一種紫外臭氧處理儀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于半導(dǎo)體器件制造技術(shù)領(lǐng)域，具體得說，是一種用于對ITO進行處理的紫外臭氧處理儀。
【背景技術(shù)】
[0002]有機電致發(fā)光器件(OLEDS)是一種以具有光敏性質(zhì)的有機物作為半導(dǎo)體的材料，以光伏效應(yīng)而產(chǎn)生電壓形成電流，實現(xiàn)太陽能發(fā)電的效果，有機電致發(fā)光器件具有全固態(tài)、主動發(fā)光、高亮度、高對比度、超薄、低成本、低功耗、視角大、工作溫度范圍寬等諸多優(yōu)點，被認為是目前最有發(fā)展前景的平板顯示器之一。其典型結(jié)構(gòu)是在透明陽極和金屬陰極間夾有單層或者多層有機薄膜。作為顯示應(yīng)用，OLED要求至少一面電極為透明電極，以便光能透射出來。因ITO對可見光的透射比較高、電阻率低且功函數(shù)較高而廣泛用做OLED的陽極材料，ITO玻璃直接與有機太陽能薄膜接觸，所以ITO玻璃的表面形貌、化學(xué)成分是決定器件壽命、穩(wěn)定性以及放光效率等特征的一個重要因素，但是采用購買的ITO玻璃而不作任何表面處理所制備的OLED的性能較差。目前對ITO的處理方法主要分為物理方法和化學(xué)方法兩種:其中物理方法主要是等離子處理;化學(xué)方法則主要包括酸堿處理，以及在ITO表面增加其他化合物的方法。
[0003]目前實驗室普遍使用紫外臭氧清洗儀，通過紫外線照射，使空氣中的氧發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生臭氧來清潔ITO玻璃表面。這樣處理容易給樣品帶進雜質(zhì)并且ITO玻璃的處理不容易控制。在有機太陽能電池的制備中，ITO玻璃的處理有著關(guān)鍵的作用，不僅要清洗干凈而且要改善其功函數(shù)，提高親水性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實用新型提供一種功能專一、方便易用，適用ITO玻璃處理的紫外臭氧處理儀。
[0005]本實用新型采用的技術(shù)手段為:一種紫外臭氧處理儀，包括底座、固定在底座上的儲物筒以及位于儲物筒一側(cè)的進氧裝置，所述儲物筒前端設(shè)有進物口、后端連接有紫外發(fā)生器，所述儲物筒內(nèi)壁上設(shè)有紫外燈;所述進氧裝置包括進氧管以及與進氧管相通的分支管，所述進氧管的左右兩端頭分別設(shè)有抽氣口和進氧口。
[0006]進一步的，所述分支管上設(shè)有氣壓計，分支管端頭設(shè)有進物口蓋。
[0007]進一步的，所述進氧管的左側(cè)設(shè)有左旋開關(guān)。
[0008]進一步的，所述進氧管的右側(cè)設(shè)有右旋開關(guān)。
[0009]進一步的，所述儲物筒在底座上水平放置。
[0010]進一步的，所述紫外發(fā)生器的一端與電源相連。
[0011]進一步的，所述儲物筒呈圓柱形。
[0012]進一步的，所述紫外燈位于儲物筒內(nèi)壁的上方。
[0013]本實用新型的積極效果在于:
[0014]1、本實用新型的紫外臭氧處理儀組裝方便，制造成本低，方便易用，功能專一，能夠很好的適用于有機太陽能電池制備過程中的ITO玻璃的處理；
[0015]2、通過多次反復(fù)的抽氣通氧氣使儀器內(nèi)部保持高度純氧環(huán)境，并通過壓力表可控性的調(diào)節(jié)儀器內(nèi)部氧氣的量以達到實驗的各種變化需要；
[0016]3、將ITO玻璃直接置于紫外光下，接受臭氧和紫外光的雙重處理，改善ITO玻璃的表面光滑度、提高ITO表面功函數(shù)、增強器件的亮度，提高器件的擊穿電壓，同時改善器件的發(fā)光均勻性。
[0017]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型的結(jié)構(gòu)和工作原理做進一步詳細的闡述，附圖是簡化的示意圖。
【附圖說明】
[0018]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0019]圖中:1、抽氣口；2、進氧口；3、左旋開關(guān);4、右旋開關(guān);5、氣壓計;6、進物口蓋;7、進物口；8、紫外燈;9、底座;10、紫外發(fā)生器;11、儲物筒;12、進氧管。
【具體實施方式】
[0020]如圖1所示:一種紫外臭氧處理儀，包括底座9、固定在底座9上的儲物筒11以及位于儲物筒11 一側(cè)的進氧裝置，所述儲物筒11的前端設(shè)有進物口 7、后端連接有紫外發(fā)生器10，紫外發(fā)生器10的另一端與交流電源相連，所述儲物筒11的內(nèi)壁上方設(shè)有紫外燈8;所述進氧裝置包括進氧管12以及與進氧管12相通的分支管，所述進氧管的左右兩端頭分別設(shè)有抽氣口 I和進氧口2，進氧管12的左側(cè)設(shè)有左旋開關(guān)3、右側(cè)設(shè)有右旋開關(guān)4，所述分支管上設(shè)有氣壓計5，分支管端頭設(shè)有進物口蓋6。
[0021]本實用新型中的儲物筒11外觀為圓柱形，使用的時候，首先將儲物筒11水平放置在底座9上，將ITO玻璃(即在基片玻璃的基礎(chǔ)上，利用濺射、蒸發(fā)等多種方法鍍上一層氧化銦錫(俗稱ΙΤ0)膜加工制作成的)樣品通過進物口 7放入儀器中的紫外線燈8下，組裝好儀器，打開左旋開關(guān)3、關(guān)閉右旋開關(guān)4，利用真空栗對儲物筒11和進氧管12進行抽真空處理，觀察氣壓計5示數(shù)，在儀器內(nèi)部基本接近真空狀態(tài)關(guān)閉左旋開關(guān)3;此時再打開右旋開關(guān)4，由進氧口 2通入氧氣，由氣壓計5上指示的數(shù)值來控制氧氣的通入量，然后關(guān)閉右旋開關(guān)4，打開左旋開關(guān)3，進行抽真空處理;按照上述步奏，如此反復(fù)幾次，保證儀器內(nèi)部的空氣含量幾乎降為零，最后再通入定量氧氣;這樣操作可以避免空氣的摻雜會對ITO玻璃的處理產(chǎn)生負面影響以及帶來污染。通過氣壓計5可對氧氣的通入量進行控制，滿足實驗室一系列定量實驗的要求。
[0022]將ITO玻璃放在紫外燈下，能夠方便的對ITO玻璃進行紫外-臭氧處理、有效控制臭氧濃度；ITO玻璃接受紫外和臭氧的雙重處理，不僅可以改善ITO玻璃的表面光滑度，使ITO玻璃與有機層界面接觸更好，而且可以提高ITO表面功函數(shù)、增強器件的亮度、提高器件的擊穿電壓，同時改善器件的發(fā)光均勻性。
【主權(quán)項】
1.一種紫外臭氧處理儀，包括底座(9)、固定在底座(9)上的儲物筒(11)以及位于儲物筒(11)一側(cè)的進氧裝置，其特征在于:所述儲物筒(11)前端設(shè)有進物口(7)、后端連接有紫外發(fā)生器(10)，所述儲物筒(11)內(nèi)壁上設(shè)有紫外燈(8);所述進氧裝置包括進氧管(12)以及與進氧管(12)相通的分支管，所述進氧管(12)的左右兩端頭分別設(shè)有抽氣口(I)和進氧口⑵。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種紫外臭氧處理儀，其特征在于:所述分支管上設(shè)有氣壓計(5)，分支管端頭設(shè)有進物口蓋(6)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種紫外臭氧處理儀，其特征在于:所述進氧管(12)的左側(cè)設(shè)有左旋開關(guān)(3)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種紫外臭氧處理儀，其特征在于:所述進氧管(12)的右側(cè)設(shè)有右旋開關(guān)(4)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種紫外臭氧處理儀，其特征在于:所述儲物筒(11)水平設(shè)置在底座(9)上。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種紫外臭氧處理儀，其特征在于:所述紫外發(fā)生器(10)的一端與電源相連。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種紫外臭氧處理儀，其特征在于:所述儲物筒(11)呈圓柱形。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種紫外臭氧處理儀，其特征在于:所述紫外燈(8)位于儲物筒(11)內(nèi)壁的上方。
【專利摘要】本實用新型提供一種紫外臭氧處理儀，包括底座、固定在底座上的儲物筒以及位于儲物筒一側(cè)的進氧裝置，所述儲物筒前端設(shè)有進物口、后端連接有紫外發(fā)生器，所述儲物筒內(nèi)壁上設(shè)有紫外燈；所述進氧裝置包括進氧管以及與進氧管相通的分支管，所述進氧管的左右兩端頭分別設(shè)有抽氣口和進氧口；本儀器可以做到高純度真空通入氧氣，并能很好控制氧氣通入量進而控制臭氧產(chǎn)生的量。在紫外線燈的直接照射下，也能對ITO玻璃表面產(chǎn)生一定的效果，ITO玻璃就能在儀器中被雙重清洗和改善功函數(shù)。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號】CN205282455
【申請?zhí)枴緾N201521140055
【發(fā)明人】王文俊, 吳廣成, 崔光磊
【申請人】安徽師范大學(xué)
【公開日】2016年6月1日
【申請日】2015年12月31日