一種旋轉(zhuǎn)電機(jī)的運(yùn)行控制方法和裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備的控制領(lǐng)域，特別是涉及一種旋轉(zhuǎn)電機(jī)的運(yùn)行控制方法和 一種旋轉(zhuǎn)電機(jī)的運(yùn)行控制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 很多半導(dǎo)體設(shè)備都是W旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)巧盤進(jìn)行物料傳輸?shù)?，例如APCVD (AtmosphericPressureQiemicalVaporD巧osition,常壓化學(xué)氣象沉積）設(shè)備。
[0003] 但是旋轉(zhuǎn)電機(jī)只能進(jìn)行正向旋轉(zhuǎn)，其脈沖計(jì)數(shù)持續(xù)累加，為了避免數(shù)據(jù)溢出，每執(zhí) 行一次工藝，都需要進(jìn)行手動(dòng)清零，操作繁瑣。
[0004] 特別地，在某些工藝需求下，如圖1所示的APCVD設(shè)備的巧盤，在當(dāng)前工藝腔室中， 3號(hào)物料剛完成工藝，4號(hào)物料為預(yù)定為下一個(gè)在該工藝腔室進(jìn)行工藝處理的物料，則旋轉(zhuǎn) 電機(jī)需要從一個(gè)3位置正向移動(dòng)到4號(hào)位置進(jìn)行物料的傳輸，而此種傳輸需要轉(zhuǎn)動(dòng)幾乎一 圈，旋轉(zhuǎn)時(shí)間長，生產(chǎn)效率低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明實(shí)施例所要解決的技術(shù)問題是提供一種旋轉(zhuǎn)電機(jī)的運(yùn)行控制方法，W解決 旋轉(zhuǎn)電機(jī)不能反轉(zhuǎn)的問題。
[0006] 本發(fā)明還提供了一種旋轉(zhuǎn)電機(jī)的運(yùn)行控制裝置，用W保證上述方法的實(shí)現(xiàn)及應(yīng) 用。
[0007] 為了解決上述問題，本發(fā)明公開了一種旋轉(zhuǎn)電機(jī)的運(yùn)行控制方法，其特征在于，所 述旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)巧盤轉(zhuǎn)動(dòng)，所述巧盤上放置有物料，所述方法包括：
[0008]計(jì)算所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)時(shí)的補(bǔ)償脈沖；
[0009] 計(jì)算物料從所述旋轉(zhuǎn)巧盤中的當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置的正向間隔數(shù)和反向間 隔數(shù)；
[0010] 依據(jù)所述補(bǔ)償脈沖、所述反向間隔數(shù)、所述正向間隔數(shù)W及所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)上一次 旋轉(zhuǎn)的方向，確定驅(qū)動(dòng)所述物料從當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置所需的脈沖；
[0011] 采用所述脈沖驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，將所述物料從當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位 置。
[0012] 優(yōu)選地，所述計(jì)算所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)進(jìn)行反向旋轉(zhuǎn)時(shí)的補(bǔ)償脈沖的步驟包括：
[0013] 驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)反向旋轉(zhuǎn)一圈并正向旋轉(zhuǎn)一圈；
[0014] 通過W下公式計(jì)算所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)實(shí)際旋轉(zhuǎn)與標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)的脈沖差：
[00巧]M差=(|M反|-M〇+|M正|-M〇)/2
[0016] 其中，為脈沖差，|M&I為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)反向旋轉(zhuǎn)一圈的實(shí)際脈沖的絕對(duì)值，|M IEI為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)正向旋轉(zhuǎn)一圈的實(shí)際脈沖的絕對(duì)值，M。為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)一圈的標(biāo)準(zhǔn) 脈沖；
[0017] 重復(fù)獲取所述脈沖差，并計(jì)算所有脈沖差的平均值，獲得作為補(bǔ)償脈沖的平均脈 沖差。
[0018] 優(yōu)選地，所述依據(jù)所述補(bǔ)償脈沖、所述反向間隔數(shù)、所述正向間隔數(shù)W及所述旋轉(zhuǎn) 電機(jī)上一次旋轉(zhuǎn)的方向，確定驅(qū)動(dòng)所述物料從當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置所需的脈沖的步驟 包括：
[0019] 當(dāng)反向間隔數(shù)小于正向間隔數(shù)，且上一次旋轉(zhuǎn)為正向旋轉(zhuǎn)時(shí)，則通過W下公式計(jì) 算驅(qū)動(dòng)所述物料從當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置的脈沖：
[0020] M反=-P反*M〇/P-N
[0021] 其中，為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)當(dāng)前進(jìn)行反向旋轉(zhuǎn)的脈沖，P&為所述反向間隔數(shù)，P為所 述物料的數(shù)量，M。為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)一圈的標(biāo)準(zhǔn)脈沖，N為所述補(bǔ)償脈沖。
[0022] 優(yōu)選地，所述依據(jù)所述補(bǔ)償脈沖、所述反向間隔數(shù)、所述正向間隔數(shù)W及所述旋轉(zhuǎn) 電機(jī)上一次旋轉(zhuǎn)的方向，確定驅(qū)動(dòng)所述物料從當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置所需的脈沖的步驟 包括：
[0023] 當(dāng)反向間隔數(shù)小于正向間隔數(shù)，且上一次旋轉(zhuǎn)為反向旋轉(zhuǎn)時(shí)，則通過W下公式計(jì) 算驅(qū)動(dòng)所述物料從當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置的脈沖：
[0024] M反=-P反*M〇/P
[0025] 其中，為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)當(dāng)前進(jìn)行反向旋轉(zhuǎn)的脈沖，P&為所述反向間隔數(shù)，P為所 述物料的數(shù)量，M。為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)一圈的標(biāo)準(zhǔn)脈沖，補(bǔ)償脈沖為0。
[0026] 優(yōu)選地，所述依據(jù)所述補(bǔ)償脈沖、所述反向間隔數(shù)、所述正向間隔數(shù)W及所述旋轉(zhuǎn) 電機(jī)上一次旋轉(zhuǎn)的方向，確定驅(qū)動(dòng)所述物料從當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置所需的脈沖的步驟 包括：
[0027] 當(dāng)正向間隔數(shù)小于反向間隔數(shù)，且上一次旋轉(zhuǎn)為正向旋轉(zhuǎn)時(shí)，則通過W下公式計(jì) 算驅(qū)動(dòng)所述物料從當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置的脈沖：
[0028] M正=P正*M〇/P
[0029] 其中，Me為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)當(dāng)前進(jìn)行正向旋轉(zhuǎn)的脈沖，Pe為所述正向間隔數(shù)，P為所 述物料的數(shù)量，M。為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)一圈的標(biāo)準(zhǔn)脈沖，補(bǔ)償脈沖為0。
[0030] 優(yōu)選地，所述依據(jù)所述補(bǔ)償脈沖、所述反向間隔數(shù)、所述正向間隔數(shù)W及所述旋轉(zhuǎn) 電機(jī)上一次旋轉(zhuǎn)的方向，確定驅(qū)動(dòng)所述物料從當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置所需的脈沖的步驟 包括：
[0031] 當(dāng)正向間隔數(shù)小于反向間隔數(shù)，且上一次旋轉(zhuǎn)為反向旋轉(zhuǎn)時(shí)，則通過W下公式計(jì) 算驅(qū)動(dòng)所述物料從當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置的脈沖：
[0032] M正=P正*M〇/P+N
[0033] 其中，Me為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)當(dāng)前進(jìn)行正向旋轉(zhuǎn)的脈沖，Pe為所述正向間隔數(shù)，P為所 述物料的數(shù)量，M。為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)一圈的標(biāo)準(zhǔn)脈沖，N為所述補(bǔ)償脈沖。
[0034] 優(yōu)選地，還包括：
[0035] 當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)完成旋轉(zhuǎn)時(shí)，將脈沖的累計(jì)控制在0至M。之間；M。為所述旋轉(zhuǎn)電 機(jī)旋轉(zhuǎn)一圈的標(biāo)準(zhǔn)脈沖。
[003引優(yōu)選地，所述當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)完成旋轉(zhuǎn)時(shí)，將脈沖的累計(jì)控制在0至M。之間的步 驟包括：
[0037] 當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)完成旋轉(zhuǎn)且脈沖為正時(shí)，采用如下公式進(jìn)行脈沖的累計(jì)：
[003引M總=(M，總+M正）0/0M0
[0039]其中，M,自為當(dāng)前的脈沖累計(jì)，M',自為已有的脈沖累計(jì)，Me為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)當(dāng)前進(jìn)行 正向旋轉(zhuǎn)的脈沖，M。為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)一圈的標(biāo)準(zhǔn)脈沖；
[0040] 當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)完成旋轉(zhuǎn)且脈沖為負(fù)時(shí)，采用如下公式進(jìn)行脈沖的累計(jì)：
[0041] M總=(M，總+ (M〇+M反））〇/〇M〇
[0042]其中，M,自為當(dāng)前的脈沖累計(jì)，M',自為已有的脈沖累計(jì)，M&為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)當(dāng)前進(jìn)行 反向旋轉(zhuǎn)的脈沖，M。為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)一圈的標(biāo)準(zhǔn)脈沖。
[0043] 優(yōu)選地，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)為APCVD設(shè)備的旋轉(zhuǎn)電機(jī)。
[0044] 本發(fā)明還公開了一種旋轉(zhuǎn)電機(jī)的運(yùn)行控制裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng) 旋轉(zhuǎn)巧盤轉(zhuǎn)動(dòng)，所述巧盤上放置有物料，包括：
[0045]補(bǔ)償脈沖計(jì)算模塊，用于計(jì)算所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)時(shí)的補(bǔ)償脈沖；
[0046] 間隔數(shù)計(jì)算模塊，用于計(jì)算物料從所述旋轉(zhuǎn)巧盤中的當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置的 正向間隔數(shù)和反向間隔數(shù)；
[0047] 脈沖確定模塊，用于依據(jù)所述補(bǔ)償脈沖、所述反向間隔數(shù)、所述正向間隔數(shù)W及所 述旋轉(zhuǎn)電機(jī)上一次旋轉(zhuǎn)的方向，確定驅(qū)動(dòng)所述物料從當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置所需的脈 沖；
[0048] 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)模塊，用于采用所述脈沖驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，將所述物料從當(dāng) 前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置。
[0049] 優(yōu)選地，所述補(bǔ)償脈沖計(jì)算模塊包括如下子模塊：
[0050] 往返驅(qū)動(dòng)子模塊，用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)反向旋轉(zhuǎn)一圈并正向旋轉(zhuǎn)一圈；
[0051] 脈沖差計(jì)算子模塊，用于通過W下公式計(jì)算所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)實(shí)際旋轉(zhuǎn)與標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)的 脈沖差：
[0052] M差= (|M反|-M〇+|M正|-M〇)/2
[0053] 其中，為脈沖差，|M&I為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)反向旋轉(zhuǎn)一圈的實(shí)際脈沖的絕對(duì)值，|M IEI為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)正向旋轉(zhuǎn)一圈的實(shí)際脈沖的絕對(duì)值，M。為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)一圈的標(biāo)準(zhǔn) 脈沖；
[0054] 平均脈沖差計(jì)算子模塊，用于重復(fù)獲取所述脈沖差，并計(jì)算所有脈沖差的平均值， 獲得作為補(bǔ)償脈沖的平均脈沖差。
[00巧]優(yōu)選地，所述脈沖確定模塊包括：
[0056] 第一計(jì)算子模塊，用于在反向間隔數(shù)小于正向間隔數(shù)，且上一次旋轉(zhuǎn)為正向旋轉(zhuǎn) 時(shí)，則通過W下公式計(jì)算驅(qū)動(dòng)所述物料從當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置的脈沖：
[0057] M反=-P反*M〇/P-N
[005引其中，為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)當(dāng)前進(jìn)行反向旋轉(zhuǎn)的脈沖，P&為所述反向間隔數(shù)，P為所 述物料的數(shù)量，M。為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)一圈的標(biāo)準(zhǔn)脈沖，N為所述補(bǔ)償脈沖。
[0059] 優(yōu)選地，所述脈沖確定模塊包括：
[0060] 第二計(jì)算子模塊，用于在反向間隔數(shù)小于正向間隔數(shù)，且上一次旋轉(zhuǎn)為反向旋轉(zhuǎn) 時(shí)，則通過W下公式計(jì)算驅(qū)動(dòng)所述物料從當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置的脈沖：
[00川 M反=-P反*M0/P
[0062]其中，為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)當(dāng)前進(jìn)行反向旋轉(zhuǎn)的脈沖，P&為所述反向間隔數(shù)，P為所 述物料的數(shù)量，M。為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)一圈的標(biāo)準(zhǔn)脈沖，補(bǔ)償脈沖為0。
[0063] 優(yōu)選地，所述脈沖確定模塊包括：
[0064] 第H計(jì)算子模塊，用于在正向間隔數(shù)小于反向間隔數(shù)，且上一次旋轉(zhuǎn)為正向旋轉(zhuǎn) 時(shí)，則通過W下公式計(jì)算驅(qū)動(dòng)所述物料從當(dāng)前位置移動(dòng)到目標(biāo)位置的脈沖：
[0065]M正=P正 *M〇/P
[0066] 其中，Me為所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)當(dāng)前進(jìn)行正向旋轉(zhuǎn)的脈沖，Pe為所述正向間隔數(shù)，P為所 述物料的數(shù)量，