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線路連接工藝及其結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):8026706閱讀:397來源:國(guó)知局
專利名稱:線路連接工藝及其結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種線路板,且特別涉及一種線路連接工藝及其結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
連接不同層的圖案化線路層。如中國(guó)臺(tái)灣專利公告第1231166號(hào)"線路連接 結(jié)構(gòu)及其工藝"所提及的先前技術(shù),由于導(dǎo)電孔多由激光成孔工藝所形成, 其成孔寬度多為一致,然而其深度過深(約超過lOO)im),使得導(dǎo)電孔的縱 橫比(深度/寬度的比例)過高,導(dǎo)致導(dǎo)電膜不平均地形成于導(dǎo)電孔內(nèi)。當(dāng)導(dǎo) 電膜的厚度繼續(xù)增加時(shí),在靠近導(dǎo)電孔的頂部的導(dǎo)電膜將相互連接,且在靠 近導(dǎo)電孔的底部附近將會(huì)產(chǎn)生空孔。因此,上述專利提出了一種線路連接結(jié) 構(gòu)及其工藝,以導(dǎo)電墊電性導(dǎo)通于二圖案化線路層之間,相較于二導(dǎo)電孔的 寬度不變的情況下,二導(dǎo)電孔的深度相對(duì)較淺,使得二導(dǎo)電孔的縱橫比較小, 以有效地防止鍍膜產(chǎn)生空孔或氣泡。
然而,上述專利僅能增加一個(gè)導(dǎo)電墊的厚度,對(duì)于降低二導(dǎo)電孔的深度 仍有一定的限制。此外,上述專利是以雙面板的一側(cè)作為導(dǎo)電墊,只適用于 非埋入式線路,無法適用于埋入式線路。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種線路連接工藝及其結(jié)構(gòu),可降低二圖案化線路層之間的 導(dǎo)電孔的深度,以防止鍍膜時(shí)產(chǎn)生空孔或氣泡。
本發(fā)明提出一種線路連接工藝,包括下列步驟首先,提供連接層,該 連接層包括核心層以及至少一獨(dú)立連接墊,該獨(dú)立連接墊貫過該核心層,并 分別形成第一孔墊及第二孔墊于該核心層的二表面上,其中該第一孔墊與該 第二孔墊電性導(dǎo)通;提供第一導(dǎo)電層、至少一第一介電層、至少一第二介電 層以及第二導(dǎo)電層;壓合該第一導(dǎo)電層、該第一介電層、該連接層、該第二 介電層以及該第二導(dǎo)電層,以形成雙面板;對(duì)應(yīng)于該第一孔墊,形成貫穿該
第一導(dǎo)電層以及該第一介電層的第一開孔;對(duì)應(yīng)于該第二孔墊,形成貫穿該 第二導(dǎo)電層以及該第二介電層的第二開孔;形成第一導(dǎo)電材料于該第一開孔 中,以形成第一導(dǎo)電柱;以及形成第二導(dǎo)電材料于該第二開孔中,以形成第 二導(dǎo)電柱。
本發(fā)明提出一種線路連接結(jié)構(gòu),包括連接層、第一介電層、第二介電層、 第一導(dǎo)電層以及第二導(dǎo)電層。連接層具有核心層以及至少一獨(dú)立連接墊,該 獨(dú)立連接墊貫過該核心層,并分別具有第一孔墊及第二孔墊于該核心層的二 表面上,其中該第一孔墊與該第二孔墊電性導(dǎo)通。第一介電層配置在核心層 的表面,且具有配置在該第一孔墊上的第一導(dǎo)電柱,第二介電層配置在核心 層的另一表面,且具有配置在該第二孔墊上的第二導(dǎo)電柱。第一導(dǎo)電層配置 在該第一介電層上,并與該第一導(dǎo)電柱電性連接。第二導(dǎo)電層配置在該第二 介電層上,并與該第二導(dǎo)電柱電性連接。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中,第一開孔以及第二開孔包括以激光成孔、等離 子體蝕孔或機(jī)械鉆孔所形成。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中,第 一導(dǎo)電層具有對(duì)應(yīng)于第 一孔墊的第 一環(huán)形 墊,該第一環(huán)形墊于壓合該第一導(dǎo)電層于該第一介電層上時(shí)內(nèi)埋于該第一介 電層中。此外,第二導(dǎo)電層具有對(duì)應(yīng)于該第二孔墊的第二環(huán)形墊,該第二環(huán) 形墊于壓合該第二導(dǎo)電層于該第二介電層上時(shí)內(nèi)埋于該第二介電層中。
本發(fā)明又提出一種線路連接工藝,包括下列步驟首先,4是供連接層, 該連接層包括核心層以及至少一獨(dú)立連接墊,該獨(dú)立連接墊貫過該核心層, 并分別形成第一孔墊及第二孔墊于該核心層的二表面上,其中該第一孔墊與 該第二孔墊電性導(dǎo)通;接著,提供第一導(dǎo)電層、至少一第一介電層、至少一 第二介電層以及第二導(dǎo)電層;壓合該第一導(dǎo)電層、該第一介電層、該連接層、 該第二介電層以及該第二導(dǎo)電層,以形成多板;對(duì)應(yīng)于該第一孔墊,形成貫 穿該第一導(dǎo)電層以及該第一介電層的第一開孔;對(duì)應(yīng)于該第二孔墊,形成貫
穿該第二導(dǎo)電層以及該第二介電層的第二開孔;之后,形成第一導(dǎo)電材料于
該第一開孔中,以形成第一導(dǎo)電柱;形成第二導(dǎo)電材料于該第二開孔中,以 形成第二導(dǎo)電柱。
本發(fā)明又提出一種線路連接結(jié)構(gòu),包括連接層、第一介電層、第二介電 層、第一導(dǎo)電層以及第二導(dǎo)電層。連接層具有核心層以及至少一獨(dú)立連接墊, 該獨(dú)立連接墊貫過該核心層,并分別具有第一孔墊及第二孔墊于該核心層的
二表面上,其中該第一孔墊與該第二孔墊電性導(dǎo)通。第一介電層配置在該核 心層的表面,且具有配置在該第一孔墊上的第一導(dǎo)電柱。第二介電層配置在 該核心層的另一表面,且具有配置在該第二孔墊上的第二導(dǎo)電柱。第一導(dǎo)電 層配置在該第一介電層上,并與該第一導(dǎo)電柱電性連接。第二導(dǎo)電層配置在 該第二介電層上,并與該第二導(dǎo)電柱電性連接。
本發(fā)明因采用設(shè)有獨(dú)立連接墊的連接層,以電性導(dǎo)通位于二圖案化線路 層之間的二導(dǎo)電柱,因此二導(dǎo)電柱的深度及縱橫比相對(duì)較小,進(jìn)而提高鍍膜
的成品率。
為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂,下文特舉優(yōu)選實(shí)施例,并
配合附圖,作詳細(xì)iJt明如下。


圖1A-圖1F是本發(fā)明第一實(shí)施例的線路連接工藝及其結(jié)構(gòu)的示意圖。 圖2是第一實(shí)施例的變化例的示意圖。
圖3A-圖3E是本發(fā)明第二實(shí)施例的線路連接工藝及其結(jié)構(gòu)的示意圖。 圖4是一種具有本發(fā)明的線路連接結(jié)構(gòu)的多層線路板的示意圖。 附圖標(biāo)記說明
100.連接層110:核心層
112、 114:上、下表面120:獨(dú)立連接墊
122第一孔墊124:第二孔墊
126、 126,導(dǎo)電柱130:第一導(dǎo)電層
132第一環(huán)形墊134:第一開孔
136第一導(dǎo)電柱140:第一介電層
150第二介電層160:第二導(dǎo)電層
162第二環(huán)形墊164:第二開孔
166第二導(dǎo)電柱200、400:雙面板
300連接層310:核心層
320獨(dú)立連接墊330:第一導(dǎo)電層
330a:第一線路圖案334:第一開孔
336導(dǎo)電柱340:第一介電層
350第二介電層360:第二導(dǎo)電層 360a:第二線路圖案 366:第二導(dǎo)電柱 510:上層圖案化線^各 530:下層圖案化線路 W:寬度
364:第二開孔 500:多層線路板 520:線路連接結(jié)構(gòu) D:間3巨
具體實(shí)施例方式
圖1A 圖1F是本發(fā)明第一實(shí)施例的線路連接工藝及其結(jié)構(gòu)的示意圖。 請(qǐng)參考圖1A,首先提供連接層100,其包括核心層110以及獨(dú)立連接墊120 (數(shù)量不拘)。核心層110為樹脂、膠片或含玻纖的介電材料,而獨(dú)立連接 墊120貫通核心層110的上、下表面,并分別形成笫一孔墊122以及第二孔 墊124于核心層110之上、下表面112、 114上。由圖1A可知,第一孔墊 122與第二孔墊124之間的距離即為核心層110的厚度。在本實(shí)施例中,雙 面覆有第一孔墊122以及第二孔墊124的連接層100,例如以雙面銅箔基板 經(jīng)圖案化形成多個(gè)成對(duì)配置的第一孔墊122以及第二孔墊124,每一對(duì)第一 孔墊122以及第二孔墊124再以貫穿核心層110的導(dǎo)電柱126電性連接,以 形成圖1A所示的獨(dú)立連接墊120。
接著,請(qǐng)參考圖1B以及圖1C,提供第一導(dǎo)電層130、第一介電層140、 第二介電層150以及第二導(dǎo)電層160,并接續(xù)壓合第一導(dǎo)電層130、第一介 電層140、連接層100、第二介電層150以及第二導(dǎo)電層160,以形成雙面板 200。第一導(dǎo)電層130更可具有第一環(huán)形墊132,其對(duì)應(yīng)于第一孔墊122,而 第二導(dǎo)電層160更可具有第二環(huán)形墊162,其對(duì)應(yīng)于第二孔墊124。第一環(huán) 形墊132在壓合過程中可內(nèi)埋于第一介電層140中,且第二環(huán)形墊162在壓 合過程中也可內(nèi)埋于第二介電層150中,因而形成具有二內(nèi)埋線路的雙面板 200。在本實(shí)施例中,由于連接層IOO僅作為連接第一、第二導(dǎo)電層130、 160 的媒介,并不需要特別制作線路圖案,因此第一/第二孔墊122、 124的面積 可適當(dāng)調(diào)整而大于或等于第一/第二環(huán)形墊132、 162的面積,如此可放寬層 間對(duì)位的要求。
接著,請(qǐng)參考圖1D,當(dāng)完成雙面板200的壓合步驟之后,對(duì)應(yīng)于第一 孔墊122的位置,形成貫穿第一導(dǎo)電層130以及第一介電層140的第一開孔 134,以使第一開孔134的底部顯露出第一孔墊122。同樣,對(duì)應(yīng)于第二孔墊
124的位置,形成貫穿第二導(dǎo)電層160以及第二介電層150的第二開孔164, 以使第二開孔164的底部顯露出第二孔墊124。形成第一、第二開孔134、 164的方式例如是激光成孔、等離子體蝕孔或機(jī)械鉆孔等,但其他光蝕刻技 術(shù)或化學(xué)蝕刻技術(shù)亦可適用。
值得注意的是,第一導(dǎo)電層130上的第一環(huán)形墊132于形成第一開孔134 之后,顯露于第一開孔134的一端。由圖1D可知,以激光成孔的第一開孔 134的寬度W大致上與第一環(huán)形墊132的孔徑相當(dāng)。由于激光所形成的第一 開孔134的寬度一致,因此當(dāng)?shù)谝婚_孔134的深度變小,其縱橫比(深度/ 寬度的比例)也會(huì)隨之縮小。然而,本發(fā)明與已知技術(shù)不同的是,第一導(dǎo)電 層130與第二導(dǎo)電層160之間有三層介電層,即第一介電層140、核心層110 及第二介電層150,因此第一導(dǎo)電層130與第二導(dǎo)電層160之間的間距D比 已知只有二層介電層的間距來得大,以有效解決漏電流的問題。另外,本發(fā) 明采用雙面設(shè)有第一/第二孔墊的獨(dú)立連接墊120,可使第一、第二開孔134、 164的深度變小,且第一、第二開孔134、 164的深度僅為第一導(dǎo)電層130 與第二導(dǎo)電層160之間的間距D的三分之一或更小,突破已知技術(shù)的瓶頸及 限制。
接著,請(qǐng)參考圖1E以及圖1F,將第一導(dǎo)電材料填入于第一開孔134中, 以形成與第一導(dǎo)電層130電性連接的第一導(dǎo)電柱136。同樣,將第二導(dǎo)電材 料填入于第二開孔164中,以形成與第二導(dǎo)電層160電性連接的第二導(dǎo)電柱 166。第一、第二導(dǎo)電材料例如是銅、銀或電阻小于等于導(dǎo)電層及電性連接 墊的適當(dāng)材料。
形成第一、第二導(dǎo)電柱136、 166的方法例如是全面性電鍍導(dǎo)電材料于 第一導(dǎo)電層130、第二導(dǎo)電層160、第一孔墊122以及第二孔墊124上(如 圖1E所示)、或是選擇性電鍍/噴印導(dǎo)電材料于第一、第二開孔134、 164中。 完成上述的鍍膜工藝之后,更可進(jìn)行銅層薄化的步驟,即對(duì)第一、第二導(dǎo)電 層130、 160及其上方的導(dǎo)電材料進(jìn)行蝕刻,以形成第一線路圖案以及第二 線路圖案,如圖1F所示的第一環(huán)形墊132以及第二環(huán)形墊162。銅層薄化 的步驟例如是全面性蝕刻第一、第二導(dǎo)電層130、 160及其上方的導(dǎo)電材料, 或選擇性蝕刻第一、第二導(dǎo)電層130、 160及其上方的導(dǎo)電材料以形成所需 的線路圖案。
雖然上述線路連接工藝配合圖式的說明依序完成圖1D的激光成孔、圖
1E的鍍孔以及圖1F的銅層薄化,但本領(lǐng)域具有通常知識(shí)者均可推知其變化 而變更其工藝的步驟及方式,因此本發(fā)明的圖式并未限制可具體實(shí)施的方 式。此外,本發(fā)明雖以雙層的第一、第二導(dǎo)電層130、 160為例,但亦可適 用在單層的導(dǎo)電層,而任一導(dǎo)電層可選擇不經(jīng)過圖案化工藝以作為完整的導(dǎo) 電平面或接地平面。同時(shí),本發(fā)明不限定應(yīng)用在埋入式線路上,亦可應(yīng)用在 非埋入式(外露的)線路或兩者組合的線路。
在上述第一實(shí)施例中,雙面覆有第一孔墊122以及第二孔墊124的連接 層100亦可變化為如下的結(jié)構(gòu),請(qǐng)參考圖2的變化例第一孔墊122以及第 二孔墊124之間的導(dǎo)電柱126,偏離第一開孔134與第二開孔164的中心軸。 同樣,第一開孔134與第二開孔164的位置亦可適當(dāng)改變,其余的結(jié)構(gòu)如同 第一實(shí)施例所述,在此不再贅述。
圖3A-圖3F是本發(fā)明第二實(shí)施例的線路連接工藝及其結(jié)構(gòu)的示意圖。 請(qǐng)參考圖3A,首先提供連接層300,其包括核心層310以及獨(dú)立連接墊320 (數(shù)量不拘),如同圖1A所示的具有獨(dú)立連接墊120的連接層100。接著, 在圖3A中,提供第一導(dǎo)電層330、第一介電層340、第二介電層350以及第 二導(dǎo)電層360,并接續(xù)壓合第一導(dǎo)電層330、第一介電層340、連接層300、 第二介電層350以及第二導(dǎo)電層360,以形成雙面板400。
接著,請(qǐng)參考圖3C,當(dāng)完成雙面板400的壓合步驟之后,對(duì)應(yīng)于第一 孔墊322的位置,形成貫穿第一導(dǎo)電層330以及第一介電層340的第一開孔 334,以使第一開孔334的底部顯露出第一孔墊322。同樣,對(duì)應(yīng)于第二孔墊 324的位置,形成貫穿第二導(dǎo)電層360以及第二介電層350的第二開孔364, 以使第二開孔364的底部顯露出第二孔墊324。形成第一、第二開孔334、 364的方式例如是激光成孔、等離子體蝕孔或機(jī)械鉆孔等,但其他光蝕刻技 術(shù)或化學(xué)蝕刻技術(shù)亦可適用。
值得注意的是,本發(fā)明采用雙面設(shè)有第一/第二孔墊的獨(dú)立連接墊320, 可使第一、第二開孔334、 364的深度變小,以突破已知技術(shù)的瓶頸及限制, 進(jìn)而提高鍍膜的成品率。
接著,請(qǐng)參考圖3D,將第一導(dǎo)電材料填入于第一開孔334中,以形成 與第一導(dǎo)電層330電性連接的第一導(dǎo)電柱336。同樣,將第二導(dǎo)電材料填入 于第二開孔364中,以形成與第二導(dǎo)電層360電性連接的第二導(dǎo)電柱366。 第一、第二導(dǎo)電材料例如是銅、銀或電阻小于等于導(dǎo)電層及電性連接墊的適
當(dāng)材料。
之后,請(qǐng)參考圖3E,圖案化第一導(dǎo)電層330及其上方的導(dǎo)電材料,以 形成第一線路圖案330a,而第一線路圖案330a例如是外露的焊墊A/或線路。 此外,圖案化第二導(dǎo)電層360及其上方的導(dǎo)電材料,以形成第二線路圖案 360a,而第二線路圖案360a例如是外露的焊墊及/或線;洛。除了圖案化第一 導(dǎo)電層330及第二導(dǎo)電層360上方的導(dǎo)電材料之外,本發(fā)明另一實(shí)施例中亦 可選擇性保留或減除導(dǎo)電材料。
圖4是一種具有本發(fā)明的線路連接結(jié)構(gòu)的多層線路板的示意圖。當(dāng)完成 上述二實(shí)施例其中之一的線路連接工藝時(shí),例如以疊合或?qū)盈B方式分別制作 至少一上層圖案化線路510以及至少一下層圖案化線路530于本發(fā)明的線路 連接結(jié)構(gòu)520之上、下表面上,以形成四層、六層或八層等多層線路板500。 在本實(shí)施例中,上層圖案化線路510例如是芯片、電感、電阻等元件的配線 線路,其可經(jīng)由本發(fā)明的線路連接結(jié)構(gòu)520與下層圖案化線路530電性連接, 而下層圖案化線路530例如是焊球、導(dǎo)電膠、接腳等介面的配線線路,用以 傳遞電學(xué)信號(hào)。
綜上所述,本發(fā)明的線路連接工藝及其結(jié)構(gòu)具有下列優(yōu)點(diǎn) (1)本發(fā)明可縮小激光成孔的縱橫比,防止鍍膜時(shí)產(chǎn)生空孔或氣泡。 (2 )本發(fā)明可采用雙面設(shè)有第一/第二孔墊的獨(dú)立連接墊可電性導(dǎo)通位 于二圖案化線路層之間的二導(dǎo)電柱,因此二導(dǎo)電柱的深度及縱橫比相對(duì)較 小,進(jìn)而提高鍍膜的成品率。
(3) 本發(fā)明亦可采用單面設(shè)有獨(dú)立連接墊的連接層,可使開孔的深度 變小,以縮小開孔的縱橫比。
(4) 連接層除了電性連接上、下導(dǎo)電層之外,更可補(bǔ)強(qiáng)雙面板的剛性, 以及增加上、下導(dǎo)電層的間的間距和操作可靠度。
(5) 第一、第二開孔的深度僅為第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層的間的間距 的三分之一或更小,突破已知技術(shù)的瓶頸及限制。
雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例披露如上,然其并非用以限定本發(fā)明,任何 所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),當(dāng)可作些許的更 動(dòng)與潤(rùn)飾,因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視后附的權(quán)利要求所界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種線路連接工藝,包括提供連接層,該連接層包括核心層以及至少一獨(dú)立連接墊,該獨(dú)立連接墊貫過該核心層,并分別形成第一孔墊及第二孔墊于該核心層的二表面上,其中該第一孔墊與該第二孔墊電性導(dǎo)通;提供第一導(dǎo)電層、至少一第一介電層、至少一第二介電層以及第二導(dǎo)電層;壓合該第一導(dǎo)電層、該第一介電層、該連接層、該第二介電層以及該第二導(dǎo)電層,以形成多板;對(duì)應(yīng)于該第一孔墊,形成貫穿該第一導(dǎo)電層以及該第一介電層的第一開孔;對(duì)應(yīng)于該第二孔墊,形成貫穿該第二導(dǎo)電層以及該第二介電層的第二開孔;形成第一導(dǎo)電材料于該第一開孔中,以形成第一導(dǎo)電柱;以及形成第二導(dǎo)電材料于該第二開孔中,以形成第二導(dǎo)電柱。
2. 如權(quán)利要求1所述的線路連接工藝,還包括圖案化第一導(dǎo)電層及其上 方的該第一導(dǎo)電材料,以形成第一線路圖案。
3. 如權(quán)利要求1所述的線路連接工藝,還包括圖案化第二導(dǎo)電層及其上 方的該第二導(dǎo)電材料,以形成第二線路圖案。
4. 如權(quán)利要求1所述的線路連接工藝,其中該第一導(dǎo)電層具有對(duì)應(yīng)于該 第一孔墊的第一環(huán)形墊,該第一環(huán)形墊于壓合該第一導(dǎo)電層于該第一介電層 上時(shí)內(nèi)埋于該第一介電層中。
5. 如權(quán)利要求4所述的線路連接工藝,其中該第一環(huán)形墊于形成該第一 開孔之后,對(duì)應(yīng)顯露于該第一開孔的一端。
6. 如權(quán)利要求1所述的線路連接工藝,其中該第二導(dǎo)電層具有對(duì)應(yīng)于該 第二孔墊的第二環(huán)形墊,該第二環(huán)形墊在壓合該第二導(dǎo)電層于該第二介電層 上時(shí)內(nèi)埋于該第二介電層中。
7. 如權(quán)利要求6所述的線路連接工藝,其中該第二環(huán)形墊于形成該第二 開孔之后,對(duì)應(yīng)顯露于該第二開孔的一端。
8. —種線路連接結(jié)構(gòu),包括 連接層,具有核心層以及至少一獨(dú)立連接墊,該獨(dú)立連接墊貫過該核心 層,并分別具有第一孔墊及第二孔墊于該核心層的二表面上,其中該第一孔墊與該第二孔墊電性導(dǎo)通;第一介電層,配置在該核心層的表面,且具有配置在該第一孔墊上的第 一導(dǎo)電柱;第二介電層,配置在該核心層的另一表面,且具有配置在該第二孔墊上 的第二導(dǎo)電柱;第一導(dǎo)電層,配置在該第一介電層上,并與該第一導(dǎo)電柱電性連接;以及第二導(dǎo)電層,配置在該第二介電層上,并與該第二導(dǎo)電柱電性連接。
9. 如權(quán)利要求8所述的線路連接結(jié)構(gòu),其中該第一導(dǎo)電層具有對(duì)應(yīng)于該 第一孔墊的第一環(huán)形墊。
10. 如權(quán)利要求8所述的線路連接結(jié)構(gòu),其中該第二導(dǎo)電層具有對(duì)應(yīng)于該 第二孔墊的第二環(huán)形墊。
11. 一種線路連接工藝,包括提供連接層,該連接層包括核心層以及至少一獨(dú)立連接墊,該獨(dú)立連接 墊貫過該核心層,并分別形成第一孔墊及第二孔墊于該核心層的二表面上, 其中該第一孔墊與該第二孔墊電性導(dǎo)通;提供第一導(dǎo)電層、至少一第一介電層、至少一第二介電層以及第二導(dǎo)電層;壓合該第一導(dǎo)電層、該第一介電層、該連接層、該第二介電層以及該第 二導(dǎo)電層,以形成多板;對(duì)應(yīng)于該第一孔墊,形成貫穿該第一導(dǎo)電層以及該第一介電層的第一開孔;對(duì)應(yīng)于該第二孔墊,形成貫穿該第二導(dǎo)電層以及該第二介電層的第二開孔;形成第一導(dǎo)電材料于該第一開孔中,以形成第一導(dǎo)電柱;以及 形成第二導(dǎo)電材料于該第二開孔中,以形成第二導(dǎo)電柱。
12. 如權(quán)利要求11所述的線路連接工藝,還包括圖案化該第一導(dǎo)電層及 其上方的該第一導(dǎo)電材料,以形成第一線路圖案。
13. 如權(quán)利要求11所述的線路連接工藝,還包括圖案化該第二導(dǎo)電層及 其上方的該第二導(dǎo)電材料,以形成第二線路圖案。
14. 一種線路連接結(jié)構(gòu),包括連接層,具有核心層以及至少一獨(dú)立連接墊,該獨(dú)立連接墊貫過該核心 層,并分別具有第一孔墊及第二孔墊于該核心層的二表面上,其中該第一孔墊與該第二孔墊電性導(dǎo)通;第一介電層,配置在該核心層的表面,且具有配置在該第一孔墊上的第一導(dǎo)電柱;以及第二介電層,配置在該核心層的另一表面,且具有配置在該第二孔墊上 的第二導(dǎo)電柱;第一導(dǎo)電層,配置在該第一介電層上,并與該第一導(dǎo)電柱電性連接;以及第二導(dǎo)電層,配置在該第二介電層上,并與該第二導(dǎo)電柱電性連接。
15. 如權(quán)利要求14所述的線路連接結(jié)構(gòu),其中該第一導(dǎo)電層及其上方的 導(dǎo)電材料具有對(duì)應(yīng)于該第 一孔墊的第 一線路圖案。
16. 如權(quán)利要求14所述的線路連接結(jié)構(gòu),其中該第二導(dǎo)電層及其上方的 導(dǎo)電材料具有對(duì)應(yīng)于該第二孔墊的第二線路圖案。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種線路連接結(jié)構(gòu)及其工藝。該線路連接結(jié)構(gòu)包括連接層、第一介電層、第二介電層、第一導(dǎo)電層以及第二導(dǎo)電層。連接層具有雙面設(shè)有第一/第二孔墊的獨(dú)立連接墊,用以降低第一導(dǎo)電層以及第二導(dǎo)電層的間的導(dǎo)電孔的深度,以改善縱橫比過高的問題,進(jìn)而提高鍍膜的成品率。
文檔編號(hào)H05K1/11GK101351091SQ20071013642
公開日2009年1月21日 申請(qǐng)日期2007年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月16日
發(fā)明者余丞博, 余丞宏 申請(qǐng)人:欣興電子股份有限公司
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