是表示顯示于信息處理裝置801的確認(rèn)用畫面1000的圖。圖10的(b)是表示第一攝像機(jī)601?第三攝像機(jī)603的攝像視角以及確認(rèn)用畫面1000上的顯示區(qū)域的圖。
[0084]在圖1O的(b)中，第一攝像機(jī)601的攝像視角為1001，第二攝像機(jī)602的攝像視角為1002，第三攝像機(jī)603的攝像視角為1003。
[0085]測量處理裝置800在測量切割寬度和間隙寬度時(shí)使用的并不是這些視角的全部攝像圖像，而是從攝像圖像中提取出的一部分圖像。以第一攝像機(jī)601為例，在測量中使用視角1001中的沿著晶圓W的邊界進(jìn)行位置調(diào)整后的1001a、1001b、1001c、1001d以及10le這五個(gè)區(qū)域的提取出的攝像圖像。提取出的攝像圖像的尺寸例如為320X240像素。第二攝像機(jī)602和第三攝像機(jī)603也使用相同的圖像。
[0086]并且，在本實(shí)施方式中，如后述那樣，針對攝像視角1001?1003中的各攝像視角，分別在第一攝像條件和第二攝像條件下獲取兩個(gè)攝像圖像。
[0087]在圖10的(a)中，顯示窗口1004是用于顯示在第一攝像條件下得到的、從五個(gè)區(qū)域10la?10le中的某一個(gè)區(qū)域中提取出的攝像圖像(圖像I)的區(qū)域。同樣地，顯示窗口 1005是用于顯示在第二攝像條件下得到的提取出的攝像圖像(圖像2)的區(qū)域。使用者使用操作部804所具備的例如鼠標(biāo)并利用光標(biāo)在顯示窗口上進(jìn)行點(diǎn)擊，由此能夠依次切換要顯示五個(gè)區(qū)域10la?10le中的哪個(gè)區(qū)域的提取攝像圖像。
[0088]為了選擇將哪個(gè)攝像機(jī)的圖像顯示于顯示窗口1004，在操作區(qū)域1006中配置有圖標(biāo)1007?1009。當(dāng)使用者使用操作部804的鼠標(biāo)使光標(biāo)移動并點(diǎn)擊某個(gè)圖標(biāo)來進(jìn)行選擇時(shí)，將與所選擇的圖標(biāo)對應(yīng)的攝像機(jī)的提取出的攝像圖像顯示在顯示窗口 1004中。操作區(qū)域1010和圖標(biāo)1011?1013也具有相同的功能，將選擇結(jié)果反映在顯示窗口 1005中。
[0089]即使在測量處理裝置800不計(jì)算切割寬度、間隙寬度的期間，各攝像機(jī)601?603也進(jìn)行動作，例如以5幀/秒的頻率進(jìn)行拍攝，并將攝像圖像發(fā)送到測量處理裝置800。測量處理裝置800基于所接收到的攝像圖像來更新確認(rèn)用畫面1000并發(fā)送到信息處理裝置801，因此使用者能夠?qū)崟r(shí)地從視覺上確認(rèn)當(dāng)前的晶圓W的攝像狀況。在本實(shí)施方式中，通過操作部804所具備的開始按鈕來決定開始測量動作的定時(shí)，但是，也可以設(shè)計(jì)為:在確認(rèn)用畫面1000上顯示開始按鈕，當(dāng)點(diǎn)擊該按鈕時(shí)開始進(jìn)行測量動作。
[0090]〈測量動作〉
[0091]接著，使用圖11的流程圖來說明本實(shí)施方式的各裝置協(xié)作地進(jìn)行的測量切割寬度和間隙寬度的測量動作。通過由測量處理裝置800的CPU 802執(zhí)行存儲部803中存儲的測量處理程序來實(shí)現(xiàn)本流程圖中的測量動作。
[0092]在開始本流程圖所示的測量動作之前，基板處理系統(tǒng)100轉(zhuǎn)變?yōu)榫S護(hù)模式，進(jìn)行用于測量的準(zhǔn)備。在維護(hù)模式中，各基板處理裝置110和基板處理裝置111不按照通常的制程對晶圓W進(jìn)行處理。另一方面，能夠自動或手動地進(jìn)行使晶圓W在各裝置內(nèi)移動和保持晶圓W的動作、使晶圓W在基板處理系統(tǒng)100內(nèi)移動的動作。
[0093]基板處理系統(tǒng)100的使用者通過對操作面板117進(jìn)行操作來將系統(tǒng)變更為維護(hù)模式。然后，打開基板處理裝置111的維護(hù)面板118，將測量用工具600以圖7所示的方式設(shè)置于處理室內(nèi)的基板處理裝置ill。在此，使用者將未圖示的標(biāo)度晶圓(日語:只少一 yy夕''夕工八)放置在圖3中放置晶圓W的位置處。標(biāo)度晶圓用于測量由攝像機(jī)得到的攝像圖像的像素?cái)?shù)與晶圓W在所放置的平面上的長度[mm]之間的對應(yīng)關(guān)系。在標(biāo)度晶圓上例如標(biāo)注有表示Imm寬度的刻度、構(gòu)造等。在放置了標(biāo)度晶圓之后，使用者關(guān)閉維護(hù)面板118。使用者將測量用工具600、測量處理裝置800以及信息處理裝置801分別連接后進(jìn)行啟動，使成為能夠測量的狀態(tài)，由此初步準(zhǔn)備結(jié)束。然后，通過由測量處理裝置的操作部804發(fā)出指示來開始測量動作。
[0094]首先，使用放置于基板處理裝置111的晶圓W的保持位置的標(biāo)度晶圓進(jìn)行標(biāo)度處理(步驟S1101)。具體地說，測量處理裝置800的CPU 802控制測量用工具600的第一攝像機(jī)601使其拍攝放置于基板處理裝置111的晶圓W的保持位置的標(biāo)度晶圓。將所得到的攝像圖像從第一攝像機(jī)601經(jīng)由線纜611、I/F部805發(fā)送到存儲部803并存儲。CPU 802通過圖像分析來判定在攝像圖像中表示Imm寬度的刻度相當(dāng)于幾個(gè)像素。例如，如果刻度是黑色的，則能夠通過檢查黑色的行像素的間隔來判斷像素?cái)?shù)。在此，CPU 802判斷為像素?cái)?shù)為20，將“標(biāo)度值”=20像素/mm這樣的值存儲于存儲部803。當(dāng)以上的動作結(jié)束后，基板處理系統(tǒng)100的控制部116使升降銷板319上升，通過輸送機(jī)構(gòu)113將標(biāo)度晶圓從基板處理裝置111搬出并保管于規(guī)定的保管場所。
[0095]接著，基板處理系統(tǒng)100的控制部116控制輸送機(jī)構(gòu)113使其將作為用于測量切割寬度的對象的晶圓W搬入到基板處理裝置111(步驟S1102)。在本實(shí)施方式中，事先將晶圓W載置于載體載置部101，輸送機(jī)構(gòu)113首先將經(jīng)由交接部103搬入的晶圓W搬入到基板處理裝置110。然后，在基板處理裝置110中進(jìn)行了周緣部的處理膜去除之后，輸送機(jī)構(gòu)113將晶圓W從基板處理裝置110取出并搬入到基板處理裝置111。控制部116響應(yīng)使用者在操作面板117上進(jìn)行操作而輸入的搬入指示來開始輸送動作，但是也可以響應(yīng)經(jīng)由I/F部806從測量處理裝置800的CPU 802接受的步驟SI 101的結(jié)束指示來開始動作。在將晶圓W搬入到基板處理裝置111之后，升降銷板319上升，將晶圓W從輸送機(jī)構(gòu)113的晶圓保持臂114交接到升降銷板319的升降銷319a。然后，升降銷板319保持著所接受的晶圓W并下降，將晶圓W交接到支承銷312，并返回到原來的位置。當(dāng)一系列動作完成時(shí)，升降銷板319成為圖3所示的配置狀態(tài)，第一攝像機(jī)601、基板處理裝置111以及晶圓W的配置關(guān)系為成圖9所示的狀態(tài)。
[0096]在放置晶圓W之后，對晶圓W進(jìn)行第一攝像條件下的攝像(步驟S1103)。在此，首先，測量處理裝置800的CPU 802對各攝像機(jī)601?603發(fā)送控制指示使各攝像機(jī)601?603在第一攝像條件下進(jìn)行攝像動作。接收到控制指示的各攝像機(jī)601?603的攝像控制部908按照所接收到的控制指示來控制攝像傳感器906和光源907，使之在第一攝像條件下進(jìn)行拍攝。攝像控制部908將通過攝像傳感器906的攝像得到的信號變換為一幀的亮度信號的攝像圖像并發(fā)送給測量處理裝置800。將被傳送到測量處理裝置800的攝像圖像存儲于存儲部803。在此，在后文中敘述第一攝像條件的內(nèi)容和實(shí)際的攝像圖像的狀態(tài)。
[0097]在進(jìn)行第一攝像條件下的攝像之后，接著對晶圓W進(jìn)行第二攝像條件下的攝像(步驟S1104)。此處的動作與步驟S1103相同，在后文中敘述該第二攝像條件的內(nèi)容和實(shí)際的攝像圖像的狀態(tài)。
[0098]在進(jìn)行了第一攝像條件下的攝像和第二攝像條件下的攝像之后，測量處理裝置800的CPU 802對存儲部803中存儲的基于第一攝像條件的第一攝像圖像和基于第二攝像條件的第二攝像圖像進(jìn)行分析處理，獲得切割寬度和間隙寬度來作為測量結(jié)果(步驟S1105)。在后文中敘述圖像分析處理的詳細(xì)內(nèi)容。
[0099]當(dāng)測量處理結(jié)束后，測量處理裝置800的CPU 802顯示測量結(jié)果(步驟S1106)。在本實(shí)施方式中，CPU 802生成包含基于第一攝像條件的第一攝像圖像、基于第二攝像條件的第二攝像圖像、切割寬度以及間隙寬度的信息的顯示畫面，并將生成的顯示畫面經(jīng)由I/F部806發(fā)送到信息處理裝置801。此外，將第一攝像圖像和第二攝像圖像本身也一并發(fā)送到信息處理裝置801。信息處理裝置801基于所接收到的顯示畫面，在顯示部中以圖10示出的方式進(jìn)行畫面顯示，并且將接收到的第一攝像圖像和第二攝像圖像存儲于未圖示的存儲部。
[0100]當(dāng)顯示了測量結(jié)果后，升降銷板319上升來將晶圓W從下表面支承并交接到晶圓保持臂114。輸送機(jī)構(gòu)113將晶圓W從基板處理裝置111搬出。被搬出晶圓W后的基板借助交接部103返回到載體載置部101(步驟S1107)?？刂撇?16響應(yīng)使用者在操作面板117上進(jìn)行操作而輸入的搬出指示來開始本步驟的輸送動作，但是也可以不通過使用者的指示而自動地進(jìn)行輸送動作。例如，也可以是，在測量處理裝置800執(zhí)行步驟SI 104?SI 106中的某一步驟的定時(shí)向控制部116進(jìn)行通知，控制部116接受該通知而相應(yīng)地執(zhí)行步驟S1107。
[0101]以上是本實(shí)施方式的針對一個(gè)晶圓W的測量動作，針對載置于載體載置部101的下一個(gè)晶圓W重復(fù)進(jìn)行相同的動作。
[0102]〈攝像動作和圖像分析處理〉
[0103]接著，說明步驟S1103?S1105中的攝像動作和圖像分析處理的詳細(xì)內(nèi)容。
[0104]在本實(shí)施方式中測量的信息是晶圓W的切割寬度和晶圓W的周緣部的端部與包圍構(gòu)件302之間的間隙寬度。若參照圖9的關(guān)系，則能夠通過以下的計(jì)算式(I)和(2)分別計(jì)算這些值。
[0105]式(I)
[0106].切割寬度[mm]=切割面區(qū)域902的寬度[mm]+圓弧區(qū)域903的寬度[mm]在此，
[0107].切割面區(qū)域902的寬度[mm] =(切割面邊界910的位置[像素]-處理膜邊界909的位置[像素])/標(biāo)度值[像素/_ ]
[0108]?圓弧區(qū)域903的寬度[mm]=(晶圓周緣端911的位置[像素]-切割面邊界910的位置[像素])/標(biāo)度值[像素/mm]
[0109]式(2)
[0110].間隙寬度[mm]=間隙區(qū)域904的寬度[mm]=(包圍構(gòu)件邊界912的位置[像素]-晶圓周緣端911的位置[像素])/標(biāo)度值[像素/mm]
[0111]在以上的式(I)和式(2)中，“位置[像素]”是指從提取圖像的視角左端起的橫向的像素?cái)?shù)的計(jì)數(shù)值。在本實(shí)施方式中，提取圖像的橫向的像素?cái)?shù)是320個(gè)，因此，作為“位置[像素]”，能夠取I?320中的值。
[0112]在本實(shí)施方式中，如圖10的(b)示出的那樣，從一個(gè)攝像圖像中提取出五個(gè)區(qū)域來分別求出切割寬度和間隙寬度，將它們的平均值設(shè)為各個(gè)區(qū)域的最終的切割寬度值、間隙寬度。
[0113]如式(I)和式(2)那樣，為了計(jì)算切割寬度和間隙寬度，需要根據(jù)攝像圖像的像素的亮度水平的變化量(亮度邊緣量)來確定(a)切割面邊界910的位置、(b)處理膜邊界909的位置、(c)晶圓周緣端911的位置以及(d)包圍構(gòu)件邊界912的位置這四個(gè)邊界位置。在此，能夠使用根據(jù)相鄰像素間的亮度值的差絕對值求出峰值的方法、對圖像應(yīng)用公知的邊緣濾波的方法來求出亮度邊緣量。
[0114]本實(shí)施方式的晶圓W和基板處理裝置的各區(qū)域901?905具有其材質(zhì)特有的反射特性、其構(gòu)造特有的反射特性。在從光源907射入了同一照度的照射光的情況下，例如，由于材質(zhì)不同，切割面區(qū)域902的反射光水平(明亮的灰色)比處理膜區(qū)域901的反射光水平(灰色)高。另一方面，雖然切割面區(qū)域902與圓弧區(qū)域903材質(zhì)相同，但是圓弧區(qū)域903是傾斜的，因此向攝像傳感器906的方向反射的反射光水平低(接近黑色)。另外，同樣地，包圍構(gòu)件區(qū)域905也是傾斜的，因此反射光水平低(接近黑色)。關(guān)于間隙區(qū)域904，由于反射面是底面，因此發(fā)生衰減，但是具有一定程度的反射光水平(接近黑色的灰色)。
[0115]因而，結(jié)果是，由攝像傳感器906接收到的反射光水平按