r巧、248皿(Kr巧、308皿狂eCl)、 351皿狂eF)。特別地，248皿(Kr巧、308皿狂eCl)是合適的。另外還已知僅用稀有氣體使 激光產(chǎn)生的準(zhǔn)分子激光，作為該準(zhǔn)分子激光的激光波長(zhǎng)，存在172nm狂62)、146nm(K。)、 126nm(Ar2)。它們也包含在本發(fā)明的準(zhǔn)分子激光中。
[0027] 利用了準(zhǔn)分子激光的開(kāi)孔加工條件（例如激光波長(zhǎng)、脈沖數(shù)、脈沖寬度、輸出功 率）只要可形成具有良好的通孔形狀、內(nèi)部沾污量少的小直徑的通孔就沒(méi)有特別限定，可 根據(jù)使用的準(zhǔn)分子激光加工機(jī)的規(guī)格，在一般的加工條件的范圍下適當(dāng)決定。作為市售的 準(zhǔn)分子激光加工機(jī)，可W列舉例如SUSS MicroTech社制"ELP300 Gen2"。
[002引根據(jù)前述的滿足條件（i)和（ii)、同時(shí)利用準(zhǔn)分子激光進(jìn)行開(kāi)孔加工的本發(fā)明的 方法，可W在含有無(wú)機(jī)填充材料的絕緣層（即使無(wú)機(jī)填充材料含量高的絕緣層）中，形成具 有良好的通孔形狀、內(nèi)部沾污量少的小直徑的通孔。
[0029] 參照?qǐng)D2,對(duì)于通孔的形狀進(jìn)行說(shuō)明。圖2示出了內(nèi)層基板1、和W與該內(nèi)層基板 接合的方式設(shè)置的厚度t的絕緣層10,在該絕緣層10中形成（a)~（C)的示意的通孔。在 本發(fā)明中，通孔的"開(kāi)口直徑"值）是指絕緣層表面（在圖2中，Z = 0的位置）的通孔的直 徑。另外，通孔的"最小直徑"化J是指Z為0~t的范圍中的通孔的最小直徑。通孔的 "最大直徑"值mJ是指Z為0~t的范圍中的通孔的最大直徑。例如圖2中的（a)的通孔 具有隨著從絕緣層表面向絕緣層的深度方向狂）前進(jìn)，直徑緩慢變小的正向錐形（順テ一 八形狀）。對(duì)于所述的通孔（a),開(kāi)口直徑D為最大直徑Dm。、，在通孔底部（圖2中Z = t的 位置），呈現(xiàn)為最小直徑Dmi。。使用準(zhǔn)分子激光形成通孔時(shí)，通常形成（a)的通孔。另外，有 時(shí)形成圖2中的化）或（C)的通孔?；┑耐自趶慕^緣層表面向絕緣層的深度方向狂） 前進(jìn)一定距離（kit ;其中ki為滿足0 < ki< 1的數(shù)。）期間直徑緩慢變小，進(jìn)而向深度方 向前進(jìn)時(shí)直徑緩慢變大。對(duì)于所述的通孔化），開(kāi)口直徑D或通孔底部狂=t的位置）的 直徑為最大直徑Dm。、，在深度kit的位置，呈現(xiàn)為最小直徑Dmi。。（C)的通孔在從絕緣層表面 向絕緣層的深度方向似前進(jìn)一定距離化2t ;其中k2為滿足0 < k2< 1的數(shù)。）期間直徑 緩慢變大，進(jìn)而向深度方向前進(jìn)時(shí)直徑緩慢變小。對(duì)于所述的通孔（C)，在深度kzt的位置， 呈現(xiàn)為最大直徑Dm。、，開(kāi)口直徑D或通孔底部狂=t的位置）的直徑為最小直徑Dmi。。
[0030] 不論（a)~（C)的通孔的區(qū)別，從得到良好的導(dǎo)通可靠性的觀點(diǎn)出發(fā)，通孔的開(kāi) 口直徑D與通孔的最小直徑Dmi。滿足0. 65《D min/D是合適的。如果Dmm/D的值低，則是因 為歸結(jié)于鍛敷液向通孔內(nèi)部的浸透的劣化，進(jìn)而招致導(dǎo)通可靠性的降低。從得到更好的導(dǎo) 通可靠性的觀點(diǎn)出發(fā)，Dmm/D的值優(yōu)選為0. 66 W上、更優(yōu)選為0. 68 W上、進(jìn)而優(yōu)選為0. 70 W上、0. 72 W上、0. 74 W上、0. 76 W上、0. 78 W上、或0. 80 W上。Dmm/D的值的上限為1，通 常為0.99 W下、0.98 W下、0.95 W下、0.90 W下等。根據(jù)本發(fā)明的方法，可W有利地形成 Dmin/D的值高的小直徑的通孔。Dmin/D的值，可W對(duì)于充分?jǐn)?shù)量佈）的通孔、利用SEM對(duì)通 孔開(kāi)口部進(jìn)行表面觀察來(lái)求得。因?yàn)榧词龟P(guān)于（C)的通孔，在通孔底部的直徑比開(kāi)口直徑 D小時(shí)，也可通過(guò)利用了 SEM的表面觀察來(lái)測(cè)定最小直徑Dmi。（不能目視確認(rèn)通孔底部的直 徑時(shí)，開(kāi)口直徑D為最小直徑DmJ。成為10 W上是合適的。
[0031] 應(yīng)予說(shuō)明，大量形成（C)的通孔的情況是稀少的，但在所述情況下，通孔的開(kāi)口直 徑D與通孔的最大直徑DmJ馬足D mgy/D《1. 35是合適的。Dm。,/!)的值優(yōu)選為1. 30 W下、更 優(yōu)選為1. 20 W下、進(jìn)而優(yōu)選為1. 10 W下或1. 05 W下。Dm。、/!)的值的下限為1。Dm。、/!)的值， 可W對(duì)于充分?jǐn)?shù)量（Ns)的通孔、利用SEM觀察通孔截面來(lái)求得。成為10 W上是合適的。
[0032] 在本發(fā)明中，絕緣層的厚度t Um)和通孔的開(kāi)口直徑D(ym)，從形成具有良好 的通孔形狀、內(nèi)部沾污量少的小直徑的通孔的角度考慮，優(yōu)選滿足3D，更優(yōu)選滿足 t《2.抓，進(jìn)而優(yōu)選滿足t《2D，進(jìn)而更優(yōu)選滿足t《1. 8D、t《1.抓、t《1. 4D、t《1. 2D、 或t《ID。絕緣層的厚度t的下限沒(méi)有特別限定，通常為1 ym W上、2 ym W上、3 ym W上 等。
[0033] 在合適的實(shí)施方式中，絕緣層通過(guò)將含有無(wú)機(jī)填充材料的樹(shù)脂組合物層進(jìn)行熱固 化而形成。
[0034] 從使絕緣層的介電常數(shù)充分降低、實(shí)現(xiàn)高速信號(hào)傳送的角度考慮，構(gòu)成樹(shù)脂組合 物層的樹(shù)脂組合物中的無(wú)機(jī)填充材料的含量?jī)?yōu)選為20質(zhì)量％ ^上、更優(yōu)選為25質(zhì)量％ W 上。
[0035] 應(yīng)予說(shuō)明，在本發(fā)明中，構(gòu)成樹(shù)脂組合物的各成分的含量是將樹(shù)脂組合物中的不 揮發(fā)成分設(shè)為100質(zhì)量％時(shí)的值。
[0036] 使用含有無(wú)機(jī)填充材料的樹(shù)脂組合物形成絕緣層時(shí)，具有下述情況：利用了準(zhǔn)分 子激光的激光加工性降低，通孔形狀劣化，或通孔內(nèi)部的沾污量增大。相對(duì)于此，在滿足上 述特定的條件（i)和（ii)、同時(shí)利用準(zhǔn)分子激光形成通孔的本發(fā)明中，可W使用無(wú)機(jī)填充 材料含量高的樹(shù)脂組合物，而通孔形狀和沾污量不存在問(wèn)題。例如，樹(shù)脂組合物中的無(wú)機(jī)填 充材料的含量可W高至30質(zhì)量％ W上、40質(zhì)量％ W上、50質(zhì)量％ W上、60質(zhì)量％ ^上、或 70質(zhì)量％ W上。
[0037] 樹(shù)脂組合物中的無(wú)機(jī)填充材料的含量的上限從防止絕緣層的機(jī)械強(qiáng)度降低的角 度考慮，優(yōu)選為90質(zhì)量％ ^下、更優(yōu)選為85質(zhì)量％ W下。
[0038] 作為無(wú)機(jī)填充材料，可W列舉例如二氧化娃、氧化侶、玻璃、堇青石、娃氧化物、硫 酸領(lǐng)、滑石、粘±、云母粉、氨氧化侶、氨氧化儀、碳酸巧、碳酸儀、氧化儀、氮化棚、氮化侶、氮 化儘、棚酸侶、鐵酸領(lǐng)、鐵酸鎖、鐵酸巧、鐵酸儀、鐵酸祕(mì)、氧化鐵、錯(cuò)酸領(lǐng)、錯(cuò)酸巧、憐酸錯(cuò)、和 憐酸鶴酸錯(cuò)等。其中，無(wú)定形二氧化娃、烙融二氧化娃、晶體二氧化娃、合成二氧化娃、中空 二氧化娃等二氧化娃是特別合適的。另外作為二氧化娃，優(yōu)選為球形二氧化娃。無(wú)機(jī)填充 材料可W單獨(dú)使用1種，也可W將2種W上組合使用。
[0039] 無(wú)機(jī)填充材料的平均粒徑從合適地滿足上述條件（i)和（ii)的角度考慮，優(yōu)選為 0. 6 Ji m U下、更優(yōu)選為0. 5 Ji m U下、進(jìn)而優(yōu)選為0. 4]im U下、0. 3]im U下、0. 25]im U下、 0. 2 ym W下、0. 15 ym W下、或0. 1 ym W下。無(wú)機(jī)填充材料的平均粒徑的下限沒(méi)有特別限 定，通常可W為0.0 l ym W上、0. 02 ym W上等。作為具有運(yùn)樣的平均粒徑的無(wú)機(jī)填充材料 的市售品，可W列舉例如電氣化學(xué)工業(yè)（株）制"UFP-30"、''UFP-40"、（株）アh''アテック ス制"S0-C2，，、"S0-Cl，，、"YC100C，，、"YA050C，，、"YA050C-^lJE，，、"YA010C，，、hク節(jié)ア（株）審リ "シ瓜7 NSS-3N，，、"シ瓜7 NSS-4N，，、"シ瓜7 NSS-5N，，。無(wú)機(jī)填充材料的平均 粒徑可W利用基于米氏（Mie)散射理論的激光衍射-散射法來(lái)測(cè)定。具體地，利用激光衍 射散射式粒度分布測(cè)定裝置，W體積基準(zhǔn)制成無(wú)機(jī)填充材料的粒度分布，將其中值直徑設(shè) 為平均粒徑，由此可W測(cè)定。測(cè)定樣品可W優(yōu)選使用利用超聲波使無(wú)機(jī)填充材料分散在水 中而成的樣品。作為激光衍射散射式粒度分布測(cè)定裝置，可W使用株式會(huì)社堀場(chǎng)制作所制 "LA-500"等。
[0040] 為了提高耐濕性，無(wú)機(jī)填充材料優(yōu)選用硅烷化合物、有機(jī)娃氮燒化合物、侶系偶聯(lián) 劑、鐵系偶聯(lián)劑、錯(cuò)系偶聯(lián)劑等的1種W上的表面處理劑進(jìn)行處理。
[0041] 特別地，本發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)通過(guò)使用用硅烷化合物進(jìn)行了表面處理的無(wú)機(jī)填充材 料，所述硅烷化合物含有具有芳香環(huán)的有機(jī)基團(tuán)，可實(shí)現(xiàn)上述As/(Al+ As)的值高，且上述 條件（ii)的平均數(shù)n低的絕緣層。因此，在合適的一個(gè)實(shí)施方式中，構(gòu)成樹(shù)脂組合物層的 樹(shù)脂組合物、進(jìn)而絕緣層包含用硅烷化合物進(jìn)行了表面處理的無(wú)機(jī)填充材料，所述硅烷化 合物含有具有芳香環(huán)的有機(jī)基團(tuán)。
[00創(chuàng)從可實(shí)現(xiàn)As/(Al+ As)的值高、且平均數(shù)n低的絕緣層的觀點(diǎn)出發(fā)，作為具有芳香 環(huán)的有機(jī)基團(tuán)，優(yōu)選是碳原子數(shù)為6~20 (優(yōu)選6~14、更優(yōu)選6~12、進(jìn)而優(yōu)選6~10) 的芳基，其中優(yōu)選為苯基。
[0043] 作為在無(wú)機(jī)填充材料的處理中使用的含有具有芳香環(huán)的有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物， 只要可將上述具有芳香環(huán)的有機(jī)基團(tuán)引入到無(wú)機(jī)填充材料的表面，就沒(méi)有特別限定，也可 W進(jìn)而具有可與下述的環(huán)氧樹(shù)脂等樹(shù)脂成分反應(yīng)的反應(yīng)基（例如氨基、環(huán)氧基、琉基等）。 作為所述的硅烷化合物的具體例，可W列舉苯基S甲氧基硅烷、二苯基二甲氧基硅烷、N-苯 基-3-氨基丙基=甲氧基硅烷、縮水甘油氧基丙基苯基二乙氧基硅烷、琉基丙基苯基二甲 氧基硅烷。作為硅烷化合物的市售品，可W列舉例如信越化學(xué)工業(yè)（株）制"邸M103"(苯 基S甲氧基硅烷）、信越化學(xué)工業(yè)（株）制"邸M573"(N-苯基-3-氨基丙基S甲氧基硅烷） 等。硅烷化合物可W單獨(dú)使用1種，也可W組合使用2種W上。
[0044] 利用表面處理劑進(jìn)行的表面處理的程度可W通過(guò)無(wú)機(jī)填充材料的每單位表面積 的碳量來(lái)評(píng)價(jià)。無(wú)機(jī)填充材料的每單位表面積的碳量從可實(shí)現(xiàn)As/(Al+As)的值高、且平 均數(shù)n低的絕緣層的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為0. 02mg/m2W上，更優(yōu)選為0. lmg/m2W上，進(jìn)而優(yōu)選 為0. 2mg/m2 W上。另一方面，從防止樹(shù)脂清漆的烙融粘度、薄膜形式下的烙融粘度的升高 的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為ImgAi2W下，更優(yōu)選為0. 8mg/m 2 W下，進(jìn)而優(yōu)選為0. 5mg/m2 W下。
[0045] 無(wú)機(jī)填充材料的每單位表面積的碳量可W將表面處理后的無(wú)機(jī)填充材料利用溶 劑（例如甲基乙基酬（MEK))進(jìn)行洗涂處理后進(jìn)行測(cè)定。具體地，將作為溶劑的充分量的 加入到用表面處理劑進(jìn)行了表面處理的無(wú)機(jī)填充材料中，在25°C進(jìn)行5分鐘的超聲波 洗涂。除去上清液，使固體成分干燥后，可使用碳分析計(jì)測(cè)定無(wú)機(jī)填充材料的每單位表面積 的碳量。作為碳分析計(jì)，可W使用株式會(huì)社堀場(chǎng)制作所制"EMIA-320V"等。
[0046] 在一個(gè)實(shí)施方式中，構(gòu)成樹(shù)脂組合物層的樹(shù)脂組合物除了含有上述無(wú)機(jī)填充材 料、而且還含有熱固性樹(shù)脂。作為熱固性樹(shù)脂，可W使用在形成電路基板的絕緣層時(shí)使用的 W往公知的熱固性樹(shù)脂，其中優(yōu)選是環(huán)氧樹(shù)脂。構(gòu)成樹(shù)脂組合物層的樹(shù)脂組合物還可含有 固化劑。因此在一個(gè)實(shí)施方式中，樹(shù)脂組合物除了含有無(wú)機(jī)填充材料、而且還含有環(huán)氧樹(shù)脂 和固化劑。
[0047] -環(huán)氧樹(shù)脂- 作為環(huán)氧樹(shù)脂，可W列舉例如雙酪A型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酪F型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酪S型環(huán) 氧樹(shù)脂、雙酪AF型環(huán)氧樹(shù)脂、雙環(huán)戊二締型環(huán)氧樹(shù)脂、S酪型環(huán)氧樹(shù)脂、糞酪酪醒清漆 (naphthol novolak)型環(huán)氧樹(shù)脂、苯酪酪醒清漆（phenol novolak)型環(huán)氧樹(shù)脂、叔下基鄰 苯二酪型環(huán)氧樹(shù)脂、糞型環(huán)氧樹(shù)脂、糞酪型環(huán)氧樹(shù)脂、蔥型環(huán)氧樹(shù)脂、縮水甘油胺型環(huán)氧樹(shù) 月旨、縮水甘油醋型環(huán)氧樹(shù)脂、甲酪酪醒清漆（cresol novolak)型環(huán)氧樹(shù)脂、聯(lián)苯型環(huán)氧樹(shù) 月旨、線型脂肪族環(huán)氧樹(shù)脂、具有下二締結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹(shù)脂、脂環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂、雜環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂、 含螺環(huán)的環(huán)氧樹(shù)脂、環(huán)己燒二甲醇型環(huán)氧樹(shù)脂、亞糞基酸型環(huán)氧樹(shù)脂、=徑甲基型環(huán)氧樹(shù) 月旨、四苯基乙燒型環(huán)氧樹(shù)脂等。環(huán)氧樹(shù)脂可W單獨(dú)使用一種，也可W組合使用兩種W上。
[0048] 環(huán)氧樹(shù)脂優(yōu)選含有1分子中有2個(gè)W上環(huán)氧基的環(huán)氧樹(shù)脂。在W環(huán)氧樹(shù)脂的不揮 發(fā)成分為100質(zhì)量％的情況下，優(yōu)選至少50質(zhì)量％ W上為1分子中有2個(gè)W上環(huán)氧基的環(huán) 氧樹(shù)脂。其中，樹(shù)脂組合物優(yōu)選單獨(dú)含有在20°C溫度下為固態(tài)的環(huán)氧樹(shù)脂（也稱為"固態(tài) 環(huán)氧樹(shù)脂")，或組合含有固態(tài)環(huán)氧樹(shù)脂、與在20°C溫度下為液態(tài)的環(huán)氧樹(shù)脂（W下稱為"液 態(tài)環(huán)氧樹(shù)脂")。作為固態(tài)環(huán)氧樹(shù)脂，優(yōu)選是1分子中有3個(gè)W上環(huán)氧基的固態(tài)環(huán)氧樹(shù)脂，更 優(yōu)選是1分子中有3個(gè)W上環(huán)氧基的芳香族系固態(tài)環(huán)氧樹(shù)脂。作為液態(tài)環(huán)氧樹(shù)脂，優(yōu)選是1 分子中有2個(gè)W上環(huán)氧基的液態(tài)環(huán)氧樹(shù)脂，更優(yōu)選是1分子中有2個(gè)W上環(huán)氧基的芳香族 系液態(tài)環(huán)氧樹(shù)脂。在本發(fā)明中，芳香族系的環(huán)氧樹(shù)脂是指在其分子內(nèi)具有芳香環(huán)的環(huán)氧樹(shù) 脂。
[0049] 作為液態(tài)環(huán)氧樹(shù)脂，優(yōu)選雙酪A型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酪F型環(huán)氧樹(shù)脂、糞型環(huán)氧樹(shù)脂、縮 水甘油醋型環(huán)氧樹(shù)脂、苯酪酪醒清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、W及具有下二締結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹(shù)脂，更優(yōu)選 雙酪A型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酪F型環(huán)氧樹(shù)脂、W及糞型環(huán)氧樹(shù)脂。作為液態(tài)環(huán)氧樹(shù)脂的具體例，可 列舉出 DIC(株）制的"HP4032"、"HP4032H"、"HP4032D"、"HP4032SS"(糞型環(huán)氧樹(shù)脂）、S 菱化學(xué)（株）制的"距R82祀LV828US"(雙酪A型環(huán)氧樹(shù)脂）、"距R807"(雙酪F型環(huán)氧樹(shù) 月旨）、"距R152"(苯酪酪醒清漆型環(huán)氧樹(shù)脂）、新日鐵住金化學(xué)（株）制的"ZX1059"(雙酪A 型環(huán)氧樹(shù)脂與雙酪F型環(huán)氧樹(shù)脂的混合品）；十方化個(gè)厶テックス（株）制的"EX-721"(縮 水甘油醋型環(huán)氧樹(shù)脂）、株式會(huì)社大賽路（父^化;k )制的"化口豐虧^ K 2021P"(具有醋 骨架的脂環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂）、"PB-3600"(具有下二締結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹(shù)脂）。運(yùn)些環(huán)氧樹(shù)脂可W 單獨(dú)使用一種，也可W組