本技術(shù)屬于陶瓷加熱盤，具體涉及一種陶瓷加熱盤電極引出結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、陶瓷加熱器以其耐腐蝕、高熱導(dǎo)率、低線膨脹系數(shù)等優(yōu)點(diǎn)廣泛應(yīng)用于勻膠顯影等半導(dǎo)體制備工藝中，其中絲網(wǎng)印刷技術(shù)憑借其工藝靈活性和精確性，成為了陶瓷加熱器加熱絲制備的主流工藝。

2、絲網(wǎng)印刷加熱絲電極引出接線主要采用以下方式：

3、1、直接印刷連接：通過絲網(wǎng)印刷技術(shù)一次或多次印刷，使電極和引出線一體成型。

4、2、焊接連接：通過電阻焊、超聲波焊接、激光焊接等將電極與引出線金屬部分熔接。

5、3、機(jī)械連接：在陶瓷盤印刷電極位置預(yù)留螺紋孔，使用螺柱與陶瓷螺紋孔連接，將電極引出接線。

6、但是上述引出接線的方式在使用中存在以下問題：焊接或印刷連接，抗拉拔力較小，使用過程中連接位置容易發(fā)生斷裂，且熔焊連接不可拆卸，難以維護(hù)更換；機(jī)械連接使用金屬螺柱與陶瓷通過螺紋連接，由于金屬和陶瓷熱膨脹系數(shù)不同，在加熱過程中產(chǎn)生熱應(yīng)力，螺柱與陶瓷變形不協(xié)調(diào)，容易將陶瓷脹裂；另外螺柱與陶瓷螺紋孔連接后，螺紋孔底部會(huì)形成密閉空腔，加熱后空腔空氣膨脹，形成內(nèi)外壓差，陶瓷存在脹裂風(fēng)險(xiǎn)。

7、公開于該背景技術(shù)部分的信息僅僅旨在增加對(duì)本實(shí)用新型的總體背景的理解，而不應(yīng)當(dāng)被視為承認(rèn)或以任何形式暗示該信息構(gòu)成已為本領(lǐng)域一般技術(shù)人員所公知的現(xiàn)有技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種陶瓷加熱盤電極引出結(jié)構(gòu)，其能夠解決現(xiàn)有的絲網(wǎng)印刷加熱絲電極引出接線方式存在的問題。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型一具體實(shí)施例提供的技術(shù)方案如下：

3、一種陶瓷加熱盤電極引出結(jié)構(gòu)，包括：

4、本體組件，包括陶瓷盤和下殼體，所述陶瓷盤安裝于下殼體上，所述陶瓷盤和下殼體之間形成有空腔；陶瓷盤為加熱盤，通過陶瓷盤和下殼體之間形成有腔體用于對(duì)部件的安裝。

5、電極引出組件，所述電極引出組件設(shè)置有一對(duì)，一對(duì)所述電極引出組件均安裝于陶瓷盤和下殼體之間的空腔內(nèi)，在陶瓷盤和下殼體之間的空腔內(nèi)安裝一對(duì)電極引出組件，通過一對(duì)電極引出組件將加熱盤上的電極引出；所述電極引出組件包括螺紋管，所述螺紋管安裝于陶瓷盤的底部側(cè)壁上，所述陶瓷盤的底部通過印刷的方式安裝有絲網(wǎng)印刷電極，所述絲網(wǎng)印刷電極上安裝有o型接線端子。o型接線端子用于和外部電源線連接，因此將o型接線端子設(shè)置于絲網(wǎng)印刷電極的下方，以便于將電源傳輸于絲網(wǎng)印刷電極，然后絲網(wǎng)印刷電極傳輸于陶瓷盤，使得陶瓷盤將電能轉(zhuǎn)化為熱能。

6、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述陶瓷盤的底部設(shè)置有印刷加熱絲，絲網(wǎng)印刷電極用于向印刷加熱絲提供電能，所述下殼體采用不銹鋼材質(zhì)制成。

7、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述下殼體上一體成型有連接環(huán)，所述陶瓷盤安裝于連接環(huán)上。通過連接環(huán)使得陶瓷盤安裝于下殼體上形成有空腔。

8、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述陶瓷盤上開設(shè)有多個(gè)第一螺紋孔，所述下殼體和連接環(huán)上均開設(shè)有多個(gè)與第一螺紋孔相匹配的第二螺紋孔。通過第一螺紋孔和第二螺紋孔，使得在陶瓷盤和下殼體上安裝螺紋桿便可以將陶瓷盤和下殼體固定連接于一起。

9、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述下殼體上開設(shè)有通孔，所述通孔開設(shè)于下殼體的中心處。通過通孔便可以將外部的電源線引入到空腔內(nèi)。

10、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述螺紋管采用中空管制成，從而使用中空螺紋管與陶瓷盤連接，且所述螺紋管的側(cè)壁在軸向方向上開設(shè)有缺口，通過缺口可以吸收螺紋管受熱產(chǎn)生的膨脹應(yīng)力，避免螺紋管由于熱應(yīng)力脹裂陶瓷盤。

11、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述陶瓷盤的底部側(cè)壁上開設(shè)有螺紋槽，所述螺紋管通過螺紋槽螺紋連接于陶瓷盤的底部側(cè)壁上。由于螺紋管采用中空管，中空管通過螺紋槽與陶瓷盤連接，使得連接不會(huì)產(chǎn)生密閉空間，螺紋槽內(nèi)外氣壓平衡，不會(huì)產(chǎn)生空氣壓差，從而避免導(dǎo)致陶瓷脹裂。

12、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述絲網(wǎng)印刷電極和o型接線端子上均設(shè)置有套接孔，所述絲網(wǎng)印刷電極和o型接線端子分別通過套接孔套接于螺紋管的外側(cè)壁上。

13、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述螺紋管的上端置于螺紋槽內(nèi)，所述螺紋管的下端置于陶瓷盤和下殼體之間的空腔內(nèi)。通過螺紋管便于絲網(wǎng)印刷電極和o型接線端子的安裝，從而便于外部電源與o型接線端子的連接。

14、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述絲網(wǎng)印刷電極的下端側(cè)壁上螺紋連接有螺母，所述螺母的上端抵接在o型接線端子的底部。通過螺母便可以將絲網(wǎng)印刷電極和o型接線端子固定在陶瓷盤的底部，確保使用時(shí)穩(wěn)定，使得電極引出組件連接牢固，抗拉拔力強(qiáng)。同時(shí)螺母拆裝方便，從而使得絲網(wǎng)印刷電極和o型接線端子的拆裝方便，從而使得電極引出組件可以更換，方便后期維護(hù)。

15、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過螺紋管與加熱盤連接，螺紋管軸向留有缺口，可以吸收螺紋管受熱產(chǎn)生的膨脹應(yīng)力，避免螺紋管連接后由于熱應(yīng)力脹裂加熱盤；同時(shí)螺紋管與加熱盤上的螺紋槽連接不會(huì)產(chǎn)生密閉空間，螺紋槽內(nèi)外氣壓平衡，不會(huì)產(chǎn)生空氣壓差，從而避免加熱盤脹裂；并且本連接結(jié)構(gòu)連接牢固，抗拉拔力強(qiáng)，且可以更換，方便后期維護(hù)。

技術(shù)特征：

1.一種陶瓷加熱盤電極引出結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陶瓷加熱盤電極引出結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述陶瓷盤的底部設(shè)置有印刷加熱絲，所述下殼體采用不銹鋼材質(zhì)制成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陶瓷加熱盤電極引出結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述下殼體上一體成型有連接環(huán)，所述陶瓷盤安裝于連接環(huán)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種陶瓷加熱盤電極引出結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述陶瓷盤上開設(shè)有多個(gè)第一螺紋孔，所述下殼體和連接環(huán)上均開設(shè)有多個(gè)與第一螺紋孔相匹配的第二螺紋孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陶瓷加熱盤電極引出結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述下殼體上開設(shè)有通孔，所述通孔開設(shè)于下殼體的中心處。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陶瓷加熱盤電極引出結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述螺紋管采用中空管制成，且所述螺紋管的側(cè)壁在軸向方向上開設(shè)有缺口。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陶瓷加熱盤電極引出結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述陶瓷盤的底部側(cè)壁上開設(shè)有螺紋槽，所述螺紋管通過螺紋槽螺紋連接于陶瓷盤的底部側(cè)壁上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陶瓷加熱盤電極引出結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述絲網(wǎng)印刷電極和o型接線端子上均設(shè)置有套接孔，所述絲網(wǎng)印刷電極和o型接線端子分別通過套接孔套接于螺紋管的外側(cè)壁上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陶瓷加熱盤電極引出結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述螺紋管的上端置于螺紋槽內(nèi)，所述螺紋管的下端置于陶瓷盤和下殼體之間的空腔內(nèi)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種陶瓷加熱盤電極引出結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述絲網(wǎng)印刷電極的下端側(cè)壁上螺紋連接有螺母，所述螺母的上端抵接在o型接線端子的底部。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種陶瓷加熱盤電極引出結(jié)構(gòu)，包括本體組件和電極引出組件，所述本體組件包括陶瓷盤和下殼體，所述陶瓷盤安裝于下殼體上，所述陶瓷盤和下殼體之間形成有空腔；所述電極引出組件設(shè)置有一對(duì)，一對(duì)所述電極引出組件均安裝于陶瓷盤和下殼體之間的空腔內(nèi)，所述電極引出組件包括螺紋管，所述螺紋管安裝于陶瓷盤的底部側(cè)壁上。本技術(shù)通過螺紋管與加熱盤連接，螺紋管軸向留有缺口，可以吸收螺紋管受熱產(chǎn)生的膨脹應(yīng)力，避免螺紋管連接后由于熱應(yīng)力脹裂加熱盤；同時(shí)螺紋管與螺紋槽連接不會(huì)產(chǎn)生密閉空間，螺紋槽內(nèi)外氣壓平衡，不會(huì)產(chǎn)生空氣壓差，從而避免加熱盤脹裂；并且本連接結(jié)構(gòu)連接牢固，抗拉拔力強(qiáng)，且可以更換，方便后期維護(hù)。

技術(shù)研發(fā)人員：張金東,黎靜,沈亞南
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇實(shí)為半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240511
技術(shù)公布日：2025/1/2