另外,也可以以高度較高的第二接合部406-2的高度作為基準(zhǔn)高度,此時(shí),第二接合部406-1具有球狀突起。
[0029]在本實(shí)施例中,第二接合部406-1用于導(dǎo)線402-1和第二半導(dǎo)體元件404的接合,第二接合部406-2用于導(dǎo)線402-2和內(nèi)引線403的接合,但是,本實(shí)用新型實(shí)施例不限于導(dǎo)線與第二半導(dǎo)體元件以及內(nèi)引線的接合,還可以是導(dǎo)線與其他部件的接合,只要用于接合的至少兩個(gè)第二接合部具有不同的高度即可。
[0030]在本實(shí)施例中,球狀突起可由金或者金合金構(gòu)成,其可以使用現(xiàn)有方法來制作,例如,可使用球上接合(Bond Stitch on Bump, BSOB)的方法制作該球狀突起。
[0031]圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例1的形成球狀突起的示意圖。如圖5所示,首先利用毛細(xì)管劈刀501熔融金屬凝固成球狀,然后降低毛細(xì)管劈刀501,將球狀金屬壓在內(nèi)引線403上,毛細(xì)管劈刀501上升,球狀金屬的尾端斷裂,從而在內(nèi)引線403上形成球狀突起502。
[0032]圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例1的使用球狀突起進(jìn)行導(dǎo)線接合的示意圖。如圖6所示,利用毛細(xì)管劈刀501將導(dǎo)線402-2從第一半導(dǎo)體元件401上引到用于連接內(nèi)引線403的第二接合部406-2中的球狀突起502上。
[0033]這樣,通過對(duì)基準(zhǔn)高度以外的第二接合部設(shè)置球狀突起,能夠確保導(dǎo)線的接合強(qiáng)度。
[0034]在本實(shí)施例中,第一半導(dǎo)體元件401和第二半導(dǎo)體元件404可以是現(xiàn)有的任一種半導(dǎo)體元件,例如半導(dǎo)體元件制造為芯片的形式,其是二極管或絕緣柵雙極型晶體管(Insulated Gate Bipolar Transistor,IGBT),其可以由娃(Si)半導(dǎo)體構(gòu)成,除此之外,第一半導(dǎo)體元件401和第二半導(dǎo)體元件404也可以由與硅半導(dǎo)體相比,能在高溫狀態(tài)下工作、切換速度比較快,且具有低損耗的化合物半導(dǎo)體構(gòu)成,例如,可以由碳化硅(SiC)半導(dǎo)體以及氮化鎵(GaN)半導(dǎo)體等的化合物半導(dǎo)體構(gòu)成。
[0035]在本實(shí)施例中,第一接合部405-1和405-2可使用現(xiàn)有的結(jié)構(gòu),例如,可使用具有球狀突起的結(jié)合部,也就是使用球上接合(BSOB)的方法進(jìn)行接合。
[0036]在本實(shí)施例中,具有基準(zhǔn)高度的第二接合部406-1可使用現(xiàn)有的結(jié)構(gòu),例如,可通過一般的熱壓接合而形成。
[0037]在本實(shí)施例中,第一半導(dǎo)體元件401和第二半導(dǎo)體元件404可通過接合材料固定在引線框架的管芯墊盤(未圖示)上,其中,該接合材料可以是導(dǎo)電性能良好的導(dǎo)電性粘接劑,例如焊料或者銀漿。對(duì)于背面不具有電極的半導(dǎo)體元件,也可以通過高導(dǎo)熱性的樹脂粘接劑固定在管芯墊盤上。
[0038]在本實(shí)施例中,在使用焊料的情況下,考慮到對(duì)于環(huán)境的影響,可使用不含有鉛(Pb)的焊料。
[0039]在本實(shí)施例中,內(nèi)引線403可使用現(xiàn)有的方法制作。例如,可以對(duì)0.5mm厚的平板狀板材進(jìn)行沖壓加工以及化學(xué)蝕刻加工而形成,其材料可使用銅或者銅合金,并且,對(duì)銅或者銅合金的表面可以鍍銀。
[0040]在本實(shí)施例中,導(dǎo)線402-1和402-2可以是用于電連接的細(xì)線,其材料可使用鋁、鋁合金、金或者金合金,例如,該導(dǎo)線可以是直徑為250微米的鋁線或者直徑為30微米的金線。
[0041]在本實(shí)施例中,半導(dǎo)體裝置400還可以包括樹脂密封體(未圖示),該樹脂密封體利用樹脂對(duì)半導(dǎo)體裝置的內(nèi)部進(jìn)行密封,其中,可以使用樹脂成型模具和按壓裝置作為傳遞模塑,通過樹脂成型而形成。例如,可使用熱固性環(huán)氧樹脂。
[0042]以上是對(duì)具有兩個(gè)高度的第二接合部的半導(dǎo)體裝置進(jìn)行的示例性說明。在本實(shí)施例中,當(dāng)?shù)诙雍喜康臄?shù)量為至少三個(gè)且具有至少三個(gè)不同的高度時(shí)時(shí),也可以將至少三個(gè)第二接合部中處于中間高度的一個(gè)第二接合部的高度作為基準(zhǔn)高度,并且,具有與該基準(zhǔn)高度不同的高度的第二接合部具有球狀突起。
[0043]另外,也可以將至少三個(gè)第二接合部中高度最低或最高的一個(gè)第二接合部的高度作為基準(zhǔn)高度,并且,具有與該基準(zhǔn)高度不同的高度的第二接合部具有球狀突起。本實(shí)用新型實(shí)施例不對(duì)第二接合部的數(shù)量以及將哪一個(gè)第二接合部的高度作為基準(zhǔn)高度進(jìn)行限制。
[0044]由上述實(shí)施例可知,通過對(duì)基準(zhǔn)高度以外的第二接合部設(shè)置球狀突起,能夠確保導(dǎo)線的接合強(qiáng)度。
[0045]實(shí)施例2
[0046]本實(shí)用新型實(shí)施例還提供一種電子設(shè)備,該電子設(shè)備包括如實(shí)施例1所述的半導(dǎo)體裝置。
[0047]本實(shí)施例的電子設(shè)備使用了實(shí)施例1的半導(dǎo)體裝置,通過對(duì)基準(zhǔn)高度以外的第二接合部設(shè)置球狀突起,能夠確保導(dǎo)線的接合強(qiáng)度。
[0048]以上結(jié)合具體的實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了描述,但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該清楚,這些描述都是示例性的,并不是對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)本實(shí)用新型的精神和原理對(duì)本實(shí)用新型做出各種變型和修改,這些變型和修改也在本實(shí)用新型的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置包括:導(dǎo)線、第一接合部以及至少兩個(gè)第二接合部,所述導(dǎo)線連接所述第一接合部和至少兩個(gè)第二接合部, 其特征在于, 所述至少兩個(gè)第二接合部具有至少兩個(gè)高度,將所述至少兩個(gè)第二接合部中的一個(gè)第二接合部的高度作為基準(zhǔn)高度,并且具有與所述基準(zhǔn)高度不同的高度的第二接合部具有球狀突起。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于, 所述導(dǎo)線以及所述球狀突起由金或者金合金構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述第二接合部的數(shù)量為兩個(gè),將兩個(gè)第二接合部中高度較低的一個(gè)第二接合部的高度作為基準(zhǔn)高度,并且,所述兩個(gè)第二接合部中的另一個(gè)第二接合部具有球狀突起。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述第二接合部的數(shù)量為至少三個(gè),將至少三個(gè)第二接合部中處于中間高度的一個(gè)第二接合部的高度作為基準(zhǔn)高度,并且,具有與所述基準(zhǔn)高度不同的高度的第二接合部具有球狀突起。
5.一種電子設(shè)備,其特征在于,所述電子設(shè)備包括如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體裝置和電子設(shè)備,該半導(dǎo)體裝置包括:導(dǎo)線、第一接合部以及至少兩個(gè)第二接合部,所述導(dǎo)線連接所述第一接合部和至少兩個(gè)第二接合部,其中,所述至少兩個(gè)第二接合部具有至少兩個(gè)高度,將所述至少兩個(gè)第二接合部中的一個(gè)第二接合部的高度作為基準(zhǔn)高度,并且具有與所述基準(zhǔn)高度不同的高度的第二接合部具有球狀突起。通過對(duì)基準(zhǔn)高度以外的第二接合部設(shè)置球狀突起,能夠確保導(dǎo)線的接合強(qiáng)度。
【IPC分類】H01L23-495, H01L23-488
【公開號(hào)】CN204558454
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520160904
【發(fā)明人】入江康元, 大美賀孝
【申請(qǐng)人】三墾電氣株式會(huì)社
【公開日】2015年8月12日
【申請(qǐng)日】2015年3月20日