專利名稱：射頻匹配器的控制電路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種射頻匹配器的控制電路。
背景技術(shù)：
射頻匹配器的應(yīng)用廣泛，主要的具體領(lǐng)域?yàn)榘雽?dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域、等離子刻蝕、 真空鍍膜、PECVD、等離子清洗、物理氣象沉積(PVD)、化學(xué)氣象沉積(CVD)、射頻濺 射等等。目前市場上的射頻匹配器多為手動射頻匹配器，使用起來十分不便，在系統(tǒng)設(shè) 備啟動后要不斷地手動調(diào)整匹配器的阻抗而使輸出達(dá)到工藝的要求，無法實(shí)現(xiàn)應(yīng)用系統(tǒng) 的全自動控制，同時調(diào)節(jié)匹配的時間長、工作效率低、設(shè)備使用費(fèi)用高。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于射頻匹配器的控制電路，該控制電路可 以實(shí)現(xiàn)輸出信號功能，為射頻匹配器實(shí)現(xiàn)自動門匹配提供基礎(chǔ)。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案射頻匹配器的控制電路，包括放大電路，該放大電路將接收到的直流驅(qū)動信號 進(jìn)行放大后輸出；還包括用于阻抗匹配器的保護(hù)模塊，當(dāng)該保護(hù)模塊檢測到阻抗匹配器 為最大值或最小值時控制所述的放大電路失去放大作用。所述放大電路包括第一放大器，與該第一放大器連接的第二放大器，以及該第 二增益放大器連接的功率放大電路。所述第一放大器和第二放大器均為增益放大器。所述功率放大電路第一晶體管、第二晶體管、第三晶體管以及第四晶體管構(gòu) 成，第二晶體管的基極連接第一晶體管的基極，第二晶體管的發(fā)射極連接第一晶體管的 發(fā)射極，第二晶體管的集電極連接第三晶體管的集電極，第三晶體管的發(fā)射極連接第四 晶體管的發(fā)射極，第三晶體管的基極連接第四晶體管的基極。第一晶體管和第四晶體管均為NPN型的晶體管，第二晶體管和第三晶體管均為 PNP型的晶體管。所述保護(hù)模塊包括可調(diào)電位器，該可調(diào)電位器用于獲知阻抗匹配器的調(diào)整情 況，并將該調(diào)整情況轉(zhuǎn)換為電壓信號輸出； 以及與可調(diào)電位器連接的比較器，該比較器將來自于可調(diào)電位器的電壓信號與 該比較器設(shè)定的電壓進(jìn)行比較后輸出一個控制信號；以及與比較器連接的控制開關(guān)，該控制開關(guān)接收比較器輸出的控制信號后使所 述放大電路失去放大作用。所述比較器包括用于阻抗匹配器的最大值比較器，以及用于阻抗匹配器的最小 值比較器。所述的射頻匹配器的控制電路，還包括顯示阻抗匹配器容量的容量顯示器，該 容量顯示器與連接在可調(diào)電位器的輸出端。[0015]上述方案中信號經(jīng)一級放大器初級放大，再由二級放大器再次放大以驅(qū)動三級 放大器對信號進(jìn)行第三次放大后驅(qū)動直流電機(jī)轉(zhuǎn)動。直流電動機(jī)可帶動真空電容和可調(diào) 電位器進(jìn)行轉(zhuǎn)動。當(dāng)可調(diào)電位器轉(zhuǎn)動時，會反饋一個電壓信號給比較器，當(dāng)可調(diào)電位器 的反饋電壓信號達(dá)到極限時，則輸出一個低電平到控制開關(guān)，這時，二級放大器失去放 大作用，功率放大電路得不到足夠的驅(qū)動信號，直流電機(jī)停止轉(zhuǎn)動，此時真空電容達(dá)到 最大容量值，上述可調(diào)電位器的反饋電壓信號可通過容量顯示器顯示出來。通過直流電 機(jī)的轉(zhuǎn)動，可以帶動真空電容轉(zhuǎn)動，以實(shí)現(xiàn)容量值的改變，從而達(dá)到調(diào)節(jié)阻抗的目的， 快速、可靠、高效、準(zhǔn)確、節(jié)省人力和時間。

圖1為本實(shí)用新型的原理圖圖2為本實(shí)用新型的電路圖1為第一放大器，2為第二放大器，3為功率放大電路，31為第一晶體管，32為 第二晶體管，33為第三晶體管，34為第四晶體管，4為可調(diào)電位器，5為比較器，51為最 大值比較器，52為最小值比較器，61為第一控制開關(guān)，62為第二控制開關(guān)，7為容量顯 示器，8為直流電機(jī)。
具體實(shí)施方式
參考附圖1至2所示，射頻匹配器的控制電路，包括放大電路，該放大電路將接 收到的直流驅(qū)動信號進(jìn)行放大后輸出；還包括用于阻抗匹配器的保護(hù)模塊，當(dāng)該保護(hù)模 塊檢測到阻抗匹配器為最大值或最小值時控制所述的放大電路失去放大作用。所述放大電路包括第一放大器1，與該第一放大器連接的第二放大器2，以及該 第二增益放大器連接的功率放大電路3，第一放大器1和第二放大器2均為增益放大器， 功率放大電路第一晶體管31、第二晶體管32、第三晶體管33以及第四晶體34管構(gòu)成， 第二晶體管32的基極連接第一晶體管31的基極，第二晶體管32的發(fā)射極連接第一晶體 管31的發(fā)射極，第二晶體管32的集電極連接第三晶體管33的集電極，第三晶體管33的 發(fā)射極連接第四晶體管34的發(fā)射極，第三晶體管33的基極連接第四晶體管34的基極， 第一晶體管31和第四晶體管34均為NPN型的晶體管，第二晶體管32和第三晶體管33 均為PNP型的晶體管。所述保護(hù)模塊包括可調(diào)電位器4，該可調(diào)電位器用于獲知阻抗匹配器的調(diào)整情 況，并將該調(diào)整情況轉(zhuǎn)換為電壓信號輸出；以及與可調(diào)電位器連接的比較器5，該比較 器5將來自于可調(diào)電位器4的電壓信號與該比較器5設(shè)定的電壓進(jìn)行比較后輸出一個控制 信號；以及與比較器5連接的控制開關(guān)6，該控制開關(guān)6接收比較器5輸出的控制信號后 使所述放大電路3失去放大作用，比較器包括用于阻抗匹配器的最大值比較器51，以及 用于阻抗匹配器的最小值比較器52。所述的射頻匹配器的控制電路，還包括顯示阻抗匹 配器容量的容量顯示器7，該容量顯示器7與連接在可調(diào)電位器4的輸出端。信號經(jīng)一級放大器1初級放大，再由二級放大器2再次放大，以驅(qū)動功率放大 電路3，第一晶體管31、第二晶體管32、第三晶體管33以及第四晶體管34對信號進(jìn)行放 大后可驅(qū)動直流電機(jī)8。可調(diào)電位器4轉(zhuǎn)動時，會反饋一個電壓信號給三級放大器，當(dāng)可調(diào)電位器4的反饋電壓信號為達(dá)到最大值比較器51極限時，會輸出一個低電平到第一控 制開關(guān)61，這時二級放大器2失去放大作用，第一晶體管31、第二晶體管32、第三晶體 管33和第四晶體管34得不到足夠的驅(qū)動信號，則直流電機(jī)8停止轉(zhuǎn)動，此時真空電容達(dá) 到最大容量值，并在容量顯示器7上顯示出來，同樣，當(dāng)可調(diào)電位器4的反饋電壓信號為 達(dá)到最小值比較器52極限時，會輸出一個低電平到第一控制開關(guān)62，這時二級放大器2 失去放大作用，第一晶體管31、第二晶體管32、第三晶體管33和第四晶體管34得不到 足夠的驅(qū)動信號，則直流電機(jī)8停止轉(zhuǎn)動，此時真空電容達(dá)到最大容量值，并在容量顯 示器7上顯示出來。
權(quán)利要求1.射頻匹配器的控制電路，其特征在于包括放大電路，該放大電路將接收到的直 流驅(qū)動信號進(jìn)行放大后輸出；還包括用于阻抗匹配器的保護(hù)模塊，當(dāng)該保護(hù)模塊檢測到 阻抗匹配器為最大值或最小值時控制所述的放大電路失去放大作用。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻匹配器的控制電路，其特征在于所述放大電路包括 第一放大器，與該第一放大器連接的第二放大器，以及該第二放大器連接的功率放大電 路。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的射頻匹配器的控制電路，其特征在于所述第一放大器和 第二放大器均為增益放大器。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的射頻匹配器的控制電路，其特征在于所述功率放大電路 由第一晶體管、第二晶體管、第三晶體管以及第四晶體管構(gòu)成，第二晶體管的基極連接 第一晶體管的基極，第二晶體管的發(fā)射極連接第一晶體管的發(fā)射極，第二晶體管的集電 極連接第三晶體管的集電極，第三晶體管的發(fā)射極連接第四晶體管的發(fā)射極，第三晶體 管的基極連接第四晶體管的基極。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的射頻匹配器的控制電路，其特征在于第一晶體管和第四 晶體管均為NPN型的晶體管，第二晶體管和第三晶體管均為PNP型的晶體管。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻匹配器的控制電路，其特征在于所述保護(hù)模塊包括 可調(diào)電位器，該可調(diào)電位器用于獲知阻抗匹配器的調(diào)整情況，并將該調(diào)整情況轉(zhuǎn)換為電 壓信號輸出；以及與可調(diào)電位器連接的比較器，該比較器將來自于可調(diào)電位器的電壓信號與該比 較器設(shè)定的電壓進(jìn)行比較后輸出一個控制信號；以及與比較器連接的控制開關(guān)，該控制開關(guān)接收比較器輸出的控制信號后使所述放 大電路失去放大作用。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的射頻匹配器的控制電路，其特征在于所述比較器包括用 于阻抗匹配器的最大值比較器，以及用于阻抗匹配器的最小值比較器。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的射頻匹配器的控制電路，其特征在于還包括顯示阻抗匹 配器容量的容量顯示器，該容量顯示器與連接在可調(diào)電位器的輸出端。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種射頻匹配器的控制電路，其特征在于包括放大電路，該放大電路將接收到的直流驅(qū)動信號進(jìn)行放大后輸出；所述的控制模塊還包括用于阻抗匹配器的保護(hù)模塊，當(dāng)該保護(hù)模塊檢測到阻抗匹配器為最大值或最小值時控制所述的放大電路失去放大作用，本實(shí)用新型具有快速、可靠、高效、準(zhǔn)確、節(jié)省人力和時間等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號H03F1/56GK201797485SQ20102021727
公開日2011年4月13日 申請日期2010年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月1日
發(fā)明者楊友明 申請人:常州瑞思杰爾電子科技有限公司