濕式蝕刻機(jī)機(jī)臺(tái)用蝕刻藥液噴灑結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種濕式蝕刻機(jī)領(lǐng)域，具體來說涉及一種濕式蝕刻機(jī)機(jī)臺(tái)用蝕刻藥液噴灑結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在WET etching (濕式蝕刻)進(jìn)行蝕刻時(shí)，去光阻時(shí)會(huì)使用噴灑頭進(jìn)行定量噴灑并連動(dòng)機(jī)臺(tái)左右搖擺以達(dá)成蝕刻的需求。
[0003]但是這種蝕刻藥液噴灑結(jié)構(gòu)，一直存在因噴灑頭進(jìn)行噴灑時(shí)水霧重疊問題，如圖1所示，水霧重疊處因流動(dòng)性不佳容易導(dǎo)致蝕刻不均的現(xiàn)象，且因一單一機(jī)臺(tái)噴灑頭數(shù)量很多(一機(jī)臺(tái)有三個(gè)蝕刻槽，每個(gè)蝕刻槽有54個(gè)噴灑頭，一臺(tái)機(jī)臺(tái)總共噴灑頭數(shù)量就有162個(gè))，為了確保噴灑頭噴灑狀況正常不堵塞，需花費(fèi)更多的人力進(jìn)行維護(hù)、點(diǎn)檢。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]針對上述問題，本實(shí)用新型提供一種濕式蝕刻機(jī)機(jī)臺(tái)用蝕刻藥液噴灑結(jié)構(gòu)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中噴灑頭進(jìn)行噴灑時(shí)存在水霧重疊問題的問題。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0006]濕式蝕刻機(jī)機(jī)臺(tái)用蝕刻藥液噴灑結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括一空心管，所述空心管的中部與帶動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)軸連接，所述轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接，所述空心管的下端設(shè)置有軸向的以便于蝕刻藥液流出的噴灑間隙。
[0007]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述空心管的長度不小于被蝕刻基板的長度。
[0008]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述空心管為方形空心管，所述噴灑間隙設(shè)置在所述方形空心管的下端面。
[0009]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述空心管為圓形空心管，所述噴灑間隙設(shè)置在所述圓形空心管的下端。
[0010]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述噴灑間隙為“V”形結(jié)構(gòu)。
[0011 ] 在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述噴灑間隙為開口槽結(jié)構(gòu)。
[0012]本實(shí)用新型采用驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)空心管轉(zhuǎn)動(dòng)，在空心管上開設(shè)以便于蝕刻藥液流出的噴灑間隙，因空心管旋轉(zhuǎn)可使蝕刻藥液在基板表面由中心往外均勻擴(kuò)散，藉以達(dá)到較好的蝕刻均勻性。因本實(shí)用新型只使用一根空心管進(jìn)行藥液噴灑即可，減少機(jī)臺(tái)使用噴灑頭的數(shù)量，可有效降低維護(hù)、備料與人力點(diǎn)檢的成本。
[0013]本實(shí)用新型的特點(diǎn)可參閱本案圖式及以下較好實(shí)施方式的詳細(xì)說明而獲得清楚地了解。
【附圖說明】
[0014]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中濕式蝕刻機(jī)機(jī)臺(tái)內(nèi)的噴灑頭進(jìn)行噴灑的示意圖。
[0015]圖2為本實(shí)用新型在實(shí)施例中的示意圖。
[0016]圖3為空心管的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖4為空心管的另一種結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實(shí)施例進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。
[0019]參見圖2，濕式蝕刻機(jī)機(jī)臺(tái)用蝕刻藥液噴灑結(jié)構(gòu)，包括一空心管10，空心管10的長度不小于被蝕刻基板30的長度。
[0020]空心管的中部與帶動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)軸20連接，轉(zhuǎn)軸20與驅(qū)動(dòng)電機(jī)(圖中未標(biāo)示)連接，空心管的下端設(shè)置有軸向的以便于蝕刻藥液流出的噴灑間隙。
[0021]參見圖3，空心管為方形空心管11，噴灑間隙設(shè)置在所述方形空心管的下端面。在本實(shí)施例中，噴灑間隙為開口槽結(jié)構(gòu)12。
[0022]當(dāng)然，空心管也可以是其他形狀，參見圖4，空心管為圓形空心管13，所述噴灑間隙設(shè)置在所述圓形空心管的下端。在本實(shí)施例中，噴灑間隙“V”形結(jié)構(gòu)14。
[0023]本實(shí)用新型采用驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)空心管轉(zhuǎn)動(dòng)，在空心管上開設(shè)以便于蝕刻藥液流出的噴灑間隙，因空心管旋轉(zhuǎn)可使蝕刻藥液在基板表面由中心往外均勻擴(kuò)散，藉以達(dá)到較好的蝕刻均勻性。因本實(shí)用新型只使用一根空心管進(jìn)行藥液噴灑即可，減少機(jī)臺(tái)使用噴灑頭的數(shù)量，可有效降低維護(hù)、備料與人力點(diǎn)檢的成本。
[0024]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型的范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求的保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等同物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.濕式蝕刻機(jī)機(jī)臺(tái)用蝕刻藥液噴灑結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括一空心管，所述空心管的中部與帶動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)軸連接，所述轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接，所述空心管的下端設(shè)置有軸向的以便于蝕刻藥液流出的噴灑間隙。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕式蝕刻機(jī)機(jī)臺(tái)用蝕刻藥液噴灑結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述空心管的長度不小于被蝕刻基板的長度。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕式蝕刻機(jī)機(jī)臺(tái)用蝕刻藥液噴灑結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述空心管為方形空心管，所述噴灑間隙設(shè)置在所述方形空心管的下端面。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕式蝕刻機(jī)機(jī)臺(tái)用蝕刻藥液噴灑結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述空心管為圓形空心管，所述噴灑間隙設(shè)置在所述圓形空心管的下端。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕式蝕刻機(jī)機(jī)臺(tái)用蝕刻藥液噴灑結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述噴灑間隙為“V”形結(jié)構(gòu)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕式蝕刻機(jī)機(jī)臺(tái)用蝕刻藥液噴灑結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述噴灑間隙為開口槽結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種濕式蝕刻機(jī)機(jī)臺(tái)用蝕刻藥液噴灑結(jié)構(gòu)，包括一空心管，所述空心管的中部與帶動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)軸連接，所述轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接，所述空心管的下端設(shè)置有軸向的以便于蝕刻藥液流出的噴灑間隙。本實(shí)用新型采用驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)空心管轉(zhuǎn)動(dòng)，在空心管上開設(shè)以便于蝕刻藥液流出的噴灑間隙，因空心管旋轉(zhuǎn)可使蝕刻藥液在基板表面由中心往外均勻擴(kuò)散，藉以達(dá)到較好的蝕刻均勻性。因本實(shí)用新型只使用一根空心管進(jìn)行藥液噴灑即可，減少機(jī)臺(tái)使用噴灑頭的數(shù)量，可有效降低維護(hù)、備料與人力點(diǎn)檢的成本。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號(hào)】CN204927251
【申請?zhí)枴緾N201520684905
【發(fā)明人】江昌隆
【申請人】上海和輝光電有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2015年9月7日