電子簾加速器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及輻照設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種電子簾加速器。
【背景技術(shù)】
[0002]電子簾加速器的陰柵組件在正常工作狀態(tài)下為負(fù)高壓，需要通過高壓固定結(jié)構(gòu)將陰柵組件固定在真空室的中心區(qū)域并保持與周圍接地陽極筒的適當(dāng)距離。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，大部分電子簾加速器均是通過將陰柵組件直接固定在絕緣耐壓材料上，燈絲和柵壓供電通過絕緣耐壓材料連接到陰柵組件?，F(xiàn)有技術(shù)的高壓固定結(jié)構(gòu)主要有兩種:一種是側(cè)壁固定式高壓固定結(jié)構(gòu)，一種是吊裝式高壓固定結(jié)構(gòu)。
[0004]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中具有側(cè)壁固定式高壓固定結(jié)構(gòu)的電子簾加速器的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為現(xiàn)有技術(shù)中具有吊裝式高壓固定結(jié)構(gòu)的電子簾加速器的結(jié)構(gòu)示意圖。圖1和圖2中，各附圖標(biāo)記分別代表:1、燈絲；7、控制柵；11、柵極外殼；13、縱向柵；15、陽極筒；17、鈦窗；V、真空室；P、初級(jí)繞組；1、絕緣氣體；S、次級(jí)繞組；B、高壓套管；C、絕緣體；P.D.、脈沖驅(qū)動(dòng)回路；PT、脈沖變壓器；EG、電子槍。
[0005]由于側(cè)壁固定式高壓固定結(jié)構(gòu)和吊裝式高壓固定結(jié)構(gòu)兩者均由大體積的良好絕緣材料加工而成，而且陰柵組件的供電也通過絕緣材料進(jìn)入真空室，即絕緣耐壓材料既有支撐作用又有耐壓絕緣作用。因此兩者均具有支撐材料昂貴，連接關(guān)系復(fù)雜的缺點(diǎn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型的目的在于提供一種電子簾加速器，能夠有效降低固定陰柵組件的成本。
[0007]本實(shí)用新型提供一種電子簾加速器，包括陽極筒和位于所述陽極筒內(nèi)部的陰柵組件，所述電子簾加速器還包括絕緣保持結(jié)構(gòu)，所述絕緣保持結(jié)構(gòu)連接于所述陽極筒的內(nèi)側(cè)，所述陰柵組件保持于所述絕緣保持結(jié)構(gòu)上。
[0008]進(jìn)一步地，所述陰柵組件包括柵極外殼，所述絕緣保持結(jié)構(gòu)包括絕緣支撐柱，所述絕緣支撐柱的上端與所述柵極外殼連接，所述絕緣支撐柱的下端與所述陽極筒的內(nèi)側(cè)底部連接。
[0009]進(jìn)一步地，所述絕緣保持結(jié)構(gòu)包括多個(gè)所述絕緣支撐柱，每?jī)蓚€(gè)所述絕緣支撐柱的上端的距離小于下端的距離。
[0010]進(jìn)一步地，所述陰柵組件包括柵極組件，所述絕緣保持結(jié)構(gòu)包括四個(gè)所述絕緣支撐柱，四個(gè)所述絕緣支撐柱形成金字塔形且相對(duì)于所述陰柵組件的長(zhǎng)度方向?qū)ΨQ設(shè)置，在所述陰柵組件的長(zhǎng)度方向上，所述絕緣支撐柱的上端之間的距離為所述柵極組件的長(zhǎng)度的60%?80%。
[0011]進(jìn)一步地，所述絕緣支撐柱包括陶瓷柱。
[0012]進(jìn)一步地，所述陶瓷柱的外表面為波紋狀結(jié)構(gòu)。
[0013]進(jìn)一步地，所述絕緣支撐柱還包括連接板，所述連接板固定連接于所述陶瓷柱的上端，所述連接板與所述柵極外殼固定連接。
[0014]進(jìn)一步地，所述連接板包括第一螺釘孔，所述柵極外殼包括第二螺釘孔，所述連接板與所述柵極外殼通過穿過所述第一螺釘孔和所述螺釘孔第二螺釘孔的螺釘固定連接，其中，所述第一螺釘孔和所述第二螺釘孔中至少一個(gè)為長(zhǎng)度方向垂直于所述柵極外殼的軸線方向的條形孔。
[0015]進(jìn)一步地，所述連接板與所述柵極外殼面面配合。
[0016]進(jìn)一步地，所述絕緣支撐柱還包括連接件和固定塊，所述連接件固定連接于所述陶瓷柱的下端，所述固定塊的上端與所述連接件固定連接，所述固定塊的下端與所述陽極筒固定連接。
[0017]基于本實(shí)用新型提供的電子簾加速器，將陰柵組件供電與固定結(jié)構(gòu)分離，單獨(dú)設(shè)置絕緣保持結(jié)構(gòu)作為固定結(jié)構(gòu)，可以避免使用昂貴的高壓絕緣材料，在滿足電子簾加速器的電氣指標(biāo)的前提下，降低固定陰柵組件的成本。進(jìn)一步地，該絕緣保持結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單穩(wěn)固。
[0018]通過以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚。
【附圖說明】
[0019]此處所說明的附圖用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0020]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中具有側(cè)壁固定式高壓固定結(jié)構(gòu)的電子簾加速器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中具有吊裝式高壓固定結(jié)構(gòu)的電子簾加速器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖3為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的電子簾加速器沿真空室的軸線方向觀察真空室內(nèi)部時(shí)陰柵組件與真空室的連接結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖4為圖3所示的電子簾加速器沿垂直于真空室的軸線的水平方向觀察真空室內(nèi)部時(shí)陰柵組件與真空室的連接結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖5為圖3所示的電子簾加速器的沿垂直于真空室的軸線的水平方向觀察真空室內(nèi)部時(shí)陰柵組件與真空室的連接結(jié)構(gòu)分解示意圖(僅示出一個(gè)絕緣支撐柱)。
[0025]圖3至圖5中，各附圖標(biāo)記代表:
[0026]100、陽極筒
[0027]200、陰柵組件
[0028]210、柵極外殼
[0029]211、第二螺釘孔
[0030]220、燈絲
[0031]230、柵極
[0032]300、絕緣保持結(jié)構(gòu)
[0033]310、絕緣支撐柱
[0034]311、陶瓷柱
[0035]312、連接板
[0036]313、連接件
[0037]314、固定塊
[0038]400、陽極
[0039]500、鈦窗
[0040]600、絕緣箱體
【具體實(shí)施方式】
[0041 ] 下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。以下對(duì)至少一個(gè)示例性實(shí)施例的描述實(shí)際上僅僅是說明性的，決不作為對(duì)本實(shí)用新型及其應(yīng)用或使用的任何限制?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0042]除非另外具體說明，否則在這些實(shí)施例中闡述的部件和步驟的相對(duì)布置、數(shù)字表達(dá)式和數(shù)值不限制本實(shí)用新型的范圍。同時(shí)，應(yīng)當(dāng)明白，為了便于描述，附圖中所示出的各個(gè)部分的尺寸并不是按照實(shí)際的比例關(guān)系繪制的。對(duì)于相關(guān)領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的技術(shù)、方法和設(shè)備可能不作詳細(xì)討論，但在適當(dāng)情況下，所述技術(shù)、方法和設(shè)備應(yīng)當(dāng)被視為授權(quán)說明書的一部分。在這里示出和討論的所有示例中，任何具體值應(yīng)被解釋為僅僅是示例性的，而不是作為限制。因此，示例性實(shí)施例的其它示例可以具有不同的值。應(yīng)注意到:相似的標(biāo)號(hào)和字母在下面的附圖中表示類似項(xiàng)，因此，一旦某一項(xiàng)在一個(gè)附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對(duì)其進(jìn)行進(jìn)一步討論。
[0043]圖3至圖5示出了本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的電子簾加速器的真空罩內(nèi)部的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，圖3為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的電子簾加速器沿真空室的軸線方向觀察真空室內(nèi)部時(shí)陰柵組件與真空室的連接結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖3所示的電子簾加速器沿垂直于真空室的軸線的水平方向觀察真空室內(nèi)部時(shí)陰柵組件與真空室的連接結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為圖3所示的電子簾加速器的沿垂直于真空室的軸線的水平方向觀察真空室內(nèi)部時(shí)陰柵組件與真空室的連接結(jié)構(gòu)分解示意圖(僅示出一個(gè)絕緣支撐柱)。
[0044]如圖3至圖5所示，本實(shí)施例的電子簾加速器包括陽極筒100、陰柵組件200、絕緣保持結(jié)構(gòu)300、陽極400、鈦窗500和絕緣箱體600。
[0045]陽極筒100內(nèi)部空間為真空室。
[0046]陰柵組件200位于陽極筒100內(nèi)部真空室中心區(qū)域。陰柵組件200包括柵極外殼210、燈絲220、柵極230。燈絲220位于柵極外殼210內(nèi)。燈絲220朝向水平方向發(fā)射，柵極230位于柵極外殼210側(cè)面垂直放置。柵極230的開口正對(duì)陽極400。陽極400和鈦窗500安裝于陽極筒100上。
[0047]絕緣箱體600內(nèi)