狀的形狀。
[0051]如圖2至圖4所示，包圍構(gòu)件302設(shè)置為在晶圓W的周緣外側(cè)將晶圓W的周緣部遍及整周地圍繞。另外，包圍構(gòu)件302設(shè)置為能夠旋轉(zhuǎn)，并從下方支承晶圓W。如圖3所示，包圍構(gòu)件302將對(duì)晶圓W進(jìn)行處理后的處理液引導(dǎo)至排液杯307。另外，包圍構(gòu)件302具有支承銷312。支承銷312設(shè)置為從包圍構(gòu)件302的下端向周緣內(nèi)側(cè)突出。支承銷312用于載置晶圓W的周緣部。而且，支承銷312是通過將晶圓W的周緣部載置于支承銷312來從下方支承晶圓W的周緣部的構(gòu)件。另外，如圖4所示，沿著晶圓W的圓周方向大致等間隔地設(shè)置有多個(gè)(在本實(shí)施方式中為12個(gè))支承銷312。另外，在本實(shí)施方式中，包圍構(gòu)件302具有支承銷312，但是也可以取而代之地使底板310具有從下方支承晶圓W的支承銷。
[0052]旋轉(zhuǎn)杯303用于防止被供給到晶圓W的下表面?zhèn)惹覐男D(zhuǎn)的晶圓W向外周側(cè)飛散的處理液濺起后再次返回到晶圓W。另外，旋轉(zhuǎn)杯303還用于使從旋轉(zhuǎn)的晶圓W向外周側(cè)飛散的處理液不會(huì)繞到晶圓W的上表面?zhèn)取?br>[0053]如圖5所示，底板310、包圍構(gòu)件302以及旋轉(zhuǎn)杯303通過在以貫穿它們的方式形成的孔313中嵌入接合構(gòu)件314而緊固連接。由此，底板310、包圍構(gòu)件302以及旋轉(zhuǎn)杯303被設(shè)置為能夠一體旋轉(zhuǎn)。
[0054]在圖3中，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部304具有帶輪316、驅(qū)動(dòng)帶315以及電動(dòng)機(jī)317。帶輪316配置于旋轉(zhuǎn)軸311的下方側(cè)的周緣外側(cè)。驅(qū)動(dòng)帶315卷繞在帶輪316上。電動(dòng)機(jī)317與驅(qū)動(dòng)帶315連結(jié)，通過向驅(qū)動(dòng)帶315傳遞旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力來使旋轉(zhuǎn)軸311經(jīng)由帶輪316旋轉(zhuǎn)。即，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部304通過使旋轉(zhuǎn)軸311旋轉(zhuǎn)來使底板310、包圍構(gòu)件302以及旋轉(zhuǎn)杯303旋轉(zhuǎn)。此外，在旋轉(zhuǎn)軸311的周緣外側(cè)配置有軸承318。
[0055]基板升降構(gòu)件305能夠升降地設(shè)置在底板310的孔310a和旋轉(zhuǎn)軸311的孔311a內(nèi)，該基板升降構(gòu)件305具有升降銷板319和升降軸320。升降銷板319在周緣處具有多個(gè)、例如三個(gè)升降銷319a。升降軸320從升降銷板319向下方延伸。升降銷板319和升降軸320在中心處設(shè)置有處理液供給機(jī)構(gòu)306。另外，在升降軸320的下端連接有氣缸機(jī)構(gòu)320a，通過該氣缸機(jī)構(gòu)320a使基板升降構(gòu)件305升高和降低，由此使晶圓W升高和降低來進(jìn)行晶圓W的裝載和卸載。
[0056]處理液供給機(jī)構(gòu)306具有處理液供給管321。處理液供給管321以在上下方向上延伸的方式設(shè)置在升降銷板319和升降軸320的內(nèi)部(中空空間內(nèi))。處理液供給管321將從處理液配管群322的各配管供給的處理液引導(dǎo)至晶圓W的下表面?zhèn)?。即，處理液供給管321向晶圓W的下表面供給處理液。處理液供給管321與形成于升降銷板319的上表面的處理液供給口 321a連通。
[0057]排氣排液部(杯)307具有排液杯323、排液管324、排氣杯325以及排氣管326。另外，排氣排液部(杯)307在上表面設(shè)置有開口。排氣排液部(杯)307主要用于回收從由旋轉(zhuǎn)板301和旋轉(zhuǎn)杯303圍成的空間排出的氣體和液體。
[0058]排液杯323接受由旋轉(zhuǎn)杯303引導(dǎo)來的處理液。排液管324與排液杯323的底部的最外側(cè)部分連接，使由排液杯323接受的處理液經(jīng)過未圖示的排液配管群中的某個(gè)配管后排出。排氣杯325以與排液杯323連通的方式設(shè)置于排液杯323的外側(cè)或下方。在圖3中，示出了排氣杯325以與排液杯323連通的方式設(shè)置于排液杯323的周緣內(nèi)側(cè)及下方的例子。排氣管326與排氣杯325的底部的最外側(cè)部分連接，使排氣杯325內(nèi)的氮?dú)獾葰怏w經(jīng)過未圖示的排氣配管群中的某個(gè)配管后排出。
[0059]〈測(cè)量用工具〉
[0060]使用圖6來說明在本實(shí)施方式中使用的測(cè)量用工具的形狀。圖6的(a)是從上方觀察測(cè)量用工具600的情況下的立體圖。圖6的(b)是從下方觀察測(cè)量用工具600的情況下的立體圖。
[0061]如圖6的(a)所示，測(cè)量用工具600具備第一攝像機(jī)601、第二攝像機(jī)602以及第三攝像機(jī)603。第一攝像機(jī)601?第三攝像機(jī)603均用于拍攝晶圓W的周緣部。
[0062]設(shè)置臺(tái)604是具有正面604a和背面604b的半圓狀的構(gòu)件。在正面604a的上方，經(jīng)由連接部等固定有第一攝像機(jī)601?第三攝像機(jī)603。如圖6的(b)所示，背面604b成為用于設(shè)置于基板處理裝置111的排氣排液部(杯)307的上表面的設(shè)置面。
[0063]第一支承構(gòu)件605通過將第一攝像機(jī)601搭載于其上表面來支承第一攝像機(jī)601，如圖6的(b)所示，在與攝像機(jī)的攝像傳感器、光源相應(yīng)的位置處具有開口 605a。
[0064]第一連接構(gòu)件606用于將第一支承構(gòu)件605與設(shè)置臺(tái)604相連接，如后述那樣，設(shè)為從設(shè)置臺(tái)604的上表面起到第一支承構(gòu)件605的背面為止的間隔具有規(guī)定的高度Hl(參照?qǐng)D7的(b))，使得即使在設(shè)置后也能夠搬入搬出晶圓W。第二攝像機(jī)602和第三攝像機(jī)603也同樣地分別具有第二支承構(gòu)件607和第二連接構(gòu)件608、第三支承構(gòu)件609和第三連接構(gòu)件610、開口 607a 和開口 609a。
[0065]第一攝像機(jī)601?第三攝像機(jī)603具備用于從外部接收攝像動(dòng)作的控制信號(hào)、向外部發(fā)送所拍攝到的圖像的第一線纜611?第三線纜613。雖然在圖6中進(jìn)行了省略，但這些線纜與后述的測(cè)量處理裝置800相連接。
[0066]使用圖7來說明將測(cè)量用工具600設(shè)置于基板處理裝置111后的狀態(tài)。圖7的(a)是從上方觀察測(cè)量用工具600設(shè)置于基板處理裝置111的狀態(tài)而得到的俯視圖，圖7的(b)是從側(cè)面觀察測(cè)量用工具600設(shè)置于基板處理裝置111的狀態(tài)而得到的側(cè)視圖。
[0067]如圖7的(a)所示，在正確地設(shè)置了測(cè)量用工具600的情況下，第一攝像機(jī)601?第三攝像機(jī)603沿著晶圓W的周緣方向配置，而且位于基板處理裝置111的排氣排液部(杯)307的內(nèi)周端的上方。在此，包圍構(gòu)件302的內(nèi)緣端部相比排氣排液部(杯)307的內(nèi)周端而言向內(nèi)側(cè)稍微伸出。因而，雖然在圖中未示出，但從上方不僅能夠拍攝支承銷312，還能夠拍攝包圍構(gòu)件302的內(nèi)緣端部。
[0068]如圖7的(b)所示，測(cè)量用工具600設(shè)置于基板處理裝置111的排氣排液部(杯)307的上表面。從排氣排液部(杯)307的上表面起到晶圓W的上表面為止的距離也已被決定，因此從各攝像機(jī)的攝像傳感器起到晶圓W為止的距離是固定的。
[0069]在設(shè)置測(cè)量用工具600時(shí)，系統(tǒng)的使用者使用未圖示的安裝用工具來固定測(cè)量用工具600，使得測(cè)量用工具600即使在進(jìn)行測(cè)量的過程中也不會(huì)相對(duì)于排氣排液部(杯)307的上表面移動(dòng)。
[0070]〈測(cè)量處理系統(tǒng)〉
[0071]使用圖8來說明本實(shí)施方式的測(cè)量系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)。本系統(tǒng)包括測(cè)量用工具600、測(cè)量處理裝置800以及信息處理裝置801。
[0072]測(cè)量處理裝置800用于對(duì)由測(cè)量用工具600得到的攝像圖像進(jìn)行處理來測(cè)量后述的切割寬度、間隙寬度等。測(cè)量處理裝置800在其殼體內(nèi)具有CPU802、存儲(chǔ)部803、操作部804、I/F 部805 以及 I/F 部806。
[0073]CPU 802控制測(cè)量處理裝置800的各模塊，并且控制測(cè)量用工具600的各攝像機(jī)601?603的動(dòng)作。另外，通過執(zhí)行后述的測(cè)量處理程序來進(jìn)行切割寬度、間隙寬度的計(jì)算、確認(rèn)用畫面的生成。
[0074]存儲(chǔ)部803存儲(chǔ)由CPU802執(zhí)行的后述的測(cè)量處理程序。另外，暫時(shí)存儲(chǔ)從各攝像機(jī)601?603接收到的攝像圖像，存儲(chǔ)由CPU 802計(jì)算出的測(cè)量結(jié)果。操作部804用于供使用者輸入對(duì)后述的確認(rèn)用畫面進(jìn)行的選擇動(dòng)作、測(cè)量處理的執(zhí)行指示等。
[0075]I/F(接口)部805是與各攝像機(jī)601?603的線纜611?613連接的連接部，對(duì)各攝像機(jī)發(fā)送由CPU 802生成的控制信號(hào)，并且接收各攝像機(jī)的攝像圖像，并將接收到的攝像圖像傳送到存儲(chǔ)部803。
[0076]I/F(接口)部806是經(jīng)由USB線纜等而與信息處理裝置801連接的連接部，對(duì)信息處理裝置801發(fā)送存儲(chǔ)部803中存儲(chǔ)的測(cè)量結(jié)果、攝像圖像。另外，發(fā)送由CPU 802生成的確認(rèn)用畫面。另外，雖然未圖示，但是I/F(接口)部806還用于與基板處理系統(tǒng)100的系統(tǒng)控制部116之間進(jìn)彳丁通{目。
[0077]信息處理裝置801具備未圖示的顯示部和存儲(chǔ)部，例如包括個(gè)人計(jì)算機(jī)。信息處理裝置801接收從測(cè)量處理裝置800經(jīng)由I/F(接口)部806發(fā)送來的確認(rèn)用畫面并使該確認(rèn)用畫面顯示于顯示部。另外，將從測(cè)量處理裝置800發(fā)送來的攝像圖像、測(cè)量結(jié)果存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部。
[0078]使用圖9來說明第一攝像機(jī)601、基板處理裝置111以及晶圓W的配置關(guān)系。如圖所示，晶圓W在周緣部具有圓弧，在上表面形成有處理膜，只有其周緣部的處理膜被去除(切割)。此外，設(shè)晶圓W的直徑為300mm，在圓周方向上沒有誤差。另外，利用設(shè)置于包圍構(gòu)件302的支承銷312來從下方保持該晶圓W的下表面的周緣部。圖9示出晶圓W的周緣部中的未被支承銷312支承的位置處的截面圖。因而，在晶圓W與包圍構(gòu)件302之間存在間隙。
[0079]在適當(dāng)?shù)卦O(shè)置了測(cè)量用工具600的情況下，第一攝像機(jī)601的橫向的攝像視角的內(nèi)端(左端)位于晶圓W的處理膜上，外端(右端)位于包圍構(gòu)件302上。因而，在由攝像機(jī)601拍攝到的攝像圖像中，從視角內(nèi)端(左端)起依次存在處理膜區(qū)域901、切割面區(qū)域902、圓弧區(qū)域903、間隙區(qū)域904以及包圍構(gòu)件區(qū)域905。在此，處理膜區(qū)域901是所形成的處理膜沒有通過蝕刻被去除而依然殘留的區(qū)域。切割面區(qū)域902是所形成的處理膜被去除了的區(qū)域中的不包括形成于晶圓W的周端的圓弧的平面的區(qū)域。圓弧區(qū)域903是處理膜被去除了或最初未形成處理膜的圓弧的區(qū)域。間隙區(qū)域904是形成于晶圓W的周緣端與包圍構(gòu)件302之間的區(qū)域。包圍構(gòu)件區(qū)域905是包圍構(gòu)件302所在的區(qū)域。而且，切割寬度是在晶圓W的周端部且在處理膜的周緣端與晶圓W的周緣端之間由切割面區(qū)域902和圓弧區(qū)域903形成的不存在處理膜的區(qū)域(處理膜被去除了或最初未形成處理膜的區(qū)域)的寬度。另外，間隙寬度是形成于晶圓W的周緣端與包圍構(gòu)件之間的間隙區(qū)域904的寬度。此外，將切割面區(qū)域902的寬度稱為切割面寬度，將圓弧區(qū)域903的寬度稱為圓弧寬度。
[0080]第一攝像機(jī)601在與圖6示出的開口 605a對(duì)應(yīng)的位置處具備攝像傳感器906和光源907。在本實(shí)施方式中，攝像傳感器906是具備包括1600像素X 1200行的約200萬像素的有效像素區(qū)域的CCD傳感器，根據(jù)受光水平僅生成與亮度信號(hào)對(duì)應(yīng)的信號(hào)。在攝像傳感器906的表面前方具備未圖示的焦點(diǎn)調(diào)整機(jī)構(gòu)和曝光調(diào)整機(jī)構(gòu)。光源907對(duì)晶圓W照射白色光，如箭頭所示，針對(duì)晶圓W的平面具有垂直方向上強(qiáng)的指向性。攝像控制部908控制攝像傳感器906和光源907來拍攝包括上述視角的被攝體，并生成由具有1600像素X 1200行的像素?cái)?shù)的Sbit的亮度信號(hào)構(gòu)成的攝像圖像。
[0081]如后述那樣，第一攝像機(jī)601的主要目的是準(zhǔn)確地拍攝處理膜邊界909、切割面邊界910、晶圓周緣端911以及包圍構(gòu)件邊界912。為此，攝像控制部908能夠基于經(jīng)由線纜611從測(cè)量處理裝置800接收到的控制信號(hào)來變更攝像條件地進(jìn)行拍攝。此外，第二攝像機(jī)、第三攝像機(jī)也具備相同的結(jié)構(gòu)。
[0082]使用圖10來說明被輸出到信息處理裝置801的顯示部的確認(rèn)用畫面以及確認(rèn)用畫面上的攝像圖像與晶圓W的攝像位置之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
[0083]圖10的(a)