本技術(shù)屬于聲表面波，涉及溫補(bǔ)聲表面波濾波器，特別涉及一種溫補(bǔ)聲表面波濾波器的膜層結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、聲表面波濾波器由若干串聯(lián)和并聯(lián)的諧振器構(gòu)成，分為普通聲表面波濾波器、溫補(bǔ)聲表面波濾波器、高性能聲表面波濾波器。所謂溫補(bǔ)聲表面波濾波器，它通過內(nèi)置溫度補(bǔ)償層來減少溫度變化對(duì)濾波器性能的影響，從而實(shí)現(xiàn)在不同環(huán)境溫度下保持穩(wěn)定的頻率特性，被廣泛的應(yīng)用于通信領(lǐng)域。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，溫補(bǔ)聲表面波濾波器的溫度補(bǔ)償層通常為二氧化硅層，然而在對(duì)濾波器產(chǎn)品進(jìn)行測(cè)試過程中發(fā)現(xiàn)，影響器件關(guān)鍵指標(biāo)的帶寬常常超出產(chǎn)品規(guī)格范圍，有時(shí)高出用戶使用范圍指標(biāo)，有時(shí)低于用戶使用范圍指標(biāo)，從而不符合用戶需求，導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢，或重新根據(jù)設(shè)計(jì)師設(shè)計(jì)仿真進(jìn)行調(diào)整工藝參數(shù)后進(jìn)行流片。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足，本實(shí)用新型的目的就在于提供一種溫補(bǔ)聲表面波濾波器的膜層結(jié)構(gòu)，該膜層結(jié)構(gòu)能有效增大或減小溫補(bǔ)聲表面波濾波器的帶寬，使得溫補(bǔ)聲表面波濾波器產(chǎn)品達(dá)到用戶指標(biāo)需求，滿足用戶需求，避免造成產(chǎn)品報(bào)廢或重新流片。

2、本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

3、一種溫補(bǔ)聲表面波濾波器的膜層結(jié)構(gòu)，包括壓電基片層、溫度補(bǔ)償層和在壓電基片層上設(shè)置的若干諧振器，所有諧振器由多個(gè)串聯(lián)諧振器和復(fù)數(shù)個(gè)并聯(lián)諧振器構(gòu)成，每個(gè)諧振器包括若干金屬指條，所述溫度補(bǔ)償層設(shè)置在諧振器上表面并覆蓋整個(gè)壓電基片層的上表面，在所有串聯(lián)諧振器或并聯(lián)諧振器金屬指條對(duì)應(yīng)的溫度補(bǔ)償層上表面設(shè)有帶寬調(diào)節(jié)層，從而實(shí)現(xiàn)增大或減小溫補(bǔ)聲表面波濾波器帶寬的目的。

4、進(jìn)一步地，所述帶寬調(diào)節(jié)層為氮化硅層。

5、進(jìn)一步地，所述帶寬調(diào)節(jié)層厚度為5~80?nm。

6、進(jìn)一步地，所述溫度補(bǔ)償層為二氧化硅層，其厚度為25~80?nm。

7、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下有益效果：

8、本實(shí)用新型通過在溫補(bǔ)聲表面波濾波器所有串聯(lián)諧振器或并聯(lián)諧振器金屬指條對(duì)應(yīng)的溫度補(bǔ)償層上表面設(shè)置氮化硅層，從而可以達(dá)到增大或減小溫補(bǔ)聲表面波濾波器帶寬的目的，避免溫補(bǔ)聲表面波濾波器產(chǎn)品報(bào)廢或重新流片。

技術(shù)特征：

1.一種溫補(bǔ)聲表面波濾波器的膜層結(jié)構(gòu)，包括壓電基片層、溫度補(bǔ)償層和在壓電基片層上設(shè)置的若干諧振器，所有諧振器由多個(gè)串聯(lián)諧振器和復(fù)數(shù)個(gè)并聯(lián)諧振器構(gòu)成，每個(gè)諧振器包括若干金屬指條，所述溫度補(bǔ)償層設(shè)置在諧振器上表面并覆蓋整個(gè)壓電基片層的上表面，其特征在于，在所有串聯(lián)諧振器或并聯(lián)諧振器金屬指條對(duì)應(yīng)的溫度補(bǔ)償層上表面設(shè)有帶寬調(diào)節(jié)層，從而實(shí)現(xiàn)增大或減小溫補(bǔ)聲表面波濾波器帶寬的目的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種溫補(bǔ)聲表面波濾波器的膜層結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述帶寬調(diào)節(jié)層為氮化硅層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種溫補(bǔ)聲表面波濾波器的膜層結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述帶寬調(diào)節(jié)層厚度為5~80?nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種溫補(bǔ)聲表面波濾波器的膜層結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述溫度補(bǔ)償層為二氧化硅層，其厚度為25~80?nm。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種溫補(bǔ)聲表面波濾波器的膜層結(jié)構(gòu)，該膜層結(jié)構(gòu)包括壓電基片層、溫度補(bǔ)償層和在壓電基片層上設(shè)置的若干諧振器，所有諧振器包括多個(gè)串聯(lián)諧振器和復(fù)數(shù)個(gè)并聯(lián)諧振器構(gòu)成，每個(gè)諧振器包括若干金屬指條，所述溫度補(bǔ)償層設(shè)置在諧振器上表面并覆蓋整個(gè)壓電基片層的上表面，在所有串聯(lián)諧振器或并聯(lián)諧振器金屬指條對(duì)應(yīng)的溫度補(bǔ)償層上表面設(shè)有帶寬調(diào)節(jié)層，從而實(shí)現(xiàn)增大或減小溫補(bǔ)聲表面波濾波器帶寬的目的。該膜層結(jié)構(gòu)能有效增大或減小溫補(bǔ)聲表面波濾波器的帶寬，使得溫補(bǔ)聲表面波濾波器產(chǎn)品達(dá)到用戶指標(biāo)需求，滿足用戶需求，避免造成產(chǎn)品報(bào)廢或重新流片。

技術(shù)研發(fā)人員：伍平,李樺林
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所
技術(shù)研發(fā)日：20240517
技術(shù)公布日：2025/1/2