送器14接收的基板2并將基板定位在預(yù)定的夾緊位置，下保持構(gòu)件35從底側(cè)支撐被定位在夾緊位置的基板2。夾具37從Y軸方向夾緊由下保持構(gòu)件35支撐的基板2的側(cè)表面(在Y軸方向上彼此面對的側(cè)表面)。在布置于Y軸方向上的兩個夾具37中，位于操作者OP側(cè)(圖4的右側(cè)，被定義為前側(cè))的夾具被稱為前夾具37F，位于操作者OP相反側(cè)(圖4的左側(cè)，被定義為后側(cè))的夾具被稱為后夾具37R。
[0029]在圖4中，基板支撐單元移動機(jī)構(gòu)22包括:ΧΥΘ工作臺41，通過堆疊在基臺11上的Y工作臺41a、X工作臺41b和Θ工作臺41c的相對運(yùn)動而使基部工作臺41d在水平面中移動；和第二升降電機(jī)42，用于使升降板31(即，整個基板支撐單元21)相對于基部工作臺41d升降?；逯螁卧苿訖C(jī)構(gòu)22利用XY Θ工作臺41使保持著基板2 (用夾具37夾緊基板)的基板支撐單元21移動并利用第二升降電機(jī)42使基板2升降。
[0030]在圖5中，掩模13具有在XY平面中延伸的矩形平板形狀，其外周由框架構(gòu)件13w支撐。在掩模13中，形成有對應(yīng)于第一類型基板2的第一圖案PTl的第一圖案形成區(qū)域Rl和形成有對應(yīng)于第二類型基板2 (例如，通過使第一類型基板2翻轉(zhuǎn)而獲得的基板2)的第二圖案PT2的第二圖案形成區(qū)域R2沿Y軸方向(水平面中的預(yù)定方向)布置，以執(zhí)行對應(yīng)于第一類型基板2和第二類型基板2的兩種類型的基板2的絲網(wǎng)印刷操作(參見圖6A和6B)。
[0031 ] 在圖3中，通過利用送入傳送器移動機(jī)構(gòu)14a，送入傳送器14能夠在Y軸方向(掩模13的第一圖案形成區(qū)域Rl和第二圖案形成區(qū)域R2的布置方向)上移動。在圖2中，設(shè)置在絲網(wǎng)印刷設(shè)備5的上游工序側(cè)的兩個基板供應(yīng)設(shè)備4布置在Y軸方向上，送入傳送器14通過利用送入傳送器移動機(jī)構(gòu)14a沿Y軸方向移動，可以從這兩個基板供應(yīng)設(shè)備4中任一個接收基板2，并可以將基板2送至位于第一圖案形成區(qū)域Rl下方的基板支撐單元21或位于第二圖案形成區(qū)域R2下方的基板支撐單元21。在圖3中，通過利用送出傳送器移動機(jī)構(gòu)15a，送出傳送器15能夠在Y軸方向上移動，并可以從位于第一圖案形成區(qū)域Rl中的基板支撐單元21或位于第二圖案形成區(qū)域R2中的基板支撐單元21接收基板2。
[0032]在圖3中，一組兩個基板側(cè)標(biāo)記2m設(shè)置在基板2的對角位置(圖3中僅示出一個基板側(cè)標(biāo)記2m)，對應(yīng)于基板側(cè)標(biāo)記2m的一組兩個掩模側(cè)標(biāo)記13m設(shè)置在掩模13上的第一圖案形成區(qū)域Rl和第二圖案形成區(qū)域R2中(參見圖5)。當(dāng)通過第二升降電機(jī)42提升基板支撐單元21并使被基板支撐單元21保持的基板2在兩個基板側(cè)標(biāo)記2m與設(shè)置在第一圖案形成區(qū)域Rl中的兩個掩模側(cè)標(biāo)記13m在平面圖中匹配的狀態(tài)下與掩模13接觸時，基板2的電極2a與掩模13的第一圖案PTl彼此匹配(圖6A)。類似地，當(dāng)通過第二升降電機(jī)42提升基板支撐單元21并使被基板支撐單元21保持的基板2在兩個基板側(cè)標(biāo)記2m與設(shè)置在第二圖案形成區(qū)域R2中的兩個掩模側(cè)標(biāo)記13m在平面圖中匹配的狀態(tài)下與掩模13接觸時，基板2的電極2a與掩模13的第二圖案PT2彼此匹配(圖6B)。以此方式，在該實(shí)施例中，基板保持-移動機(jī)構(gòu)12使保持著基板2的基板支撐單元21沿圖案布置方向(沿Y軸方向)在掩模13下方移動，從而選擇性地使基板2與第一圖案形成區(qū)域Rl和第二圖案形成區(qū)域R2中的一個接觸。
[0033]如圖6A和6B所示，在該實(shí)施例中，基板2與掩模13的第一圖案形成區(qū)域Rl接觸時與后夾具37R接觸的掩模13上的區(qū)域和基板2與掩模13的第二圖案形成區(qū)域R2接觸時與前夾具37F接觸的掩模13上的區(qū)域是第一圖案形成區(qū)域Rl與第二圖案形成區(qū)域R2之間的同一區(qū)域Rm。因此，即使當(dāng)基板2與第一圖案形成區(qū)域Rl和第二圖案形成區(qū)域R2中任一個接觸時，夾具37 ( S卩，前夾具37F和后夾具37R中之一)位于第一圖案形成區(qū)域Rl與第二圖案形成區(qū)域R2之間的區(qū)域Rm中。
[0034]在圖3和4中，印刷頭17包括兩個刮板52，這兩個刮板52在可移動基座51的下方布置成在Y軸方向上彼此面對，從而沿X軸方向延伸。印刷頭移動機(jī)構(gòu)16包括兩個印刷頭移動滾珠絲杠16a和旋轉(zhuǎn)地驅(qū)動這兩個印刷頭移動滾珠絲杠16a的兩個印刷頭移動電機(jī)16b，印刷頭移動滾珠絲杠16a沿Y軸方向延伸，從而旋擰通過可移動基座51的左右端部。當(dāng)這兩個印刷頭移動滾珠絲杠16a利用兩個印刷頭移動電機(jī)16b而同步旋轉(zhuǎn)時，可移動基座51在Y軸方向上移動。兩個刮板52通過設(shè)置在可移動基座51中的刮板升降缸53在可移動基座51的下方單獨(dú)地上升和下降。在沿Y軸方向布置的兩個刮板52中，位于操作者OP側(cè)(圖4的右側(cè))的刮板被稱為前刮板52F，位于操作者OP相反側(cè)(圖4的左側(cè))的刮板被稱為后刮板52R。
[0035]在圖3和4中，照相機(jī)單元20包括成像視野面向上側(cè)的上方成像照相機(jī)20a和成像視野面向下側(cè)的下方成像照相機(jī)20b。用于使照相機(jī)單元20在水平面的面內(nèi)方向上移動的照相機(jī)單元移動機(jī)構(gòu)19包括:Y軸工作臺19a，在基臺11上沿Y軸方向延伸；X軸工作臺19b，沿X軸方向延伸并在Y軸工作臺19a上移動；和可移動板19c，在X軸工作臺19b上移動。照相機(jī)單元20附接到可移動板19c，并通過X軸工作臺19b相對于Y軸工作臺19a沿Y軸方向的移動以及可移動板19c相對于X軸工作臺19b沿X軸方向的移動而在水平面中移動。
[0036]膏劑供應(yīng)機(jī)構(gòu)18中存儲著膏劑Pst，并且該膏劑供應(yīng)機(jī)構(gòu)18向下側(cè)排出膏劑。在圖3和4中，膏劑供應(yīng)機(jī)構(gòu)18附接到可移動基座51，通過可移動基座51沿Y軸方向的移動而與刮板52 —起沿Y軸方向移動，并在可移動基座51上方沿X軸方向移動。因此，通過可移動基座51在Y軸方向上的移動和膏劑供應(yīng)機(jī)構(gòu)18在X軸方向上的移動，膏劑供應(yīng)機(jī)構(gòu)18可以在水平面中自由移動，并可以將膏劑Pst供應(yīng)到掩模13上的任何區(qū)域。膏劑供應(yīng)機(jī)構(gòu)18以沿刮板52的延伸方向(即，X軸方向)延伸的形狀將膏劑Pst供應(yīng)到位于第一圖案形成區(qū)域Rl與第二圖案形成區(qū)域R2之間的區(qū)域Rm。
[0037]在圖7中，絲網(wǎng)印刷設(shè)備5的控制器60控制:送入傳送器移動機(jī)構(gòu)14a所執(zhí)行的使送入傳送器14在Y軸方向上移動的操作；送入傳送器14所執(zhí)行的送入基板2的操作；傳送器33所執(zhí)行的使基板2移動到夾緊位置的操作；第一升降電機(jī)34所執(zhí)行的使下保持構(gòu)件35升降的操作；夾具驅(qū)動電機(jī)36所執(zhí)行的使夾具37夾緊的操作；ΧΥ Θ工作臺41所執(zhí)行的使基板支撐單元21在水平面中移動的操作；第二升降電機(jī)42所執(zhí)行的使基板支撐單兀21升降的操作；送出傳送器移動機(jī)構(gòu)15a所執(zhí)行的使送出傳送器15在Y軸方向上移動的操作；和送出傳送器15所執(zhí)行的送出基板2的操作?？刂破?0還控制:印刷頭移動機(jī)構(gòu)16所執(zhí)行的使印刷頭17在Y軸方向上移動的操作；刮板升降缸53所執(zhí)行的使刮板52升降的操作；膏劑供應(yīng)機(jī)構(gòu)18所執(zhí)行的排出膏劑Pst的操作；以及照相機(jī)單元移動機(jī)構(gòu)19所執(zhí)行的使照相機(jī)單元20在水平面中移動的操作。
[0038]在圖7中，上方成像照相機(jī)20a由控制器60控制并執(zhí)行對設(shè)置在掩模13的第一圖案形成區(qū)域Rl中的掩模側(cè)標(biāo)記13m的成像和對設(shè)置在掩模13的第二圖案形成區(qū)域R2中的掩模側(cè)標(biāo)記13m的成像。下方成像照相機(jī)20b由控制器60控制并對由基板支撐單元21保持的基板2上的基板側(cè)標(biāo)記2m進(jìn)行成像。通過上方成像照相機(jī)20a的成像所獲得的圖像數(shù)據(jù)和通過下方成像照相機(jī)20b的成像所獲得的圖像數(shù)據(jù)被輸入到控制器60并由控制器60的圖像處理單元60a進(jìn)行處理?？刂破?0基于所獲得的掩模側(cè)標(biāo)記13m的圖像和所獲得的基板側(cè)標(biāo)記2m的圖像(成像結(jié)果)來計算掩模側(cè)標(biāo)記13m的位置和基板側(cè)標(biāo)記2m的位置。
[0039]在圖3中，由操作者OP操作的安裝有顯示裝置的操作面板61設(shè)置在基臺11的前側(cè)(操作者OP—側(cè))。操作面板61連接到控制器60(圖7)，操作者OP可以通過操作面板61輸入絲網(wǎng)印刷設(shè)備5的操作并可以獲取有關(guān)絲網(wǎng)印刷設(shè)備5的各種信息。
[0040]下面參照圖8A至IlB描述利用絲網(wǎng)印刷設(shè)備5的絲網(wǎng)印刷操作的流程。當(dāng)基板2從兩個基板供應(yīng)設(shè)備4中之一送出時，控制器60致動送入傳送器移動機(jī)構(gòu)14a，以使送入傳送器14移動到面對要送出基板2的基板供應(yīng)設(shè)備4的位置。然后，控制器60使送入傳送器14接收從該基板供應(yīng)設(shè)備4送出的基板2，并致動XY Θ工作臺41，以使基板支撐單元21移動到第一圖案形成區(qū)域Rl下方的位置(稱為第一位置)或第二圖案形成區(qū)域R2下方的位置(稱為第二位置)。這里，由送入傳送器14所接收的基板2的類型(電極2a的布置)，來確定基板支撐單元21移動到第一位置還是第二位置。當(dāng)基板2的電極2a的布置對應(yīng)于第一圖案PTl時，基板支撐單元21位于第一位置，而當(dāng)基板2的電極2a的布置對應(yīng)于第二圖案PT2時，基板支撐單元21位于第二位置。
[0041]當(dāng)基板支撐單元21位于第一位置或第二位置時，控制器60使已經(jīng)從基板供應(yīng)設(shè)備4接收了基板2的送入傳送器14移動到面對第一位置的位置或面對第二位置的位置。這里，當(dāng)基板支撐單元21位于第一位置時，控制器60使送入傳送器14位于面對第一位置的位置，當(dāng)基板支撐單元21位于第二位置時，控制器60使送入傳送器14位于面對第二位置的位置。
[0042]當(dāng)送入傳送器14位于面對第一位置的位置或面對第二位置的位置時，控制器60致動送入傳送器14和基板支撐單元21的傳送器33以使它們彼此協(xié)作，將基板2送入基板支撐單元21中，并將基板2定位在夾緊位置。然后，