基板處理裝置以及基板處理方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種處理半導(dǎo)體基板、液晶顯示裝置用玻璃基板、光掩膜用玻璃基板、光盤用基板等基板的基板處理裝置以及基板處理方法。
【背景技術(shù)】
[0002]基板處理裝置具有:用于載置運(yùn)送器(容器)的載置臺(tái)、對(duì)基板進(jìn)行預(yù)先設(shè)定的處理的處理部、設(shè)于載置臺(tái)與處理部之間的基板搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，在該運(yùn)送器(容器)中以多張基板(晶圓)隔開(kāi)間隔地沿上下方向?qū)盈B容置多張基板(晶圓)。基板搬運(yùn)機(jī)構(gòu)具有保持基板的手部，從運(yùn)送器取出基板并將基板搬運(yùn)至處理部，從處理部向運(yùn)送器搬運(yùn)基板并將基板容置于運(yùn)送器。
[0003]載置臺(tái)具有一組透過(guò)型傳感器(測(cè)繪傳感器)，該透過(guò)型傳感器具有投光器和受光器。投光器以及受光器以從沿基板表面的基板前方夾入圓狀的基板的周緣部的一部分的方式相向地配置(例如，參照日本國(guó)特開(kāi)2009-049096號(hào)公報(bào))。而且，通過(guò)使透過(guò)型傳感器在運(yùn)送器內(nèi)沿基板層疊方向升降，來(lái)檢測(cè)運(yùn)送器內(nèi)的基板的張數(shù)以及位置，另外，能夠檢測(cè)基板是否被重合容置等。
[0004]另外，通過(guò)沿基板出入運(yùn)送器的前后方向(深度方向)裝備多組透過(guò)型傳感器，檢測(cè)運(yùn)送器內(nèi)的基板的張數(shù)以及位置等，并且能夠檢測(cè)基板的掉出(例如，參照日本國(guó)特開(kāi)2009-049096 號(hào)公報(bào))。
[0005]此外，在日本國(guó)專利第5185417號(hào)公報(bào)中記載了一種用于排除當(dāng)搬運(yùn)時(shí)基板振動(dòng)或者跳躍的問(wèn)題的運(yùn)送器。
[0006]另外，在日本國(guó)特開(kāi)平9-148404號(hào)公報(bào)中記載了，通過(guò)檢測(cè)容置于盒內(nèi)的基板之間在垂直方向的“間隙(clearance)”，根據(jù)該間隙改變基板搬運(yùn)臂部的動(dòng)作，來(lái)防止基板搬運(yùn)臂部與基板的碰撞。另外，在日本國(guó)特開(kāi)2012-235058號(hào)公報(bào)中記載了，通過(guò)計(jì)算沿鉛垂方向以多層容置于盒內(nèi)的基板間的“間隙”，基于該間隙判斷機(jī)械手部是否可以進(jìn)入，安全地取出盒內(nèi)的基板。
[0007]但是，在以往的裝置中存在如下的問(wèn)題。利用基板搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的手部將基板搬出至運(yùn)送器的外部，若在運(yùn)送器內(nèi)沒(méi)有將基板保持于正確的位置，則存在在運(yùn)送器內(nèi)手部與基板干涉且與基板的表面接觸造成損傷或者損壞基板的危險(xiǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明是鑒于這樣的事情而提出的，其目的在于，提供一種能夠防止基板破損的基板處理裝置以及基板處理方法。
[0009]本發(fā)明為了達(dá)到這樣的目的，采取如下的結(jié)構(gòu)。
[0010]S卩，本發(fā)明的基板處理裝置，用于處理基板，具有:載置部，載置有用于容置多個(gè)基板的運(yùn)送器，基板檢測(cè)傳感器，朝向水平方向檢測(cè)各基板的有無(wú)，該水平方向是與基板進(jìn)出所述運(yùn)送器的前后方向相交的方向，高度傳感器，檢測(cè)所述基板檢測(cè)傳感器的高度，上下機(jī)構(gòu)，使所述基板檢測(cè)傳感器沿上下方向移動(dòng)，進(jìn)退機(jī)構(gòu)，使所述基板檢測(cè)傳感器沿所述前后方向移動(dòng)，控制部，通過(guò)所述上下機(jī)構(gòu)使所述基板檢測(cè)傳感器沿上下方向移動(dòng)，并且通過(guò)所述進(jìn)退機(jī)構(gòu)使所述基板檢測(cè)傳感器沿所述前后方向移動(dòng)，來(lái)通過(guò)所述基板檢測(cè)傳感器在所述前后方向上的不同的兩個(gè)以上的位置檢測(cè)各基板的高度，基板狀態(tài)取得部，基于所檢測(cè)出的各基板的高度，取得各基板在所述前后方向上相對(duì)于水平面的傾斜度。
[0011 ] 根據(jù)本發(fā)明的基板處理裝置，能夠在從運(yùn)送器開(kāi)始搬運(yùn)基板之前取得在運(yùn)送器內(nèi)的基板的傾斜度。
[0012]另外，本發(fā)明的處理基板的基板處理裝置具有:載置部，載置有用于容置多個(gè)基板的運(yùn)送器，基板檢測(cè)傳感器，在前后方向上的不同的兩個(gè)以上的位置檢測(cè)各基板的有無(wú)，該前后方向是基板進(jìn)出所述運(yùn)送器的方向，高度傳感器，檢測(cè)所述基板檢測(cè)傳感器的高度，上下機(jī)構(gòu)，使所述基板檢測(cè)傳感器沿上下方向移動(dòng)，控制部，通過(guò)所述上下機(jī)構(gòu)使所述基板檢測(cè)傳感器沿上下方向移動(dòng)，來(lái)通過(guò)所述基板檢測(cè)傳感器在所述前后方向上的不同的2個(gè)以上的位置檢測(cè)各基板的高度，基板狀態(tài)取得部，基于所檢測(cè)出的各基板的高度，取得各基板在所述前后方向上相對(duì)于水平面的傾斜度。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的基板處理裝置，能夠在從運(yùn)送器開(kāi)始搬運(yùn)基板之前取得在運(yùn)送器內(nèi)的基板的傾斜度。
[0014]另外，優(yōu)選地，在上述的基板處理裝置中，所述基板狀態(tài)取得部基于各基板在所述前后方向上相對(duì)于水平面的傾斜度，取得向所述運(yùn)送器的里側(cè)偏移的水平方向上的基板位置偏移量。
[0015]另外，優(yōu)選地，在上述的基板處理裝置中，所述運(yùn)送器具有:容器主體，蓋部，堵塞所述容器主體的開(kāi)口部，能夠安裝于所述容器主體以及從所述容器主體上拆下，邊側(cè)保持部，設(shè)于所述容器主體內(nèi)的兩個(gè)側(cè)面，用于載置基板，后側(cè)保持部，設(shè)于所述容器主體內(nèi)的里側(cè)面，形成有槽，前側(cè)保持部，設(shè)于所述蓋部的朝向所述容器主體內(nèi)的表面，形成有槽，當(dāng)所述蓋部安裝于所述容器主體的開(kāi)口部時(shí)，所述后側(cè)保持部以及所述前側(cè)保持部一邊使基板離開(kāi)所述邊側(cè)保持部，一邊夾持基板。當(dāng)將堵塞容器主體的開(kāi)口部的蓋部拆下時(shí)，基板有時(shí)沒(méi)有從后側(cè)保持部的槽準(zhǔn)確地滑下，而是停止在前傾狀態(tài)。即使在這樣的情況下，也能夠事先取得基板在運(yùn)送器內(nèi)在前后方向上的傾斜度。
[0016]另外，優(yōu)選地，在上述的基板處理裝置中，所述基板處理裝置具有將載置于所述邊側(cè)保持部的基板抬起并搬出至所述運(yùn)送器的外部的手部，以使當(dāng)所述手部抬起所述基板時(shí)，所述基板的里側(cè)的周緣不與所述后側(cè)保持部的槽接觸的方式，設(shè)定向所述運(yùn)送器的里側(cè)偏移的水平方向上的基板位置偏移量的閾值。
[0017]另外，優(yōu)選地，所述控制部禁止所述手部將特定基板從所述運(yùn)送器搬出，所述特定基板是，向所述運(yùn)送器的里側(cè)偏移的水平方向上的基板位置偏移量超過(guò)所述閾值的基板。能夠可靠地防止被手部抬起的基板的運(yùn)送器里側(cè)的周緣與后側(cè)保持部的槽接觸。
[0018]另外，優(yōu)選地，在上述的基板處理裝置中，具有:傾斜度不良判斷部，判斷所述基板的傾斜度是否大于預(yù)先設(shè)定的閾值，存儲(chǔ)部，在由所述傾斜度不良判斷部判斷為大于的情況下，針對(duì)每個(gè)所述運(yùn)送器或針對(duì)每個(gè)基板容置位置分別存儲(chǔ)判斷為大于的傾斜度不良信息，次數(shù)判斷部，判斷在所述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的所述傾斜度不良信息是否達(dá)到預(yù)先設(shè)定的次數(shù)，通知部，在所述次數(shù)判斷部判斷為達(dá)到的情況下，通知該所述傾斜度不良信息達(dá)到預(yù)先設(shè)定的次數(shù)這一信息。由此，能夠判斷運(yùn)送器的老化，通知操作者更換運(yùn)送器的時(shí)機(jī)。另外，能夠修正前一工序中的基板處理裝置的基板搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的教學(xué)錯(cuò)誤，具有校正功能。
[0019]另外，本發(fā)明的處理基板的基板處理方法包括:將用于容置多個(gè)基板的運(yùn)送器載置于載置部的工序，使基板檢測(cè)傳感器進(jìn)入所述運(yùn)送器的內(nèi)部的工序，該基板檢測(cè)傳感器能夠朝向水平方向來(lái)檢測(cè)各基板的有無(wú)，該水平方向是與基板進(jìn)出所述運(yùn)送器的前后方向相交的方向，在所述基板檢測(cè)傳感器進(jìn)入所述運(yùn)送器的內(nèi)部的狀態(tài)下，通過(guò)使所述基板檢測(cè)傳感器沿上下方向移動(dòng)，并且使所述基板檢測(cè)傳感器沿所述前后方向移動(dòng)，來(lái)通過(guò)所述基板檢測(cè)傳感器在所述前后方向上的不同的兩個(gè)以上的位置檢測(cè)各基板的高度的工序，基于所檢測(cè)出的各基板的高度，取得各基板在所述前后方向上相對(duì)于水平面的傾斜度的工序。
[0020]另外，本發(fā)明的處理基板的基板處理方法包括:將用于容置多個(gè)基板的運(yùn)送器載置于載置部的工序，使基板檢測(cè)傳感器進(jìn)入所述運(yùn)送器的內(nèi)部的工序，該基板檢測(cè)傳感器能夠在基板進(jìn)出所述運(yùn)送器的前后方向上的不同的兩個(gè)以上的位置檢測(cè)各基板的有無(wú)，在所述基板檢測(cè)傳感器進(jìn)入所述運(yùn)送器的內(nèi)部的狀態(tài)下，通過(guò)使所述基板檢測(cè)傳感器沿上下方向移動(dòng)，通過(guò)所述基板檢測(cè)傳感器在所述前后方向上的不同的兩個(gè)以上的位置檢測(cè)各基板的高度的工序，基于所檢測(cè)出的各基板的高度，取得各基板在所述前后方向上相對(duì)于水平面的傾斜度的工序。
[0021]根據(jù)本發(fā)明的基板處理方法，能夠在從運(yùn)送器開(kāi)始搬運(yùn)基板之前取得在運(yùn)送器內(nèi)的基板的傾斜度。
[0022]根據(jù)本發(fā)明的基板處理裝置以及基板處理方法，基板狀態(tài)取得部基于基板進(jìn)出運(yùn)送器的前后方向上的不同的兩個(gè)以上的位置的基板高度，來(lái)取得各基板在前后方向上相對(duì)于水平面的傾斜度。由于事先取得在運(yùn)送器內(nèi)的各基板的傾斜度，所以能夠防止因基板搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的手部與基板接觸而導(dǎo)致的基板破損。
【附圖說(shuō)明】
[0023]為了說(shuō)明發(fā)明，圖示出現(xiàn)在認(rèn)為是優(yōu)選的若干實(shí)施方式，應(yīng)該理解為發(fā)明并不限定于圖示這樣的結(jié)構(gòu)以及方法措施。
[0024]圖1A是示出實(shí)施例1的基板處理裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，圖1B是蓋裝卸部的側(cè)視圖，圖1C是測(cè)繪部的側(cè)視圖。
[0025]圖2A?圖2C是示出運(yùn)送器的一個(gè)例子的圖，圖2B是示出從圖2A中的附圖標(biāo)記A的方向觀察到的運(yùn)送器的一部分的主視圖。
[0026]圖3是示出兩組測(cè)繪傳感器的俯視圖。
[0027]圖4是示出基板處理裝置的控制系統(tǒng)的框圖。
[0028]圖5是用于說(shuō)明實(shí)施例1的基板處理裝置的動(dòng)作的圖。
[0029]圖6是用于說(shuō)明因容器主體內(nèi)的基板的姿勢(shì)異常導(dǎo)致的故障的一個(gè)例子圖。
[0030]圖7A、圖7B是用于說(shuō)明因容器主體內(nèi)的基板的姿勢(shì)異常導(dǎo)致的故障的其他的例子的圖。
[0031]圖8是用于說(shuō)明基板向里側(cè)的位置偏移量的計(jì)算方法的圖。
[0032]圖9是用于說(shuō)明變形例的基板處理裝置的動(dòng)作的圖。
[0033]圖10是示出變形例的基板搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的手部的圖。
[0034]圖11是示出變形例的蓋裝卸部的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0035]以下，參照【附圖說(shuō)明】本發(fā)明的實(shí)施例1。圖1A是示出實(shí)施例1的基板處理裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，圖1B是