一種電子級化學(xué)品盛裝桶的清洗設(shè)備的制造方法
【專利說明】
[技術(shù)領(lǐng)域]
[0001]本實用新型涉及清洗機械技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種電子級化學(xué)品盛裝桶的清洗設(shè)備。
[【背景技術(shù)】]
[0002]在大規(guī)模集成電路(IC)制造中需要使用大量高純度化學(xué)品，如RCA清洗、濕式蝕刻等。隨著IC制程技術(shù)的不斷進步，對高純電子級化學(xué)品生產(chǎn)分裝中的微粒子控制要求也越來越高。目前多數(shù)電子級化學(xué)品采用200L標準桶運輸，儲存。電子級化學(xué)品分裝進200L桶前必須采用高純?nèi)ルx子水和高純氮氣進行清洗。目前，用于電子級化學(xué)品所用200L桶均為進口產(chǎn)品，價格較高，故電子級化學(xué)品生產(chǎn)廠商都會回收。而回收桶內(nèi)微粒子成分復(fù)雜，污染物含量高?，F(xiàn)有200L桶清洗設(shè)備的微粒子控制能力弱，自動化程度低，清洗效果差，難以滿足質(zhì)量越來越高的高純電子級化學(xué)品儲存需求。因此，若能提供一種新的電子級化學(xué)品200L桶清洗設(shè)備，以滿足上述需求，將具有非常重要的意義。
[【實用新型內(nèi)容】]
[0003]本實用新型的目的就是要解決上述的不足而提供一種電子級化學(xué)品盛裝桶的清洗設(shè)備，具有高效的清洗效果和氮氣吹干效果，最大限度地減少了桶內(nèi)液體殘留，能夠防止桶內(nèi)殘余酸氣等有害氣體揮發(fā)，且操作靈活，自動化程度高。
[0004]為實現(xiàn)上述目的設(shè)計一種電子級化學(xué)品盛裝桶的清洗設(shè)備，包括設(shè)備主體I，所述設(shè)備主體I頂部安裝有空氣過濾器2和抽風(fēng)口9，所述設(shè)備主體I內(nèi)部設(shè)有用于清洗桶內(nèi)連接管及桶蓋的清洗盒3，所述設(shè)備主體I上固定連接有清洗噴頭及汲取管放置盒6，所述清洗噴頭及汲取管放置盒6內(nèi)置有清洗噴頭4和汲取管5，所述設(shè)備主體I底部設(shè)有滾輪輸送線13，所述滾輪輸送線13由變頻電機14驅(qū)動，所述滾輪輸送線13下方設(shè)有桶頂升傾斜裝置8。
[0005]所述設(shè)備主體I外側(cè)裝有條碼識別器11和觸摸屏操作面10，所述條碼識別器11、變頻電機14、桶頂升傾斜裝置8分別通過線路連接觸摸屏操作面10上的按鍵控制區(qū)。
[0006]所述設(shè)備主體I后側(cè)設(shè)有后部管路區(qū)域12，所述后部管路區(qū)域12內(nèi)安裝有排廢栗，所述排廢栗與汲取管5連接。
[0007]所述設(shè)備主體I采用聚丙烯包覆高碳鋼制成。
[0008]所述清洗噴頭4采用特氟龍PTFE材質(zhì)制成，所述清洗噴頭4為360°自旋轉(zhuǎn)式噴頭。
[0009]所述汲取管5采用特氟龍PFA軟管制成，所述汲取管5上設(shè)置有逆止閥。
[0010]所述清洗噴頭及汲取管放置盒6采用聚偏氟乙烯PVDF材質(zhì)制成。
[0011]所述滾輪輸送線13采用聚氨酯或聚丙烯材質(zhì)包覆不銹鋼制成。
[0012]本實用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下優(yōu)點:
[0013](I)主體設(shè)備采用聚丙烯包覆高碳鋼制作，具有耐腐蝕和高潔凈度的優(yōu)點；
[0014](2)頂部安裝有高效空氣過濾器和抽風(fēng)口，內(nèi)部具有良好的回風(fēng)流場設(shè)計，從而可以有效減少設(shè)備內(nèi)微粒子數(shù)量，可能達到CLASS100(—立方英尺的空間內(nèi)空氣中直徑為0.5微米的塵粒不得超過100顆)等級，也可以防止回收桶內(nèi)殘余酸氣等有害氣體揮發(fā)；
[0015](3)設(shè)備內(nèi)用于清洗桶內(nèi)連接管及桶蓋的清洗盒具有超聲波和溢流清洗，能夠快速排放和氮氣鼓泡設(shè)計等多種清洗步驟，可靈活選擇；
[0016](4)設(shè)備內(nèi)清洗噴頭采用特氟龍PTFE材質(zhì)的360°自旋轉(zhuǎn)清洗噴頭，具有高效的清洗效果和氮氣吹干效果；
[0017](5)汲取管采用特氟龍PFA軟管加裝逆止閥設(shè)計，可以防止液體回流，配合底部桶頂升傾斜裝置，則能夠最大限度地減少桶內(nèi)液體殘留；
[0018](6)清洗噴頭及汲取管放置盒采用聚偏氟乙烯PVDF材質(zhì)制作，具有溢流功能，使用去離子水能夠保持清洗噴頭和汲取管的高潔凈度；
[0019](7)設(shè)備采用觸摸屏操作面配合條碼識別器，清洗配方編制方便，操作靈活，自動化程度高；
[0020](8)設(shè)備采用流水線設(shè)計，具有滾輪輸送線，減少了操作人員的工作量，也利于減少設(shè)備微粒子顆粒的產(chǎn)生；
[0021](9)滾輪輸送線采用聚氨酯或聚丙烯材質(zhì)包覆不銹鋼制作，能減少微粒子雜質(zhì)的產(chǎn)生，具有高潔凈度、防腐蝕、摩擦力大等優(yōu)點，該滾輪輸送線配合變頻電機采用多分段設(shè)計，輸送安全靈活。
[【附圖說明】]
[0022]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0023]圖中:丨、設(shè)備主體2、空氣過濾器3、清洗盒4、清洗噴頭5、汲取管6、清洗噴頭及汲取管放置盒7、桶8、桶頂升傾斜裝置9、抽風(fēng)口 10、觸摸屏操作面11、條碼識別器12、后部管路區(qū)域13、滾輪輸送線14、變頻電機。
[【具體實施方式】]
[0024]下面結(jié)合附圖對本實用新型作以下進一步說明:
[0025]如附圖1所示，本實用新型包括:設(shè)備主體I，設(shè)備主體I采用聚丙烯包覆高碳鋼制成，設(shè)備主體I頂部安裝有空氣過濾器2和抽風(fēng)口 9，內(nèi)部具有良好的回風(fēng)流場設(shè)計，設(shè)備主體I內(nèi)部設(shè)有用于清洗桶內(nèi)連接管及桶蓋的清洗盒3，設(shè)備主體I上固定連接有清洗噴頭及汲取管放置盒6，清洗噴頭及汲取管放置盒6內(nèi)置有清洗噴頭4和汲取管5，設(shè)備主體I底部設(shè)有滾輪輸送線13，滾輪輸送線13由變頻電機14驅(qū)動，滾輪輸送線13下方設(shè)有桶頂升傾斜裝置8，設(shè)備主體I后側(cè)設(shè)有后部管路區(qū)域12，后部管路區(qū)域12內(nèi)安裝有排廢栗，排廢栗與汲取管5連接。
[0026]本實用新型中，設(shè)備主體I外側(cè)裝有條碼識別器11和觸摸屏操作面10，條碼識別器U、變頻電機14、桶頂升傾斜裝置8分別通過線路連接觸摸屏操作面10上的按鍵控制區(qū)。清洗噴頭4采用特氟龍PTFE材質(zhì)制成，清洗噴頭4為360°自旋轉(zhuǎn)式噴頭;汲取管5采用特氟龍PFA軟管制成，汲取管5上設(shè)置有逆止閥；清洗噴頭及汲取管放置盒6采用聚偏氟乙烯PVDF材質(zhì)制成，具有溢流功能;滾輪輸送線13采用聚氨酯或聚丙烯材質(zhì)包覆不銹鋼制成。
[0027]本實用新型的基本原理為:
[0028](I) 200L桶通過自動包覆滾輪輸送線，自動運輸?shù)酵绊斏齼A斜裝置；
[0029](2)通過條碼識別器識別桶類別自動選擇清洗配方；
[0030](3)人工將桶內(nèi)連接管和桶蓋放置到清洗盒內(nèi)；
[0031 ] (4)通過空氣過濾器和抽風(fēng)口控制設(shè)備內(nèi)潔凈度，防止微粒子污染和有害氣體揮發(fā)；
[0032](5)放置清洗噴頭和汲取管到200L桶內(nèi)，通過清洗噴頭噴灑去離子水和高純氮氣，外加汲取管透過后部管路區(qū)域安裝的排廢栗將廢液抽走；
[0033](6)采用觸摸屏操作面操作設(shè)備，按之前配置好的清洗配方自動清洗；
[0034](7)清洗結(jié)束后將清洗噴頭和汲取管放置到清洗噴頭及汲取管放置盒內(nèi)，保持潔凈；
[0035](8)從清洗盒內(nèi)將桶內(nèi)連接管及桶蓋安裝到桶上，啟動按鈕結(jié)束清洗制程，桶自動運輸?shù)较乱徊街瞥淘O(shè)備中。
[0036]本實用新型并不受上述實施方式的限制，其他的任何未背離本實用新型的精神實質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種電子級化學(xué)品盛裝桶的清洗設(shè)備，其特征在于:包括設(shè)備主體(I)，所述設(shè)備主體(I)頂部安裝有空氣過濾器(2)和抽風(fēng)口(9)，所述設(shè)備主體(I)內(nèi)部設(shè)有用于清洗桶內(nèi)連接管及桶蓋的清洗盒(3)，所述設(shè)備主體(I)上固定連接有清洗噴頭及汲取管放置盒(6)，所述清洗噴頭及汲取管放置盒(6)內(nèi)置有清洗噴頭(4)和汲取管(5)，所述設(shè)備主體(I)底部設(shè)有滾輪輸送線(13)，所述滾輪輸送線(13)由變頻電機(14)驅(qū)動，所述滾輪輸送線(13)下方設(shè)有桶頂升傾斜裝置(8)。2.如權(quán)利要求1所述的電子級化學(xué)品盛裝桶的清洗設(shè)備，其特征在于:所述設(shè)備主體(I)外側(cè)裝有條碼識別器(11)和觸摸屏操作面(10)，所述條碼識別器(11)、變頻電機(14)、桶頂升傾斜裝置(8)分別通過線路連接觸摸屏操作面(10)上的按鍵控制區(qū)。3.如權(quán)利要求1或2所述的電子級化學(xué)品盛裝桶的清洗設(shè)備，其特征在于:所述設(shè)備主體(I)后側(cè)設(shè)有后部管路區(qū)域(12)，所述后部管路區(qū)域(12)內(nèi)安裝有排廢栗，所述排廢栗與汲取管(5)連接。4.如權(quán)利要求3所述的電子級化學(xué)品盛裝桶的清洗設(shè)備，其特征在于:所述設(shè)備主體(I)采用聚丙稀包覆高碳鋼制成。5.如權(quán)利要求4所述的電子級化學(xué)品盛裝桶的清洗設(shè)備，其特征在于:所述清洗噴頭(4)采用特氟龍PTFE材質(zhì)制成，所述清洗噴頭(4)為360°自旋轉(zhuǎn)式噴頭。6.如權(quán)利要求5所述的電子級化學(xué)品盛裝桶的清洗設(shè)備，其特征在于:所述汲取管(5)采用特氟龍PFA軟管制成，所述汲取管(5)上設(shè)置有逆止閥。7.如權(quán)利要求6所述的電子級化學(xué)品盛裝桶的清洗設(shè)備，其特征在于:所述清洗噴頭及汲取管放置盒(6)采用聚偏氟乙烯PVDF材質(zhì)制成。8.如權(quán)利要求7所述的電子級化學(xué)品盛裝桶的清洗設(shè)備，其特征在于:所述滾輪輸送線(13)采用聚氨酯或聚丙烯材質(zhì)包覆不銹鋼制成。
【專利摘要】本實用新型涉及一種電子級化學(xué)品盛裝桶的清洗設(shè)備，包括設(shè)備主體(1)，設(shè)備主體(1)頂部安裝有空氣過濾器(2)和抽風(fēng)口(9)，設(shè)備主體(1)內(nèi)部設(shè)有用于清洗桶內(nèi)連接管及桶蓋的清洗盒(3)，設(shè)備主體(1)上固定連接有清洗噴頭及汲取管放置盒(6)，清洗噴頭及汲取管放置盒(6)內(nèi)置有清洗噴頭(4)和汲取管(5)，設(shè)備主體(1)底部設(shè)有滾輪輸送線(13)，滾輪輸送線(13)由變頻電機(14)驅(qū)動，滾輪輸送線(13)下方設(shè)有桶頂升傾斜裝置(8)；本實用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，結(jié)構(gòu)新穎、簡單，具有高效的清洗效果和氮氣吹干效果，最大限度地減少了桶內(nèi)液體殘留，能夠防止桶內(nèi)殘余酸氣等有害氣體揮發(fā)，且操作靈活，自動化程度高。
【IPC分類】B08B9/30
【公開號】CN205183284
【申請?zhí)枴緾N201521004829
【發(fā)明人】岳佳佳, 簡建至, 簡水村
【申請人】冠禮控制科技（上海）有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2015年12月4日