基板清洗裝置及基板清洗方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種基板清洗裝置及基板清洗方法，該清洗裝置包括濕洗單元、空氣刀、控制單元、執(zhí)行單元和監(jiān)測單元；濕洗單元、執(zhí)行單元和監(jiān)測單元分別與控制單元連接，執(zhí)行單元連接空氣刀；控制單元控制濕洗單元對基板進行清洗，監(jiān)測單元將采集到的清洗后的基板的溫度的監(jiān)測信息傳遞給控制單元，控制單元根據(jù)監(jiān)測信息控制執(zhí)行單元改變空氣刀的氣流特性?；迩逑捶椒☉?yīng)用前述的清洗裝置。本發(fā)明提供的一種基板清洗裝置及基板清洗方法，控制單元根據(jù)監(jiān)測單元對基板的溫度的監(jiān)測信息，控制執(zhí)行單元改變空氣刀的氣流特性，從而使基板表面的殘留水液面均一，解決現(xiàn)有技術(shù)中印刷品質(zhì)容易出現(xiàn)不良的問題。
【專利說明】
基板清洗裝置及基板清洗方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種基板清洗裝置及基板清洗方法，更具體地涉及一種帶有可調(diào)節(jié)的空氣刀的基板清洗裝置及利用該裝置的基板清洗方法。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜晶體管液晶顯不屏(英文名稱:Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay，英文縮寫:TFT-LCD)的原理是利用液晶的隨施加電壓變化的光學(xué)性質(zhì)來表現(xiàn)圖像。T F T - L C D由液晶板和用于將信號施加到液晶板上的印刷電路板(英文名稱:P r i n t e dCircuit Board，英文縮寫:PCB)等構(gòu)成，其中，液晶板由注入液晶的一對基板構(gòu)成。
[0003]在液晶顯示屏裝置中，為了得到更均勻的亮度以及更高的對比度，必須使液晶板內(nèi)的液晶分子按照一定的方向排列。在液晶單元的制造中，液晶板上的取向?qū)拥牟馁|(zhì)為聚酰亞胺(英文名稱:Polyimide，英文縮寫:PI)膜，取向?qū)油ㄟ^PI膜印刷機的轉(zhuǎn)印版將PI膜印刷在薄膜晶體管(英文名稱:Thin FiIm Transistor，英文縮寫:TFT)基板和彩色濾光片(英文名稱:color filter，英文縮寫:CF)基板上，其中，彩色濾光片基板的材質(zhì)一般為玻璃基板、石英基板、藍寶石基板、樹脂基板等質(zhì)地透明的基板，在印刷前基板需要先經(jīng)過清洗裝置進行清洗干凈，從而能保證得到好的印刷效果。
[0004]現(xiàn)有的基板清洗存在以下問題:目前使用的空氣刀都是固定位置、固定開口角度安裝在清洗裝置上，且其氣體流量保持一定。在流量一定的情況下，無法對清洗液進行調(diào)整，從而在進行最后一段清洗時，殘留水分形成的液面不均一，導(dǎo)致后續(xù)干燥過程中，液面干燥不均勻，使后續(xù)印刷出現(xiàn)異常，印刷品質(zhì)容易出現(xiàn)不良的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005](一)要解決的技術(shù)問題
[0006]本發(fā)明的目的是提供一種基板清洗裝置及基板清洗方法，控制單元根據(jù)監(jiān)測單元對基板的溫度的監(jiān)測信息，控制執(zhí)行單元改變空氣刀的氣流特性，從而使基板表面的殘留水液面均一，解決現(xiàn)有技術(shù)中印刷品質(zhì)容易出現(xiàn)不良的問題。
[0007](二)技術(shù)方案
[0008]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種基板清洗裝置及基板清洗方法。
[0009]—種基板清洗裝置，包括濕洗單元、空氣刀、控制單元、執(zhí)行單元和監(jiān)測單元;所述濕洗單元、執(zhí)行單元和監(jiān)測單元分別與控制單元連接，所述執(zhí)行單元連接所述空氣刀;所述控制單元控制所述濕洗單元對基板進行清洗，所述監(jiān)測單元將采集到的清洗后的所述基板的溫度的監(jiān)測信息傳遞給所述控制單元，所述控制單元根據(jù)所述監(jiān)測信息控制所述執(zhí)行單元改變所述空氣刀的氣流特性。
[0010]進一步的，前述監(jiān)測單元包括熱成像儀，所述熱成像儀與所述基板對應(yīng)設(shè)置，所述熱成像儀與所述控制單元連接，所述熱成像儀采集所述監(jiān)測信息并傳遞給所述控制單元。
[0011]進一步的，前述執(zhí)行單元包括位置調(diào)節(jié)機構(gòu)和流量調(diào)節(jié)機構(gòu)，所述空氣刀設(shè)置于所述位置調(diào)節(jié)機構(gòu)上，所述流量調(diào)節(jié)機構(gòu)設(shè)置于所述空氣刀的氣體通道上，所述位置調(diào)節(jié)機構(gòu)和流量調(diào)節(jié)機構(gòu)分別與所述控制單元連接，所述控制單元控制所述位置調(diào)節(jié)機構(gòu)調(diào)節(jié)所述空氣刀與基板之間的高度、方向和角度，所述控制單元控制所述流量調(diào)節(jié)機構(gòu)改變所述空氣刀噴出的氣流量。
[0012]進一步的，所述位置調(diào)節(jié)機構(gòu)包括支架、升降調(diào)節(jié)組件、轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件和角度調(diào)節(jié)組件，所述升降調(diào)節(jié)組件安裝于所述支架，所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件安裝于所述升降調(diào)節(jié)組件，在所述升降調(diào)節(jié)組件的驅(qū)動下上移動;所述空氣刀通過角度調(diào)節(jié)組件安裝于所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件。
[0013]進一步的，所述升降調(diào)節(jié)組件包括設(shè)置于所述支架上的導(dǎo)軌、與導(dǎo)軌配合的滑塊、安裝于所述滑塊的升降板和驅(qū)動所述升降板的升降驅(qū)動器;所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件安裝于所述升降板;所述升降驅(qū)動器與所述控制單元連接。
[0014]進一步的，所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件包括轉(zhuǎn)軸和轉(zhuǎn)動驅(qū)動器，所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動安裝于所述升降板，所述轉(zhuǎn)動驅(qū)動器與所述轉(zhuǎn)軸連接;所述轉(zhuǎn)動驅(qū)動器與所述控制單元連接。
[0015]進一步的，所述角度調(diào)節(jié)組件包括轉(zhuǎn)接板、角度驅(qū)動器和鉸鏈，所述轉(zhuǎn)接板安裝于所述轉(zhuǎn)軸，所述空氣刀通過所述鉸鏈安裝于所述轉(zhuǎn)接板，所述角度驅(qū)動器與所述空氣刀連接，用于驅(qū)動所述空氣刀繞所述鉸鏈轉(zhuǎn)動。
[0016]進一步的，前述濕洗單元的數(shù)量為多個，所述濕洗單元包括噴射中性洗劑的第一子單兀和噴射去尚子水的第二子單兀。
[0017]進一步的，前述控制單元還連接有報警單元，當所述監(jiān)測信息保持與設(shè)定值不同的相同狀態(tài)時，所述控制單元控制所述報警單元發(fā)出警報。
[0018]進一步的，前述控制單元還連接有紅外干燥儀，所述控制單元控制所述紅外干燥儀在所述空氣刀完成工作后對所述基板進行干燥處理。
[0019]一種基板清洗方法，包括如下步驟:
[0020]S1、控制單元向濕洗單元發(fā)出清洗指令，控制濕洗單元對基板進行清洗，清洗完畢后，控制單元向空氣刀發(fā)出啟動指令，空氣刀啟動向基板噴射氣體；
[0021 ] S2、控制單元向監(jiān)測單元發(fā)出監(jiān)測指令，監(jiān)測單元啟動，采集基板表面的溫度的監(jiān)測信息，并將采集到的監(jiān)測信息反饋至控制單元；
[0022]S3、控制單元根據(jù)監(jiān)測單元檢測到的監(jiān)測信息形成基板表面的溫度曲線，并將溫度曲線與存儲于控制單元的設(shè)定值進行比較；
[0023]若溫度曲線的各個參數(shù)高于控制單元的設(shè)定值，控制單元根據(jù)比較值控制執(zhí)行單元的位置調(diào)節(jié)機構(gòu)帶動空氣刀移動和/或轉(zhuǎn)動，改變空氣刀的位置和/或角度，同時控制執(zhí)行單元的流量調(diào)節(jié)機構(gòu)調(diào)控空氣刀噴出的氣流量；
[0024]若溫度曲線的各個參數(shù)與控制單元的設(shè)定值相同，控制單元控制空氣刀、監(jiān)測單元和執(zhí)行單元停止工作，對基板進行后續(xù)處理。
[0025](三)有益效果
[0026]本發(fā)明提供的一種基板清洗裝置，控制單元控制濕洗單元對基板進行清洗，監(jiān)測單元將采集到的清洗后的基板的溫度的監(jiān)測信息傳遞給控制單元，控制單元根據(jù)監(jiān)測信息控制執(zhí)行單元改變空氣刀的氣流特性，從而使基板表面的殘留水液面均一，提高印刷品質(zhì)，解決現(xiàn)有技術(shù)中印刷品質(zhì)容易出現(xiàn)不良的問題。
[0027]本發(fā)明提供的一種基板清洗方法，先對基板進行清洗，再通過控制單元控制空氣刀對其進行初步吹干，在吹干過程中，通過監(jiān)控單元采集到的的基板表面的溫度的監(jiān)測信息，實時調(diào)節(jié)空氣刀的氣流特性，空氣刀不斷調(diào)整后，基板表面的殘留水分會形成穩(wěn)定的、均一的狀態(tài)，從而保證清洗的最后一道濕洗液面均一，確保清洗效果，以保證取向膜的印刷。
【附圖說明】
[0028]圖1為本發(fā)明基板清洗裝置實施例的結(jié)構(gòu)圖；
[0029]圖2為本發(fā)明基板清洗裝置實施例的位置調(diào)節(jié)機構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖；
[0030]圖3為本發(fā)明基板清洗裝置實施例的空氣刀與基板之間的方向位置關(guān)系；
[0031]圖4為本發(fā)明基板清洗裝置實施例的空氣刀與基板之間的角度位置關(guān)系。
[0032]圖中，1:濕洗單元；11:第一子單元；12:第二子單元;2:空氣刀；3:控制單元;4:執(zhí)行單元;5:監(jiān)測單元;51:熱成像儀;6:紅外干燥儀;7:位置調(diào)節(jié)機構(gòu);71:支架;72:升降調(diào)節(jié)組件；721:導(dǎo)軌；722:滑塊；723:升降板；724:升降驅(qū)動器；73:轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件；731:轉(zhuǎn)軸；732:轉(zhuǎn)動驅(qū)動器;74:角度調(diào)節(jié)組件;741:轉(zhuǎn)接板;742:角度驅(qū)動器;743:鉸鏈;100:基板。
【具體實施方式】
[0033]下面結(jié)合附圖和實施例，對本發(fā)明的【具體實施方式】作進一步詳細描述。以下實例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
[0034]實施例一
[0035]如圖1和2所示，本實施例提供一種基板清洗裝置，包括濕洗單元1、空氣刀2、控制單元3、執(zhí)行單元4和監(jiān)測單元5;濕洗單元1、執(zhí)行單元4和監(jiān)測單元5分別與控制單元3連接，執(zhí)行單元4連接空氣刀2;控制單元3控制濕洗單元I對基板100進行清洗，監(jiān)測單元5將采集到的清洗后的基板100的溫度的監(jiān)測信息傳遞給控制單元3，將監(jiān)測信息與存儲在控制單元3中的設(shè)定值進行比較，若采集到的監(jiān)測信息超過控制單元3存儲的設(shè)定值，控制單元3根據(jù)監(jiān)測信息自動控制執(zhí)行單元4調(diào)節(jié)空氣刀2的氣流特性，從而使基板100表面的殘留水液面均一，提尚印刷品質(zhì)。
[0036]監(jiān)測單元5包括熱成像儀51，熱成像儀51與基板100對應(yīng)設(shè)置，熱成像儀51與控制單元3連接，可以根據(jù)基板100表面的熱分布場，將采集到的監(jiān)測信息傳遞給控制單元3，控制單元3根據(jù)熱成像儀反饋的溫度分布信息形成基板100表面溫度分布曲線，從而反映表面的潮濕程度分布狀態(tài)，提高監(jiān)測信息的可靠性。
[0037]如圖2所示，執(zhí)行單元4包括位置調(diào)節(jié)機構(gòu)7和流量調(diào)節(jié)機構(gòu)(圖未示出)，空氣刀2設(shè)置于位置調(diào)節(jié)機構(gòu)7上，流量調(diào)節(jié)機構(gòu)設(shè)置于空氣刀2的氣體通道上，位置調(diào)節(jié)機構(gòu)7和流量調(diào)節(jié)機構(gòu)分別與控制單元3連接，控制單元3控制位置調(diào)節(jié)機構(gòu)7調(diào)節(jié)所述空氣刀2與基板100之間的高度、方向和角度，控制單元3控制流量調(diào)節(jié)機構(gòu)改變空氣刀2噴出的氣流量。如圖2、3所示，執(zhí)行單元4通過分別改變空氣刀2的氣體出口與基板100之間的距離、方向和角度，同時調(diào)節(jié)空氣刀2的氣流量，解決了現(xiàn)有技術(shù)中空氣刀2位置固定、角度固定、氣流量固定導(dǎo)致基板100表面的液面不均一的問題。
[0038]進一步的，如圖2所示，位置調(diào)節(jié)機構(gòu)7包括支架71、升降調(diào)節(jié)組件72、轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件73和角度調(diào)節(jié)組件74，升降調(diào)節(jié)組件72安裝于支架71，轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件73安裝于升降調(diào)節(jié)組件72，在升降調(diào)節(jié)組件72的驅(qū)動下上移動；空氣刀2通過角度調(diào)節(jié)組件74安裝于轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件73，轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件73用于調(diào)節(jié)空氣刀2的氣體出口的噴氣方向與基板100的相對方向，角度調(diào)節(jié)組件73用于調(diào)節(jié)空氣刀2的氣體出口噴出的氣體與基板100的夾角。
[0039]進一步的，升降調(diào)節(jié)組件72包括設(shè)置于支架71上的導(dǎo)軌721、與導(dǎo)軌721配合的滑塊722、安裝于滑塊722的升降板723和驅(qū)動升降板723的升降驅(qū)動器724;轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件73安裝于升降板723;升降驅(qū)動器724與控制單元3連接。工作時，升降驅(qū)動器724帶動升降板723升降移動，從而調(diào)節(jié)空氣刀2的氣體出口與基板100之間的距離，如圖所示，該距離為H，優(yōu)選的，H為2?10cm。
[0040]進一步的，轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件73包括轉(zhuǎn)軸731和轉(zhuǎn)動驅(qū)動器732，轉(zhuǎn)軸731轉(zhuǎn)動安裝于升降板723，轉(zhuǎn)動驅(qū)動器732與轉(zhuǎn)軸731連接，用于帶動轉(zhuǎn)軸731轉(zhuǎn)動;轉(zhuǎn)動驅(qū)動器732與控制單元3連接。工作時，轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件73帶動空氣刀2轉(zhuǎn)動，從而調(diào)整空氣刀2的氣體出口的方向。如圖3所示，空氣刀2的氣體出口的方向與基板100的移動方向具有夾角ω，優(yōu)選ω為5?15度。
[0041 ]進一步的，角度調(diào)節(jié)組件74包括轉(zhuǎn)接板741、角度驅(qū)動器742和鉸鏈743，轉(zhuǎn)接板741安裝于轉(zhuǎn)軸731，在轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件73的驅(qū)動下轉(zhuǎn)動，空氣刀2通過鉸鏈743安裝于轉(zhuǎn)接板741，角度驅(qū)動器742與空氣刀2連接，用于驅(qū)動空氣刀2繞鉸鏈743轉(zhuǎn)動。如圖4所示，工作時，角度驅(qū)動器742啟動，帶動空氣刀2繞鉸鏈743轉(zhuǎn)動，調(diào)速空氣刀2的氣體出口與基板100之間的夾角Θ的大小，優(yōu)選的，Θ為45?75度。
[0042]除本實施例提供的結(jié)構(gòu)以外，其他本領(lǐng)域常用的移動結(jié)構(gòu)，均屬于本實施例保護的范圍。
[0043]轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件包括轉(zhuǎn)軸和轉(zhuǎn)動驅(qū)動器，轉(zhuǎn)軸與滑塊旋轉(zhuǎn)連接，空氣刀2固定于轉(zhuǎn)軸上，轉(zhuǎn)軸分別包括水平方向的轉(zhuǎn)軸和豎直方向的轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)動驅(qū)動器為兩個，并且分別固定于滑塊上，每個電機的輸出軸分別與對應(yīng)的水平方向的轉(zhuǎn)軸或者豎直方向的轉(zhuǎn)軸連接，轉(zhuǎn)動驅(qū)動器連接控制單元3，保證空氣刀2在水平方向和豎直方向上轉(zhuǎn)動角度的精確性。
[0044]濕洗單元I的數(shù)量為多個，可提高清洗的效果及效率，濕洗單元I包括噴射中性洗劑的第一子單元11和噴射去離子水的第二子單元12，使噴洗單元可以對基板100分別進行中性洗劑和去離子水的沖洗。
[0045]控制單元3還連接有報警單元，當監(jiān)測信息保持與設(shè)定值不同的相同狀態(tài)時，控制單元3控制報警單元發(fā)出警報，從而防止清洗裝置出現(xiàn)故障，保證工作人員可以及時的了解清洗裝置出現(xiàn)的問題，并及時對其進行維修。
[0046]控制單元3還連接有紅外干燥儀6，控制單元3控制紅外干燥儀6在空氣刀2完成工作后對基板100進行干燥處理，使裝置具有干燥功能，并具有較好的干燥效果。紅外干燥儀6用于完成基板100的后續(xù)處理，紅外干燥儀6與控制單元3連接，在控制單元3的控制下對基板100進行干燥處理。
[0047]需要說明的是:控制單元可以采用可編程控制器，S卩PLC;升降驅(qū)動器優(yōu)選采用電機與直線螺桿的組合;流量調(diào)節(jié)機構(gòu)可以采用電磁閥。
[0048]實施例二
[0049]本實施例提供一種基板清洗方法，包括如下步驟:
[0050]S1、控制單元3向濕洗單元I發(fā)出清洗指令，控制濕洗單元I對基板100進行清洗，基板100清洗完畢后，控制單元3啟動空氣刀2，空氣刀2向基板100噴射氣體;其中，優(yōu)選濕洗單元I的數(shù)量為多個，濕洗單元I包括噴射中性洗劑的第一子單元11和噴射去離子水的第二子單元12，使噴洗單元可以對基板100分別進行中性洗劑和去離子水的沖洗。
[0051 ] S2、控制單元3向監(jiān)測單元5發(fā)出監(jiān)測指令，監(jiān)測單元5啟動，監(jiān)測單元5采集基板100表面的溫度的監(jiān)測信息，并將采集到的監(jiān)測信息反饋至控制單元3。本實施例中，監(jiān)測單元5優(yōu)選包括熱成像儀51，熱成像儀51與基板100對應(yīng)設(shè)置，可以根據(jù)基板100表面的熱分布場，監(jiān)測單元5將采集到的監(jiān)測信息傳遞給控制單元3。
[0052]S3、控制單元3根據(jù)監(jiān)測單元5檢測到的監(jiān)測信息形成基板的表面的溫度曲線，SP控制單元3根據(jù)熱成像儀51反饋的溫度分布信息形成基板100的表面溫度分布曲線，從而反映表面100的潮濕程度分布狀態(tài)，控制單元I將溫度曲線與控制單元I的設(shè)定值進行比較。
[0053]根據(jù)比較結(jié)果，若溫度曲線的各個參數(shù)高于控制單元的設(shè)定值，控制單元3根據(jù)比較值的各個參數(shù)的差值控制執(zhí)行單元4的位置調(diào)節(jié)機構(gòu)7帶動設(shè)置于其上的空氣刀2進行移動和/或轉(zhuǎn)動，改變空氣刀2與基板100的相對位置和/或角度，即，具體的，改變空氣刀2與基板100之間的距離、方向和角度。同時根據(jù)比較值的各個參數(shù)的差值控制執(zhí)行單元4的流量調(diào)節(jié)機構(gòu)改變與其連接的空氣刀2噴出的氣流量，從而提高氣流特性改變的精確性。
[0054]其中，空氣刀2吹掃時，熱成像儀51實時監(jiān)測基板100表面的溫度狀態(tài)，使熱成像儀51的監(jiān)測與空氣刀2的氣流特性改變形成閉環(huán)反饋控制，直到基板表面的殘留水液面均一，可以保證干燥效果穩(wěn)定。并且，由于在流水線生產(chǎn)中添加反饋控制系統(tǒng)，可以減少人為因素對生產(chǎn)參數(shù)造成的影響，還可以與報警反饋控制協(xié)同作用，實現(xiàn)高度集成自動化控制；另夕卜，反饋控制還可以通過精確的計算，找到最適宜的生產(chǎn)參數(shù)，提高資源的利用率；同時，反饋控制可以有效抑制由于生產(chǎn)參數(shù)波動造成的產(chǎn)品良率損失，盡量避免波動擴大化，從而減小因反饋缺失造成的生產(chǎn)參數(shù)變動量，從而提高良品率。
[0055]若溫度曲線的各個參數(shù)與控制單元3的設(shè)定值相同，控制單元3控制空氣刀2、監(jiān)測單元5、執(zhí)行單元4停止工作，對基板進行后續(xù)處理，即對基板100進行干燥。
[0056]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種基板清洗裝置，其特征在于，包括濕洗單元、空氣刀、控制單元、執(zhí)行單元和監(jiān)測單元;所述濕洗單元、執(zhí)行單元和監(jiān)測單元分別與控制單元連接，所述執(zhí)行單元連接所述空氣刀;所述控制單元控制所述濕洗單元對基板進行清洗，所述監(jiān)測單元將采集到的清洗后的所述基板的溫度的監(jiān)測信息傳遞給所述控制單元，所述控制單元根據(jù)所述監(jiān)測信息控制所述執(zhí)行單元改變所述空氣刀的氣流特性。2.如權(quán)利要求1所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述監(jiān)測單元包括熱成像儀，所述熱成像儀與所述基板對應(yīng)設(shè)置，所述熱成像儀與所述控制單元連接，所述熱成像儀采集所述監(jiān)測信息并傳遞給所述控制單元。3.如權(quán)利要求2所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述執(zhí)行單元包括位置調(diào)節(jié)機構(gòu)和流量調(diào)節(jié)機構(gòu)，所述空氣刀設(shè)置于所述位置調(diào)節(jié)機構(gòu)上，所述流量調(diào)節(jié)機構(gòu)設(shè)置于所述空氣刀的氣體通道上，所述位置調(diào)節(jié)機構(gòu)和流量調(diào)節(jié)機構(gòu)分別與所述控制單元連接，所述控制單元控制所述位置調(diào)節(jié)機構(gòu)調(diào)節(jié)所述空氣刀與基板之間的高度、方向和角度，所述控制單元控制所述流量調(diào)節(jié)機構(gòu)改變所述空氣刀噴出的氣流量。4.如權(quán)利要求3所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述位置調(diào)節(jié)機構(gòu)包括支架、升降調(diào)節(jié)組件、轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件和角度調(diào)節(jié)組件，所述升降調(diào)節(jié)組件安裝于所述支架，所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件安裝于所述升降調(diào)節(jié)組件，在所述升降調(diào)節(jié)組件的驅(qū)動下上移動;所述空氣刀通過角度調(diào)節(jié)組件安裝于所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件。5.如權(quán)利要求4所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述升降調(diào)節(jié)組件包括設(shè)置于所述支架上的導(dǎo)軌、與導(dǎo)軌配合的滑塊、安裝于所述滑塊的升降板和驅(qū)動所述升降板的升降驅(qū)動器;所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件安裝于所述升降板;所述升降驅(qū)動器與所述控制單元連接。6.如權(quán)利要求5所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)組件包括轉(zhuǎn)軸和轉(zhuǎn)動驅(qū)動器，所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動安裝于所述升降板，所述轉(zhuǎn)動驅(qū)動器與所述轉(zhuǎn)軸連接;所述轉(zhuǎn)動驅(qū)動器與所述控制單元連接。7.如權(quán)利要求6所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述角度調(diào)節(jié)組件包括轉(zhuǎn)接板、角度驅(qū)動器和鉸鏈，所述轉(zhuǎn)接板安裝于所述轉(zhuǎn)軸，所述空氣刀通過所述鉸鏈安裝于所述轉(zhuǎn)接板，所述角度驅(qū)動器與所述空氣刀連接，用于驅(qū)動所述空氣刀繞所述鉸鏈轉(zhuǎn)動。8.如權(quán)利要求4所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述濕洗單元的數(shù)量為多個，所述濕洗單元包括噴射中性洗劑的第一子單元和噴射去離子水的第二子單元。9.如權(quán)利要求8所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述控制單元還連接有報警單元，當所述監(jiān)測信息保持與設(shè)定值不同的相同狀態(tài)時，所述控制單元控制所述報警單元發(fā)出警報。10.如權(quán)利要求8所述的基板清洗裝置，其特征在于，所述控制單元還連接有紅外干燥儀，所述控制單元控制所述紅外干燥儀在所述空氣刀完成工作后對所述基板進行干燥處理。11.一種基板清洗方法，其特征在于，包括如下步驟: S1、控制單元向濕洗單元發(fā)出清洗指令，控制濕洗單元對基板進行清洗，清洗完畢后，控制單元向空氣刀發(fā)出啟動指令，空氣刀啟動向基板噴射氣體； S2、控制單元向監(jiān)測單元發(fā)出監(jiān)測指令，監(jiān)測單元啟動，采集基板表面的溫度的監(jiān)測信息，并將采集到的監(jiān)測信息反饋至控制單元； S3、控制單元根據(jù)監(jiān)測單元檢測到的監(jiān)測信息形成基板表面的溫度曲線，并將溫度曲線與存儲于控制單元的設(shè)定值進行比較； 若溫度曲線的各個參數(shù)高于控制單元的設(shè)定值，控制單元根據(jù)比較值控制執(zhí)行單元的位置調(diào)節(jié)機構(gòu)帶動空氣刀移動和/或轉(zhuǎn)動，改變空氣刀的位置和/或角度，同時控制執(zhí)行單元的流量調(diào)節(jié)機構(gòu)調(diào)控空氣刀噴出的氣流量； 若溫度曲線的各個參數(shù)與控制單元的設(shè)定值相同，控制單元控制空氣刀、監(jiān)測單元和執(zhí)行單元停止工作，對基板進行后續(xù)處理。
【文檔編號】H01L21/02GK105845606SQ201610224269
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2016年4月12日
【發(fā)明人】潘亞曦, 王佳琦, 張秀富, 吳云飛, 王華鋒
【申請人】京東方科技集團股份有限公司, 鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司