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LDMOS塊體finFET器件及其形成方法、及通信設(shè)備的制造方法_3

文檔序號:9565932閱讀:來源:國知局
40包括虛設(shè)柵極142,為了 LDM0S器件的正確操作,虛設(shè)柵極142連接至LDM0S器件的閾值電壓以上的適當(dāng)?shù)碾妷?例如,1.8V)。
[0042]在LDM0S器件的導(dǎo)通模式中,如在操作模式300B中所示,源極132連接至最低的電壓(例如,諸如接地電位的零電壓),并且漏極152連接至高壓(例如,5V),而圖1C的柵極134和虛設(shè)柵極142連接至LDM0S器件的閾值電壓以上的適當(dāng)?shù)臇艠O電壓(例如,1.8V)。
[0043]圖4示出了根據(jù)一個或多個實(shí)施例的形成用于高壓操作的LDM0S器件的方法400的示例。為了說明的目的,在本文中描述的示例方法400參照但不限于關(guān)于圖1A的LDM0S器件公開的工藝。此外,為了說明的目的,在本文中,示例方法400的方框被描述為連續(xù)或者線性地發(fā)生。然而,示例方法400的多個方框可并行發(fā)生。另外,不需要按照所示出的順序執(zhí)行示例方法400的方框和/或不需要執(zhí)行示例方法400的一個或多個方框。
[0044]方法400包括在基板材料(例如,圖1A的105上)形成第一阱區(qū)(例如,圖1A的110)和兩個或更多第二阱區(qū)(例如,圖1A的120-1和120-2) (410)。兩個或更多第二阱區(qū)通過一個或多個非阱區(qū)(例如,圖1A的115)分開。第一鰭片(例如,圖1A的135)部分地形成在第一阱區(qū)上,并且第二鰭片(例如,圖1A的155)形成在兩個或更多第二阱區(qū)的最后一個(例如,圖1A的120-2)上(420)。源極結(jié)構(gòu)(例如,圖1A的130)設(shè)置在第一鰭片上,并且漏極結(jié)構(gòu)(例如,圖1A的150)設(shè)置在第二鰭片上(430)。一個或多個虛設(shè)區(qū)(例如,圖1A的140)形成在一個或多個非阱區(qū)上(440)。虛設(shè)區(qū)提供包括用于電荷載流子的垂直流動路徑的附加的耗盡區(qū)流動路徑(例如,路徑160的部分,在圖1A的虛設(shè)區(qū)140中)以支持高壓操作。
[0045]圖5示出了根據(jù)一個或多個實(shí)施例的無線通信設(shè)備的示例。無線通信裝置500包括射頻(RF)天線510、接收器520、發(fā)送器530、基帶處理模塊540、存儲器550、處理器560、本地振蕩發(fā)生器(L0GEN)570以及電源580。在本技術(shù)的各種實(shí)施方式中,圖5中表示的一個或多個方框可以被集成在一個或者多個半導(dǎo)體基板上。例如,方框520至570可以以單芯片或單片上系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)或者可以以多芯片的芯片組來實(shí)現(xiàn)。
[0046]RF天線510可適用于在寬頻率范圍上發(fā)送和/或接收RF信號(例如,無線信號)。雖然示出了單個的RF天線510,但是本技術(shù)并不限于此。
[0047]接收器520包括可操作地接收和處理來自RF天線510的信號的適當(dāng)邏輯電路和/或代碼。例如,接收器520可被操作為放大和/或下轉(zhuǎn)換所接收的無線信號。在本技術(shù)的各個實(shí)施方式中,接收器520可被操作為去除所接收的信號中的噪聲并且在寬頻率范圍上可以是線性的。以此方式,接收器520適合于接收根據(jù)各種無線標(biāo)準(zhǔn)的信號,例如W1-F1、WiMAX、藍(lán)牙以及各種蜂窩標(biāo)準(zhǔn)。
[0048]發(fā)送器530包括可被操作為處理來自RF天線510的信號并且從RF天線510發(fā)送該信號的適當(dāng)邏輯電路和/或代碼。例如,發(fā)送器530可操作為將基帶信號上轉(zhuǎn)換成RF信號并且放大RF信號。在本技術(shù)的各種實(shí)施方式中,發(fā)送器530可操作為上轉(zhuǎn)換并且放大根據(jù)各種無線標(biāo)準(zhǔn)處理的基帶信號。該等標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)例包括W1-F1、WiMAX、藍(lán)牙、以及各種蜂窩標(biāo)準(zhǔn)。在本技術(shù)的各個實(shí)施方式中,發(fā)送器530可操作為提供信號供一個或多個功率放大器進(jìn)一步放大。
[0049]在一些實(shí)施方式中,發(fā)送器530包括可以是使用本技術(shù)的(例如,如在圖1A或者圖1C中所示的)LDM0S器件制作的高壓功率放大器的RF功率放大器。
[0050]雙工器512提供傳輸頻帶的隔離以避免接收器520或者接收器520的損壞部分的飽和,以及放寬接收器520的一個或多個設(shè)計(jì)要求。此外,雙工器512可以使接收頻帶中的噪聲衰減。雙工器可在各種無線標(biāo)準(zhǔn)的多頻帶中操作。
[0051]基帶處理模塊540包括可操作為執(zhí)行基帶信號的處理的適當(dāng)邏輯、電路、接口、和/或代碼。例如,基帶處理模塊540可分析接收的信號并且生成控制信號和/或反饋信號以配置無線通信設(shè)備500的諸如接收器520的各組件。基帶處理模塊540可操作為根據(jù)一種或多種無線標(biāo)準(zhǔn)編碼、解碼、轉(zhuǎn)碼、調(diào)制、解調(diào)、加密、解密、加擾、解擾和/或其他方式處理數(shù)據(jù)。
[0052]處理器560包括能夠處理數(shù)據(jù)和/或控制無線通信設(shè)備500的操作的適當(dāng)邏輯、電路、和/或代碼。就這一點(diǎn)而言,處理器560能夠?qū)⒖刂菩盘柼峁┲翢o線通信設(shè)備500的其他各部分。處理器560還可以控制無線通信設(shè)備500的各部分之間的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)移。此外,處理器560能夠運(yùn)行操作系統(tǒng)或以其它方式執(zhí)行代碼以管理無線通信設(shè)備500的操作。
[0053]存儲器550包括使能存儲各種類型的信息(諸如接收的數(shù)據(jù)、生成的數(shù)據(jù)、代碼、和/或配置信息等)的適當(dāng)邏輯、電路、和/或代碼。本地振蕩發(fā)生器(L0GEN) 570包括可以被操作為生成一個或多個頻率的一個或多個振蕩信號的適當(dāng)邏輯、電路、接口和/或代碼。該L0GEN 570可以被操作為生成數(shù)字信號和/或模擬信號。以此方式,該L0GEN 570可以被操作為生成一個或多個時鐘信號和/或正弦信號。例如,基于來自處理器560和/或基帶處理模塊540的一個或多個控制信號可確定振蕩信號的特征,諸如頻率和占空比等。
[0054]在操作中,處理器560可以基于期望來接收信號所根據(jù)的無線標(biāo)準(zhǔn)來配置無線通信設(shè)備500的各個組件。可以經(jīng)由RF天線510接收無線信號并且通過接收器520對無線信號進(jìn)行放大和下轉(zhuǎn)換。基帶處理模塊540可以執(zhí)行噪聲估計(jì)和/或噪聲消除、解碼和/或基帶信號的解調(diào)。以此方式,可以適當(dāng)?shù)鼗謴?fù)和利用所接收的信號中的信息。例如,信息可以是呈現(xiàn)給無線通信設(shè)備的用戶的音頻和/或視頻、將要存儲在存儲器550中的數(shù)據(jù)、和/或影響和/或支持無線通信設(shè)備500的操作的信息?;鶐幚砟K540可以根據(jù)各種無線標(biāo)準(zhǔn)對將由發(fā)送器530發(fā)送的音頻、視頻和/或控制信號進(jìn)行調(diào)制、編碼以及執(zhí)行其他處理。
[0055]本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到,此處所描述的各種說明性的方框、模塊、元件、組件、以及方法可被實(shí)現(xiàn)為電子硬件、計(jì)算機(jī)軟件、或者兩者的組合。為了說明硬件與軟件的可互換性,上面已在它們的功能性方面概括地描述了各種說明性方框、模塊、元件、組件和方法。這種功能性是實(shí)施為硬件還是軟件取決于具體的應(yīng)用和對整個系統(tǒng)施加的設(shè)計(jì)約束。技術(shù)人員可以針對各個具體應(yīng)用以不同的方式實(shí)施所描述的功能。在完全沒有背離本技術(shù)的范圍的前提下,可以對各種組件和方框進(jìn)行不同的布置(例如,以不同的順序進(jìn)行布置或者以不同的方式劃分)。
[0056]如在本文中使用的,具有術(shù)語“和”或“或”來分開項(xiàng)中的任一項(xiàng)的一些列項(xiàng)之后的“中的至少一個”將列表作為整體來修飾,而不是修飾列表中的各成員(例如,各項(xiàng))。短語“中的至少一個”并不要求選擇各個列出項(xiàng)中的至少一個;而是,該短語允許包括項(xiàng)中任一項(xiàng)中的至少一個、和/或項(xiàng)的任一組合中的至少一個、和/或各個項(xiàng)中的至少一個。例如,短語“A、B和C中的至少一個”或者“A、B或C中的至少一個”均指只有A、只有B或者只有C 'A、B和C的任一組合;和/或各個A、B和C中的至少一個。
[0057]諸如“一方面”等短語并不暗示為該方面對本技術(shù)必不可少或者該方面應(yīng)用于本技術(shù)的所有構(gòu)造。與一方面相關(guān)的公開內(nèi)容可以應(yīng)用于所有構(gòu)造或者一個或多個構(gòu)造。一方面可以提供本公開內(nèi)容的一個或者多個示例。諸如“方面”之
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