)上疊加顯示時(shí)的一例的圖。
[0074]當(dāng)使以灰色標(biāo)度表現(xiàn)的2張圖像疊加時(shí)，對(duì)于該2張圖像以濃度相近的黑色表現(xiàn)的部分碰巧存在于相同或相近的部位時(shí)，有時(shí)無(wú)法進(jìn)行該2張圖像的判別。但是，當(dāng)如這樣使灰色標(biāo)度圖像和彩色圖像在一個(gè)窗口內(nèi)疊加顯示時(shí)，能夠利用顏色的差異進(jìn)行圖像的判另IJ，因此，例如能夠容易地判別相同粒子表現(xiàn)在哪一個(gè)圖像上，并能夠容易把握該粒子的位置。
[0075]在本實(shí)施方式中，根據(jù)設(shè)置在試樣70附近的真空計(jì)65的檢測(cè)值來(lái)進(jìn)行氣體導(dǎo)入裝置60的控制，然而，在二次電子檢測(cè)器51的附近(例如，圖4的第三中間室74內(nèi))設(shè)置真空計(jì)65，根據(jù)其檢測(cè)值來(lái)進(jìn)行氣體導(dǎo)入裝置60的控制，也能防止放電發(fā)生。但是，由于試樣70附近的真空度是向試樣70吹送的氣體的質(zhì)量(Mass)的指標(biāo)，因此能夠根據(jù)加熱后的溫度和真空度來(lái)計(jì)算在試樣70中燃燒的能量的量。因此，從高精度地計(jì)算該能量的量的觀點(diǎn)來(lái)看，優(yōu)選如本實(shí)施方式這樣盡可能地在試樣70附近設(shè)置真空計(jì)65。即使這樣構(gòu)成，二次電子檢測(cè)器51，因容納自身的第三中間室74利用獨(dú)立于試樣70附近的路徑通過(guò)真空栗88、89而排氣的關(guān)系，與試樣70附近相比，真空度不會(huì)變差，因此在氣體控制中不發(fā)生問(wèn)題。當(dāng)然還可以構(gòu)成為，除了試樣70附近，還在二次電子檢測(cè)器51附近設(shè)置真空計(jì)，根據(jù)試樣70附近的真空計(jì)來(lái)計(jì)算能量的量，并根據(jù)二次電子檢測(cè)器51附近的真空計(jì)來(lái)進(jìn)行氣體控制。
[0076]此外，在上述說(shuō)明中說(shuō)明了防止氣體環(huán)境中的二次電子檢測(cè)器51的放電來(lái)取得二次電子像的情況，然而，由于在觀察時(shí)需要施加電壓，因此，只要是具備在氣體環(huán)境下需要考慮放電發(fā)生的檢測(cè)器的電子顯微鏡，則均可應(yīng)用本發(fā)明。例如，在暗視野檢測(cè)器中存在一旦碰到散射到變換板(進(jìn)行金屬蒸鍍后的板)的電子束，利用引出電壓將其引出的類型，然而，這種暗視野檢測(cè)器可能與本實(shí)施方式中的二次電子檢測(cè)器51同樣地被施加電壓，并由于真空度導(dǎo)致發(fā)生放電，因此可應(yīng)用本發(fā)明。
[0077]此外，在上述說(shuō)明中在試樣架53內(nèi)安裝有氣體導(dǎo)入裝置60，然而只要能夠向試樣架53內(nèi)的試樣70中導(dǎo)入氣體，則還可以獨(dú)立于試樣架53地設(shè)置氣體導(dǎo)入裝置60。
[0078]此外，本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式，在不脫離其主旨的范圍內(nèi)還包含各種變形例。例如，本發(fā)明并不限于具備在上述實(shí)施方式中說(shuō)明的全部結(jié)構(gòu)，還包含刪除其結(jié)構(gòu)的一部分后的結(jié)構(gòu)。此外，也可以將某實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的一部分追加到其他實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)中或替換為其他實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)。
[0079]此外，上述計(jì)算機(jī)和各種控制裝置的各結(jié)構(gòu)、該各結(jié)構(gòu)的功能和執(zhí)行處理等的一部分或全部可以通過(guò)硬件(例如將執(zhí)行各功能的邏輯用集成電路來(lái)設(shè)計(jì)等)來(lái)實(shí)現(xiàn)。此外，上述計(jì)算機(jī)和各種控制裝置的結(jié)構(gòu)還可以作為通過(guò)運(yùn)算處理裝置(例如CPU)讀出/執(zhí)行，由此實(shí)現(xiàn)該計(jì)算機(jī)和各種控制裝置的結(jié)構(gòu)的各功能的程序(軟件)。該程序的信息例如可以存儲(chǔ)到半導(dǎo)體存儲(chǔ)器(閃速存儲(chǔ)器、SSD等)、磁存儲(chǔ)裝置(硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器等)以及記錄介質(zhì)(磁盤(pán)、光盤(pán)等)等。
[0080]此外，在上述各實(shí)施方式的說(shuō)明中，示出了該實(shí)施方式的說(shuō)明所需要的控制線和信息線，然而，并不一定限于示出制品的全部控制線和信息線。實(shí)際上可以認(rèn)為幾乎全部的結(jié)構(gòu)是相互連接的。
[0081]符號(hào)說(shuō)明
[0082]I電子槍、2第一照射透鏡線圈、3第二照射透鏡線圈、4第一偏轉(zhuǎn)線圈、5第二偏轉(zhuǎn)線圈、6物鏡線圈、7第一電磁式試樣圖像移動(dòng)用線圈、8第二電磁式試樣圖像移動(dòng)用線圈、9第一中間透鏡線圈、10第二中間透鏡線圈、11第一投射透鏡線圈、12第二投射透鏡線圈、13?23勵(lì)磁電源、24?34 DAC,35微處理器、36存儲(chǔ)裝置、37運(yùn)算裝置、38監(jiān)視器控制器、39監(jiān)視器、40?41 I/F、42倍率切換用回轉(zhuǎn)式編碼器、43輸入用回轉(zhuǎn)式編碼器、44鍵盤(pán)、45 RAM、46 ROM、47掃描像取入接口、48圖像取入接口、49亮視野像檢測(cè)器、50暗視野像檢測(cè)器、51 二次電子檢測(cè)器、52 X射線檢測(cè)器、53試樣臺(tái)、54 CL檢測(cè)器、55反射電子檢測(cè)器、59加熱器、60氣體導(dǎo)入裝置、62調(diào)整閥、63噴射口、64加熱器、65真空計(jì)、70試樣、77真空計(jì)、81氣體控制裝置、82檢測(cè)器控制裝置、83加熱器控制裝置、90壓力顯示部、95錄像控制裝置、101圖像顯示部。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種電子顯微鏡，其特征在于， 具備: 檢測(cè)器，其檢測(cè)通過(guò)來(lái)自電子槍的電子束照射試樣而發(fā)生的電子； 顯示裝置，其根據(jù)該檢測(cè)器的輸出，顯示所述試樣的顯微鏡像； 氣體導(dǎo)入裝置，其用于向所述試樣放出氣體；以及 氣體控制裝置，其控制所述氣體導(dǎo)入裝置的氣體放出量，使得在該氣體導(dǎo)入裝置的氣體放出過(guò)程中，將設(shè)置了所述檢測(cè)器的空間內(nèi)的真空度持續(xù)保持為不足設(shè)定值。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡，其特征在于， 在對(duì)通過(guò)所述電子束發(fā)生的電子進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，向所述檢測(cè)器施加電壓， 所述設(shè)定值被設(shè)定為即使對(duì)所述檢測(cè)器施加所述電壓也不發(fā)生放電的值。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡，其特征在于， 所述檢測(cè)器是對(duì)通過(guò)所述電子束發(fā)生的電子進(jìn)行檢測(cè)的二次電子檢測(cè)器， 所述顯微鏡像是通過(guò)所述二次電子檢測(cè)器檢測(cè)出的二次電子像。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡，其特征在于， 所述檢測(cè)器是對(duì)通過(guò)所述電子束發(fā)生的電子進(jìn)行檢測(cè)的二次電子檢測(cè)器和對(duì)所述電子束所涉及的電子中透過(guò)所述試樣的電子進(jìn)行檢測(cè)的亮視野檢測(cè)器以及暗視野檢測(cè)器，所述顯示裝置顯示通過(guò)所述二次電子檢測(cè)器檢測(cè)出的二次電子像和與該二次電子像同時(shí)刻地通過(guò)所述亮視野檢測(cè)器或所述暗視野檢測(cè)器檢測(cè)出的顯微鏡像，作為所述顯微鏡像。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡，其特征在于， 所述檢測(cè)器是對(duì)通過(guò)所述電子束發(fā)生的電子進(jìn)行檢測(cè)的反射電子檢測(cè)器， 所述顯微鏡像是通過(guò)所述反射電子檢測(cè)器檢測(cè)出的反射電子像。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡，其特征在于， 在所述顯示裝置中還顯示所述顯微鏡象的拍攝時(shí)刻、該拍攝時(shí)刻的所述試樣附近的真空度和所述試樣的溫度中的至少一者。7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電子顯微鏡，其特征在于， 在所述顯示裝置中同時(shí)顯示通過(guò)所述二次電子檢測(cè)器檢測(cè)出的二次電子像、與該二次電子像同時(shí)刻地通過(guò)所述亮視野檢測(cè)器或所述暗視野檢測(cè)器檢測(cè)出的顯微鏡像。8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電子顯微鏡，其特征在于， 所述顯示裝置具有顯示部，其顯示通過(guò)所述二次電子檢測(cè)器檢測(cè)出的二次電子像、與該二次電子像同時(shí)刻地通過(guò)所述亮視野檢測(cè)器檢測(cè)出的亮視野像、與該二次電子像同時(shí)刻地通過(guò)所述暗視野檢測(cè)器檢測(cè)出的暗視野像中的某一個(gè)， 該顯示部中顯示的顯微鏡像是能夠選擇的。9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電子顯微鏡，其特征在于， 所述顯示裝置具有顯示部，其疊加地顯示通過(guò)所述二次電子檢測(cè)器檢測(cè)出的二次電子像、與該二次電子像同時(shí)刻地通過(guò)所述亮視野檢測(cè)器檢測(cè)出的亮視野像、與該二次電子像同時(shí)刻地通過(guò)所述暗視野檢測(cè)器檢測(cè)出的暗視野像中的某2個(gè)， 該顯示部中疊加顯示的2個(gè)顯微鏡像中位于上方的顯微鏡像的透過(guò)率是能夠變更的。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電子顯微鏡，其特征在于， 所述顯示部中疊加顯示的2個(gè)顯微鏡中的一方以彩色顯示。11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的電子顯微鏡，其特征在于， 還具備錄像裝置，其對(duì)所述顯示裝置中顯示的顯微鏡像進(jìn)行錄像。12.—種基于電子顯微鏡的試樣觀察方法，其特征在于， 控制向試樣放出的氣體放出量，使得設(shè)置了檢測(cè)器的空間內(nèi)的真空度被持續(xù)保持為不足設(shè)定值，所述檢測(cè)器檢測(cè)通過(guò)電子槍發(fā)生的電子束照射所述試樣時(shí)發(fā)生的電子， 通過(guò)所述檢測(cè)器檢測(cè)在所述電子束的照射時(shí)發(fā)生的電子，根據(jù)所述檢測(cè)器的輸出，在顯示裝置中顯示顯微鏡像。
【專利摘要】具備：二次電子檢測(cè)器，其檢測(cè)通過(guò)來(lái)自電子槍的電子束照射試樣(70)而發(fā)生的電子；監(jiān)視器，其根據(jù)該檢測(cè)器的輸出，顯示試樣的二次電子像；氣體導(dǎo)入裝置(60)，其用于向試樣(70)放出氣體；以及氣體控制裝置(81)，其控制氣體導(dǎo)入裝置(60)的氣體放出量，使得在該氣體導(dǎo)入裝置(60)的氣體放出時(shí)，將設(shè)置了二次電子檢測(cè)器的中間室內(nèi)的真空度保持為不足設(shè)定值P1。由此，能夠利用需要施加電壓的檢測(cè)器得到被置于氣體環(huán)境中的試樣的顯微鏡像。
【IPC分類】H01J37/16, H01J37/20, H01J37/28
【公開(kāi)號(hào)】CN105103263
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480018726
【發(fā)明人】長(zhǎng)沖功, 大八木敏行, 松本弘昭, 仲野靖孝, 佐藤岳志, 長(zhǎng)久?？灯?
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社日立高新技術(shù)
【公開(kāi)日】2015年11月25日
【申請(qǐng)日】2014年3月20日
【公告號(hào)】WO2014162901A1