一種高頻激勵(lì)介質(zhì)放電燈的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提出了一種高頻激勵(lì)介質(zhì)放電燈，包括交流電源、上電極引線、下電極引線、上電極、下電極、主腔體、左固定座、右固定座，其特征在于交流電源通過(guò)上電極引線、下電極引線分別連接到上電極、下電極上，上電極和下電極通過(guò)放電激勵(lì)主腔體內(nèi)的氣體而發(fā)光；有益效果是制造成本低，工藝簡(jiǎn)單，發(fā)光強(qiáng)度高，具有非常廣闊的商業(yè)前景，即可以填補(bǔ)相關(guān)技術(shù)空白，又可產(chǎn)生較大的社會(huì)效益與經(jīng)濟(jì)效益。
【專利說(shuō)明】
一種高頻激勵(lì)介質(zhì)放電燈
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及精密光電領(lǐng)域，特別是涉及一種高頻激勵(lì)介質(zhì)放電燈。
【背景技術(shù)】
[0002]放電燈是指電流經(jīng)由特殊蒸汽或氣體流通因而產(chǎn)生光線或是接近可見光之輻射能的一種電燈。紫外線光源又稱紫外線發(fā)生器，即發(fā)生生成紫外線的裝置。當(dāng)出現(xiàn)了適用的新型紫外線光源時(shí)，必然可以促進(jìn)某種行業(yè)的發(fā)展。光柵是大型精密光學(xué)儀器的重要分光元件。世界上有許多國(guó)家不能制造精密儀器，與不能制造高分辨率色散率的光柵有關(guān)，要使光柵具備很高的分辨率，就必須要掌握高密度刻線技術(shù)(如每毫米幾千條等距離平行線)，要刻這么多的線數(shù)，就必須有高強(qiáng)度的紫外光源(200?300毫微米)對(duì)應(yīng)的光刻膠進(jìn)行曝光。同樣在高頻大功率固體器件和大規(guī)模集成電路上也與紫外曝光光刻技術(shù)的發(fā)展分不開。
[0003]目前在光學(xué)研究上取得了很大進(jìn)展，這同紫外線光源的發(fā)展也是分不開的。紫外光源作為一個(gè)元器件，在各個(gè)領(lǐng)域正發(fā)揮著它的重要作用。
[0004]現(xiàn)在作用的紫外線光源絕大多數(shù)是汞弧燈(即通稱的紫外燈或汞燈)。汞弧燈是封裝有汞的、兩端有電極的透明石英管，通電加熱燈絲時(shí)，管內(nèi)的汞蒸氣受到激發(fā)躍迀至激發(fā)態(tài)，由激發(fā)態(tài)回到基態(tài)時(shí)即發(fā)射紫外光。
[0005]為了解決目前現(xiàn)有技術(shù)中涉及的制造工藝復(fù)雜、人工成本高昂、性能不穩(wěn)定等技術(shù)瓶頸，本發(fā)明提出了一種高頻激勵(lì)介質(zhì)放電燈，其成本較低，安全可靠，方案獨(dú)特，結(jié)構(gòu)新穎，既能滿足企業(yè)的實(shí)際需求，填補(bǔ)相關(guān)技術(shù)空白，又可產(chǎn)生較大的社會(huì)效益與經(jīng)濟(jì)效益。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種高頻激勵(lì)介質(zhì)放電燈，能夠大大降低制造成本，有效提升發(fā)光強(qiáng)度，具有廣泛的市場(chǎng)應(yīng)用前景。
[0007]—種高頻激勵(lì)介質(zhì)放電燈，包括交流電源、上電極引線、下電極引線、上電極、下電極、主腔體、左固定座、右固定座，其特征在于交流電源通過(guò)上電極引線、下電極引線分別連接到上電極、下電極上，上電極和下電極通過(guò)放電激勵(lì)主腔體內(nèi)的氣體而發(fā)光；
[0008]所述主腔體的橫截面為矩形，主腔體由石英組合封閉而成，主腔體的兩端分別安裝在左固定座、右固定座上，主腔體的兩端設(shè)置有左排氣口和右排氣口 ；
[0009]所述石英的上方設(shè)置有上電極，上電極的外表面涂覆有上電極保護(hù)膜，上電極的內(nèi)表面涂覆有內(nèi)反射膜；內(nèi)反射膜表面設(shè)置有保護(hù)膜，該保護(hù)膜由氟化鎂組成，以溶膠狀態(tài)涂覆于內(nèi)反射膜表面并固化成致密薄膜；
[0010]所述石英的下方設(shè)置有下電極，下電極的外表面涂覆有下電極保護(hù)膜，下電極的內(nèi)表面沒(méi)有涂覆內(nèi)反射膜;下電極保護(hù)膜的熔點(diǎn)高于500°C，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，抗氧化性強(qiáng)，下電極保護(hù)膜組成為S12或MgF2,以溶膠狀態(tài)涂覆于下電極外表面并固化成致密薄膜；
[0011]所述主腔體的底面為透光面，透光面的下電級(jí)為網(wǎng)狀電級(jí)，主腔體中充入微量放電氣體作為放電介質(zhì)，放電介質(zhì)在高頻高壓交流電源激勵(lì)下放電產(chǎn)生可見光，可見光透過(guò)合成石英及下電極照射被照物體。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果如下:制造工藝簡(jiǎn)單、成本低廉、發(fā)光強(qiáng)度高、應(yīng)用前景廣，具有非常廣闊的商業(yè)前景，即可以填補(bǔ)相關(guān)技術(shù)空白，又可產(chǎn)生較大的社會(huì)效益與經(jīng)濟(jì)效益。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是一種高頻激勵(lì)介質(zhì)放電燈；
[0014]圖2是一種高頻激勵(lì)介質(zhì)放電燈的截面圖。
[0015]圖1-圖 2中:
[0016]1、交流電源；2、上電極引線；3、下電極引線；
[0017]4、左排氣口；5、左固定座；6、上電極；
[0018]7、上電極保護(hù)膜； 8、主腔體；9、右排氣口；
[0019]10、右固定座；11、下電極保護(hù)膜；12、下電極；
[0020]13、熔融石英；14、合成石英；15、內(nèi)反射膜。
【具體實(shí)施方式】
[0021]參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施方式，下面結(jié)合圖1-圖2對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體說(shuō)明。
[0022]—種高頻激勵(lì)介質(zhì)放電燈，包括交流電源1、上電極引線2、下電極引線3、上電極6、下電極12、主腔體8、左固定座5、右固定座10，其特征在于交流電源I通過(guò)上電極引線2、下電極引線3分別連接到上電極6、下電極12上，上電極6和下電極12分別處于主腔體8的上方和下方。
[0023]所述主腔體8的橫截面為矩形，主腔體8由熔融石英13和合成石英14組合封閉而成，主腔體8的兩端分別安裝在左固定座5、右固定座10上，主腔體8的兩端設(shè)置有左排氣口 4和右排氣口 9。
[0024]所述熔融石英13的上方設(shè)置有上電極6，上電極6的外表面涂覆有上電極保護(hù)膜7，熔融石英13的內(nèi)表面涂覆有內(nèi)反射膜15，熔融石英13的底端開口側(cè)與合成石英14組合使用。
[0025]所述合成石英14的下方設(shè)置有下電極12，下電極12的外表面涂覆有下電極保護(hù)膜U，下電極保護(hù)膜11的熔點(diǎn)高于500°c，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，抗氧化性強(qiáng)，下電極保護(hù)膜11的材料為S12或MgF2，以熔融狀態(tài)涂覆于下電極外表面。
[0026]所述主腔體8上使用合成石英14的底面為透光面，主腔體8中充入微量放電氣體作為放電介質(zhì)，放電介質(zhì)在高頻高壓交流電源激勵(lì)下放電產(chǎn)生可見光，可見光透過(guò)合成石英14及下電極12照射被照物體。
[0027]主腔體8的主體部分采用規(guī)格為500mmX70mm(長(zhǎng)X寬)，壁厚為2mm的熔融石英13，主腔體8的底面平板部分則采用長(zhǎng)500_、寬70_、厚度2_的合成石英14。
[0028]主腔體8的封接采用燈工熔制工藝，將切好的各種規(guī)格的熔融石英13置于合成石英平14上用氫氧焰加熱至熔融狀態(tài)進(jìn)行封接，主腔體8兩端的左排氣口 4和右排氣口 9則須封接排氣管。
[0029]在完成封接后，制作內(nèi)反射膜15，先將主腔體8進(jìn)行熱封接，熱封接完成后對(duì)主腔體8進(jìn)行退火去除應(yīng)力，主腔體8保留兩個(gè)尾管，以利于內(nèi)反射膜15漿體的灌注。
[0030]內(nèi)反射膜15的漿體則用二氧化硅及吸氣類金屬(如鉬)及粘結(jié)劑、硅烷偶聯(lián)劑等組成，鉬粉選擇純度為99.99%，粒度小于3μπι的顆粒。漿料通過(guò)注入流平法涂覆于非出光面的內(nèi)表面，經(jīng)過(guò)1000?1200 0C的高溫?zé)Y(jié)，去除硅烷偶聯(lián)劑及其它有機(jī)物質(zhì)，使二氧化硅固化于熔融石英13的內(nèi)壁形成10?20μπι的內(nèi)反射膜15。
[0031]在完成內(nèi)反射膜15后，需要對(duì)主腔體8進(jìn)行抽真空，并在氣壓降為IPa以下時(shí)，再充入高純度的氙氣(Φ (Xe)>99.999%)。主腔體8內(nèi)部充入放電氣體氙氣，在常溫下壓力達(dá)40kPa時(shí)進(jìn)行尾管封離，封離球徑達(dá)3mm以上保持其內(nèi)有氣泡。
[0032]在上電極6、下電極12印刷前需要用等離子清洗外表面，采用絲網(wǎng)印刷或轉(zhuǎn)印方式將電極漿料無(wú)縫涂覆于石英方管和石英平板的外壁上，金屬電極材料采用對(duì)172nm反射率高的銀漿材料，形成0.2mm寬的網(wǎng)格線條，出光面積與網(wǎng)格面積保持在8:2的比率，然后以700?900°C高溫進(jìn)行固化。
[0033]為保護(hù)外電極及防止沿邊放電，對(duì)電極表面再進(jìn)行了保護(hù)膜的涂覆(正硅酸乙脂)。電極保護(hù)膜經(jīng)1100°c固化完成后，對(duì)電極引線進(jìn)行焊接，焊接完成即可進(jìn)行測(cè)試。
[0034]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施方式，并非對(duì)本發(fā)明做任何限制，凡是根據(jù)本發(fā)明實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施方式所作的任何修改、變更以及等效變化，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種高頻激勵(lì)介質(zhì)放電燈，包括交流電源、上電極引線、下電極引線、上電極、下電極、主腔體、左固定座、右固定座，其特征在于交流電源通過(guò)上電極引線、下電極引線分別連接到上電極、下電極上，上電極和下電極通過(guò)放電激勵(lì)主腔體內(nèi)的氣體而發(fā)光； 所述主腔體的橫截面為矩形，主腔體由石英組合封閉而成，主腔體的兩端分別安裝在左固定座、右固定座上，主腔體的兩端設(shè)置有左排氣口和右排氣口 ； 所述石英的上方設(shè)置有上電極，上電極的外表面涂覆有上電極保護(hù)膜，上電極的內(nèi)表面涂覆有內(nèi)反射膜；內(nèi)反射膜表面設(shè)置有保護(hù)膜，該保護(hù)膜由氟化鎂組成，以溶膠狀態(tài)涂覆于內(nèi)反射膜表面并固化成致密薄膜； 所述石英的下方設(shè)置有下電極，下電極的外表面涂覆有下電極保護(hù)膜，下電極的內(nèi)表面沒(méi)有涂覆內(nèi)反射膜;下電極保護(hù)膜的熔點(diǎn)高于500°c，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，抗氧化性強(qiáng)，下電極保護(hù)膜組成為S12或MgF2,以溶膠狀態(tài)涂覆于下電極外表面并固化成致密薄膜； 所述主腔體的底面為透光面，透光面的下電級(jí)為網(wǎng)狀電級(jí)，主腔體中充入微量放電氣體作為放電介質(zhì)，放電介質(zhì)在高頻高壓交流電源激勵(lì)下放電產(chǎn)生可見光，可見光透過(guò)合成石英及下電極照射被照物體。
【文檔編號(hào)】H01J61/30GK105977131SQ201610455667
【公開日】2016年9月28日
【申請(qǐng)日】2016年6月23日
【發(fā)明人】卜弘昊
【申請(qǐng)人】卜弘昊