技術編號：8433289
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發(fā)明涉及半導體設備的控制領域，特別是涉及一種旋轉電機的運行控制方法和 一種旋轉電機的運行控制裝置。背景技術 很多半導體設備都是W旋轉電機驅動旋轉巧盤進行物料傳輸?shù)?，例如APCVD (AtmosphericPressureQiemicalVaporD巧osition,常壓化學氣象沉積）設備。 但是旋轉電機只能進行正向旋轉，其脈沖計數(shù)持續(xù)累加，為了避免數(shù)據溢出，每執(zhí) 行一次工藝，都需要進行手動清零，操作繁瑣。 特別地，在某些工藝需求下，如圖1所示的APCV...
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