專利名稱：雙極型靜電卡盤的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體制造裝置、液晶制造裝置等中的雙極型靜電卡盤，特別涉及這樣一種雙極型靜電卡盤不僅能夠可靠地吸附半導(dǎo)體晶片、液晶用玻璃基板等試樣，而且在由半導(dǎo)體制造裝置等使用后，可以容易地分離構(gòu)成靜電卡盤的卡盤本體和各個電極部件，從而可以進(jìn)行再利用。
背景技術(shù)：
例如，在半導(dǎo)體制造工序中，近些年來，其干化快速進(jìn)展，并且使用等離子蝕刻裝置、等離子CVD裝置、離子注入裝置、灰化裝置、電子束平版印刷裝置、X射線平版印刷裝置等半導(dǎo)體制造裝置，在這樣的裝置中，頻繁地進(jìn)行在真空中處理半導(dǎo)體晶片等試樣的工作。
另外，在這樣的裝置中，作為用于保持試樣的手段，提出了利用機(jī)械方法的機(jī)械卡盤、利用與大氣壓的壓力差的真空卡盤、利用靜電吸附力的靜電卡盤等方法，但在真空中熱均勻地、可靠性高地保持試樣和保持器方面，靜電卡盤是有利的。
而且，使用雙極型靜電卡盤，作為這樣的靜電卡盤中的一種。該雙極型靜電卡盤例如包括是較大的部分、且形成基座的第一電極；和配置在該第一電極的上面、具有中央開口并形成環(huán)形形狀的第二電極。在該第一電極和第二電極之間連接直流電源，并將半導(dǎo)體晶片等試樣載置在由第一電極的上面和第二電極的上面所形成的試樣吸附面上后，由于在試樣的下面和試樣吸附面之間產(chǎn)生的靜電引力，試樣被吸附并保持。
在這樣的雙極型靜電卡盤中，一般形成為基座的第一電極在其上面具有通過機(jī)械加工形成的電極凹部，形成為環(huán)形形狀的第二電極被保持在該電極凹部內(nèi)(例如，參照專利第2610112號、專利第2610113號、專利第2614421號和專利第2614422號各公報)。在這樣形成的雙極型靜電卡盤中，在配置在上述電極凹部中的第二電極和第一電極之間形成微小的間隔，高精度地制造該間隔對于利用靜電吸附力可靠地保持晶片等試樣是很重要的。另外，在這樣的雙極型靜電卡盤中，在形成于第一電極上的電極凹部中，還針對凹部底面的角進(jìn)行具有規(guī)定曲率半徑的圓化(例如，參照專利第2610112號和專利第2610113號各公報)。
另外，作為雙極型靜電卡盤的其它例子，包括如下的雙極型靜電卡盤在設(shè)置于形成基座的主體部件的中央附近的凹槽中配置的電極部件，與在形成于上述主體部件的中央附近的凹槽外側(cè)的凹槽中配置的外側(cè)電極部件之間，連接直流電源(例如，參照美國專利第5213349號公報)。
但是，在上述這樣的在第一電極的上面形成電極凹部、在該電極凹部內(nèi)保持第二電極這種類型的雙極型靜電卡盤中，電極間的微小間隔的形成和對電極凹部的角的圓化都需要要求加工精度的復(fù)雜的機(jī)械加工。另外，在形成基座的主體部件的中央附近和其外側(cè)分別形成凹槽、并在配置于這些凹槽中的2個電極部件上連接直流電源從而形成雙極型這種類型的靜電卡盤中，同樣，在上述凹槽的形成和主體部件與電極部件的組裝中，也需要高精度的復(fù)雜的機(jī)械加工。
另一方面，由于在由等離子蝕刻裝置等使用的情況下保護(hù)避免等離子輻射的目的或用作電介質(zhì)膜的目的等，靜電卡盤在多數(shù)情況下常常在其表面上形成氧化保護(hù)膜。但是，由于在等離子蝕刻裝置等中長期使用，通過等離子中所包含的離子、電子、原子團(tuán)的電化學(xué)作用，上述氧化保護(hù)膜受到被腐蝕或被還原等的影響。另外，在半導(dǎo)體制造裝置等中的靜電卡盤的安裝、卸下的作業(yè)中，也會出現(xiàn)由于工具等對試樣吸附面等的氧化保護(hù)膜造成誤傷的情況。這樣的靜電卡盤的氧化保護(hù)膜的劣化或者損傷導(dǎo)致電絕緣性降低，從而成為使雙極間的泄漏電流增加的原因和引起對晶片等試樣的吸附力降低的原因。因此，由于這樣的使用而劣化的靜電卡盤即使表面上除了氧化保護(hù)膜以外的部分都健全，也被原樣廢棄，或者即使不廢棄而進(jìn)行再利用，也需要再生由于劣化或者損傷而損失的氧化保護(hù)膜。
為了再利用如上所述使用完畢的雙極型靜電卡盤，需要分解一次雙極型靜電卡盤。即，在第一電極的電極凹部配置第二電極這種類型的雙極型靜電卡盤中，需要從第一電極的電極凹部分離第二電極，另外，對于在主體部件的中央附近及其外側(cè)形成的凹槽中分別配置內(nèi)側(cè)的電極部件和外側(cè)的電極部件這種類型的雙極型靜電卡盤，也需要從主體部件分離各個電極部件。然后，對于如上所述分離的各個電極、電極部件和主體部件，需要這樣的再生處理對各個表面上所形成的氧化保護(hù)膜進(jìn)行一次脫膜，研磨其表面后，再次形成氧化保護(hù)膜。
但是，在任何一種類型的靜電卡盤中，為了卸下配置在電極凹部或者凹槽中的環(huán)狀電極，為了分解在凹部或者凹槽中固定環(huán)狀電極的粘合層而必須進(jìn)行加熱處理，或者必須利用機(jī)械手段卸下環(huán)狀電極等，從而分解已一次組裝的雙極型靜電卡盤常常很困難。另外，由于可分離的第一電極和主體部件等的安裝有第二電極和電極部件的面的形狀復(fù)雜，所以，再利用所必需的研磨處理和氧化保護(hù)膜的再生等處理是復(fù)雜多樣的，為了再次作為靜電卡盤使用，需要多個處理工序，從而再生成本高。另外，再生后的氧化保護(hù)膜也具有在再生后的電極的邊界面上的保護(hù)膜強(qiáng)度不足、耐久性差等問題。此外，即使進(jìn)行各種再生處理，經(jīng)過再生所必需的各種處理后的電極等與再生前相比，尺寸減少量變大，從而會產(chǎn)生的問題是即使再次作為靜電卡盤進(jìn)行安裝，也無法由半導(dǎo)體制造裝置等再次使用。因此，即使再次使用，可進(jìn)行再生處理的次數(shù)也變?yōu)闃O有限的次數(shù)，再利用使用完畢的靜電卡盤實質(zhì)上常常很困難。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的發(fā)明人針對與現(xiàn)有的雙極型靜電卡盤相比，可以容易地制造、使用后可以容易地分離并組裝靜電卡盤、并且可以高效地再利用的雙極型靜電卡盤，進(jìn)行了專心研究，結(jié)果，利用介由粘合層安裝在卡盤本體的安裝面的各個電極部件來形成吸附試樣的試樣吸附面，在使用后，可以容易地從該安裝面分離各個電極部件，由此解決了上述問題，完成了本發(fā)明。
因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種雙極型靜電卡盤，與現(xiàn)有的雙極型靜電卡盤相比容易制造，并且，在使用后可以容易地分離構(gòu)成靜電卡盤的卡盤本體和電極部件，可以有效地實現(xiàn)再利用。
即，本發(fā)明提供了一種雙極型靜電卡盤，其特征在于，包括卡盤本體，具有安裝面；環(huán)狀電極部件，具有中央開口、形成環(huán)狀，并介由粘合層固定在上述卡盤本體的安裝面上；內(nèi)側(cè)電極部件，距離環(huán)狀電極部件規(guī)定的間隔地配置在該環(huán)狀電極部件的中央開口內(nèi)，并介由粘合層固定在上述安裝面上；和外側(cè)電極部件，距離環(huán)狀電極部件規(guī)定的間隔地配置在上述環(huán)狀電極部件的外側(cè)，并介由粘合層固定在上述安裝面上，其中，上述內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件構(gòu)成第一電極，上述環(huán)狀電極部件構(gòu)成第二電極。
另外，本發(fā)明提供了一種雙極型靜電卡盤，其特征在于，包括卡盤本體，具有安裝面；環(huán)狀電極部件，具有中央開口、形成環(huán)狀，并介由粘合層固定在上述卡盤本體的安裝面上；內(nèi)側(cè)電極部件，距離環(huán)狀電極部件規(guī)定的間隔地配置在該環(huán)狀電極部件的中央開口內(nèi)，并介由粘合層固定在上述安裝面上；和外側(cè)電極部件，距離環(huán)狀電極部件規(guī)定的間隔地配置在上述環(huán)狀電極部件的外側(cè)，并介由粘合層固定在上述安裝面上，其中，上述卡盤本體、內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件構(gòu)成第一電極，上述環(huán)狀電極部件構(gòu)成第二電極。
在本發(fā)明中，卡盤本體可具有可以安裝環(huán)狀電極部件、內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件的安裝面，其形狀可以與一般的雙極型靜電卡盤的形狀同樣地形成，例如，可以在該卡盤本體的外周面上設(shè)置凸緣等，以便可以相對半導(dǎo)體制造裝置等進(jìn)行裝卸。
另外，在本發(fā)明中，介由粘合層固定在上述卡盤本體的安裝面上的環(huán)狀電極部件可以形成為具有中央開口的環(huán)狀，其形狀可以與所吸附的試樣的大小和形狀等相對應(yīng)地形成。即，該環(huán)狀電極部件在本發(fā)明的雙極型靜電卡盤中構(gòu)成第二電極，所以可以將形狀、面積等設(shè)計成能夠最佳地發(fā)揮對試樣的靜電吸附力。例如，在所吸附的試樣是半導(dǎo)體晶片等這樣的圓形試樣的情況下，該環(huán)狀電極部件的形狀可以是將外周形狀和中央開口形狀均為圓形的圓環(huán)狀電極部件，例如，在保持一般為長方形或正方形的液晶用玻璃基板的靜電卡盤的情況下，可以是外周形狀和中央開口形狀均為方形的方形環(huán)狀電極部件。
另外，在本發(fā)明中，介由粘合層固定在上述卡盤本體的安裝面上的內(nèi)側(cè)電極部件可以距離環(huán)狀電極部件規(guī)定的間隔地配置在上述環(huán)狀電極部件的中央開口內(nèi)，并且可以與所吸附的試樣的大小和形狀等相對應(yīng)地形成。即，內(nèi)側(cè)電極部件在本發(fā)明的雙極型靜電卡盤中，與外側(cè)電極部件一起或者與外側(cè)電極部件和卡盤本體一起構(gòu)成第一電極，所以，該內(nèi)側(cè)電極部件可以設(shè)計成可最佳地發(fā)揮對試樣的靜電吸附力的形狀、面積等。例如，在所吸附的試樣是半導(dǎo)體晶片等這樣的圓形試樣的情況下，與上述這樣的環(huán)狀電極部件的中央開口的形狀相對應(yīng)，可以是具有比該中央開口的直徑略小的外徑的圓形內(nèi)側(cè)電極部件，例如，在試樣是方形的液晶用玻璃基板這樣的方形試樣的情況下，與環(huán)狀電極部件的中央開口的形狀相對應(yīng)，可以是比該中央開口的開口形狀略小的方形的內(nèi)側(cè)電極部件。
另外，在本發(fā)明中，介由粘合層固定在上述卡盤本體的安裝面上的外側(cè)電極部件可以距離環(huán)狀電極部件規(guī)定的間隔地配置在上述環(huán)狀電極部件的外側(cè)，并且可以與所吸附的試樣的大小和形狀等相對應(yīng)地形成。即，外側(cè)電極部件在本發(fā)明的雙極型靜電卡盤中，與內(nèi)側(cè)電極部件一起或者與內(nèi)側(cè)電極部件和卡盤本體一起構(gòu)成第一電極，所以，該外側(cè)電極部件可以設(shè)計成可最佳地發(fā)揮對試樣的靜電吸附力的形狀、面積等。例如，在所吸附的試樣是半導(dǎo)體晶片等這樣的圓形試樣的情況下，與上述這樣的環(huán)狀電極部件的外周形狀相對應(yīng)，可以是具有比該環(huán)狀電極部件的外徑略大的中央開口的圓環(huán)狀外側(cè)電極部件，例如，在試樣是方形的液晶用玻璃基板這樣的方形試樣的情況下，與環(huán)狀電極部件的外周形狀相對應(yīng)，可以是具有比該環(huán)狀電極部件略大的方形中央開口的方形環(huán)狀的外側(cè)電極部件。
在上述環(huán)狀電極部件、內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件的各個表面上形成氧化保護(hù)膜，關(guān)于卡盤本體，至少在安裝面和卡盤本體的外周面上形成氧化保護(hù)膜。而且，這些環(huán)狀電極部件、內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件介由粘合層固定在卡盤本體的安裝面上后，就在環(huán)狀電極部件、內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件的上面(卡盤本體的安裝面?zhèn)鹊南喾磦?cè)的面)，形成吸附半導(dǎo)體晶片等試樣的試樣吸附面。此時，可以對環(huán)狀電極部件與內(nèi)側(cè)電極部件之間所形成的規(guī)定間隔、以及環(huán)狀電極部件與外側(cè)電極部件之間所形成的規(guī)定間隔進(jìn)行適當(dāng)設(shè)計，以便對試樣發(fā)揮最佳的靜電吸附力。另外，在這些各個電極部件之間所形成的規(guī)定間隔的間隙可以原樣形成空間，也可以由在將各個電極部件固定在安裝面上時余下的粘合層的一部分插入到其中。
另外，較佳的，在本發(fā)明的卡盤本體的安裝面上，可以設(shè)置用于進(jìn)行外側(cè)電極部件相對該安裝面在高度方向上的定位的外側(cè)凸部和/或用于進(jìn)行內(nèi)側(cè)電極部件相對上述安裝面在高度方向上的定位的內(nèi)側(cè)凸部，更好的，可以設(shè)置外側(cè)凸部和內(nèi)側(cè)凸部兩者。該外側(cè)凸部設(shè)置在與介由粘合層固定在卡盤本體的安裝面上的外側(cè)電極部件的底面(形成試樣吸附面的面的相反側(cè)的面)相對應(yīng)的位置上，在將外側(cè)電極部件固定在安裝面上時，成為相對安裝面在高度方向上的安裝基準(zhǔn)。另外，內(nèi)側(cè)凸部設(shè)置在與介由粘合層固定在卡盤本體的安裝面上的內(nèi)側(cè)電極部件的底面(形成試樣吸附面的面的相反側(cè)的面)相對應(yīng)的位置上，在將內(nèi)側(cè)電極部件固定在安裝面上時，成為相對安裝面在高度方向上的安裝基準(zhǔn)。關(guān)于這樣的外側(cè)凸部和內(nèi)側(cè)凸部，其形狀沒有特別限制，例如，可以是在安裝面上突出設(shè)置的突出凸部，也可以是設(shè)置成突脊的突脊凸部。
在本發(fā)明的卡盤本體的安裝面具有上述外側(cè)凸部和/或內(nèi)側(cè)凸面的情況下，粘合層在該安裝面上被配置在由外側(cè)凸部和/或內(nèi)側(cè)凸部隔開的空間中。因此，即使介由該粘合層固定的外側(cè)電極部件具有平板狀、容易翹曲的形狀，通過在安裝面上設(shè)置外側(cè)凸部，該外側(cè)凸部成為固定在安裝面上時的安裝基準(zhǔn)，所以可以相對安裝面平坦地安裝。同樣，即使內(nèi)側(cè)電極部件具有平板狀、容易翹曲的形狀，通過在安裝面上設(shè)置內(nèi)側(cè)凸部，該內(nèi)側(cè)凸部成為固定在安裝面上時的安裝基準(zhǔn)，所以可以相對安裝面平坦地安裝。
另外，外側(cè)凸部是在安裝面上被設(shè)置在與作為外側(cè)電極部件的外側(cè)外周的周緣相對應(yīng)的位置上的突脊凸部，在卡盤本體的安裝面上安裝了外側(cè)電極部件的情況下，在卡盤本體和外側(cè)電極部件之間不露出粘合層，所以在由等離子蝕刻裝置等使用靜電卡盤的情況下，粘合層不會直接暴露在等離子中。另外，關(guān)于內(nèi)側(cè)凸部，作為在安裝面上被設(shè)置在與作為內(nèi)側(cè)電極部件的外周的周緣相對應(yīng)的位置上的突脊凸部，通過與設(shè)置在與上述外側(cè)電極部件相對應(yīng)的位置上的突脊凸部同時加工，可以高精度地使與外側(cè)電極部件相對應(yīng)的突脊凸部的高度和與內(nèi)側(cè)電極部件相對應(yīng)的突脊凸部的高度一致，并且可以高精度地使以該外側(cè)凸部和內(nèi)側(cè)凸部作為安裝基準(zhǔn)的外側(cè)電極部件和內(nèi)側(cè)電極部件的上面的高度位置一致。
另外，在本發(fā)明中，可以在卡盤本體與介由粘合層固定在卡盤本體的安裝面上的內(nèi)側(cè)電極部件、環(huán)狀電極部件、外側(cè)電極部件之間，分別設(shè)置用于進(jìn)行內(nèi)側(cè)電極部件、環(huán)狀電極部件、及外側(cè)電極部件相對上述安裝面在水平方向上的定位的定位銷。關(guān)于這樣的定位銷，只要是相對卡盤本體的安裝面在水平方向上定位各個電極部件，銷的形狀等沒有限制，例如，可以是銷的一端與卡盤本體的安裝面接合，另一端與上述電極部件接合的銷。
關(guān)于在卡盤本體和環(huán)狀電極部件之間所設(shè)置的定位銷，可以設(shè)置2個以上的銷，使其在安裝面上的同一圓周上相互等角度地配置，關(guān)于在卡盤本體和內(nèi)側(cè)電極部件之間所設(shè)置的定位銷，可以設(shè)置2個以上的銷，使其在安裝面上的同一圓周上相互等角度地配置，關(guān)于在卡盤本體和外側(cè)電極部件之間所設(shè)置的定位銷，可以設(shè)置2個以上的銷，使其在安裝面上的同一圓周上相互等角度地配置。通過如上所述設(shè)置銷，固定在卡盤本體的安裝面上的內(nèi)側(cè)電極部件、環(huán)狀電極部件、及外側(cè)電極部件在水平方向上的定位可分別容易地進(jìn)行，在這一點上是有利的。
而且，在本發(fā)明的雙極型靜電卡盤中，在由上述卡盤本體、內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件形成第一電極的情況下，關(guān)于在上述卡盤本體和內(nèi)側(cè)電極部件之間所設(shè)置的定位銷中的至少一個，可以兼用作可使卡盤本體和內(nèi)側(cè)電極部件電氣導(dǎo)通的導(dǎo)通銷，同樣，關(guān)于在上述卡盤本體和外側(cè)電極部件之間所設(shè)置的定位銷中的至少一個，可以兼用作可使卡盤本體和外側(cè)電極部件電氣導(dǎo)通的導(dǎo)通銷。這樣，在卡盤本體和內(nèi)側(cè)電極部件之間所設(shè)置的定位銷中的至少一個、以及在卡盤本體和外側(cè)電極部件之間所設(shè)置的定位銷中的至少一個兼用作導(dǎo)通銷，從而可以構(gòu)成由卡盤本體、內(nèi)側(cè)電極部件、及外側(cè)電極部件組成的第一電極。
關(guān)于形成第二電極的環(huán)狀電極部件，其與卡盤本體之間所設(shè)置的所有定位銷都必須以能夠使環(huán)狀電極部件和卡盤本體保持電絕緣狀態(tài)的材料形成。
另一方面，在本發(fā)明的雙極型靜電卡盤中，在由上述內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件構(gòu)成第一電極的情況下，在上述卡盤本體和內(nèi)側(cè)電極部件之間、在卡盤本體和環(huán)狀電極部件以及卡盤本體和外側(cè)電極部件之間所設(shè)置的各個定位銷都必須以能夠使這些各個電極部件相對卡盤本體保持電絕緣狀態(tài)的材料形成。
另外，在本發(fā)明的靜電卡盤中，介由粘合層固定在卡盤本體的安裝面上的內(nèi)側(cè)電極部件、環(huán)狀電極部件、及外側(cè)電極部件中的至少一個，可以以與卡盤本體的安裝面互補(bǔ)的形狀來固定，最好是，上述內(nèi)側(cè)電極部件、環(huán)狀電極部件、及外側(cè)電極部件都以與卡盤本體的安裝面互補(bǔ)的形狀來固定。例如，如果以環(huán)狀電極部件為例來說明，則該環(huán)狀電極部件的縱截面的一部分在環(huán)狀電極部件的底面部分(試樣吸附面的相反側(cè)的部分)上，形成具有通過兩個面相交而形成的突出部的形狀，同時，可以在固定有該環(huán)狀電極部件的卡盤本體的安裝面上，形成與該環(huán)狀電極部件的底面部分的形狀相對應(yīng)的錐形的槽。這樣，介由粘合層固定在卡盤本體的安裝面上的環(huán)狀電極部件的底面部分通過具有與卡盤本體的安裝面互補(bǔ)的形狀來安裝、從而形成為環(huán)狀的環(huán)狀電極部件可以在不使用上述定位銷的情況下，進(jìn)行上述環(huán)狀電極部件相對安裝面在水平方向上的定位。內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件也同樣，通過在與對應(yīng)的安裝面的關(guān)系上具有互補(bǔ)的形狀，可以實現(xiàn)各個電極部件相對安裝面在水平方向上的定位。
在本發(fā)明中，也可以在上述卡盤本體和環(huán)狀電極部件之間夾裝用于進(jìn)行環(huán)狀電極部件相對上述安裝面在高度方向上的定位的定位襯墊。該定位襯墊必須是可使環(huán)狀電極部件和卡盤本體保持電絕緣狀態(tài)的電絕緣性的襯墊，另外，必須使夾裝該定位襯墊并固定在安裝面上的環(huán)狀電極部件的上面與介由粘合層固定在相同安裝面上的內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件的上面為同一面。
在本發(fā)明中，關(guān)于向卡盤本體的安裝面固定內(nèi)側(cè)電極部件、環(huán)狀電極部件、和外側(cè)電極部件等各個電極部件的粘合層，最好是，可以是由從硅酮類粘合劑或者聚乙烯醇縮丁醛類粘合劑中選擇的一種或者兩種構(gòu)成的粘合層，此外，更好是，可以是由硅酮類粘合劑構(gòu)成的粘合層。
例如，如果是由環(huán)氧類粘合劑構(gòu)成的粘合層，在向卡盤本體的安裝面固定本發(fā)明的各個電極部件來構(gòu)成靜電卡盤的情況下，為了分解該靜電卡盤，并從卡盤本體上分離各個電極部件，需要加熱粘合層部分，炭化作為粘合層的環(huán)氧類粘合劑。但是，這樣的加熱會導(dǎo)致這樣的擔(dān)心構(gòu)成靜電卡盤的材料(例如，鋁材料等)被退火，作為材料的機(jī)械強(qiáng)度降低。為了避免由于這樣的加熱導(dǎo)致的分解，就需要利用機(jī)械手段分解已一次組裝的靜電卡盤。
與此相對，如果使用硅酮類粘合劑作為粘合層來構(gòu)成本發(fā)明的靜電卡盤，通過使用由甲苯、二甲苯等構(gòu)成的剝離劑，不利用加熱處理或機(jī)械手段就可以容易地分離固定在安裝面上的各個電極部件，在分離后，作為形成靜電卡盤的材料的機(jī)械強(qiáng)度沒有降低，并且由于不需要機(jī)械處理，所以可以無損傷地分離靜電卡盤。
在本發(fā)明中，關(guān)于硅酮類粘合劑，最好是，使用凝膠狀的粘合劑或者合成橡膠類的粘合劑，從耐等離子性能更為優(yōu)異的觀點來看，更好是合成橡膠類的粘合劑。這里，凝膠狀和合成橡膠類的區(qū)別可以如下區(qū)分例如，在硬化前的粘度(25℃Pa·s)方面，凝膠狀(半流動性)為3～14，合成橡膠為15～350。在硬化后的硬度方面，凝膠狀粘合劑最好使用按針入度(JIS K2207)具有20～80(mm/10)的硬度的粘合劑，作為合成橡膠類粘合劑最好使用在JIS類型A中具有50～120的硬度的粘合劑。此外，關(guān)于硅酮類粘合劑，最好是含有傳熱填充劑的類型的粘合劑，如果是含有傳熱填充劑的類型的粘合劑，由于具有高的熱傳導(dǎo)性，適合于將各個電極部件安裝在卡盤本體的安裝面上而構(gòu)成的本發(fā)明的靜電卡盤。一般情況下可以說，熱傳導(dǎo)率為0.1～0.5(W/m·K)左右為普通，0.8～4(W/m·K)左右為高。在本發(fā)明中，最好使用熱傳導(dǎo)率為0.1(W/m·K)以上的粘合劑。
另一方面，如果使用聚乙烯醇縮丁醛類粘合劑作為粘合層來構(gòu)成本發(fā)明的靜電卡盤，則通過150℃左右的較低溫度的加熱，可以容易地分離固定在安裝面上的各個電極部件，從而不必?fù)?dān)心形成靜電卡盤的材料的機(jī)械強(qiáng)度降低。
另外，在本發(fā)明中，內(nèi)側(cè)電極部件、環(huán)狀電極部件、及外側(cè)電極部件中的任何一個由純鋁形成，最好是內(nèi)側(cè)電極部件、環(huán)狀電極部件、及外側(cè)電極部件的三個電極部件都由純鋁形成。作為這樣的純鋁的具體例子，可以舉出JIS A1050、JIS A1060、JIS A1070、JIS A1080、JIS A1100等，最好是JIS A1100。上述各個電極部件通過通常進(jìn)行的陽極氧化處理等在其表面上形成氧化保護(hù)膜，但在各個電極部件由上述這樣的純鋁形成的情況下，在其表面上所形成的氧化保護(hù)膜與在例如以JIS A6061、JIS A5052等的鋁合金作為基材的情況下在這些鋁合金的表面上所形成的氧化保護(hù)膜相比，可以形成電絕緣性能高、高密度的氧化保護(hù)膜，所以可以形成耐等離子性能優(yōu)異的氧化保護(hù)膜。另外，在使用JIS A1100的情況下，作為其合金成分的Si含有量低，因而可以減少在表面形成的氧化保護(hù)膜的氣泡，除了通過使用上述純鋁而形成的特性之外，還形成更優(yōu)質(zhì)的氧化保護(hù)膜。
使用通過利用上述這樣的純鋁而形成的內(nèi)側(cè)電極部件、環(huán)狀電極部件、及外側(cè)電極部件來構(gòu)成本發(fā)明中的靜電卡盤時，在由半導(dǎo)體制造裝置等來使用的情況下，在耐等離子性能等方面可發(fā)揮優(yōu)異的性能，氧化保護(hù)膜的電絕緣性能可長期地穩(wěn)定，所以延長了作為靜電卡盤的產(chǎn)品壽命。
另外，關(guān)于本發(fā)明的卡盤本體，由于要求機(jī)械強(qiáng)度，所以可以使用構(gòu)造用伸展材料來形成。作為這樣的構(gòu)造用伸展材料，可以例示出JIS A6061、JIS A5056、JIS A5052等。利用上述材料形成的卡盤本體通過通常進(jìn)行的陽極氧化處理，至少在固定有上述各個電極部件的安裝面和外周面的各個表面上形成氧化保護(hù)膜。
在本發(fā)明的雙極型靜電卡盤中，在由內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件形成第一電極、由環(huán)狀電極部件形成第二電極的情況下，內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件為等電位，并且通過在由這些內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件構(gòu)成的第一電極與第二電極的環(huán)狀電極部件之間連接直流電源來構(gòu)成雙極型靜電卡盤。
在由卡盤本體、內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件形成第一電極的情況下，必須使內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件分別與卡盤本體電氣導(dǎo)通，因此如上所述，在內(nèi)側(cè)電極部件和卡盤本體之間、以及在外側(cè)電極部件和卡盤本體之間所設(shè)置的各個定位銷中的至少一個可分別兼用作導(dǎo)通銷，除了定位銷之外，也可以在卡盤本體和內(nèi)側(cè)電極部件之間、及卡盤本體和外側(cè)電極部件之間另外設(shè)置導(dǎo)通銷。此外，也可以是介由粘合層固定在卡盤本體的安裝面上的內(nèi)側(cè)電極部件在其一部分上設(shè)置與卡盤本體直接接觸的部分，分別除去該接觸部分上的卡盤本體和內(nèi)側(cè)電極部件的氧化保護(hù)膜，從而使卡盤本體和內(nèi)側(cè)電極部件介由該接觸部分電氣導(dǎo)通。外側(cè)電極部件也同樣，在與卡盤本體接觸的部分上分別除去一部分氧化保護(hù)膜，從而使其與卡盤本體導(dǎo)通。
本發(fā)明中的雙極型靜電卡盤由具有安裝面的卡盤本體、介由粘合層固定在該安裝面上的環(huán)狀電極部件、內(nèi)側(cè)電極部件、及外側(cè)電極部件形成，所以與現(xiàn)有的雙極型靜電卡盤相比，可容易地制造。另外，通過使粘合層為由硅酮類粘合劑或者聚乙烯醇縮丁醛類粘合劑構(gòu)成的粘合層，介由上述粘合劑將環(huán)狀電極部件、內(nèi)側(cè)電極部件、及外側(cè)電極部件固定在卡盤本體的安裝面上后形成的本發(fā)明的雙極型靜電卡盤，在由半導(dǎo)體制造裝置等使用后，使用剝離劑可以容易地分離為卡盤本體、環(huán)狀電極部件、內(nèi)側(cè)電極部件、外側(cè)電極部件。即，介由硅酮類粘合劑固定在卡盤本體的安裝面上的環(huán)狀電極部件、內(nèi)側(cè)電極部件、及外側(cè)電極部件，可以在不利用加熱處理或者機(jī)械處理的情況下，容易地從該安裝面上卸下。因此，不會伴隨由加熱導(dǎo)致的卡盤本體等的機(jī)械材料的強(qiáng)度降低、或者由機(jī)械加工導(dǎo)致的損傷等的缺陷。然后，這樣分離后的靜電卡盤可再次作為靜電卡盤來進(jìn)行再利用。
本發(fā)明中的靜電卡盤在將環(huán)狀電極部件、內(nèi)側(cè)電極部件、及外側(cè)電極部件固定在卡盤本體的安裝面上的狀態(tài)下，在半導(dǎo)體制造裝置等中使用，所以，在卡盤本體中，固定有各個電極部件的安裝面與形成試樣吸附面的各個電極部件相比，其表面的氧化保護(hù)膜受到由于等離子輻射等的影響導(dǎo)致的直接影響小。因此，如上所述分離后的卡盤本體通常可以僅進(jìn)行通過干冰噴射進(jìn)行的清洗、或者利用乙醇類清洗劑進(jìn)行的清洗等清洗處理。在卡盤本體的外周面等具有比較大的損傷等必要的情況下，也可以進(jìn)行用于再生該卡盤本體的表面上的氧化保護(hù)膜的處理。該再生處理可以象通常所進(jìn)行的那樣，進(jìn)行附著在卡盤本體上的氧化保護(hù)膜的脫膜、脫膜后的卡盤本體的研磨、以及通過陽極氧化處理進(jìn)行的氧化保護(hù)膜的再生等處理。
另一方面，環(huán)狀電極部件、內(nèi)側(cè)電極部件、及外側(cè)電極部件也可以更換為新的部件。與上述卡盤本體有關(guān)的部分可以象一般的雙極型靜電卡盤那樣，進(jìn)行冷卻氣體流路的形成或者利用水冷的冷卻構(gòu)造的形成，但由于這些機(jī)械加工費(fèi)用導(dǎo)致制作成本高，所以，對卡盤本體進(jìn)行再利用在成本方面是有效的。與此相對，環(huán)狀電極部件、內(nèi)側(cè)電極部件、及外側(cè)電極部件與卡盤本體相比，制作成本低，因此即使更換為新的部件，在成本方面也不會特別成問題。這樣，由于在本發(fā)明的雙極型靜電卡盤中，由這些電極部件形成吸附試樣的試樣吸附面，所以，將環(huán)狀電極部件、內(nèi)側(cè)電極部件、及外側(cè)電極部件更換為新部件可以將作為靜電卡盤的一個重要功能的吸附保持能力維持在高能力，在這一點上是有利的。
如上所述進(jìn)行了清洗等必要處理的卡盤本體例如介由粘合層將新的環(huán)狀電極部件、內(nèi)側(cè)電極部件、及外側(cè)電極部件固定在其安裝面上。此時，卡盤本體的安裝面具有外側(cè)凸部和內(nèi)側(cè)凸部，并且在卡盤本體和環(huán)狀電極部件之間使用定位襯墊，從而各個電極部件相對安裝面在高度方向上被定位，所以可以在極為接近再利用前的靜電卡盤的試樣吸附面的狀態(tài)下再現(xiàn)。同樣，如果在卡盤本體和各個電極部件之間設(shè)置定位銷，也可以再現(xiàn)相對安裝面在水平方向上的位置。然后，這樣再利用后得到的靜電卡盤利用新的環(huán)狀電極部件、內(nèi)側(cè)電極部件、及外側(cè)電極部件形成試樣吸附面，所以在吸附力、溫度特性、兩個電極間的靜電電容和絕緣電阻等性能方面也具有與再生前的靜電卡盤相同程度的性能。此外，由于盡可能地減少再利用所必需的處理和組裝工序的數(shù)目，所以可以容易且低成本地再生上述這樣的雙極型靜電卡盤。


圖1是本發(fā)明的實施例1的雙極型靜電卡盤X的截面說明圖。
圖2是本發(fā)明的實施例1的雙極型靜電卡盤X的平面說明圖。
圖3是本發(fā)明的實施例2的雙極型靜電卡盤X的一部分的截面說明圖。
具體實施例方式
下面，基于附圖所示的實施例，來具體地說明本發(fā)明的較佳實施方式。
圖1表示本發(fā)明的實施例1的雙極型靜電卡盤X的截面圖。圖2表示本發(fā)明的實施例的雙極型靜電卡盤X的平面圖。
該雙極型靜電卡盤X由構(gòu)造用伸展材料JIS A6061形成圓板狀，同時由以下部分構(gòu)成卡盤本體1，具有安裝面1a；圓環(huán)狀電極部件3，介由由凝膠狀的硅酮類粘合劑構(gòu)成的粘合層2固定在該安裝面1a上，并由純鋁材料JIS A1100構(gòu)成；內(nèi)側(cè)圓形電極部件4，配置在該圓環(huán)狀電極部件3的中央開口內(nèi)，介由上述粘合層2固定在上述安裝面1a上，并由純鋁材料JIS A1100構(gòu)成；外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5，配置在上述圓環(huán)狀電極部件3的外側(cè)，介由上述粘合層2固定在上述安裝面1a上，并由純鋁材料JIS A1100構(gòu)成。該雙極型靜電卡盤X利用設(shè)置在卡盤本體1的外周面上的凸緣部1b，介由卡盤本體1的基座面1c用螺栓6固定到未圖示的等離子蝕刻裝置上。而且，在上述圓環(huán)狀電極部件3的表面、內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的表面、外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5的表面、及卡盤本體1的表面(除了基座面1c側(cè)的表面)上，分別通過陽極氧化處理形成氧化保護(hù)膜。另外，圓環(huán)狀電極部件3和內(nèi)側(cè)圓形電極部件4、以及圓環(huán)狀電極部件3和外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5之間，分別被配置成具有規(guī)定的間隔d1、d2。而且，作為上述凝膠狀的硅酮類粘合劑，可以使用GE東芝硅酮公司生產(chǎn)的TSE3251[粘度8.5(25℃Pa·s)、熱傳導(dǎo)率0.18(W/m·K)]等。
在上述卡盤本體1的安裝面1a的周緣上設(shè)置有外側(cè)突脊凸部1d，使其與外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5的外側(cè)外周對應(yīng)，外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5利用該外側(cè)突脊凸部1d進(jìn)行相對安裝面1a在高度方向上的定位。另外，在安裝面1a上，在與內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的外周相對應(yīng)的位置上設(shè)置內(nèi)側(cè)突脊凸部1e，內(nèi)側(cè)圓形電極部件4利用該內(nèi)側(cè)突脊凸部1e進(jìn)行相對安裝面1a在高度方向上的定位。另外，在圓環(huán)狀電極部件3和卡盤本體1之間，在與圓環(huán)狀電極部件3的內(nèi)側(cè)外周和外側(cè)外周相對應(yīng)的位置上，分別夾裝8個由聚酰亞胺制成的絕緣襯墊7，使其以45°間隔均等地配置。圓環(huán)狀電極部件3利用該絕緣襯墊7進(jìn)行相對安裝面1a在高度方向上的定位。而且，由上述圓環(huán)狀電極部件3、內(nèi)側(cè)圓形電極部件4、及外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5形成試樣吸附面8，在該試樣吸附面8上載置半導(dǎo)體晶片W。
另外，在卡盤本體1和內(nèi)側(cè)圓形電極部件4之間設(shè)置由黃銅制成的定位導(dǎo)通銷9。該定位導(dǎo)通銷9的一端嵌合在內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的、與試樣吸附面8相反一側(cè)的面上所設(shè)置的嵌合孔4a中，另一端在其頂端安裝由不銹鋼制成的導(dǎo)通彈簧9a，并嵌合在設(shè)置在卡盤本體1中的嵌合孔1f中，使得該導(dǎo)通彈簧9a被賦能。在安裝面1a中，在內(nèi)側(cè)突脊凸部1e的內(nèi)側(cè)設(shè)置4個該定位導(dǎo)通銷9，使其在內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的圓周上以90°間隔均等地配置。在卡盤本體1和外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5之間，與上述內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的情況相同，在與卡盤本體1之間設(shè)置嵌合在設(shè)置于外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5中的嵌合孔5a中的定位導(dǎo)通銷9。通過這些定位導(dǎo)通銷9，內(nèi)側(cè)圓形電極部件4和外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5進(jìn)行相對卡盤本體1的安裝面1a在水平方向上的定位，同時，構(gòu)成由卡盤本體1和內(nèi)側(cè)圓形電極部件4和外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5構(gòu)成的第一電極。
另外，在卡盤本體1和圓環(huán)狀電極部件3之間設(shè)置由聚酰亞胺制成的定位銷10。該定位銷10的一端嵌合在設(shè)置在圓環(huán)狀電極部件3的、與試樣吸附面8相反一側(cè)的面上的嵌合孔3a中，另一端嵌合在設(shè)置在卡盤本體1上的嵌合孔1g中。在安裝面1a上，在圓環(huán)狀電極部件3的內(nèi)側(cè)外周和外側(cè)外周的大致中間位置上設(shè)置3個該定位銷10，使其在半圓上以90°間隔排列。通過該定位銷10，圓環(huán)狀電極部件3進(jìn)行相對卡盤本體1的安裝面1a在水平方向上的定位。
在該靜電卡盤X上分別形成連通卡盤本體1和內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的冷卻氣體流路11、和連通卡盤本體1和外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5的冷卻氣體流路12。這里，連通卡盤本體1和內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的冷卻氣體流路11也兼用作用于使載置在試樣吸附面8上的半導(dǎo)體晶片W的頂起銷貫通的貫通孔。在形成試樣吸附面8的內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的上面，面向內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的外周方向形成與冷卻氣體流路11連通的內(nèi)側(cè)氣體槽13。另外，在形成試樣吸附面8的外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5的上面，也同樣形成與冷卻氣體流路12連通的外側(cè)氣體槽14。上述冷卻氣體流路11和12分別與氣體室15連通，在內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的上面，從冷卻氣體流路11送來的冷卻氣體的一部分流入在內(nèi)側(cè)圓形電極部件4和圓環(huán)狀電極部件3之間所形成的縫隙d1中，另外，在外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5的上面，從冷卻氣體流路12送來的冷卻氣體的一部分流入在外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5和圓環(huán)狀電極部件3之間所形成的縫隙d2中。因此，試樣吸附面8中的冷卻氣體的分散變得均勻。
此外，在卡盤本體1上形成貫通安裝面1a和基座面1c之間的貫通孔，在該貫通孔內(nèi)安裝絕緣襯套16，該絕緣襯套16配置成使得其一端到達(dá)圓環(huán)狀電極部件3的下面(試樣吸附面8的相反一側(cè)的面)。另外，在圓環(huán)狀電極部件3的下面，在與絕緣襯套16的大致中央相對應(yīng)的位置上，形成供電銷孔3b，從卡盤本體的基座面1c側(cè)開始，通過該絕緣襯套16的內(nèi)部來安裝與該供電銷孔3b嵌合的供電端子17，這樣，圓環(huán)狀電極部件3構(gòu)成第二電極。該供電端子17被安裝成與設(shè)置在卡盤本體1和圓環(huán)狀電極部件3之間的定位銷10處于同一圓上并以90°間隔均等地配置。
這里，未圖示的等離子蝕刻裝置的靜電卡盤安裝座面由導(dǎo)電性部件構(gòu)成，并且連接同樣未圖示的直流電源的正負(fù)任意一側(cè)的電極。在卡盤本體1的基座面1c上沒有形成氧化保護(hù)膜，所以通過將該基座面1c與上述裝置側(cè)的靜電卡盤安裝座面接觸并固定在其上，卡盤本體1與裝置側(cè)的靜電卡盤安裝座面電氣導(dǎo)通。即，直流電源的一側(cè)電極與卡盤本體1連接。另外，安裝在圓環(huán)狀電極部件3上的供電端子17上連接有與連接于卡盤本體1上的直流電源的電極極性相反的電極。這樣，通過向第一電極和第二電極分配并施加正負(fù)電壓，形成雙極型靜電卡盤X。
由等離子蝕刻裝置使用上述實施例1的雙極型靜電卡盤X之后，從等離子蝕刻裝置上卸下并浸入二甲苯浴中。將二甲苯浴的溫度保持在15℃并浸泡8小時后，從二甲苯浴中取出的靜電卡盤X中作為粘合層2來使用的上述硅酮類粘合劑溶脹，其粘合力變?nèi)?，所以，可以容易地從卡盤本體1的安裝面1a上卸下圓環(huán)狀電極部件3、內(nèi)側(cè)圓形電極部件4、及外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5等各個電極部件。
接著，對于通過上述分解后的靜電卡盤，圓環(huán)狀電極部件3、內(nèi)側(cè)圓形電極部件4、外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5等各個電極部件以及安裝在定位導(dǎo)通銷9的一端的導(dǎo)通彈簧9a不進(jìn)行再利用而被廢棄。對于卡盤本體1、定位導(dǎo)通銷9、定位銷10、及絕緣襯墊7，分別在釋放壓20Pa、輻射時間5分鐘的條件下，進(jìn)行干冰噴射，除去表面附著物。接著，浸泡在丙酮浴中，在附加超聲波150W、10分鐘的條件下，進(jìn)行超聲波清洗，之后，在純水浴中，在施加超聲波150W、5分鐘條件下進(jìn)行清洗。超聲波清洗后，將上述電極部件等分別進(jìn)行溫風(fēng)干燥。
在再利用中，圓環(huán)狀電極部件3、內(nèi)側(cè)圓形電極部件4、外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5等各個電極部件使用新制作的電極部件。此時，各個電極部件由與交換前的電極部件相同的材料形成，在其表面上形成的氧化保護(hù)膜的膜厚也一致。另外，設(shè)置在各個電極部件上的嵌合孔3a、4a、5a也在與交換前相同的位置上以相同的形狀來形成。此外，對于內(nèi)側(cè)圓形電極部件4，形成冷卻氣體流路11和內(nèi)側(cè)氣體槽13，并且，對于外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5，也形成冷卻氣體流路12和外側(cè)氣體槽14。另外，對于清洗后的定位導(dǎo)通銷9，在其一端安裝新準(zhǔn)備的導(dǎo)通彈簧9a。
通過使用清洗后的卡盤本體1、定位導(dǎo)通銷9、定位銷10、及絕緣襯墊7，和上述新更換的圓環(huán)狀電極部件3、內(nèi)側(cè)圓形電極部件4、外側(cè)圓環(huán)狀電極部件5、及導(dǎo)通彈簧9a，并與上述內(nèi)容同樣地組裝實施例1的雙極型靜電卡盤X，可以得到再利用的雙極型靜電卡盤X。
[雙極型靜電卡盤]
圖3表示本發(fā)明實施例1的雙極型靜電卡盤X中的內(nèi)側(cè)圓形電極部件4與固定有該內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的安裝面1a之間關(guān)系的變形例。
上述內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的底面?zhèn)?試樣吸附面8的相反側(cè))形成圓錐狀，同時，在該底面?zhèn)冗€設(shè)置有形成圓錐狀的突起部4h。在該內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的表面上，除了上述突起部4h的表面部分，與實施例1同樣，還形成氧化保護(hù)膜4i。另外，在介由粘合層2固定該內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的卡盤本體1的安裝面1a上，形成與內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的底面?zhèn)鹊男螤钕鄬?yīng)的圓錐狀槽1h，因此，該圓錐狀槽1h與上述內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的突起部4h以互補(bǔ)的形狀被固定。此外，在卡盤本體1的安裝面1a的表面上，除了在上述圓錐狀槽1h中內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的突起部4h所接觸的部分，與實施例1同樣，形成氧化保護(hù)膜1i。
在圖3所示的實施例2的雙極型靜電卡盤X中，固定在安裝面1a上的內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的突起部4h和形成具有與該突起部4h互補(bǔ)的形狀的、安裝面1a中的圓錐狀槽1h都不具有氧化保護(hù)膜，所以，固定在卡盤本體1的安裝面1a上的內(nèi)側(cè)圓形電極部件4和卡盤本體1可以介由上述突起部4h的接觸面來實現(xiàn)電氣導(dǎo)通。因此，不需要象實施例1中的靜電卡盤X那樣的定位導(dǎo)通銷9。另外，上述內(nèi)側(cè)圓形電極部件4的突起部4h以與安裝面1a上的圓錐狀槽1h互補(bǔ)的形狀被固定，所以，也實現(xiàn)了內(nèi)側(cè)圓形電極部件4相對該安裝面1a在水平方向上的定位。此外，該內(nèi)側(cè)圓形電極部件4以上述突起部4h直接接觸安裝面1a的方式被固定，所以，不必象實施例1的靜電卡盤X中的卡盤本體1的安裝面1a那樣，在與內(nèi)側(cè)圓形電極部件4相對應(yīng)的位置上設(shè)置內(nèi)側(cè)突脊凸部1e，也實現(xiàn)了內(nèi)側(cè)圓形電極部件4相對安裝面1a在高度方向上的定位。在該實施例2的內(nèi)側(cè)圓形電極部件4和卡盤本體1的安裝面1a的關(guān)系中，除了上述以外的部分，可以與實施例1的情況相同。
關(guān)于上述實施例2的雙極型靜電卡盤X的分解、及雙極型靜電卡盤X的再利用，可以以與實施例1相同的程序來進(jìn)行。
[雙極型靜電卡盤]作為形成實施例1中的雙極型靜電卡盤X的粘合層2的硅酮類粘合劑，除了使用含有傳熱填充劑的合成橡膠類粘合劑之外，與上述實施例1相同。作為該合成橡膠類的硅酮類粘合劑，可以使用東レ·ダウコ一ニング·硅(Dow Corning Toray Silicon)有限公司制造的SE4400[硬化前粘度76(25℃Pa·s)、熱傳導(dǎo)率0.92(W/m·K)]等。
關(guān)于該實施例3的雙極型靜電卡盤X的分解及再利用，可以以與實施例1相同的程序來進(jìn)行。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性根據(jù)本發(fā)明的雙極型靜電卡盤，與現(xiàn)有的雙極型靜電卡盤相比，可以容易地制造。在使用后，可以容易地分解該靜電卡盤，并且通過高效地再利用，可以降低再生成本，為再利用而進(jìn)行的組裝也容易，此外，再利用后得到的靜電卡盤的性能可以維持在與再利用前的性能相同的程度上。
權(quán)利要求
1.一種雙極型靜電卡盤，其特征在于，包括卡盤本體，具有安裝面；環(huán)狀電極部件，具有中央開口、形成環(huán)狀，并介由粘合層固定在上述卡盤本體的安裝面上；內(nèi)側(cè)電極部件，距離環(huán)狀電極部件規(guī)定的間隔地配置在該環(huán)狀電極部件的中央開口內(nèi)，并介由粘合層固定在上述安裝面上；和外側(cè)電極部件，距離環(huán)狀電極部件規(guī)定的間隔地配置在上述環(huán)狀電極部件的外側(cè)，并介由粘合層固定在上述安裝面上，其中，上述內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件構(gòu)成第一電極，上述環(huán)狀電極部件構(gòu)成第二電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙極型靜電卡盤，其特征在于，卡盤本體與內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件一起構(gòu)成第一電極。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的雙極型靜電卡盤，其特征在于，在卡盤本體的安裝面上設(shè)置有外側(cè)凸部和/或內(nèi)側(cè)凸部，上述外側(cè)凸部進(jìn)行外側(cè)電極部件相對該安裝面在高度方向上的定位，上述內(nèi)側(cè)凸部進(jìn)行內(nèi)側(cè)電極部件相對上述安裝面在高度方向上的定位。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的雙極型靜電卡盤，其特征在于，在卡盤本體與介由粘合層固定在卡盤本體的安裝面上的內(nèi)側(cè)電極部件、環(huán)狀電極部件以及外側(cè)電極部件之間，分別設(shè)置有用于進(jìn)行內(nèi)側(cè)電極部件、環(huán)狀電極部件以及外側(cè)電極部件相對上述安裝面在水平方向上的定位的定位銷。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的雙極型靜電卡盤，其特征在于，介由粘合層固定在卡盤本體的安裝面上的內(nèi)側(cè)電極部件、環(huán)狀電極部件以及外側(cè)電極部件中的至少一個以與卡盤本體的安裝面互補(bǔ)的形狀來固定。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的雙極型靜電卡盤，其特征在于，在卡盤本體和環(huán)狀電極部件之間夾裝用于進(jìn)行環(huán)狀電極部件相對上述安裝面在高度方向上的定位的定位襯墊。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的雙極型靜電卡盤，其特征在于，內(nèi)側(cè)電極部件、環(huán)狀電極部件以及外側(cè)電極部件由純鋁形成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的雙極型靜電卡盤，其特征在于，粘合層是由從硅酮類粘合劑或者聚乙烯醇縮丁醛類粘合劑中選擇的1種或2種構(gòu)成的粘合層。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的雙極型靜電卡盤，其特征在于，硅酮類粘合劑是凝膠狀粘合劑或合成橡膠類的粘合劑。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種雙極型靜電卡盤，其特征在于，包括卡盤本體，具有安裝面；環(huán)狀電極部件，具有中央開口、形成環(huán)狀，并介由粘合層固定在上述卡盤本體的安裝面上；內(nèi)側(cè)電極部件，距離環(huán)狀電極部件規(guī)定的間隔地配置在該環(huán)狀電極部件的中央開口內(nèi)，并介由粘合層固定在上述安裝面上；和外側(cè)電極部件，距離環(huán)狀電極部件規(guī)定的間隔地配置在上述環(huán)狀電極部件的外側(cè)，并介由粘合層固定在上述安裝面上，其中，上述內(nèi)側(cè)電極部件和外側(cè)電極部件構(gòu)成第一電極，上述環(huán)狀電極部件構(gòu)成第二電極。與現(xiàn)有的雙極型靜電卡盤相比，容易制造，并且在使用后，可以容易地分離構(gòu)成靜電卡盤的卡盤本體和各個電極部件，從而可以實現(xiàn)高效的再利用。
文檔編號H02N13/00GK1806324SQ200480016809
公開日2006年7月19日 申請日期2004年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月17日
發(fā)明者宮下欣也 申請人:創(chuàng)意科技股份有限公司