作溫度范圍內(nèi)測(cè)試半導(dǎo)體裝置的特性。
[0004]為有效測(cè)量低于IOOfA的電流，測(cè)量信號(hào)必須與外部電干擾、通過(guò)介電材料的泄漏電流、寄生電容、摩擦電噪聲、壓電噪聲及介電吸收等隔離開(kāi)來(lái)。
[0005]因此，仍然需要一種用于在寬溫度范圍內(nèi)以低電流對(duì)半導(dǎo)體裝置(諸如半導(dǎo)體晶圓)進(jìn)行電探測(cè)的改良半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備，另外，還需要對(duì)探針安裝設(shè)備、電路板布局設(shè)計(jì)以及其結(jié)構(gòu)進(jìn)行改良以便優(yōu)化此種診斷能力。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]描述例如在系統(tǒng)中對(duì)測(cè)試半導(dǎo)體裝置有用的測(cè)試設(shè)備。更具體地，描述可用于電探測(cè)半導(dǎo)體裝置(諸如半導(dǎo)體晶圓或MEMS裝置)的一探針設(shè)備。
[0007]一般而言，該探針設(shè)備被構(gòu)造成為一探針卡，在該探針卡的一側(cè)上具有探針導(dǎo)線的接觸結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，這些探針導(dǎo)線可以被鍍金。該接觸結(jié)構(gòu)用于接觸另一測(cè)試設(shè)備或組件(例如電路板)上的各個(gè)接觸結(jié)構(gòu)。這些探針導(dǎo)線還包括尖端，以用于探測(cè)需要進(jìn)行測(cè)試的裝置(例如在半導(dǎo)體測(cè)試中的受測(cè)試裝置(DUT))。信號(hào)通過(guò)來(lái)自探針卡的探針導(dǎo)線、通過(guò)該探針卡與所述電路板的接觸并通過(guò)所述電路板傳輸?shù)狡渌\斷設(shè)備。所述探針卡與所述電路板的接觸允許所述信號(hào)通過(guò)所述探針導(dǎo)線被傳送到所述其他診斷設(shè)備。
[0008]在所述探針卡上還具有一連接器結(jié)構(gòu)，例如在所述設(shè)備的另一側(cè)上。所述連接器結(jié)構(gòu)允許所述探針卡與一固持器連接或斷開(kāi)連接。
[0009]在一實(shí)施例中，所述連接器結(jié)構(gòu)包括一球形及插座架座，該球形及插座架座可允許該探針卡的微小移動(dòng)例如傾斜移動(dòng)，以便于(例如)與一電路板進(jìn)行良好匹配。
[0010]在一個(gè)實(shí)施例中，該固持器允許一探針卡被另一探針卡替換(例如，具有一不同接觸結(jié)構(gòu)的另一探針卡或用于替換已使用探針卡的另一探針卡)。在一些實(shí)施例中，所述固持器具有連接到其自身的多個(gè)探針卡，且被配置以用于允許在連接到所述固持器的這些探針卡間互換(例如允許在測(cè)試間改變一探針卡)。在一些實(shí)施例中，所述固持器為用于測(cè)試裝置的一組件系統(tǒng)的一部分，其中所述固持器能夠根據(jù)需要操作及定位該探針卡。
[0011]進(jìn)一步參考該探針卡，在一實(shí)施例中，一探針卡具有一導(dǎo)線導(dǎo)引器、與所述導(dǎo)線導(dǎo)引器連接的一探針塊及由該導(dǎo)線導(dǎo)引器及探針塊支撐的多個(gè)探針導(dǎo)線。每根探針導(dǎo)線經(jīng)被定位通過(guò)所述導(dǎo)線導(dǎo)引器及該探針塊。每根導(dǎo)線包括延伸穿過(guò)該探針塊的探針尖端。這些探針尖端被配置為探測(cè)一裝置，例如半導(dǎo)體晶圓。每根導(dǎo)線還包括自該導(dǎo)線導(dǎo)引器暴露的信號(hào)傳輸部分及防護(hù)部分。這些信號(hào)傳輸部分及這些防護(hù)部分形成一接觸結(jié)構(gòu)。所述接觸結(jié)構(gòu)用于接觸另一設(shè)備(例如一電路板)上的一信號(hào)接觸及防護(hù)接觸結(jié)構(gòu)。
[0012]在一個(gè)實(shí)施例中,所述探針卡的這些探針尖端及所述接觸結(jié)構(gòu)位于該探針卡的一側(cè)上。在所述探針卡的另一側(cè)上為一連接器結(jié)構(gòu)。所述連接器結(jié)構(gòu)被配置為允許所述探針卡連接到一固持器及與所述固持器斷開(kāi)連接。在一實(shí)施例中，所述連接器結(jié)構(gòu)為具有一保持槽的固位體部件。
[0013]在一個(gè)實(shí)施例中，例如上文描述的一探針卡可被并入以作為一測(cè)試設(shè)備的一部分，其中該探針卡具有接觸結(jié)構(gòu)，該接觸結(jié)構(gòu)匹配另一測(cè)試設(shè)備或組件(例如，一電路板或母板)上的一接觸結(jié)構(gòu)。這里描述的探針卡也可以用于測(cè)試裝置(例如半導(dǎo)體裝置)的總系統(tǒng)的一部分。例如，該探針卡的連接器結(jié)構(gòu)允許其連接至一固持器，其中該固持器為用于測(cè)試裝置的組件系統(tǒng)的一部分，且能夠根據(jù)需要操作及定位該探針卡。
[0014]在一實(shí)施例中，探測(cè)受測(cè)試裝置的方法包括將一固持器定位至一探針位置中、通過(guò)旋轉(zhuǎn)該固持器將一探針陣列定位到一受測(cè)試裝置上、使用該探針陣列探測(cè)該受測(cè)試裝置以及使信號(hào)通過(guò)該探針陣列傳輸?shù)揭粶y(cè)試設(shè)備。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]附圖對(duì)本申請(qǐng)討論的各個(gè)實(shí)施例以示例性的方式進(jìn)行了說(shuō)明，但這些附圖并不一定是按比例繪制，也不用以限制本發(fā)明，其中:
[0016]圖1為一探針設(shè)備一實(shí)施例的一仰視立體圖；
[0017]圖2為來(lái)自圖1的探針設(shè)備的一仰視圖；
[0018]圖2A為圖1的探針設(shè)備的另一仰視圖；
[0019]圖2B為圖1的探針設(shè)備的一剖面圖；
[0020]圖2C為圖1的探針設(shè)備的一側(cè)視圖；
[0021]圖3為一電路板的一實(shí)施例的一俯視圖；
[0022]圖3A為圖3的電路板的另一俯視圖；
[0023]圖3B為圖3的電路板的一側(cè)視圖；
[0024]圖3C為圖3的電路板的另一俯視圖；
[0025]圖4為圖1的探針設(shè)備的一分解圖；
[0026]圖5為圖1的探針設(shè)備的一近視圖；
[0027]圖6為圖1的探針設(shè)備的剖面圖；
[0028]圖6A為圖6的探針設(shè)備的另一剖面圖；[0029]圖7為圖1的探針設(shè)備的另一剖面圖；
[0030]圖8為一固持器一實(shí)施例的一立體圖；
[0031]圖9為與探針卡連接前的圖8中固持器的一立體圖；
[0032]圖10為圖8中固持器的一立體圖，其中所述固持器與一探針卡連接。
[0033]圖11為一探針設(shè)備的另一實(shí)施例的一仰視立體圖；
[0034]圖12為圖11的探針設(shè)備的另一立體圖；
[0035]圖13為圖11的探針設(shè)備的另一立體圖；
[0036]圖14為圖11的探針設(shè)備的一部分分解圖；
[0037]圖15為多個(gè)探針設(shè)備的平移轉(zhuǎn)位的一實(shí)施例的一立體圖；
[0038]圖16示出了圖15的平移轉(zhuǎn)位實(shí)施例的另一立體圖。
【具體實(shí)施方式】
[0039]圖1至圖7示出了可在一系統(tǒng)中用于測(cè)試裝置(例如包括但不限于半導(dǎo)體晶圓或其他MEMS裝置的半導(dǎo)體裝置)的測(cè)試設(shè)備的一個(gè)實(shí)施例。具體地，描述了包括一電路板及一探針卡的測(cè)試設(shè)備，該測(cè)試設(shè)備用于電探測(cè)例如半導(dǎo)體晶圓的半導(dǎo)體裝置。該探針卡與該電路板接觸。該探針卡具有可探測(cè)待測(cè)試裝置、將信號(hào)自該探針卡傳輸至該電路板的探針導(dǎo)線。該電路板將來(lái)自該探針卡的信號(hào)傳輸?shù)嚼缙渌麥y(cè)試設(shè)備。
[0040]圖1、圖2以及圖2A至圖2C示出了探針卡10的一個(gè)實(shí)施例。探針卡10具有導(dǎo)線引導(dǎo)器16。一探針塊14與導(dǎo)線導(dǎo)引器16連接。導(dǎo)線導(dǎo)引器16為探針導(dǎo)線設(shè)有一凹槽結(jié)構(gòu)12，該凹槽結(jié)構(gòu)12被配置成例如用于接觸一電路板40 (下文將進(jìn)一步描述)的接觸結(jié)構(gòu)。如圖4至圖6A中所示，夾具18用于將探針導(dǎo)線固定在導(dǎo)線導(dǎo)引器16的凹槽結(jié)構(gòu)12內(nèi)。夾具18具有凹槽37，該凹槽37與導(dǎo)線導(dǎo)引器16上結(jié)構(gòu)12中的每個(gè)凹槽對(duì)應(yīng)。如圖所示，導(dǎo)線導(dǎo)引器16中的凹槽可具有輻射狀表面，該輻射狀表面可進(jìn)一步方便探針卡10與電路板40之間的接觸對(duì)準(zhǔn)以及接觸不匹配的消除。
[0041]多個(gè)探針導(dǎo)線30由導(dǎo)線導(dǎo)引器16、夾具18及探針塊14支撐。為便于說(shuō)明，實(shí)施例示出了一個(gè)探針導(dǎo)線30 (見(jiàn)圖6及圖6A)。然而，應(yīng)當(dāng)了解，探針導(dǎo)線30可安放在由導(dǎo)線導(dǎo)引器16提供的凹槽結(jié)構(gòu)12的每個(gè)凹槽中以及夾具18的每個(gè)凹槽37中。
[0042]進(jìn)一步參考圖6及圖6A，每根探針導(dǎo)線(參考探針導(dǎo)線30)將通過(guò)導(dǎo)線導(dǎo)引器16及夾具18的凹槽及探針塊14的通道15被定位。如圖所示，在一實(shí)施例中夾具18的凹槽37小于導(dǎo)線導(dǎo)引器的凹槽結(jié)構(gòu)12，凹槽37可允許夾具18在裝配后限制探針導(dǎo)線30的移動(dòng)。通道15允許探針導(dǎo)線30插入到探針塊14中進(jìn)而穿過(guò)探針塊14至開(kāi)口 17。
[0043]探針導(dǎo)線30提供了探針卡10的探測(cè)功能。每根探針導(dǎo)線30將包括探針32，該探針32具有延伸穿過(guò)探針塊14的探針尖端33。例如，探針32及探針尖端33可以被設(shè)置為朝向探針塊14中心，其中，這些尖端自探針塊14(一般在探針塊14的中心處例如在開(kāi)口17處)暴露出來(lái)。應(yīng)了解，這些尖端可以以各種結(jié)構(gòu)和各種針/尖端陣列被適當(dāng)?shù)嘏帕幸赃m應(yīng)待測(cè)試裝置。通道15為每根探針導(dǎo)線30提供一入口及出口，且允許探針導(dǎo)線30自導(dǎo)線導(dǎo)引器16延伸至探針塊14中，然后自探針塊14延伸出至探針卡10的暴露或敞開(kāi)的中心區(qū)域。為便于說(shuō)明，一個(gè)探針導(dǎo)線30被示出，該探針導(dǎo)線30穿過(guò)探針塊14的一個(gè)通道15 (例如見(jiàn)圖6及圖6A)。然而,探針塊14中可存在多個(gè)通道15,該多個(gè)通道15例如可用于導(dǎo)線導(dǎo)引器16及夾具18的每個(gè)凹槽，使得多個(gè)探針導(dǎo)線30穿過(guò)探針塊14。
[0044]每根探針導(dǎo)線30還包括自導(dǎo)線導(dǎo)引器16暴露的一信號(hào)傳輸部分30a及一防護(hù)部分30b。信號(hào)傳輸部30a及防護(hù)部30b在導(dǎo)線導(dǎo)引器16凹槽結(jié)構(gòu)12內(nèi)的探針卡10 —側(cè)上形成接觸結(jié)構(gòu)。信號(hào)傳輸部30a及防護(hù)部30b的該接觸結(jié)構(gòu)與電路板40的接觸結(jié)構(gòu)(下文將進(jìn)一步描述)相匹配。
[0045]進(jìn)一步參考導(dǎo)線導(dǎo)引器16，凹槽結(jié)構(gòu)12包括孔34。該導(dǎo)線導(dǎo)引器在每個(gè)凹槽處還包括空隙36，該空隙允許探針導(dǎo)線30 (例如)足夠彎曲以接觸電路板40?？?4允許探針導(dǎo)線30與該電路板形成接觸(諸如在安裝后)且允許查看探針導(dǎo)線30，這樣可確認(rèn)各導(dǎo)線30處于正確的位置中且已形成適當(dāng)接觸。在一個(gè)實(shí)施例中，孔34可允許接入探針導(dǎo)線30，例如可以使得通過(guò)孔對(duì)探針導(dǎo)線30進(jìn)行操作。在一些示例中，導(dǎo)線導(dǎo)引器16的每個(gè)凹槽可具有空隙36。
[0046]在一個(gè)實(shí)施例中，探針塊14由不同于導(dǎo)線導(dǎo)引器16、夾具18及固位體部件20(下文進(jìn)一步闡述)的材料構(gòu)造而成。例如，探針塊14為介電材料且(例如)可由一陶瓷材料構(gòu)成。在一些實(shí)施例中，該固位體可由不銹鋼或其他合適的剛性材料制成。應(yīng)了解，例如，導(dǎo)線導(dǎo)引器及夾具可采用高溫塑料制成。應(yīng)進(jìn)一步了解，例如，若測(cè)試在大約室溫或不需要更耐抗材料的非高溫下實(shí)施時(shí)，則可采用其他塑料或其他合適的剛性材料。
[0047]探針卡10在其另一側(cè)還包括一連接器結(jié)構(gòu)，導(dǎo)線導(dǎo)引器16的凹槽結(jié)構(gòu)12定位在該另一側(cè)，且探針導(dǎo)線30的接觸結(jié)構(gòu)形成在該另一側(cè)。如圖所示，該連接器結(jié)構(gòu)為固位體部件20。在一個(gè)實(shí)施例中，固位體部件20具有一觀察口 26及一保持槽28。觀察口 26允許一個(gè)例如測(cè)試操作員或裝配工通過(guò)探針卡10觀察探針導(dǎo)線30。保持槽28允許將一組件置于槽28內(nèi)并保持探針卡10。保持槽28允許探針卡10作為一測(cè)試系統(tǒng)的一部分，其中，該測(cè)試系統(tǒng)能夠操作探針卡10的位置且當(dāng)需要時(shí)也可以更換探針卡。如圖5和圖6最佳地顯示,例如,保持槽28位于固位體部件20的兩個(gè)相對(duì)較大部分之間(見(jiàn)槽28的上方及下方部分)，這樣，相對(duì)這些較大部分，保持槽28為一缺口。在一個(gè)實(shí)施例中，槽28圍繞固位體20延伸。在一些實(shí)施例中，固位體20的外部部分比靠近導(dǎo)線導(dǎo)引器16的內(nèi)部部分相對(duì)更扁長(zhǎng)(例如見(jiàn)圖5)。這種形狀差異例如有助于將探針設(shè)備互換為另一探針設(shè)備且還可以提供一關(guān)鍵特征，從而可防止不具備該形狀差異的不正確探針卡用作探針卡的替換卡和/或防止與不正確探針卡互換。
[0048]在一實(shí)施例中，探針卡10具有底座24。例如如圖4至圖6A中所示，底座24將探針塊14連接到導(dǎo)線導(dǎo)引器16、夾具18及固位體部件20。如圖所示，底座24具有從主體開(kāi)始延伸的螺絲支撐件，其中這些螺絲支撐件可延伸穿過(guò)夾具18及導(dǎo)線導(dǎo)引器16的孔且朝向固位體部件20。螺絲22可插入到固位體部件20的孔中，并且可以被緊固在底座24的這些螺絲支撐件中。應(yīng)了解，該底座、其特定結(jié)構(gòu)(包括螺絲支撐件及螺絲)僅為示例性的，其他結(jié)構(gòu)也可用于將導(dǎo)線導(dǎo)引器、夾具、探針塊及探針導(dǎo)線裝配及連接在一起。
[0049]參考電路板40，圖3只示出了電路板40的一俯視平面圖。在一個(gè)實(shí)施例中，電路板40被設(shè)置為一板片，該板片具有一頂部側(cè)、一底部側(cè)(未不出)及穿過(guò)頂部側(cè)與底部側(cè)的一開(kāi)口 44。在一個(gè)實(shí)施例中，電路板40為接觸或跡線的母板，該母板幫助將信號(hào)自探針卡10傳送到(例如)在一綜合電診斷系統(tǒng)中使用的額外測(cè)試/測(cè)量設(shè)備，其中，所述綜合電診斷系統(tǒng)例如用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置或其他MEMS裝置，這些診斷及測(cè)量系統(tǒng)可以為大家所熟知且適合與本申請(qǐng)中所描述的探針卡及電路板一起使用。
[0050]在所示的示例中，該板片具有圓形形狀且開(kāi)口 44 一般穿過(guò)該圓形板片的中心。應(yīng)了解，可采用其他形狀配置以及該開(kāi)口的其他布局。電路板40的開(kāi)口 44允許將一探針卡(例如探針卡10)置于電路板40上且允許將探針卡互換至電路板40的開(kāi)口中。
[0051]圖3僅示出了電路板40的一俯視圖，但進(jìn)一步示出了信號(hào)接觸部42與防護(hù)接觸部46的一個(gè)布局實(shí)施例。在所7^75例中，該布局為許多信號(hào)接觸部42的結(jié)構(gòu)和許多防護(hù)接觸部46的結(jié)構(gòu)，其形式為電路板40上的接觸跡線。如圖3所示，信號(hào)接觸部42及防護(hù)接觸部46的一個(gè)布局實(shí)施例為自該板片中心的一輪福狀排列及布局,例如，自開(kāi)口 44朝向該板片的外部邊緣延伸。信號(hào)接觸部42及防護(hù)接觸部46的內(nèi)部端允許與探針導(dǎo)線30的信號(hào)傳輸部分30a及防護(hù)部分30b分別接觸，以允許將信號(hào)從探針卡10傳輸?shù)筋~外測(cè)試及測(cè)量設(shè)備。也就是說(shuō)，探針卡10中探針導(dǎo)線30的接觸結(jié)構(gòu)匹配電路板40上的信號(hào)接觸部42及防護(hù)接觸部46的結(jié)構(gòu)。導(dǎo)線導(dǎo)引器16及夾具18的結(jié)構(gòu)有助于固定探針卡10與電路板40的接觸及對(duì)準(zhǔn)。
[0052]例如，通過(guò)用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的探針卡10的探針導(dǎo)線30傳輸?shù)男盘?hào)可通過(guò)信號(hào)接觸部42以及防護(hù)接觸部46的結(jié)構(gòu)進(jìn)行傳輸。例如，穿過(guò)該防護(hù)接觸部的信號(hào)將盡可能匹配中心導(dǎo)體例如信號(hào)接觸部的電壓以使漏電最小化。眾所周知，施加電壓，例如通過(guò)連接到探針的一測(cè)試器施加，使得防護(hù)信號(hào)橫穿探針卡10與電路板40之間的接口。在一些實(shí)施例中，例如，當(dāng)探針導(dǎo)線受防護(hù)例如利用導(dǎo)電聚合物驅(qū)動(dòng)防護(hù)罩覆蓋時(shí)，此種受防護(hù)探針可從其在電路板處的接觸部開(kāi)始連接并穿過(guò)探針的端部。應(yīng)了解，信號(hào)跡線可在沒(méi)有對(duì)非敏感信號(hào)進(jìn)行防護(hù)的情形下起作用。
[0053]圖3A至 圖3C示出了圖3中的電路板40的附加的視圖，其中圖3C示出的接觸結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)較少。
[0054]在操作中，每根探針導(dǎo)線30包括用于探測(cè)一裝置(例如一半導(dǎo)體晶圓)的一端部(例如尖端33)。參考信號(hào)傳輸部分30a及防護(hù)部分30b,每根探針導(dǎo)線30的信號(hào)傳輸部分30a可用來(lái)與電路板40上信號(hào)接觸結(jié)構(gòu)中與電路板40和開(kāi)口 44中心接近的各個(gè)信號(hào)接觸部42接觸。同樣，每根導(dǎo)線30的防護(hù)部分30b用于與防護(hù)接觸結(jié)構(gòu)中與電路板40以及開(kāi)口 44中心接近的各個(gè)防護(hù)接觸部46接觸，見(jiàn)圖1和圖2的指向電路板40的開(kāi)口 44的箭頭。如上文所述，在一些實(shí)施例中，任何一根或多根探針導(dǎo)線30可在防護(hù)部分30b上具有導(dǎo)電聚合物。應(yīng)了解，探針導(dǎo)線可按比例調(diào)整以適應(yīng)附加層，例如，三同軸(triax)及四同軸(quadrax)型連接器。
[0055]進(jìn)一步參考探測(cè)導(dǎo)線30，其中，探測(cè)導(dǎo)線的特性及構(gòu)造可進(jìn)行變化。
[0056]本申請(qǐng)可具有許多的結(jié)構(gòu)優(yōu)點(diǎn)及其他優(yōu)點(diǎn)，例如如下的任何一個(gè)或多個(gè)優(yōu)點(diǎn):
[0057]1、探針槽的輻射狀底部有助于將探針集中到一中心以消除可替換的探針核心與母板間的不匹配。
[0058]2、框架中的孔允許接觸探針的最終形成以及在使探針卡與母板配對(duì)后檢測(cè)接觸位置。
[0059]3、探針的遠(yuǎn)端可形成為消除額外零件的一接觸機(jī)構(gòu)。例如，在探針導(dǎo)線30接觸母板的情況下，無(wú)需為分離的結(jié)構(gòu)產(chǎn)生接觸部，例如無(wú)需為彈簧銷(xiāo)提供接觸部。因此，例如在一些配置中，探針導(dǎo)線通過(guò)特定的彎曲被構(gòu)造成接觸部。例如，特定彎曲必需形成具有幾何形狀的探針導(dǎo)線，這樣，以適當(dāng)力度和表面積與母板進(jìn)行接觸，以確保信號(hào)與母板間的低的接觸電阻。該接觸力度例如可由探針導(dǎo)線的無(wú)支撐長(zhǎng)度來(lái)確定。該接觸表面積例如可由接觸部上的半徑來(lái)確定。在一些示例中，需要在該接觸力度和接觸表面積之間尋求平衡，以使得接觸不具有高電阻，從而可保護(hù)母板避免過(guò)早磨損。
[0060]從功能上來(lái)講，已觀察到本申請(qǐng)中包括(例如)探針卡及母板的測(cè)試設(shè)備具有以下概述的其他益處中一種或多種。
[0061]1、探針卡具有相對(duì)小的尺寸，這樣可節(jié)省空間及成本，從而易于制造及重建。
[0062]2、探針卡的這些探針(即:探針導(dǎo)線)可以被構(gòu)造及配置以便提供低噪聲、低漏電及低電容，還可以在寬溫度范圍內(nèi)操作。例如，當(dāng)在25°C及200°C的溫度下將100V施加到一個(gè)探針/引腳時(shí)且所有其他引腳接地時(shí)，已觀察到低漏電效能(例如fA/V)。結(jié)果已表明，已可獲得探針的低漏電效能，例如，在約25°C的溫度下可得到約5fA/V和約lfA/V，且在約200°C的溫度下也可以得到約0.5pA/V和約2fA/V。差異可取決于探針配置，例如，這些探針上的涂層或防護(hù)的結(jié)構(gòu)及配置。
[0063]3、探針卡的探針可允許高電流及電壓測(cè)試，同時(shí)維持容錯(cuò)。
[0064]4、這些探針可具有統(tǒng)一的梁長(zhǎng)度。
[0065]5、母板被配置為在一寬溫度范圍執(zhí)行，例如，介于_65°C至220°C之間。
[0066]進(jìn)一步參考探針卡10，識(shí)別能力可以被使用以確保合適的探針卡及電路板正應(yīng)用于測(cè)試。
[0067]這種情形的一個(gè)實(shí)施例是使用連接到探針卡10上獨(dú)特的識(shí)別電阻器。圖5及圖7進(jìn)行了最好地顯示，其中電阻器52安置于導(dǎo)線導(dǎo)引器16上。在一個(gè)實(shí)施例中，導(dǎo)線導(dǎo)引器16包括腔體38，電阻器52則位于腔體38中。通過(guò)導(dǎo)線56和電路板40的接觸，通道35允許導(dǎo)線56將電阻器52電連接到電路板(例如電路板40)。例如，圖中示出了與電阻器52連接的一根導(dǎo)線56，該導(dǎo)線穿過(guò)一通道35進(jìn)行延伸且形成一接觸部58。接觸部58與電路板40的一信號(hào)接觸跡線接觸。即:若采用識(shí)別電阻器(例如電阻器52)，則此種接觸部58可以在導(dǎo)線導(dǎo)引器16的特定位置處以其他方式代替探針導(dǎo)線30的接觸部以及電路板40的各個(gè)探針跡線。
[0068]標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試設(shè)備可用于通過(guò)導(dǎo)線56與電路板40的接觸部58讀取電阻器。
[0069]在其他實(shí)施例中，電路板40可包括其自身?yè)碛械淖R(shí)別電阻器。如圖3所示，位置50指的是在板40上可放置電阻器的位置。電路板40上的識(shí)別電阻器可用于確定是否正使用正確的電路板。如探針卡上的電阻器一樣，應(yīng)了解，標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試設(shè)備可用于讀取(例如位置50處)電路板40上的電阻器。在一些實(shí)施例中，電路板40可包括用于溫度反饋的跡線。例如，這些跡線可位于引線44 (例如短跡線)的任一側(cè)上。此種跡線可用于并入溫度電阻器/反饋的能力。
[0070]如上所述，通常地，探針設(shè)備被構(gòu)造為在一側(cè)上具有一接觸結(jié)構(gòu)的一探針卡。該接觸結(jié)構(gòu)用于接觸另一測(cè)試設(shè)備或組件(諸如一電路板)上的各個(gè)接觸結(jié)構(gòu)。探針卡的接觸結(jié)構(gòu)包括具有尖端的探針導(dǎo)線，這些尖端用于探測(cè)需要測(cè)試的裝置。信號(hào)通過(guò)來(lái)自探針卡的這些探針導(dǎo)線(例如，經(jīng)過(guò)一電路板)傳輸至其他診斷設(shè)備。該探針卡與該電路板的該接觸允許將信號(hào)通過(guò)這些探針導(dǎo)線傳送到所述其他診斷設(shè)備。
[0071]在所述探針卡的另一側(cè)上為一連接器結(jié)構(gòu)。該連接器結(jié)構(gòu)允許所述探針卡從一固持器被連接或被斷開(kāi)連接。
[0072]圖8至圖10示出了固持器70的一個(gè)實(shí)施例。通常地，固持器70允許用另一探針卡替換一探針卡(例如探針卡10)。此種另一探針卡(例如)可以為具有不同接觸結(jié)構(gòu)的另一探針卡或可以為已使用的探針卡的替換卡。在一些實(shí)施例中，固持器70具有與其連接的多個(gè)探針卡，所述固持器70被配置以允許在連接至固持器70的這些探針卡間互換(例如，允許在測(cè)試之間改變一探針卡)。在一些實(shí)施例中，該固持器可以為用于測(cè)試裝置的一系統(tǒng)的一部分，其中固持器70能夠根據(jù)需要操作及定位該探針卡。
[0073]在所示實(shí)施例中，固持器70具有允許支撐多個(gè)探針卡的結(jié)構(gòu)。固持器70允許互換探針卡，例如，當(dāng)測(cè)試需要，(例如)若一待測(cè)試裝置需要不同探針尖端結(jié)構(gòu)或探針陣列以進(jìn)行測(cè)試。應(yīng)了解，探針卡的探針尖端結(jié)構(gòu)可以不同(例如)以適應(yīng)正接受測(cè)試的裝置。固持器70也可以允許交換探針卡，以用于例如需要用與已使用探針卡相同的新探針卡來(lái)替換一舊探針卡，但是該舊探針卡不再具有所需的功能。應(yīng)了解，關(guān)于固持器的描述僅為示例性的，因?yàn)橐部梢杂闷渌\斷工具替換探針卡。例如，一個(gè)、多個(gè)或全部的探針接觸部可一起被短路以測(cè)試電路板處的接觸電阻。
[0074]如圖8至圖10所示，固持器70包括具有多個(gè)表面74的主體72。每一表面74表示可保持一探針卡(例如探針卡10)的一位置。在所示的實(shí)施例中，固持器70具有五個(gè)表面74且主體72呈五邊輪形狀。一連接器孔78允許固持器70連接到另一設(shè)備，以便自一個(gè)探針卡切換到另一探針卡，所述另一設(shè)備可通過(guò)孔78使固持器70繞軸A旋轉(zhuǎn)或轉(zhuǎn)動(dòng)。此種另一設(shè)備可具有插入到孔78且借此使固持器70旋轉(zhuǎn)的主軸(未示出)。應(yīng)了解，自一探針切換至另一探針可設(shè)置為一自動(dòng)化過(guò)程，其中可根據(jù)需要采用適當(dāng)控制、處理及機(jī)械硬件以操作該固持器。還應(yīng)了解，可采用該固持器的氣動(dòng)操作以便消除或至少減少對(duì)該探針卡操作的電干擾。
[0075]應(yīng)了解，固持器的五邊輪形結(jié)構(gòu)并非用于限制其形狀，該固持器可視情況構(gòu)造為其他多邊形形狀的一輪，該多邊形例如是正方形、三角形、六邊形或諸如此類(lèi)。還應(yīng)了解，固持器不一定需要旋轉(zhuǎn)或轉(zhuǎn)動(dòng)以自一個(gè)探針卡切換至另一探針卡，可采用其它用于切換探針卡的實(shí)施方式。例如，對(duì)固持器進(jìn)行配置以在探針卡之間平移(例如見(jiàn)圖15及下文進(jìn)一步的描述)。
[0076]參考固持器70的細(xì)節(jié)，包括穿過(guò)每個(gè)表面74的開(kāi)口 76。開(kāi)口 76允許將固位體部件的一部分(例如探針卡10的固位體部件20)插入穿過(guò)開(kāi)口 76。
[0077]—滑動(dòng)夾80將探針卡10連接到固持器70?；瑒?dòng)夾80可沿著固持器的表面74滑動(dòng)且可保持在主體72上。滑動(dòng)夾80具有例如呈U形狀的彎曲邊緣82，以與探針卡10上的槽28卡合，見(jiàn)圖9指向探針核心的槽以及滑動(dòng)夾80的彎曲邊緣82的B。在一個(gè)實(shí)施例中，彎曲邊緣82的半徑小于開(kāi)口 76的半徑及曲率，使得滑動(dòng)夾80與探針卡10的槽28卡合但將不允許探針卡10脫離開(kāi)口 76。也就是說(shuō)，固位體部件20的一部分能夠插入至開(kāi)口76中，其中可以移動(dòng)滑動(dòng)夾80以卡合該槽28，但不允許固位體部件20的插入部分脫離固持器70。因此，固位體部件20的相對(duì)較大部分位于滑動(dòng)夾80的相對(duì)側(cè)上，以允許固持器70保持探針卡。圖8示出了固持器的一立體圖，其中一個(gè)夾位于非保持位置中且另一個(gè)夾位于保持位置中。圖9示出了恰巧在與一探針卡連接之前的固持器70。圖10示出了由固持器70連接且保持的探針卡。圖10還示出了可含有滑動(dòng)夾80的一板片。例如，該板片可自固持器70延伸且可安置于探針卡10與固持器70之間。也可以見(jiàn)圖9的固持器70的頂部。該板片(例如)可在將探針卡安放到固持器上之前在夾80的頂部上提供另一平臺(tái)。
[0078]圖11至圖14示出了探針設(shè)備100的另一實(shí)施例。探針設(shè)備100類(lèi)似于探針設(shè)備10，但其不同點(diǎn)中包括:探針設(shè)備100具有不同于探針設(shè)備10的保持部件及槽配置的一連接器結(jié)構(gòu)。類(lèi)似于探針設(shè)備10，探針設(shè)備100包括具有凹槽結(jié)構(gòu)102的導(dǎo)線導(dǎo)引器106、夾具108以及探針塊104。探針塊104可以具有(例如)用于與一電路板(例如40)配對(duì)的一凸片與凹口結(jié)構(gòu)104a。探針塊104可(例如)通過(guò)一底座124與導(dǎo)線導(dǎo)引器106及夾具108裝配在一起。如同探針設(shè)備10，探針設(shè)備100也包括用于接觸半導(dǎo)體裝置(例如半導(dǎo)體晶圓或MEMS裝置)的、具有探針132及探針尖端133的探針導(dǎo)線130。探針塊104也可以包括一或多個(gè)通道(未示出，例如如設(shè)備10—樣的通道15)。探針塊104中的開(kāi)口 107允許探針尖端133自探針塊104延伸出并從探針塊104暴露出來(lái)。每根探針導(dǎo)線130包括一信號(hào)傳輸部分130a及一防護(hù)部分130b。在這里不再進(jìn)一步對(duì)類(lèi)似于探針設(shè)備10的其他結(jié)構(gòu)、配置及材料進(jìn)行描述。應(yīng)了解，探針設(shè)備100也可具有識(shí)別能力，例如以與上文關(guān)于探針設(shè)備10所描述的方式相同或類(lèi)似的方式使用識(shí)別電阻器。
[0079]具體參考圖12至圖14，探針設(shè)備100示出了不同于(例如)探針設(shè)備10的一連接器結(jié)構(gòu)。探針設(shè)備100的連接器結(jié)構(gòu)被配置為一球形的插座型架座，其中一固位體部件120包括一插座125。在一個(gè)實(shí)施例中，例如，固位體部件120被構(gòu)造為主體，該主體通過(guò)螺絲122連接(例如)到導(dǎo)線導(dǎo)引器106。在一個(gè)實(shí)施例中，插座125被配置用于收容一球形架座部件128。
[0080]在一個(gè)實(shí)施例中，該球形的插座架座可允許探針卡微小的移動(dòng)，例如傾斜移動(dòng)，以方便例如與一電路板進(jìn)行良好的匹配。如圖所示，固位體部件120被配置以包括探針設(shè)備100—側(cè)上的插座125或開(kāi)口。一或多個(gè)支撐件126可經(jīng)定位而朝向插座125的外部部分。插座125被配置用于收容球形的架座部件128，同時(shí)支撐件126允許將球形架座部件128安裝在插座125內(nèi)。球形架座部件128及插座125因此可提供另一架座配置。在所示的示例中，描述了四個(gè)支撐件126，但應(yīng)了解，可視情況和/或需要采用更多或更少的支撐件。應(yīng)了解，每個(gè)支撐件126可在該支撐件連接球形架座部件128的另一側(cè)上具有空隙區(qū)域，該空隙區(qū)域可允許支撐件移動(dòng)以將球形架座部件128安裝在插座125中。
[0081]參考球形架座部件128，應(yīng)了解，球形架座部件128可以為另一固持器設(shè)備的一部分和/或與所述另一固持器設(shè)備以可移除方式連接。例如，一孔129可允許將球形架座部件128連接到用于允許互換和/或替換一探針設(shè)備(例如探針設(shè)備100)的一固持器設(shè)備。例如，如上文所述的固持器可經(jīng)修改以連接到球形架座部件128而不使用固位體槽及夾配置。例如，可將固持器上的一部件插入至球形架座部件128的開(kāi)口 129中以保持球形架座部件128，從而當(dāng)將球形架座部件128連接到插座125時(shí)保持探針設(shè)備100。應(yīng)了解，取決于所采用的固持器，探針設(shè)備100可與球形架座部件128 —起被替換或獨(dú)立于球形架座部件128被替換(例如斷開(kāi)球形及插座的連接)。
[0082]圖15及圖16為多個(gè)探針設(shè)備的平移轉(zhuǎn)位200的一個(gè)實(shí)施例的立體圖。如上文所述，可以對(duì)固持器進(jìn)行配置以使其在探針卡之間平移。圖15示出了此種平移轉(zhuǎn)位的一個(gè)實(shí)施例。不同于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)位器例如固持器70，圖15示出了用于互換探針卡的電路板400。例如，可采用探針設(shè)備100作為此種平移轉(zhuǎn)位實(shí)施方式中的探針卡。圖中示出了四個(gè)可互換的探針卡100，但應(yīng)了解，可采用多于或少于四個(gè)的探針卡。
[0083]在一個(gè)實(shí)施例中，位于電路板400中心的探針卡100可經(jīng)選擇、移動(dòng)、然后落入到探測(cè)位置中。在一個(gè)實(shí)施例中，一推移器或其他可移動(dòng)組件可選擇一探針卡100，然后移動(dòng)該探針卡并使其落入到探測(cè)位置中。同樣，可將探測(cè)位置中的一探針卡100抬升并移出該探測(cè)位置再(例如)用一不同的探針卡替換。圖16示出了用于移動(dòng)探針卡100的一推移器或一結(jié)構(gòu)的示例。在一個(gè)實(shí)施例中，此種結(jié)構(gòu)可配置為例如一臂部210，該臂部210可根據(jù)需要選擇一探針卡100并使其移入及移出該探測(cè)位置以替換一探針卡100。
[0084]應(yīng)了解，自一探針切換至另一探針可設(shè)置為一自動(dòng)化過(guò)程，其中視需要采用適當(dāng)控制、處理及機(jī)械硬件以操作該固持器。還應(yīng)了解，可采用該固持器的氣動(dòng)操作以便消除或至少減少對(duì)該探針卡的操作的電干擾。
[0085]前面已具體參考示出的優(yōu)選示例性實(shí)施例對(duì)本發(fā)明多個(gè)創(chuàng)造啟示進(jìn)行了描述,其中，有益地，可將這些啟示應(yīng)用在例如一探針的特定問(wèn)題上，以用于在探測(cè)半導(dǎo)體裝置中測(cè)量具有寬操作溫度范圍的低電流。然而，應(yīng)理解這些實(shí)施例僅為本申請(qǐng)創(chuàng)造啟示的多個(gè)有利使用的示例。一般而言，本申請(qǐng)說(shuō)明書(shū)的描述不用于限制任意一種要求的發(fā)明。此外，一些描述可適用于一些發(fā)明特征但不適用于其他特征。一般而言，除非另外指明，單個(gè)組件可以為復(fù)數(shù)形式且反之亦然而不失一般性。
[0086]下面對(duì)整個(gè)說(shuō)明中的術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了具體描述，但不具有限制性:
[0087]不具限制性的半導(dǎo)體裝置
[0088]本發(fā)明特別適用于探測(cè)半導(dǎo)體裝置，但本發(fā)明的啟示使用并不限于探測(cè)半導(dǎo)體裝置。其他裝置也可適用于本發(fā)明的啟示。因此，盡管本說(shuō)明書(shū)以探測(cè)“半導(dǎo)體”裝置進(jìn)行描述，但該術(shù)語(yǔ)應(yīng)廣義地解釋為包括探測(cè)任一合適的裝置。
_9] 不具限制性的低電流
[0090]本發(fā)明可解決測(cè)量低于IOOfA的電流的問(wèn)題，但本發(fā)明啟示的電流范圍并不限于低于100fA。例如，本發(fā)明可適用于在一半導(dǎo)體裝置中測(cè)量達(dá)IOOfA或以上的電流。因此，盡管本說(shuō)明書(shū)以“低電流”或“測(cè)量低于IOOfA的電流”進(jìn)行描述，但這些術(shù)語(yǔ)應(yīng)廣義地解釋為包括可達(dá)IOOfA或以上的流過(guò)半導(dǎo)體裝置的任何電流。在一接地防護(hù)控制阻抗配置中，本發(fā)明也可解決測(cè)量高溫下高頻率信號(hào)的問(wèn)題。
[0091]不具限制性的寬溫度
[0092]本發(fā)明可解決在一窄或有限操作溫度范圍內(nèi)測(cè)量半導(dǎo)體裝置電流的問(wèn)題。本發(fā)明啟示并不限制于一特定操作溫度范圍。本申請(qǐng)?jiān)试S一測(cè)試器在一寬操作溫度范圍內(nèi)(不但在一低操作溫度下而且也可在一高操作溫度例如高至300°C及超過(guò)300°C的操作溫度下)電探測(cè)半導(dǎo)體裝置。因此，盡管本說(shuō)明書(shū)以“寬溫度范圍”或“在一寬操作溫度范圍中測(cè)量電流”進(jìn)行描述，但這些術(shù)語(yǔ)應(yīng)廣義地解釋為包括一半導(dǎo)體裝置的任何適合的操作或測(cè)試溫度范圍。
[0093]不具限制性的探針
[0094]本發(fā)明可解決使用一屏蔽探針(例如共軸屏蔽探針)測(cè)量半導(dǎo)體裝置的電流問(wèn)題。然而，本發(fā)明啟示中任何內(nèi)容都不用以限制本發(fā)明啟示對(duì)視情況和/或視需要具有更多或更少層的探針的應(yīng)用。本申請(qǐng)中的啟示優(yōu)點(diǎn)在于可與具有任何數(shù)量層的探針一起使用。
[0095]不具限制性的信號(hào)接觸/纜線及防護(hù)接觸/纜線[0096]本發(fā)明可解決使用共軸或三軸信號(hào)纜線測(cè)量一半導(dǎo)體裝置的電流問(wèn)題。然而，本申請(qǐng)中啟示的任何內(nèi)容都不用以限制本發(fā)明啟示對(duì)具有更多或更少層的信號(hào)纜線的應(yīng)用。本申請(qǐng)啟示的優(yōu)點(diǎn)在于可與具有任何數(shù)量層的信號(hào)纜線一起使用。
[0097]不具限制性的金屬
[0098]在本申請(qǐng)中的整個(gè)論述中已提及關(guān)于探針及驅(qū)動(dòng)防護(hù)罩的金屬。本發(fā)明并未認(rèn)識(shí)到何種類(lèi)型的金屬可影響本申請(qǐng)啟示的任何限制。對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，通常地，任何導(dǎo)電材料都可不失一般性地用于實(shí)施本發(fā)明的啟示。
[0099]不具限制性的介電質(zhì)
[0100]在本申請(qǐng)中的整個(gè)論述中已參考術(shù)語(yǔ)介電質(zhì)。本發(fā)明并未認(rèn)識(shí)到關(guān)于何種類(lèi)型的介電質(zhì)可用于影響本申請(qǐng)啟示的任何限制。對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，將意識(shí)到任何非導(dǎo)電、高耐熱材料可不失一般性地用于實(shí)施本發(fā)明啟示。
[0101]本申請(qǐng)中公開(kāi)的實(shí)施例在所有方面都應(yīng)視為僅為說(shuō)明性而非限制性。本發(fā)明的范圍由隨附的權(quán)利要求表明而不由前述的描述來(lái)表明；且本發(fā)明意欲涵蓋屬于權(quán)利要求等效內(nèi)容的含義及范圍內(nèi)的所有改變。
【權(quán)利要求】
1.一種用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的測(cè)試設(shè)備，包括: 一電路板，所述電路板在一側(cè)上具有接觸結(jié)構(gòu)及穿過(guò)所述電路板的一開(kāi)口； 一探針卡，所述探針卡用于支撐一探針陣列，所述探針陣列可插入到所述電路板的所述開(kāi)口中，所述探針陣列配置為探測(cè)一受測(cè)試裝置且與所述電路板的所述接觸結(jié)構(gòu)電接觸，以使得所述探針陣列與所述電路板的所述接觸結(jié)構(gòu)的所述電接觸允許信號(hào)穿過(guò)所述探針卡及所述電路板到達(dá)一測(cè)試設(shè)備；及 一固持器，所述固持器用于支撐所述探針卡及其他探針卡，所述固持器包括多個(gè)側(cè)面，每個(gè)側(cè)面可支撐具有探針陣列的一探針卡，所述固持器相對(duì)于一受測(cè)試裝置可旋轉(zhuǎn)以操作及定位所述探針卡的所述探針陣列； 其中所述固持器配置為允許自所述固持器斷開(kāi)連接所述探針陣列以及允許替換所述探針陣列。
2.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述固持器配置為通過(guò)自動(dòng)化控制從一探針陣列切換到另一探針陣列。
3.一種探測(cè)受測(cè)試裝置的方法，包括: 將一固持器定位到一探測(cè)位置； 通過(guò)旋轉(zhuǎn)所述固持器將一探針陣列定位到一受測(cè)試裝置上； 使用所述探針陣列探測(cè)所述受測(cè)試裝置；以及 將信號(hào)通過(guò)所述探針陣列傳輸?shù)揭粶y(cè)試設(shè)備。
4.如權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，進(jìn)一步包括:用另一探針陣列替換所述探針陣列。
5.如權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，進(jìn)一步包括:旋轉(zhuǎn)所述固持器以切換到另一探針陣列。
6.如權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，定位所述固持器及定位所述探針陣列的所述步驟通過(guò)自動(dòng)化控制實(shí)現(xiàn)。
【文檔編號(hào)】G01R31/28GK103827682SQ201280039075
【公開(kāi)日】2014年5月28日 申請(qǐng)日期:2012年7月6日 優(yōu)先權(quán)日:2011年7月6日
【發(fā)明者】布萊恩·J·魯特, 威廉·A·芬克, 邁克爾·帕倫博, 約翰·L·戴克李 申請(qǐng)人:塞萊敦體系股份有限公司, 英特爾公司