硅片分片裝置及硅片裝卸系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明實施例提供的硅片分片裝置及硅片裝卸系統(tǒng)中，硅片分片裝置可以包括：上吸盤、下吸盤、第一滑塊驅(qū)動電機(jī)、第一滑塊、第一傳動機(jī)構(gòu)、水平滑軌及第一氣缸，第一氣缸驅(qū)動上吸盤上下移動；下吸盤固定設(shè)置于第一硅片傳送帶的下側(cè)；在硅片分片裝置吸取硅片組中的上方硅片時，第一硅片傳送帶停止運(yùn)行，上吸盤吸氣吸附住上方硅片，下吸盤吸氣，吸附住下方硅片，上吸盤在第一氣缸的帶動下向上移動，硅片組分離；硅片組分離后，下吸盤停止吸氣，硅片組中的下方硅片繼續(xù)被第一硅片傳送帶傳送。本發(fā)明可以通過上下兩個吸盤吸附硅片，從而帶動硅片分離。由于通過吸盤吸附來分離硅片不會使上下兩個硅片間產(chǎn)生摩擦力，因此可以避免硅片破損。
【專利說明】
硅片分片裝置及硅片裝卸系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及硅片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及硅片分片裝置及硅片裝卸系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著石油、煤炭等不可再生能源的日益枯竭，太陽能、風(fēng)能等新能源得到了新的發(fā)展機(jī)遇。
[0003]在硅片電池的生產(chǎn)過程中，需要將背對背疊合在一起的硅片組(即石英片組)分離，將分離后的兩個硅片分別傳送到兩條不同的傳送帶上?，F(xiàn)有的硅片分離技術(shù)在傳送硅片組的傳送帶上設(shè)置有滾輪，滾輪可以和硅片組上方的硅片接觸，通過轉(zhuǎn)動產(chǎn)生的摩擦力帶動上方的硅片移動到另一傳送帶上，下方的硅片被傳送硅片組的傳送帶繼續(xù)傳送，并傳送至其他傳送帶，從而實現(xiàn)硅片分離。
[0004]但是，現(xiàn)有的硅片分離技術(shù)在硅片分離過程中，滾輪帶動上方硅片移動過程中，上方硅片會在下方的硅片上滑動，二者時間會產(chǎn)生一定的摩擦力。由于硅片比較薄，因此容易因摩擦力而破損。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明實施例的目的在于提供一種硅片分片裝置及硅片裝卸系統(tǒng)，以避免硅片破損。
[0006]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明實施例公開了一種硅片分片裝置，第一硅片傳送帶穿過所述硅片分片裝置，所述硅片分片裝置包括:上吸盤、下吸盤、第一滑塊驅(qū)動電機(jī)、第一滑塊、第一傳動機(jī)構(gòu)、水平滑軌及第一氣缸，
[0007]所述第一滑塊驅(qū)動電機(jī)通過所述第一傳動機(jī)構(gòu)與所述第一滑塊連接，所述第一滑塊設(shè)置于所述水平滑軌上，所述第一滑塊驅(qū)動電機(jī)帶動所述第一滑塊在所述水平滑軌上滑動；
[0008]所述第一滑塊下表面與所述第一氣缸固定連接，所述第一氣缸的活塞桿末端與所述上吸盤固定連接，所述第一氣缸驅(qū)動所述上吸盤上下移動；
[0009]所述下吸盤固定設(shè)置于所述第一硅片傳送帶的下側(cè)，以吸附所述第一硅片傳送帶傳送的硅片組的下方硅片；
[0010]在所述硅片分片裝置吸取所述硅片組中的上方硅片時，所述第一硅片傳送帶停止運(yùn)行，所述上吸盤吸氣吸附住上方硅片，所述下吸盤吸氣，吸附住下方硅片，所述上吸盤在所述第一氣缸的帶動下向上移動，所述硅片組分離；所述硅片組分離后，所述下吸盤停止吸氣，所述硅片組中的下方硅片繼續(xù)被所述第一硅片傳送帶傳送。
[0011]可選的，所述第一傳送機(jī)構(gòu)和所述水平滑軌組成KK模組。
[0012]—種硅片裝卸系統(tǒng)，包括:石英舟、旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)、進(jìn)片豎向傳送帶、第一花籃、第二花籃、第一升降裝置、第二升降裝置、升降傳送帶、多條硅片傳送帶、第一翻片器、第二翻片器、第一收片機(jī)構(gòu)、第二收片機(jī)構(gòu)、電控柜、石英舟夾具和上述的任一種娃片分片裝置，
[0013]所述石英舟位于所述石英舟夾具內(nèi)，所述石英舟夾具與所述旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)連接，所述旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)帶動所述石英舟夾具升降及旋轉(zhuǎn)；
[0014]所述第一花籃與所述第一翻片器第一端之間設(shè)置有第五硅片傳送帶，所述第一升降裝置與所述第一花籃連接，帶動所述第一花籃進(jìn)行升降，以使所述第一花籃內(nèi)的硅片與所述第五硅片傳送帶接觸；所述第二花籃與所述升降傳送帶之間設(shè)置有第二硅片傳送帶，所述第二硅片傳送帶通過所述升降傳送帶將硅片傳送到所述第三硅片傳送帶上，所述第二升降裝置與所述第二花籃連接，帶動所述第二花籃進(jìn)行升降，以使所述第二花籃內(nèi)的硅片與所述第二硅片傳送帶接觸；
[0015]所述第一翻片器第二端與所述石英舟之間設(shè)置第三硅片傳送帶和第四硅片傳送帶，與所述第一翻片器第二端相鄰的為所述第三硅片傳送帶，與所述石英舟相鄰的為所述第四硅片傳送帶；
[0016]所述升降傳送帶與所述第三硅片傳送帶相鄰，將所述升降傳送帶上的硅片傳送到所述第三硅片傳送帶上的硅片的上方進(jìn)行重疊，形成硅片組；
[0017]所述第三硅片傳送帶將硅片組傳送到所述第四硅片傳送帶上，所述第四硅片傳送帶將硅片組傳送入所述石英舟內(nèi)或?qū)⑺鍪⒅蹆?nèi)的硅片組傳送出所述石英舟；
[0018]所述進(jìn)片豎向傳送帶豎向設(shè)置，所述進(jìn)片豎向傳送帶的一端固定，在將所述硅片組傳送入所述石英舟內(nèi)或?qū)⑺鍪⒅蹆?nèi)的硅片組傳送出所述石英舟時，所述進(jìn)片豎向傳送帶的另一端通過所述端板孔伸入所述石英舟內(nèi)，且所述進(jìn)片豎向傳送帶的另一端的末端與所述第四硅片傳送帶的處于上方的傳送帶處于同一平面且該平面與水平面平行，在硅片組被傳送入所述石英舟內(nèi)或被傳送出所述石英舟的過程中，所述進(jìn)片豎向傳送帶的另一端的末端與硅片組底部接觸，對硅片組進(jìn)行支撐；
[0019]所述石英舟與所述硅片分片裝置間依次設(shè)置有所述第四硅片傳送帶、第九硅片傳送帶和第一硅片傳送帶，所述第一硅片傳送帶穿過所述硅片分片裝置，所述硅片分片裝置與所述第一收片機(jī)構(gòu)間設(shè)置有第六硅片傳送帶，所述第一硅片傳送帶與所述第二翻片器第一端間設(shè)置有第七硅片傳送帶，所述第二翻片器第二端與所述第二收片機(jī)構(gòu)間設(shè)置有第八硅片傳送帶；
[0020]所述第四硅片傳送帶將所述石英舟內(nèi)的硅片組傳送出所述石英舟后，將所述硅片組傳送到所述第九硅片傳送帶上，所述第九硅片傳送帶將所述硅片組傳送到所述第一硅片傳送帶上，所述硅片分片裝置對所述第一硅片傳送帶傳送來的硅片組進(jìn)行分片，將所述硅片組中的上方硅片置于所述第六硅片傳送帶上，使所述硅片組中的下方硅片繼續(xù)在所述第一硅片傳送帶上傳送；
[0021]所述第六硅片傳送帶將硅片傳入所述第一收片機(jī)構(gòu)，所述第八硅片傳送帶將硅片硅片傳入所述第二收片機(jī)構(gòu)；
[0022]所述電控柜的電器設(shè)施分別與旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)、進(jìn)片豎向傳送帶、第一升降裝置、第二升降裝置、升降傳送帶、各硅片傳送帶、硅片分片裝置、第一翻片器、第二翻片器電性連接。
[0023]可選的，所述第一收片機(jī)構(gòu)和所述第二收片機(jī)構(gòu)相同，所述第一收片機(jī)構(gòu)和所述第二收片機(jī)構(gòu)均包括:疊盒、彈簧、橫支撐板、邊滑軌、擋板、第二氣缸、導(dǎo)桿、連板和圍板，
[0024]所述疊盒包括疊盒底板及三個疊盒側(cè)板，所述疊盒朝向相鄰的硅片傳送帶的一側(cè)為開口，以接收相鄰的硅片傳送帶傳送的硅片，所述疊盒底板與水平面呈第一銳角，所述疊盒底板的尺寸與硅片的尺寸相匹配，與所述開口相對的疊盒側(cè)板為矩形側(cè)板；
[0025]所述橫支撐板上設(shè)置有通孔，所述通孔的孔徑小于所述彈簧的外徑且大于所述導(dǎo)桿的直徑；
[0026]所述疊盒置于所述擋板上，所述擋板下表面與所述導(dǎo)桿的一端固定連接，所述導(dǎo)桿外側(cè)圍繞有所述彈簧，所述導(dǎo)桿的另一側(cè)穿過所述橫支撐板與所述連板固定連接，所述導(dǎo)桿垂直于所述連板，所述彈簧位于所述擋板與所述橫支撐板之間，所述擋板與水平面呈第一銳角，所述橫支撐板水平設(shè)置；
[0027]所述橫支撐板下表面固定設(shè)置有所述第二氣缸，所述第二氣缸的活塞桿末端朝向所述連板，所述第二氣缸的活塞桿可推動所述連板并通過所述導(dǎo)桿帶動所述擋板向下移動，使所述疊盒落于所述邊滑軌上；
[0028]所述邊滑軌傾斜設(shè)置，與水平面呈銳角，所述邊滑軌設(shè)置在所述擋板下方，且所述邊滑軌設(shè)置在所述橫支撐板上方，所述疊盒可沿所述邊滑軌向下滑動；
[0029]所述圍板設(shè)置于所述矩形側(cè)板外側(cè)，以阻擋所述疊盒向下滑動，所述圍板的下端與所述邊滑軌之間的垂直距離不小于所述疊盒的高度。
[0030]可選的，還包括:第一硅片緩存裝置和第二硅片緩存裝置，所述第一硅片緩存裝置和所述第二硅片緩存裝置相同，所述第一硅片緩存裝置套在所述第三硅片傳送帶上，所述第二硅片緩存裝置套在所述第九硅片傳送帶上；
[0031]所述第一硅片緩存裝置和所述第二硅片緩存裝置均包括:緩存驅(qū)動電機(jī)、第二傳動機(jī)構(gòu)和緩存箱，所述緩存驅(qū)動電機(jī)與所述第二傳動機(jī)構(gòu)連接，所述第二傳動機(jī)構(gòu)與所述緩存箱連接，所述緩存驅(qū)動電機(jī)經(jīng)所述第二傳動機(jī)構(gòu)帶動所述緩存箱上下運(yùn)動，所述緩存箱的兩個相對側(cè)板上均設(shè)置有滑槽；
[0032]所述第九硅片傳送帶穿過所述第二硅片緩存裝置的緩存箱，所述第三硅片傳送帶穿過所述第一硅片緩存裝置的緩存箱。
[0033]可選的，所述進(jìn)片豎向傳送帶包括:豎向驅(qū)動電機(jī)、支撐主板、進(jìn)片傳送帶、帶輪及主軸，所述豎向驅(qū)動電機(jī)與所述主軸固定連接，通過所述主軸帶動所述進(jìn)片傳送帶在所述帶輪上轉(zhuǎn)動，所述支撐主板一端固定，另一端與所述帶輪連接，以支撐所述支撐主板。
[0034]可選的，所述第一升降裝置和所述第二升降裝置相同，均包括:花籃驅(qū)動電機(jī)、KK模組、第二滑塊、連接板和花籃定位板，所述花籃驅(qū)動電機(jī)與所述KK模組連接，所述第二滑塊設(shè)置在所述KK模組上，所述花籃驅(qū)動電機(jī)帶動所述第二滑塊在所述KK模組上滑動，所述花籃定位板通過所述連接板與所述第二滑塊相連接。
[0035]可選的，所述第一翻片器和所述第二翻片器相同，均包括:翻片驅(qū)動電機(jī)、中心軸和翻板，所述翻片驅(qū)動電機(jī)與所述中心軸固定連接，所述翻板設(shè)置在所述中心軸上。
[0036]可選的，所述旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)包括:平面軸承、同步帶、升降板、滑塊、同步帶輪、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、絲桿螺母、升降電機(jī)、絲桿、滑軌和石英舟夾緊氣缸，
[0037]所述平面軸承設(shè)在所述升降板上，所述平面軸承的旋轉(zhuǎn)端與所述石英舟夾具連接，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)設(shè)在所述升降板上并與所述同步帶輪連接，帶動所述同步帶輪轉(zhuǎn)動，通過所述同步帶輪上的同步帶帶動所述平面軸承轉(zhuǎn)動，進(jìn)而帶動所述英舟夾具轉(zhuǎn)動，所述升降板通過所述滑塊設(shè)于所述滑軌上，所述升降電機(jī)與所述絲桿連接，所述絲桿的絲桿螺母安裝在所述升級板上，所述升降電機(jī)通過帶動所述絲桿轉(zhuǎn)動，使得所述升級板在所述絲桿螺母作用下沿所述滑軌進(jìn)行升降運(yùn)動，進(jìn)而帶所述動舟夾具進(jìn)行升降運(yùn)動。
[0038]可選的，還包括:推片氣缸，所述推片氣缸設(shè)置在所述石英舟夾具的一側(cè)。
[0039]本發(fā)明實施例提供的硅片分片裝置及硅片裝卸系統(tǒng)，可以通過上下兩個吸盤吸附硅片，從而帶動硅片分離。由于通過吸盤吸附來分離硅片不會使上下兩個硅片間產(chǎn)生摩擦力，因此可以避免硅片破損。
【附圖說明】
[0040]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0041]圖1為本發(fā)明實施例提供的一種硅片導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的正視圖；
[0042]圖2為本發(fā)明實施例提供的一種硅片導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的俯視圖；
[0043]圖3為本發(fā)明實施例提供的一種娃片導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的局部放大圖；
[0044]圖4為本發(fā)明實施例提供的硅片導(dǎo)向機(jī)構(gòu)被推進(jìn)時的示意圖；
[0045]圖5為圖4中圓圈所示區(qū)域的放大圖；
[0046]圖6為本發(fā)明實施例提供的硅片導(dǎo)向機(jī)構(gòu)被收回時的示意圖；
[0047]圖7為圖6中圓圈所示區(qū)域的放大圖；
[0048]圖8為本發(fā)明實施例提供的一種石英舟夾具的正視圖；
[0049]圖9為本發(fā)明實施例提供的一種石英舟夾具的俯視圖；
[0050]圖10為本發(fā)明實施例提供的一種硅片裝卸系統(tǒng)的俯視圖逆時針旋轉(zhuǎn)90度后的視圖；
[0051]圖11為本發(fā)明實施例提供的一種硅片裝卸系統(tǒng)的正視圖逆時針旋轉(zhuǎn)90度后的視圖；
[0052]圖12為本發(fā)明實施例提供的收片機(jī)構(gòu)的右視圖；
[0053]圖13為本發(fā)明實施例提供的收片機(jī)構(gòu)的主視圖；
[0054]圖14為本發(fā)明實施例提供的硅片分片裝置的示意圖；
[0055]圖15為本發(fā)明實施例提供的硅片緩存裝置的示意圖；
[0056]圖16為圖15中A方向上硅片緩存裝置中緩存箱的示意圖；
[0057]圖17為本發(fā)明實施例提供的升降裝置的示意圖；
[0058]圖18為本發(fā)明實施例提供的翻片器的主視圖；
[0059]圖19為本發(fā)明實施例提供的翻片器的俯視圖；
[0060]圖20為本發(fā)明實施例提供的旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)的主視圖；
[0061]圖21為本發(fā)明實施例提供的旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)的俯視圖；
[0062]圖22為本發(fā)明實施例提供的進(jìn)片豎向傳送帶的主視圖；
[0063]圖23為本發(fā)明實施例提供的進(jìn)片豎向傳送帶的右視圖；
[0064]圖24為現(xiàn)有技術(shù)中娃片進(jìn)入石英舟的不意圖；
[0065]圖25為本發(fā)明實施例提供的在疊盒上放置備用疊盒的示意圖。
【具體實施方式】
[0066]下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0067]請結(jié)合圖1至圖7，本發(fā)明實施例提供的一種娃片導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，適應(yīng)于石英舟，如圖1所示，該硅片導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包可以括:導(dǎo)條推進(jìn)氣缸805及設(shè)置于所述導(dǎo)條推進(jìn)氣缸805的活塞桿上的進(jìn)片導(dǎo)條804;
[0068]所述進(jìn)片導(dǎo)條804朝向所述石英舟內(nèi)部的一側(cè)為鋸齒狀，如圖2所示，所述進(jìn)片導(dǎo)條804與所述石英舟的底棒809平行，圖3為圖2中圓圈810所示區(qū)域的放大圖，如圖3所示，所述進(jìn)片導(dǎo)條804朝向所述石英舟內(nèi)部的一側(cè)的鋸齒的齒距與所述石英舟的底棒809的鋸齒的齒距相同，所述進(jìn)片導(dǎo)條804朝向所述石英舟內(nèi)部的一側(cè)的鋸齒的齒槽812中心線與所述石英舟的底棒809的鋸齒的齒槽811中心線在同一平面，如圖4及圖5所示，所述進(jìn)片導(dǎo)條804的鋸齒狀一側(cè)的鋸齒的齒尖間距大于所述石英舟的底棒809的鋸齒的齒尖間距。
[0069]請結(jié)合圖4至圖7，由于進(jìn)片導(dǎo)條804和石英舟的底棒809平行，因此當(dāng)進(jìn)片導(dǎo)條804被導(dǎo)條推進(jìn)氣缸805推進(jìn)并越過石英舟的底棒809時，硅片001將被齒間間距較大的進(jìn)片導(dǎo)條804引導(dǎo)。當(dāng)進(jìn)片導(dǎo)條804齒槽812底端越過石英舟的底棒809齒槽811底端時，硅片001將被進(jìn)片導(dǎo)條引導(dǎo)至進(jìn)片導(dǎo)條804齒槽812底端。由于硅片001由硅片傳送帶傳送入石英舟內(nèi)，因此在將硅片001裝入石英舟時需要將石英舟旋轉(zhuǎn)，使其開口朝向水平方向，相應(yīng)的，進(jìn)片導(dǎo)條804也相應(yīng)旋轉(zhuǎn)，使其鋸齒狀一側(cè)仍朝向石英舟內(nèi)部。這樣，在硅片001裝載完畢后，可以再將石英舟進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使其開口朝上，同樣，進(jìn)片導(dǎo)條804也相應(yīng)旋轉(zhuǎn)，使其鋸齒狀一側(cè)仍朝向石英舟內(nèi)部。
[0070]在硅片裝載完畢并旋轉(zhuǎn)石英舟使其開口朝上后，如果進(jìn)片導(dǎo)條804齒槽812底端越過了石英舟的底棒809齒槽811底端，只需要通過導(dǎo)條推進(jìn)氣缸805收回所述進(jìn)片導(dǎo)條804即可使得硅片依靠重力落在石英舟的底棒809齒槽811底端。
[0071]由于進(jìn)片導(dǎo)條804的鋸齒狀一側(cè)的鋸齒的齒尖間距大于所述石英舟的底棒809的鋸齒的鋸齒齒尖間距，因此硅片001很容易被進(jìn)片導(dǎo)條804所引導(dǎo)。由于進(jìn)片導(dǎo)條804鋸齒的齒槽812中心線與所述石英舟的底棒809的鋸齒的齒槽811中心線在同一平面，因此進(jìn)片導(dǎo)條804引導(dǎo)硅片001到達(dá)進(jìn)片導(dǎo)條804齒槽812底端后，也就使得硅片001對準(zhǔn)了石英舟的底棒809的鋸齒的齒槽811。這樣，進(jìn)片導(dǎo)條804就可以引導(dǎo)硅片001對準(zhǔn)石英舟的底棒809的鋸齒的齒槽811，從而可以有效避免由于硅片未對準(zhǔn)底棒809齒槽而造成的硅片破損。
[0072]所述導(dǎo)條推進(jìn)氣缸805可以帶動所述進(jìn)片導(dǎo)條804移動，以推進(jìn)所述進(jìn)片導(dǎo)條804或收回所述進(jìn)片導(dǎo)條804。圖5為圖4中圓圈814所示區(qū)域的放大圖，如圖4及圖5所示，在所述導(dǎo)條推進(jìn)氣缸805推進(jìn)所述進(jìn)片導(dǎo)條804時，所述進(jìn)片導(dǎo)條804越過所述石英舟的底棒809進(jìn)入所述石英舟內(nèi)部。圖7為圖6中圓圈815所示區(qū)域的放大圖，如圖6及圖7所示，在所述導(dǎo)條推進(jìn)氣缸805收回所述進(jìn)片導(dǎo)條804時，所述進(jìn)片導(dǎo)條804越過所述石英舟的底棒809離開所述石英舟內(nèi)部。
[0073]可選的，上述硅片導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的材料可以為塑料、橡膠等，和/或上述進(jìn)片導(dǎo)條804的鋸齒狀一側(cè)的鋸齒的齒高大于所述石英舟的底棒809的鋸齒的齒高。
[0074]可以理解的是，塑料、橡膠相對于石英而言具有更好的彈性，因此有利于進(jìn)一步保護(hù)硅片。當(dāng)進(jìn)片導(dǎo)條804的鋸齒狀一側(cè)的鋸齒齒高大于所述石英舟的底棒809的鋸齒的齒高，更加有利于硅片001提前與進(jìn)片導(dǎo)條804的鋸齒接觸，以引導(dǎo)硅片001對準(zhǔn)石英舟的底棒809的齒槽。
[0075]本發(fā)明實施例提供的一種硅片導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，可以通過導(dǎo)條推進(jìn)氣缸推進(jìn)進(jìn)片導(dǎo)條，通過進(jìn)片導(dǎo)條引導(dǎo)硅片對準(zhǔn)石英舟底棒的齒槽。由于進(jìn)片導(dǎo)條的鋸齒狀一側(cè)的鋸齒的齒尖間距大于所述石英舟的底棒的鋸齒的鋸齒齒尖間距，因此當(dāng)硅片的位置出現(xiàn)偏移時，本發(fā)明的進(jìn)片導(dǎo)條可以將其引導(dǎo)回與石英舟底棒的齒槽相對的位置。本發(fā)明可以有效引導(dǎo)硅片對準(zhǔn)石英舟底棒的齒槽，從而避免硅片破損。
[0076]請結(jié)合圖8及圖9，本發(fā)明實施例還提供了一種石英舟夾具，可以包括:底板806、設(shè)置于所述底板806上的兩個側(cè)板807、硅片導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、所述兩個側(cè)板807間的側(cè)板連接板801及分別設(shè)置在所述兩個側(cè)板807上的旋轉(zhuǎn)夾緊氣缸802，所述兩個側(cè)板分別為左側(cè)板和右側(cè)板；
[0077]為方便觀看，圖8及圖9中并未示出石英舟。同時圖8對底板806與導(dǎo)條推進(jìn)氣缸805的接觸區(qū)域進(jìn)行透視處理，以公開導(dǎo)條推進(jìn)氣缸805安裝在底板806的一種方式。
[0078]所述旋轉(zhuǎn)夾緊氣缸802的活塞桿末端設(shè)置有壓板，所述壓板與所述活塞桿垂直，所述旋轉(zhuǎn)夾緊氣缸802旋轉(zhuǎn)和收縮所述活塞桿，使所述壓板進(jìn)入所述石英舟夾具內(nèi)部的石英舟的端板孔并與所述端板孔的底邊緊密接觸。
[0079]可以理解的是，旋轉(zhuǎn)夾緊氣缸802可以首先旋轉(zhuǎn)活塞桿使壓板進(jìn)入上述端板孔，然后收縮活塞桿以壓緊端板孔的底邊，從而實現(xiàn)對石英舟的固定。當(dāng)然，旋轉(zhuǎn)夾緊氣缸802也可以同時旋轉(zhuǎn)和收縮活塞桿。
[0080]所述硅片導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括:導(dǎo)條推進(jìn)氣缸805及設(shè)置于所述導(dǎo)條推進(jìn)氣缸805的活塞桿上的進(jìn)片導(dǎo)條804 ;所述導(dǎo)條推進(jìn)氣缸805固定設(shè)置于所述底板806上，所述進(jìn)片導(dǎo)條804朝向所述石英舟內(nèi)部的一側(cè)為鋸齒狀，如圖2所示，所述進(jìn)片導(dǎo)條804與所述石英舟的底棒809平行，圖3為圖2中圓圈810所示區(qū)域的放大圖，如圖3所示，所述進(jìn)片導(dǎo)條804朝向所述石英舟內(nèi)部的一側(cè)的鋸齒的齒距與所述石英舟的底棒809的鋸齒的齒距相同，所述進(jìn)片導(dǎo)條804朝向所述石英舟內(nèi)部的一側(cè)的鋸齒的齒槽812中心線與所述石英舟的底棒809的鋸齒的齒槽811中心線在同一平面，如圖4及圖5所示，所述進(jìn)片導(dǎo)條804的鋸齒狀一側(cè)的鋸齒的齒尖間距大于所述石英舟的底棒809的鋸齒的齒尖間距。
[0081 ] 所述導(dǎo)條推進(jìn)氣缸805可以帶動所述進(jìn)片導(dǎo)條804移動，以推進(jìn)所述進(jìn)片導(dǎo)條804或收回所述進(jìn)片導(dǎo)條804。圖5為圖4中圓圈814所示區(qū)域的放大圖，如圖4及圖5所示，在所述導(dǎo)條推進(jìn)氣缸805推進(jìn)所述進(jìn)片導(dǎo)條804時，所述進(jìn)片導(dǎo)條804越過所述石英舟的底棒809進(jìn)入所述石英舟內(nèi)部。圖7為圖6中圓圈815所示區(qū)域的放大圖，如圖6及圖7所示，在所述導(dǎo)條推進(jìn)氣缸805收回所述進(jìn)片導(dǎo)條804時，所述進(jìn)片導(dǎo)條804越過所述石英舟的底棒809離開所述石英舟內(nèi)部。
[0082]可選的，上述硅片導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的材料可以為塑料、橡膠等，和/或上述進(jìn)片導(dǎo)條804的鋸齒狀一側(cè)的鋸齒的齒高大于所述石英舟的底棒809的鋸齒的齒高。
[0083]如圖8及圖9所示，本發(fā)明實施例提供的另一種石英舟夾具中還可以包括:設(shè)置于所述底板806的定位塊803，所述定位塊803具有第一厚度，所述定位塊803與所述石英舟夾具內(nèi)的石英舟的底部接觸。
[0084]通過定位塊803、側(cè)板807可以實現(xiàn)對石英舟的定位，方便旋轉(zhuǎn)夾緊氣缸802的壓板進(jìn)入所述石英舟夾具內(nèi)部的石英舟的端板孔并壓緊所述端板孔的底邊，以固定住石英舟。
[0085]本發(fā)明實施例提供的一種石英舟夾具，可以通過導(dǎo)條推進(jìn)氣缸推進(jìn)進(jìn)片導(dǎo)條，通過進(jìn)片導(dǎo)條引導(dǎo)硅片對準(zhǔn)石英舟底棒的齒槽。由于進(jìn)片導(dǎo)條的鋸齒狀一側(cè)的鋸齒的齒尖間距大于所述石英舟的底棒的鋸齒的鋸齒齒尖間距，因此當(dāng)硅片的位置出現(xiàn)偏移時，本發(fā)明的進(jìn)片導(dǎo)條可以將其引導(dǎo)回與石英舟底棒的齒槽相對的位置。本發(fā)明可以有效引導(dǎo)硅片對準(zhǔn)石英舟底棒的齒槽，從而避免硅片破損。同時，本發(fā)明還可以通過旋轉(zhuǎn)夾緊氣缸夾緊石英舟，從而使得石英舟在旋轉(zhuǎn)和使用的過程中不會出現(xiàn)移動，造成硅片損壞。
[0086]如圖14所示，本發(fā)明還提供了一種硅片分片裝置，第一硅片傳送帶120穿過所述硅片分片裝置，該硅片分片裝置可以包括:上吸盤301、下吸盤302、第一滑塊驅(qū)動電機(jī)303、第一滑塊304、第一傳動機(jī)構(gòu)305、水平滑軌306及第一氣缸307，
[0087]所述第一滑塊驅(qū)動電機(jī)303通過所述第一傳動機(jī)構(gòu)305與所述第一滑塊304連接，所述第一滑塊304設(shè)置于所述水平滑軌306上，所述第一滑塊驅(qū)動電機(jī)303帶動所述第一滑塊304在所述水平滑軌306上滑動；可選的，第一傳送機(jī)構(gòu)305和水平滑軌306可以組成KK模組。
[0088]所述第一滑塊304下表面與所述第一氣缸307固定連接，所述第一氣缸307的活塞桿末端與所述上吸盤301固定連接，所述第一氣缸307驅(qū)動所述上吸盤301上下移動；
[0089]所述下吸盤302固定設(shè)置于所述第一硅片傳送帶120的下側(cè)，以吸附所述第一硅片傳送帶120傳送的硅片組的下方硅片；
[0090]在所述硅片分片裝置109吸取所述硅片組中的上方硅片時，所述第一硅片傳送帶120停止運(yùn)行，所述上吸盤301吸氣吸附住上方硅片，所述下吸盤302吸氣，吸附住下方硅片，上吸盤301在第一氣缸307的帶動下向上移動，硅片組分離；硅片組分離后，所述下吸盤302停止吸氣，所述娃片組中的下方娃片繼續(xù)被第一娃片傳送帶120傳送。
[0091]通過上下吸盤來將硅片組分離可以避免上下硅片在分離過程中出現(xiàn)摩擦而損壞硅片，因此本發(fā)明的硅片分片裝置可以實現(xiàn)硅片組在分離時不受磨損，有效保護(hù)了硅片。
[0092]請結(jié)合圖10及圖11，本發(fā)明實施例還提供了一種硅片裝卸系統(tǒng)，可以包括:石英舟101、旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)102、進(jìn)片豎向傳送帶103、第一花籃104、第二花籃105、第一升降裝置106、第二升降裝置(第二升降裝置在圖11中被第一升降裝置106遮擋，未示出)、升降傳送帶108、多條硅片傳送帶、圖14所示的硅片分片裝置109、第一翻片器110、第二翻片器
111、第一收片機(jī)構(gòu)112、第二收片機(jī)構(gòu)113、電控柜(圖中未示出)和石英舟夾具115，
[0093]所述石英舟101位于所述石英舟夾具115內(nèi)，所述石英舟夾具115與所述旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)102連接，所述旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)102帶動所述石英舟夾具115升降及旋轉(zhuǎn)；其中，石英舟夾具可以為不帶有圖1所示的硅片導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的傳統(tǒng)石英舟夾具。
[0094]所述第一花籃104與所述第一翻片器110第一端之間設(shè)置有第五硅片傳送帶116，所述第一升降裝置106與所述第一花籃104連接，帶動所述第一花籃104進(jìn)行升降，以使所述第一花籃104內(nèi)的硅片與所述第五硅片傳送帶116接觸；在硅片與第五硅片傳送帶116接觸后，硅片就可以被第五硅片傳送帶116傳送到第一翻片器110上進(jìn)行翻轉(zhuǎn)。
[0095]所述第二花籃105與所述升降傳送帶108之間設(shè)置有第二硅片傳送帶117，所述第二硅片傳送帶117通過所述升降傳送帶108將硅片傳送到所述第三硅片傳送帶118上，所述第二升降裝置與所述第二花籃105連接，帶動所述第二花籃105進(jìn)行升降，以使所述第二花籃105內(nèi)的硅片與所述第二硅片傳送帶117接觸；在硅片與第二硅片傳送帶117接觸后，硅片就可以被第二硅片傳送帶117傳送，第二硅片傳送帶117可以將硅片傳送到升降傳送帶108上。
[0096]所述第一翻片器110第二端與英舟夾具115內(nèi)的所述石英舟101之間設(shè)置第三硅片傳送帶118和第四硅片傳送帶119，與所述第一翻片器110第二端相鄰的為所述第三硅片傳送帶118，與所述石英舟101相鄰的為所述第四硅片傳送帶119 ;
[0097]所述升降傳送帶108與所述第三硅片傳送帶118相鄰，將所述升降傳送帶108上的硅片傳送到所述第三硅片傳送帶118上的硅片的上方進(jìn)行重疊，形成硅片組；
[0098]所述第三硅片傳送帶118將硅片組傳送到所述第四硅片傳送帶119上，所述第四硅片傳送帶119將硅片組傳送入所述石英舟101內(nèi)或?qū)⑺鍪⒅?01內(nèi)的硅片組傳送出所述石英舟101 ;
[0099]所述進(jìn)片豎向傳送帶103豎向設(shè)置，所述進(jìn)片豎向傳送帶103的一端固定，如圖22及圖23所示，在將所述硅片組傳送入所述石英舟101內(nèi)或?qū)⑺鍪⒅?01內(nèi)的硅片組傳送出所述石英舟101時，所述進(jìn)片豎向傳送帶103的另一端通過石英舟的所述端板孔伸入所述石英舟101內(nèi)，且所述進(jìn)片豎向傳送帶103的另一端的末端與所述第四硅片傳送帶119的處于上方的傳送帶處于同一平面且該平面與水平面平行，在硅片組被傳送入所述石英舟101內(nèi)或被傳送出所述石英舟101的過程中，所述進(jìn)片豎向傳送帶103的另一端的末端與硅片組底部接觸，對硅片組進(jìn)行支撐；
[0100]通過第一翻片器110和升降傳送帶108可以使得第一花籃104中的一個硅片和第二花籃105中的一個硅片背對背形成硅片組。該硅片組傳送入石英舟101內(nèi)后，旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)102帶動所述石英舟夾具115逆時針旋轉(zhuǎn)90度，并帶動石英舟夾具115升起放入擴(kuò)散爐對硅片組進(jìn)行擴(kuò)散工藝。
[0101]所述石英舟101與所述硅片分片裝置109間依次設(shè)置有所述第四硅片傳送帶119、第九硅片傳送帶124和第一硅片傳送帶120，所述第一硅片傳送帶120穿過所述硅片分片裝置109，所述硅片分片裝置109與所述第一收片機(jī)構(gòu)112間設(shè)置有第六硅片傳送帶121，所述第一硅片傳送帶120與所述第二翻片器111第一端間設(shè)置有第七硅片傳送帶122，所述第二翻片器111第二端與所述第二收片機(jī)構(gòu)113間設(shè)置有第八硅片傳送帶123 ;
[0102]所述第四硅片傳送帶119將所述石英舟101內(nèi)的硅片組傳送出所述石英舟101后，將所述硅片組傳送到所述第九硅片傳送帶124上，所述第九硅片傳送帶124將所述硅片組傳送到所述第一硅片傳送帶120上，所述硅片分片裝置109對所述第一硅片傳送帶120傳送來的硅片組進(jìn)行分片，將所述硅片組中的上方硅片置于所述第六硅片傳送帶121上，使所述硅片組中的下方硅片繼續(xù)在所述第一硅片傳送帶120上傳送，以傳送到所述第七硅片傳送帶122上；
[0103]所述第六硅片傳送帶121將硅片傳入所述第一收片機(jī)構(gòu)112，所述第八硅片傳送帶123將硅片硅片傳入所述第二收片機(jī)構(gòu)113 ;
[0104]在硅片組完成擴(kuò)散工藝后，旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)102帶動石英舟夾具115下降，并帶動石英舟夾具115順時針旋轉(zhuǎn)87度，使得石英舟中最下方的硅片組與第四硅片傳送帶119接觸。在第四硅片傳送帶119將最下方的硅片組進(jìn)行傳送后，旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)102繼續(xù)帶動石英舟夾具115下降，依次使剩余硅片組與第四硅片傳送帶119接觸，使得剩余硅片組依次被第四硅片傳送帶119傳送。
[0105]所述硅片分片裝置109對所述第一硅片傳送帶120傳送來的硅片組進(jìn)行分片后，硅片組中的兩個硅片分別在第六硅片傳送帶121和第一硅片傳送帶120上傳送，第二翻片器111將第七硅片傳送帶122傳送的硅片進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，這樣，最終落入第一收片機(jī)構(gòu)112和第二收片機(jī)構(gòu)113中的硅片的朝向就會相同。
[0106]所述電控柜的電器設(shè)施分別與旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)102、進(jìn)片豎向傳送帶103、第一升降裝置106、第二升降裝置、升降傳送帶108、各硅片傳送帶、硅片分片裝置109、第一翻片器110、第二翻片器111電性連接。
[0107]電控柜可以控制旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)102、進(jìn)片豎向傳送帶103、第一升降裝置106、第二升降裝置、升降傳送帶108、各硅片傳送帶、硅片分片裝置109、第一翻片器110、第二翻片器111的工作狀態(tài)，以實現(xiàn)上述工作過程。具體的控制方式本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)本發(fā)明已公開的內(nèi)容獲悉，方便起見，不再贅述。
[0108]本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的是，圖10及圖11所示系統(tǒng)中的各部件可以安裝在框架上，也可以安裝在安裝板或地板上。
[0109]可選的，請結(jié)合圖10及圖11，本發(fā)明實施例提供的另一種硅片裝卸系統(tǒng)中還可以包括:推片氣缸127，所述推片氣缸127設(shè)置在石英舟夾具115的一側(cè)，在將石英舟夾具115中的石英舟內(nèi)硅片組傳送出石英舟時，對石英舟進(jìn)行推送?？梢岳斫獾氖?，通過推片氣缸127可以加快硅片組傳送出石英舟的速度，保證硅片組可以高效的傳送出石英舟。
[0110]圖10及圖11所示實施例中的所述第一收片機(jī)構(gòu)112和所述第二收片機(jī)構(gòu)113相同，如圖12及圖13所示，所述第一收片機(jī)構(gòu)112和所述第二收片機(jī)構(gòu)113均可以包括:疊盒201、彈簧202、橫支撐板203、邊滑軌204、擋板205、第二氣缸206、導(dǎo)桿207、連板208和圍板209，
[0111]所述疊盒201包括疊盒底板及三個疊盒側(cè)板，所述疊盒201朝向相鄰的硅片傳送帶002的一側(cè)為開口，以接收相鄰的硅片傳送帶傳送的硅片001，所述疊盒底板與水平面呈第一銳角，所述疊盒底板的尺寸與硅片的尺寸相匹配，與所述開口相對的疊盒側(cè)板為矩形側(cè)板；
[0112]所述橫支撐板203上設(shè)置有通孔，所述通孔的孔徑小于所述彈簧202的外徑且大于所述導(dǎo)桿207的直徑；
[0113]所述疊盒201置于所述擋板205上，所述擋板205下表面與導(dǎo)桿207的一端固定連接，所述導(dǎo)桿207外側(cè)圍繞有所述彈簧202，所述導(dǎo)桿207的另一側(cè)穿過所述橫支撐板203與連板208固定連接，所述導(dǎo)桿207垂直于所述連板208，所述彈簧202位于所述擋板205與所述橫支撐板203之間，所述擋板205與水平面呈第一銳角，所述橫支撐板203水平設(shè)置；
[0114]所述橫支撐板203下表面固定設(shè)置有所述第二氣缸206，所述第二氣缸206的活塞桿末端朝向所述連板208，所述第二氣缸206的活塞桿可推動所述連板208并通過所述導(dǎo)桿207帶動所述擋板205向下移動，使所述疊盒201落于所述邊滑軌204上；
[0115]所述邊滑軌204傾斜設(shè)置，與水平面呈銳角，所述邊滑軌204設(shè)置在所述擋板205下方，且所述邊滑軌204設(shè)置在所述橫支撐板203上方，所述疊盒201可沿所述邊滑軌204向下滑動；
[0116]所述圍板209設(shè)置于所述矩形側(cè)板外側(cè)，以阻擋所述疊盒201向下滑動，所述圍板209的下端與所述邊滑軌204之間的垂直距離不小于所述疊盒201的高度。
[0117]這樣，當(dāng)收片機(jī)構(gòu)中的硅片較少時，受彈簧202彈力影響，疊盒201將保持一定的高度，保證硅片從硅片傳送帶上傳入收片機(jī)構(gòu)時的落差不會太大，避免造成硅片損壞。隨著收片機(jī)構(gòu)中硅片的增加，受重力影響，彈簧202被壓縮，疊盒201下降，在下降到一定程度后，第二氣缸206的活塞桿推動所述連板208并通過所述導(dǎo)桿207帶動所述擋板205向下移動，使所述疊盒201落于所述邊滑軌204上。由于疊盒201落于所述邊滑軌204上，因此圍板209不再阻擋所述疊盒201向下滑動，這樣，在重力的作用下，疊盒201沿邊滑軌204向下滑動，進(jìn)入疊盒倉中?？蛇x的，如圖25所示，還可以在疊盒201上放置備用疊盒210，這樣當(dāng)疊盒201裝載一定硅片并沿邊滑軌204向下滑動后，上方的備用疊盒210則依靠重力自動下落到擋板205上，從而實現(xiàn)連續(xù)裝片。
[0118]如圖10及圖11所示，本發(fā)明實施例提供的另一種硅片裝卸系統(tǒng)，還可以包括:第一硅片緩存裝置125和第二硅片緩存裝置126，第一硅片緩存裝置125和第二硅片緩存裝置126相同，所述第一硅片緩存裝置125套在所述第三硅片傳送帶118上，所述第二硅片緩存裝置126套在所述第九硅片傳送帶124上；
[0119]如圖15及圖16所示，所述第一硅片緩存裝置125和所述第二硅片緩存裝置126均可以包括:緩存驅(qū)動電機(jī)401、第二傳動機(jī)構(gòu)402和緩存箱403，所述緩存驅(qū)動電機(jī)401與所述第二傳動機(jī)構(gòu)402連接，所述第二傳動機(jī)構(gòu)402與所述緩存箱403連接，所述緩存驅(qū)動電機(jī)401經(jīng)所述第二傳動機(jī)構(gòu)402帶動所述緩存箱403上下運(yùn)動。圖16為圖15中緩存箱在A方向上的示意圖，如圖16所示，所述緩存箱403的兩個相對側(cè)板上均設(shè)置有滑槽；
[0120]所述第九硅片傳送帶124穿過所述第二硅片緩存裝置126的緩存箱，所述第三硅片傳送帶118穿過所述第一硅片緩存裝置125的緩存箱。
[0121]在實際硅片生產(chǎn)過程中，硅片組進(jìn)出石英舟(也即裝舟和卸舟)的速度比硅片疊片和分片的速度快，因此通過上述兩個硅片緩存裝置可以提高效率。具體過程如下:當(dāng)石英舟處于卸舟狀態(tài)，從花籃出來的硅片經(jīng)過疊片后，進(jìn)入緩存裝置，待石英舟處于裝舟狀態(tài)時，將疊好的硅片釋放，加快裝舟速度。卸舟時，第一組硅片(兩片)直接到達(dá)硅片分片裝置進(jìn)行分片，第二組進(jìn)入硅片緩存裝置，第三組再直接到達(dá)硅片分片裝置進(jìn)行分片，第四組進(jìn)入硅片緩存裝置……依次類推，在所有硅片組從石英舟卸出時，有50組已經(jīng)分片完成，50組存于硅片緩存裝置中。此后石英舟進(jìn)行裝舟工作，與此同時，卸舟緩存的硅片組不斷釋放，進(jìn)行分片。
[0122]如圖17所示，圖10及圖11所示實施例中的第一升降裝置106和第二升降裝置相同，均可以包括:花籃驅(qū)動電機(jī)501、KK模組502、第二滑塊503、連接板504和花籃定位板505，花籃驅(qū)動電機(jī)501與KK模組502連接，第二滑塊503設(shè)置在KK模組502上，花籃驅(qū)動電機(jī)501可以帶動第二滑塊503在KK模組502上滑動。花籃定位板505通過連接板504與第二滑塊503相連接。
[0123]通過花籃驅(qū)動電機(jī)501驅(qū)動，花籃定位板505與放在上面的花籃可上下運(yùn)動，當(dāng)花籃向下運(yùn)動時，放置在花籃里的硅片接觸到到硅片傳送帶，隨著硅片傳送帶的轉(zhuǎn)動，硅片被傳出花籃。
[0124]如圖18及圖19所示，上述圖10及圖11所示實施例中的第一翻片器和第二翻片器相同，均可以包括:翻片驅(qū)動電機(jī)601、中心軸602和翻板603，翻片驅(qū)動電機(jī)601與中心軸602固定連接，翻板603設(shè)置在所述中心軸602上。
[0125]硅片001從翻片器一側(cè)的硅片傳送帶傳入翻板404的槽中。驅(qū)動電機(jī)601驅(qū)動中心軸602轉(zhuǎn)動，從而驅(qū)動設(shè)置在中心軸602上的翻板603轉(zhuǎn)動。翻板603轉(zhuǎn)過180度時，硅片001從翻板603的一側(cè)轉(zhuǎn)到另一側(cè)并實現(xiàn)翻片(上下面對調(diào))。
[0126]如圖20及圖21所示，上述圖10及圖11所示實施例中的旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)102可以包括:平面軸承702、同步帶703、升降板704、滑塊705、同步帶輪706、旋轉(zhuǎn)電機(jī)707、絲桿螺母708、升降電機(jī)709、絲桿710、滑軌711和石英舟夾緊氣缸712，
[0127]平面軸承702設(shè)在升降板704上，平面軸承702的旋轉(zhuǎn)端與石英舟夾具115連接，旋轉(zhuǎn)電機(jī)707設(shè)在升降板704上并與同步帶輪706連接，帶動同步帶輪706轉(zhuǎn)動，通過同步帶輪706上的同步帶帶動平面軸承702轉(zhuǎn)動，進(jìn)而帶動英舟夾具115轉(zhuǎn)動。
[0128]升降板704通過滑塊705設(shè)于滑軌711上，升降電機(jī)709與絲桿710連接，絲桿710的絲桿螺母708安裝在升級板704上。升降電機(jī)709通過帶動絲桿710轉(zhuǎn)動，使得升級板704在絲桿螺母708作用下沿滑軌711進(jìn)行升降運(yùn)動，進(jìn)而帶動舟夾具115進(jìn)行升降運(yùn)動。
[0129]如圖22及圖23所示，上述圖10及圖11所示實施例中的進(jìn)片豎向傳送帶103可以包括:豎向驅(qū)動電機(jī)801、支撐主板803、進(jìn)片傳送帶804、帶輪805及主軸807，豎向驅(qū)動電機(jī)801與主軸807固定連接，通過主軸807帶動進(jìn)片傳送帶804在帶輪805上轉(zhuǎn)動，所述支撐主板803 —端固定，另一端與所述帶輪805連接，以支撐所述支撐主板803。
[0130]通過豎向傳送帶103的進(jìn)片傳送帶804的轉(zhuǎn)動就可以帶動與進(jìn)片傳送帶804接觸的硅片移動，并對硅片進(jìn)行支撐，防止硅片由于一側(cè)懸空破損。
[0131]如圖24所示，現(xiàn)有技術(shù)中沒有通過豎向傳送帶103支撐硅片001，則硅片001懸空的一側(cè)可能會因重力而發(fā)生彎曲，出現(xiàn)破損。而本發(fā)明的豎向傳送帶103可以對硅片進(jìn)行支撐，防止硅片由于一側(cè)懸空破損，保護(hù)了硅片。同時，在硅片從硅片傳送帶上傳送入石英舟時，隨著硅片進(jìn)入石英舟的部分增加，硅片與硅片傳送帶接觸的部分逐漸減少，使得硅片傳送帶對硅片的推進(jìn)力變小。這種情況下，本發(fā)明可以通過豎向傳送帶103繼續(xù)對硅片進(jìn)行推進(jìn)，保證了硅片進(jìn)入石英舟的效率。
[0132]需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。
[0133]本說明書中的各個實施例均采用相關(guān)的方式描述，各個實施例之間相同相似的部分互相參見即可，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處。
[0134]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并非用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種硅片分片裝置，其特征在于，第一硅片傳送帶穿過所述硅片分片裝置，所述硅片分片裝置包括:上吸盤、下吸盤、第一滑塊驅(qū)動電機(jī)、第一滑塊、第一傳動機(jī)構(gòu)、水平滑軌及第一氣缸， 所述第一滑塊驅(qū)動電機(jī)通過所述第一傳動機(jī)構(gòu)與所述第一滑塊連接，所述第一滑塊設(shè)置于所述水平滑軌上，所述第一滑塊驅(qū)動電機(jī)帶動所述第一滑塊在所述水平滑軌上滑動；所述第一滑塊下表面與所述第一氣缸固定連接，所述第一氣缸的活塞桿末端與所述上吸盤固定連接，所述第一氣缸驅(qū)動所述上吸盤上下移動； 所述下吸盤固定設(shè)置于所述第一硅片傳送帶的下側(cè)，以吸附所述第一硅片傳送帶傳送的硅片組的下方硅片； 在所述硅片分片裝置吸取所述硅片組中的上方硅片時，所述第一硅片傳送帶停止運(yùn)行，所述上吸盤吸氣吸附住上方硅片，所述下吸盤吸氣，吸附住下方硅片，所述上吸盤在所述第一氣缸的帶動下向上移動，所述硅片組分離；所述硅片組分離后，所述下吸盤停止吸氣，所述硅片組中的下方硅片繼續(xù)被所述第一硅片傳送帶傳送。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片分片裝置，其特征在于，所述第一傳送機(jī)構(gòu)和所述水平滑軌組成KK模組。3.—種硅片裝卸系統(tǒng)，其特征在于，包括:石英舟、旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)、進(jìn)片豎向傳送帶、第一花籃、第二花籃、第一升降裝置、第二升降裝置、升降傳送帶、多條硅片傳送帶、第一翻片器、第二翻片器、第一收片機(jī)構(gòu)、第二收片機(jī)構(gòu)、電控柜、石英舟夾具和權(quán)利要求1或2所述的硅片分片裝置， 所述石英舟位于所述石英舟夾具內(nèi)，所述石英舟夾具與所述旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)連接，所述旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)帶動所述石英舟夾具升降及旋轉(zhuǎn)； 所述第一花籃與所述第一翻片器第一端之間設(shè)置有第五硅片傳送帶，所述第一升降裝置與所述第一花籃連接，帶動所述第一花籃進(jìn)行升降，以使所述第一花籃內(nèi)的硅片與所述第五硅片傳送帶接觸；所述第二花籃與所述升降傳送帶之間設(shè)置有第二硅片傳送帶，所述第二硅片傳送帶通過所述升降傳送帶將硅片傳送到所述第三硅片傳送帶上，所述第二升降裝置與所述第二花籃連接，帶動所述第二花籃進(jìn)行升降，以使所述第二花籃內(nèi)的硅片與所述第二硅片傳送帶接觸； 所述第一翻片器第二端與所述石英舟之間設(shè)置第三硅片傳送帶和第四硅片傳送帶，與所述第一翻片器第二端相鄰的為所述第三硅片傳送帶，與所述石英舟相鄰的為所述第四硅片傳送帶； 所述升降傳送帶與所述第三硅片傳送帶相鄰，將所述升降傳送帶上的硅片傳送到所述第三硅片傳送帶上的硅片的上方進(jìn)行重疊，形成硅片組； 所述第三硅片傳送帶將硅片組傳送到所述第四硅片傳送帶上，所述第四硅片傳送帶將硅片組傳送入所述石英舟內(nèi)或?qū)⑺鍪⒅蹆?nèi)的硅片組傳送出所述石英舟； 所述進(jìn)片豎向傳送帶豎向設(shè)置，所述進(jìn)片豎向傳送帶的一端固定，在將所述硅片組傳送入所述石英舟內(nèi)或?qū)⑺鍪⒅蹆?nèi)的硅片組傳送出所述石英舟時，所述進(jìn)片豎向傳送帶的另一端通過所述端板孔伸入所述石英舟內(nèi)，且所述進(jìn)片豎向傳送帶的另一端的末端與所述第四硅片傳送帶的處于上方的傳送帶處于同一平面且該平面與水平面平行，在硅片組被傳送入所述石英舟內(nèi)或被傳送出所述石英舟的過程中，所述進(jìn)片豎向傳送帶的另一端的末端與硅片組底部接觸，對硅片組進(jìn)行支撐； 所述石英舟與所述硅片分片裝置間依次設(shè)置有所述第四硅片傳送帶、第九硅片傳送帶和第一硅片傳送帶，所述第一硅片傳送帶穿過所述硅片分片裝置，所述硅片分片裝置與所述第一收片機(jī)構(gòu)間設(shè)置有第六硅片傳送帶，所述第一硅片傳送帶與所述第二翻片器第一端間設(shè)置有第七硅片傳送帶，所述第二翻片器第二端與所述第二收片機(jī)構(gòu)間設(shè)置有第八硅片傳送帶； 所述第四硅片傳送帶將所述石英舟內(nèi)的硅片組傳送出所述石英舟后，將所述硅片組傳送到所述第九硅片傳送帶上，所述第九硅片傳送帶將所述硅片組傳送到所述第一硅片傳送帶上，所述硅片分片裝置對所述第一硅片傳送帶傳送來的硅片組進(jìn)行分片，將所述硅片組中的上方硅片置于所述第六硅片傳送帶上，使所述硅片組中的下方硅片繼續(xù)在所述第一硅片傳送帶上傳送； 所述第六硅片傳送帶將硅片傳入所述第一收片機(jī)構(gòu)，所述第八硅片傳送帶將硅片硅片傳入所述第二收片機(jī)構(gòu)； 所述電控柜的電器設(shè)施分別與旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)、進(jìn)片豎向傳送帶、第一升降裝置、第二升降裝置、升降傳送帶、各硅片傳送帶、硅片分片裝置、第一翻片器、第二翻片器電性連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一收片機(jī)構(gòu)和所述第二收片機(jī)構(gòu)相同，所述第一收片機(jī)構(gòu)和所述第二收片機(jī)構(gòu)均包括:疊盒、彈簧、橫支撐板、邊滑軌、擋板、第二氣缸、導(dǎo)桿、連板和圍板， 所述疊盒包括疊盒底板及三個疊盒側(cè)板，所述疊盒朝向相鄰的硅片傳送帶的一側(cè)為開口，以接收相鄰的硅片傳送帶傳送的硅片，所述疊盒底板與水平面呈第一銳角，所述疊盒底板的尺寸與硅片的尺寸相匹配，與所述開口相對的疊盒側(cè)板為矩形側(cè)板； 所述橫支撐板上設(shè)置有通孔，所述通孔的孔徑小于所述彈簧的外徑且大于所述導(dǎo)桿的直徑； 所述疊盒置于所述擋板上，所述擋板下表面與所述導(dǎo)桿的一端固定連接，所述導(dǎo)桿外側(cè)圍繞有所述彈簧，所述導(dǎo)桿的另一側(cè)穿過所述橫支撐板與所述連板固定連接，所述導(dǎo)桿垂直于所述連板，所述彈簧位于所述擋板與所述橫支撐板之間，所述擋板與水平面呈第一銳角，所述橫支撐板水平設(shè)置； 所述橫支撐板下表面固定設(shè)置有所述第二氣缸，所述第二氣缸的活塞桿末端朝向所述連板，所述第二氣缸的活塞桿可推動所述連板并通過所述導(dǎo)桿帶動所述擋板向下移動，使所述疊盒落于所述邊滑軌上； 所述邊滑軌傾斜設(shè)置，與水平面呈銳角，所述邊滑軌設(shè)置在所述擋板下方，且所述邊滑軌設(shè)置在所述橫支撐板上方，所述疊盒可沿所述邊滑軌向下滑動； 所述圍板設(shè)置于所述矩形側(cè)板外側(cè)，以阻擋所述疊盒向下滑動，所述圍板的下端與所述邊滑軌之間的垂直距離不小于所述疊盒的高度。5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括:第一硅片緩存裝置和第二硅片緩存裝置，所述第一硅片緩存裝置和所述第二硅片緩存裝置相同，所述第一硅片緩存裝置套在所述第三硅片傳送帶上，所述第二硅片緩存裝置套在所述第九硅片傳送帶上； 所述第一硅片緩存裝置和所述第二硅片緩存裝置均包括:緩存驅(qū)動電機(jī)、第二傳動機(jī)構(gòu)和緩存箱，所述緩存驅(qū)動電機(jī)與所述第二傳動機(jī)構(gòu)連接，所述第二傳動機(jī)構(gòu)與所述緩存箱連接，所述緩存驅(qū)動電機(jī)經(jīng)所述第二傳動機(jī)構(gòu)帶動所述緩存箱上下運(yùn)動，所述緩存箱的兩個相對側(cè)板上均設(shè)置有滑槽； 所述第九硅片傳送帶穿過所述第二硅片緩存裝置的緩存箱，所述第三硅片傳送帶穿過所述第一硅片緩存裝置的緩存箱。6.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述進(jìn)片豎向傳送帶包括:豎向驅(qū)動電機(jī)、支撐主板、進(jìn)片傳送帶、帶輪及主軸，所述豎向驅(qū)動電機(jī)與所述主軸固定連接，通過所述主軸帶動所述進(jìn)片傳送帶在所述帶輪上轉(zhuǎn)動，所述支撐主板一端固定，另一端與所述帶輪連接，以支撐所述支撐主板。7.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一升降裝置和所述第二升降裝置相同，均包括:花籃驅(qū)動電機(jī)、KK模組、第二滑塊、連接板和花籃定位板，所述花籃驅(qū)動電機(jī)與所述KK模組連接，所述第二滑塊設(shè)置在所述KK模組上，所述花籃驅(qū)動電機(jī)帶動所述第二滑塊在所述KK模組上滑動，所述花籃定位板通過所述連接板與所述第二滑塊相連接。8.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一翻片器和所述第二翻片器相同，均包括:翻片驅(qū)動電機(jī)、中心軸和翻板，所述翻片驅(qū)動電機(jī)與所述中心軸固定連接，所述翻板設(shè)置在所述中心軸上。9.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)包括:平面軸承、同步帶、升降板、滑塊、同步帶輪、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、絲桿螺母、升降電機(jī)、絲桿、滑軌和石英舟夾緊氣缸， 所述平面軸承設(shè)在所述升降板上，所述平面軸承的旋轉(zhuǎn)端與所述石英舟夾具連接，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)設(shè)在所述升降板上并與所述同步帶輪連接，帶動所述同步帶輪轉(zhuǎn)動，通過所述同步帶輪上的同步帶帶動所述平面軸承轉(zhuǎn)動，進(jìn)而帶動所述英舟夾具轉(zhuǎn)動，所述升降板通過所述滑塊設(shè)于所述滑軌上，所述升降電機(jī)與所述絲桿連接，所述絲桿的絲桿螺母安裝在所述升級板上，所述升降電機(jī)通過帶動所述絲桿轉(zhuǎn)動，使得所述升級板在所述絲桿螺母作用下沿所述滑軌進(jìn)行升降運(yùn)動，進(jìn)而帶所述動舟夾具進(jìn)行升降運(yùn)動。10.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括:推片氣缸，所述推片氣缸設(shè)置在所述石英舟夾具的一側(cè)。
【文檔編號】H01L21/67GK105845598SQ201510021848
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2015年1月15日
【發(fā)明人】李伯平, 陳位, 江正平
【申請人】南京華伯儀器科技有限公司