技術(shù)編號：40555498
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)屬于陶瓷加熱盤，具體涉及一種陶瓷加熱盤電極引出結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、陶瓷加熱器以其耐腐蝕、高熱導率、低線膨脹系數(shù)等優(yōu)點廣泛應用于勻膠顯影等半導體制備工藝中，其中絲網(wǎng)印刷技術(shù)憑借其工藝靈活性和精確性，成為了陶瓷加熱器加熱絲制備的主流工藝。、絲網(wǎng)印刷加熱絲電極引出接線主要采用以下方式：、、直接印刷連接：通過絲網(wǎng)印刷技術(shù)一次或多次印刷，使電極和引出線一體成型。、、焊接連接：通過電阻焊、超聲波焊接、激光焊接等將電極與引出線金屬部分熔接。、、機械連接：在陶瓷盤印刷電極位置預留螺紋孔，使用螺...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學習。