度移動(圖25的時刻t24?t25的期間)。因此，中央機械手CR經(jīng)過比較長的時間來在清洗處理單元SS與反轉(zhuǎn)單元RT1、基板載置部PASSl之間進行往復(fù)移動。
[0246]如上所述，就中央機械手CR在轉(zhuǎn)接部50 (反轉(zhuǎn)單元RT1、基板載置部PASS以及反轉(zhuǎn)交接單元RT2)和清洗處理單元SS之間進行往復(fù)移動所需的時間而言，第二任務(wù)的時間大于第一任務(wù)的時間。
[0247]在假設(shè)中央機械手CR在轉(zhuǎn)接部50和清洗處理單元SS之間進行往復(fù)移動所需的時間恒定的情況下，每個清洗處理單元SS的等待搬出時間的長度不會不同。但是，若中央機械手CR在轉(zhuǎn)接部50和清洗處理單元SS之間進行往復(fù)移動所需的時間變長，則越是在后面搬出基板的清洗處理單元SS，等待搬出時間的長度變得越長。
[0248]例如，在第一個清洗處理單元SSl中的等待搬出時間為，從圖24的時刻tlO至時刻til為止的期間，但是在第二個清洗處理單元SS2中的等待搬出時間為，從時刻tl2至時刻tl4為止的期間，在第三個清洗處理單元SS3中的等待搬出時間為，從時刻tl4到時刻tl7為止的期間，在第四個清洗處理單元SS4中的等待搬出時間為，從時刻tl6至時刻t20為止的期間，越是在后面搬出基板的清洗單元SS，等待搬出時間變得越長。
[0249]這樣的等待搬出時間的延長與并行單元數(shù)的數(shù)量成比例。因此，越是后面搬出基板的清洗處理單元SS，其基板W暴露在單元內(nèi)的霧中的時間更長，從而可能使基板W的清洗品質(zhì)下降。
[0250]因此，在該第三實施方式中，在執(zhí)行前一任務(wù)的最終搬運周期之前，預(yù)測在并行地執(zhí)行前一任務(wù)的最終搬運周期和下一任務(wù)的第一搬運周期的情況下的前一任務(wù)的基板的等待搬出時間。然后，在預(yù)測為前一任務(wù)的基板的等待搬出時間超過規(guī)定的允許時間的情況下，變更前一任務(wù)的最終回收周期的內(nèi)容。具體地說，減小與前一任務(wù)的最終回收周期同時執(zhí)行的下一任務(wù)的第一搬運周期中的并行單元數(shù)。
[0251]圖26是用于說明第三實施方式的基板處理的流程的流程圖。步驟STl?ST9，與上述第二實施方式的處理的流程相同，因此省略說明。在第三實施方式中，管理表功能部71與通過處理執(zhí)行部72進行基板處理(步驟ST10)并行地，監(jiān)視新的任務(wù)的追加(步驟ST11)。然后，當追加新的任務(wù)時，轉(zhuǎn)移至步驟ST12。在步驟ST12中，通過執(zhí)行上述步驟ST2?ST9的工序，暫時確定用于執(zhí)行下一任務(wù)的管理表數(shù)據(jù)SD0在圖24的例子中，將并行處理單元數(shù)設(shè)定為“4”，來制作用于所追加的任務(wù)(第二任務(wù))的基板處理管理表。
[0252]接著，管理表功能部71制作在并行地執(zhí)行在執(zhí)行中的任務(wù)(第一任務(wù))的最終搬運周期搬運的基板的最終回收周期、和下一任務(wù)(第二任務(wù))的第一搬運周期的情況下的管理表數(shù)據(jù)SD (步驟ST13)。由此，制作圖24的時刻tlO?時刻t22的基板搬運管理表。在該期間內(nèi)，與向基板載置部PASSl回收第一任務(wù)用的基板Wl?W4并行地，向清洗處理單元SSl?SS4依次供給第二任務(wù)用的第一搬運周期的基板W5?W8。
[0253]接著，管理表功能部71參照在步驟ST12中制作的管理表數(shù)據(jù)SD，判斷在時刻tlO?時刻t22的期間是否產(chǎn)生等待搬出時間超過允許時間的清洗處理單元SS(步驟ST14) ο在不存在等待搬出時間超過允許時間的清洗處理單元SS的情況下，步驟ST14為“否”，轉(zhuǎn)移至步驟ST10，根據(jù)在步驟ST12以及步驟ST13中制作的管理表數(shù)據(jù)SD，同時執(zhí)行第一任務(wù)的最終回收周期和第二任務(wù)的第一搬運周期。
[0254]另一方面，步驟ST14中判斷為“是”的情況下，減少第二任務(wù)的第一搬運周期中的并行處理單元數(shù)，來變更第一任務(wù)的最終回收周期(步驟ST15)。例如，如圖27所示，第二任務(wù)的第一搬運周期(時刻tlO?時刻t20)的并行處理單元數(shù)從“4”變?yōu)椤?”。由此，變更第一任務(wù)的最終回收周期的基板處理。
[0255]具體地說，根據(jù)圖24所示的原來的基板處理管理表，在向基板載置部PASSl搬運(時刻tl5)第一任務(wù)的基板W2之后，從反轉(zhuǎn)單元RTl搬運第二任務(wù)的第一搬運周期的第三張基板W7(時刻tl6)。相對于此，在圖27所示的基板處理管理表中，以如下方式變更管理表，g卩，在向基板載置部PASSl搬運(時刻tl5)第一任務(wù)的基板W2之后，取代開始搬運第二任務(wù)的基板W7，而從清洗處理單元SS3回收第一任務(wù)的最終回收周期的第三張基板W3(圖27的時刻tl6)。
[0256]另外，以如下方式變更管理表，即，取代從反轉(zhuǎn)單元RTl搬運(圖24的時刻tl9)第二任務(wù)的第一搬運周期的第四張基板W8，而從清洗處理單元SS4回收第一任務(wù)的最終回收周期的第四張基板W4(圖27的時刻tl8)。
[0257]這樣變更第一任務(wù)的最終回收周期，提前執(zhí)行第一任務(wù)的最終回收周期的第三張基板W3以及第四張基板W4的回收時刻，能夠減少在清洗處理單元SS3、SS4中的等待搬出時間。由此，能夠抑制或者防止該單元SS3、SS4中的基板W3、W4的清洗品質(zhì)下下降。
[0258]接著，以與在這樣的步驟ST15中的第一任務(wù)的最終回收周期的變更對應(yīng)的方式，修正在步驟ST13中制作的第二任務(wù)的基板處理管理表(圖24的步驟ST16)。然后，根據(jù)這樣確定的管理表數(shù)據(jù)SD，與第一任務(wù)的最終回收周期并行地執(zhí)行第二任務(wù)的第一搬運周期(時刻tlO?時刻t20)，接著，依次執(zhí)行第二任務(wù)的第二搬運周期(時刻t20?時刻t32)以及第二任務(wù)的第三搬運周期(時刻t32?時刻t45)(步驟ST10)。
[0259]如上所述，在第一實施方式至第三實施方式的基板處理裝置中，能夠防止將進行了基板處理之后的基板W不必要地長時間放置于清洗處理單元SS(SSR)內(nèi)的情況。因此，不會使基板W長時間暴露在清洗處理單元SS (SSR)內(nèi)的清洗液的霧等中。因此，能夠確保尚的基板處理性能。
[0260]尤其，如第二實施方式以及第三實施方式的基板處理裝置那樣，與基板處理并行地修正基板處理管理表，從而能夠總是更新基板處理管理表的內(nèi)容。
[0261]另外，根據(jù)第三實施方式的基板處理裝置，能夠防止在任務(wù)切換的時刻，前一任務(wù)的進行清洗處理之后的基板長時間放置于清洗處理單元內(nèi)的情況。
[0262]此外，在第一實施方式至第三實施方式中，說明了中央機械手CR搬運一張未處理基板W以及一張已處理基板W的情況，但是在中央機械手CR同時搬運兩張未處理基板W、兩張已處理基板W的情況(參照圖7A、圖7B)下，也能夠?qū)嵤┍景l(fā)明。
[0263]另外，在第一實施方式至第三實施方式中，作為基板處理裝置1，將刷洗處理裝置舉為例子，來對于制作管理表的結(jié)構(gòu)進行了說明，但是本發(fā)明的基板處理裝置I并不限定于刷洗處理裝置，能夠用于不進行刷洗的單張基板清洗裝置、冷卻處理裝置、干燥處理裝置等各種基板處理裝置。
【主權(quán)項】
1.一種基板處理裝置， 具有: 多個基板處理單元，能夠并行使用， 基板搬運部，能夠向所述多個基板處理單元搬運基板，并能夠從所述多個基板處理單元搬出實施基板處理之后的基板； 其特征在于， 該基板處理裝置具有: 選擇部，以不使等待搬出時間超過規(guī)定的允許時間的方式，從所述多個基板處理單元之中選擇并行使用的兩個以上的基板處理單元，所述等待搬出時間為，在所述基板處理單元中實施基板處理之后的基板，等待被所述基板搬運部從所述基板處理單元搬出的時間；管理表制作部，制作基板處理的基板處理管理表，該基板處理包括通過所述基板搬運部向所述并行使用的兩個以上的基板處理單元搬運基板的基板搬運處理、在所述并行使用的兩個以上的基板處理單元中的基板處理、通過所述基板搬運部從所述并行使用的兩個以上的基板處理單元搬出基板的基板搬出處理； 控制部，根據(jù)通過所述管理表制作部制作的所述基板處理管理表，控制所述基板處理單元和所述基板搬運部，依次對多個基板實施基板處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述基板搬運部用于相對所述并行使用的兩個以上的基板處理單元依次搬運多個基板， 在根據(jù)將向所述并行使用的兩個以上的所有基板處理單元都搬運過基板的搬運周期反復(fù)執(zhí)行的基板處理管理表，所述控制部控制所述基板處理單元和所述基板搬運部時，所述管理表制作部在執(zhí)行前一搬運周期的過程中且在下一搬運周期開始之前，制作用于所述下一搬運周期的基板處理管理表。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述基板處理裝置還具有用于支撐所述基板的基板支撐部， 所述基板搬運部在用于支撐所述基板的基板支撐部和所述基板處理單元之間進行往復(fù)移動， 在所述基板搬運部連續(xù)執(zhí)行所述前一搬運周期和所述下一搬運周期的情況下，在所述下一搬運周期中的所述基板搬運部在所述基板支撐部和所述基板處理單元之間進行往復(fù)移動所需的時間，大于在所述前一搬運周期中的所述基板搬運部在所述基板支撐部和所述基板處理單元之間進行往復(fù)移動所需的時間時，所述管理表制作部以使在所述下一搬運周期中并行使用的兩個以上的基板處理單元的第二數(shù)量，小于在所述前一搬運周期中并行使用的兩個以上的基板處理單元的第一數(shù)量的方式，設(shè)定該第二數(shù)量，并基于該第二數(shù)量來制作所述基板處理管理表。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述基板處理單元包括用于清洗所述基板的基板清洗處理單元。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述多個基板處理單元包括用于清洗所述基板的表面的表面清洗處理單元和用于清洗所述基板的背面的背面清洗處理單元， 利用了所述背面清洗處理單元的基板處理管理表中的所述允許時間設(shè)定為，小于利用了所述表面清洗處理單元的基板處理管理表中的所述允許時間。
6.一種基板處理方法，為基板處理裝置的基板處理方法， 該基板處理裝置具有: 多個基板處理單元，能夠并行使用， 基板搬運部，能夠向所述多個基板處理單元搬運基板，并能夠從所述多個基板處理單元搬出實施基板處理之后的基板； 其特征在于， 該基板處理方法包括: 選擇步驟，以不使等待搬出時間超過規(guī)定的允許時間的方式，從所述多個基板處理單元之中選擇并行使用的兩個以上的基板處理單元，所述等待搬出時間為，在所述基板處理單元中實施基板處理之后的基板，等待被所述基板搬運部從所述基板處理單元搬出的時間； 管理表制作步驟，制作基板處理的基板處理管理表，該基板處理包括通過所述基板搬運部向所述并行使用的兩個以上的基板處理單元搬運基板的基板搬運處理、在所述并行使用的兩個以上的基板處理單元中的基板處理、通過所述基板搬運部從所述并行使用的兩個以上的基板處理單元搬出基板的基板搬出處理； 管理表執(zhí)行步驟，根據(jù)所述基板處理管理表，控制所述基板處理單元和所述基板搬運部，依次對多個基板實施基板處理。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板處理方法，其特征在于， 所述基板搬運部用于相對所述并行使用的兩個以上的基板處理單元依次搬運多個基板， 在根據(jù)將向所述并行使用的兩個以上的所有基板處理單元都搬運過基板的搬運周期反復(fù)執(zhí)行的基板處理管理表，來控制所述基板處理單元和所述基板搬運部時，在執(zhí)行前一搬運周期的過程中且在下一搬運周期開始之前，制作用于所述下一搬運周期的基板處理管理表。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板處理方法，其特征在于， 所述基板搬運部在用于支撐所述基板的基板支撐部和所述基板處理單元之間進行往復(fù)移動， 在所述基板搬運部連續(xù)執(zhí)行所述前一搬運周期和所述下一搬運周期的情況下，在所述下一搬運周期中的所述基板搬運部在所述基板支撐部和所述基板處理單元之間進行往復(fù)移動所需的時間，大于在所述前一搬運周期中的所述基板搬運部在所述基板支撐部和所述基板處理單元之間進行往復(fù)移動所需的時間時，以使在所述下一搬運周期中并行使用的兩個以上的基板處理單元的第二數(shù)量，小于在所述前一搬運周期中并行使用的兩個以上的基板處理單元的第一數(shù)量的方式，設(shè)定該第二數(shù)量，基于該第二數(shù)量來制作所述基板處理管理表。
9.根據(jù)權(quán)利要求6至8中任一項所述的基板處理方法，其特征在于， 所述基板處理單元包括用于清洗所述基板的基板清洗處理單元。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板處理方法，其特征在于， 所述多個基板處理單元包括用于清洗所述基板的表面的表面清洗處理單元和用于清洗所述基板的背面的背面清洗處理單元， 利用了所述背面清洗處理單元的基板處理管理表中的所述允許時間設(shè)定為，小于利用了所述表面清洗處理單元的基板處理管理表中的所述允許時間。
11.一種基板處理方法，為基板處理裝置的基板處理方法， 該基板處理裝置具有: 多個基板處理單元，能夠并行使用， 基板搬運部，相對所述多個基板處理單元搬運基板； 其特征在于， 該基板處理方法包括: 設(shè)定步驟，以出現(xiàn)搬運限速狀態(tài)的方式，設(shè)定并行使用的兩個以上的基板處理單元的數(shù)量，所述搬運限速狀態(tài)指，在各所述基板處理單元中的所述基板的停留時間，不超過所述基板搬運部的一次搬運周期所需的時間的狀態(tài)； 制作步驟，基于所述并行使用的基板處理單元的數(shù)量來制作基板處理管理表； 計算步驟，計算等待搬出時間，該等待搬出時間指，根據(jù)所述基板處理管理表在所述基板處理單元中實施基板處理之后的基板，等待被所述基板搬運部從所述基板處理單元搬出的時間； 修正步驟，若所述等待搬出時間超過允許時間，則再次設(shè)定所述并行使用的兩個以上的基板處理單元的數(shù)量，基于再次設(shè)定之后的所述并行使用的兩個以上的基板處理單元的數(shù)量，來修正所述基板處理管理表； 處理步驟，基于在所述修正步驟中修正的所述基板處理管理表，控制所述基板處理單元以及所述基板搬運部，來依次對多個基板進行基板處理。
【專利摘要】本發(fā)明提供基板處理方法及裝置，在利用能并行使用的多個基板處理單元進行基板處理的情況下，不使由基板處理單元處理后的基板等待從被基板處理單元搬出的等待搬出時間變長。以不使由基板處理單元處理后的基板，等待被基板搬運部從基板處理單元搬出的時間超過允許時間的方式，從多個基板處理單元中選擇并行使用的兩個以上的基板處理單元。制作基板處理的基板處理管理表，該基板處理包括通過基板搬運部向兩個以上的基板處理單元搬運基板的基板搬運處理、在兩個以上的基板處理單元中的基板處理、通過基板搬運部從兩個以上的基板處理單元搬出基板的基板搬出處理。根據(jù)該基板處理管理表來控制基板處理單元和基板搬運部，依次對多個基板進行基板處理。
【IPC分類】H01L21-677, H01L21-67
【公開號】CN104867847
【申請?zhí)枴緾N201510087840
【發(fā)明人】岡田吉文
【申請人】斯克林集團公司
【公開日】2015年8月26日
【申請日】2015年2月25日
【公告號】US20150243536